DE2510938C3 - Verfahren zur Oberflächenbehandlung von aus Keramik hergestellten Bauteilen, Werkstücken oder dergleichen - Google Patents
Verfahren zur Oberflächenbehandlung von aus Keramik hergestellten Bauteilen, Werkstücken oder dergleichenInfo
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 title description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 10
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 2
- 230000003014 reinforcing Effects 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N Silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 210000001331 Nose Anatomy 0.000 description 1
- 229910018540 Si C Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N Silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N oxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 230000001340 slower Effects 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Behandlung der aus Keramik auf Siliziumbasis bestehenden
Oberflächen von Keramikbauteilen durch Oxydation bei Temperaturen ab etwa 800°C
Als Beispiel für Hochtemperaturanwendungen von Keramik sei hier die aus Keramik bestehende
Gasturbine genannt, deren Komponenten, wie Schaufein, Leitapparat, Brennkammer, Nasenkonus usw. im
Betrieb Temperaturen im Bereich von 14000C ausgesetzt sind.
Es ist nun festgestellt worden, daß Keramik wie z. B. Siliziumnitrid (S13N4) oder Siliziumkarbid (Si C) bei
Temperaturen ab ca. 8000C an der Oberfläche oxydiert, wobei sich hier eine Glasschicht bildet, die je nach ihrer
Ci.emischen Zusammensetzung eine weitere Oxydation mehr oder weniger stark verlangsamt, indem sie den
Zutritt von Sauerstoff an das darunterliegende Grundmaterial verzögert. Die vorerwähnte chemische Zusammensetzung
der Oberflächenglasschicht ist ir. wesentlichen abhängig von Verunreinigungen und/oder Zusätzen
im Kcramik-Grundmaterial.
Bei poröser Keramik, /.. B. bei reakticnsgesintertem
Siliziumriitrid, wirkt sich eine weitere Oxydation besonders ungünstig aus, da durch die Poren der
Sauerstoff freien Zugang zum Grundmaterial findet und der Werkstoff sehr lief bzw. vollständig oxydiert und
unbrauchbar wird.
Es ist versucht worden, die Oxydationsbeständigkeit von Keramik-Bauteilen dadurch zu erhöhen, daß
Verunreinigungen des Grundmaterial bei der Herstellung soweit als möglich vermieden werden. Solche
Maßnahmen haben jedoch bisher zu keinen befriedigenden Ergebnissen geführt. Darüber hinaus ist grundsätzlich
für die Darstellung der Keramik die Anwendung von Sinterhilfen, wie z. B. Kalzium, notwendig, wodurch
nun die Oxydationsbeständigkeit andererseits wesentlich
verschlechtert wird.
Die vorliegende Erfindung geht daher von der Aufgabe aus, ein neues Verfahren zur Oberflächenbehandlung
von Keramik anzugeben, welches gewährleistet, daß eine Oxydation bei der späteren Hochtemperaturanwendung
der Keramikbauteile im wesentlichen vollständig vermieden wird.
Diese Aufgabe ist gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß zur Erhöhung der Oxydationsbeständigkeit
der Oberfläche auf dieser eine Schicht, bestehend aus einem Element, das sich im Netz der SiO2-Glasschicht,
dieses Netz verstärkend, einbauen läßt, gleichmäßig aufgebracht und wärmebehandelt wird.
Eine derartige Schicht kann beispielsweise auf das Keramikbauteil im Hochvakuum aufgedampft werden.
Die anschließende Wärmebehandlung besteht vorzugsweise aus mehreren unterschiedlichen, aufeinanderfolgenden
Behandlungsphasen.
Eine wirksame Schutzschicht läßt sich besonders leicht durch Aluminium, Magnesium oder Titan
herstellen.
Vorteilhaft sind auch Metalle wie Blei, Zink, Cadmium sowie seltene Erden, wie z. B. Lanthan und Yttrium.
Für Aluminium kann beispielsweise eine erste Wärmebehandlungsphase bei einer Temperatur von ca.
640°C und eine zweile bei einer Temperatur von ca. 1300° C vorgesehen sein.
Wie sich gezeigt hat, bildet sich auf der Oberfläche der Keramik-Bauteile oder dergleichen bei Anwendung
ausreichend hoher Temperaturen eine Glasschicht, welche eine weitere Oxydation verhindert oder
zumindest stark verzögert.
Auf die Oberfläche einer aus reaktionsgesintertem Siliziumnitrid bestehenden Turbinenschaufel wurde im
Hochvakuum eine Aluminiumschicht aufgedampft. Anschließend wurde dieses Bauteil bei ca. 6400C für 2
Stunden wärmebehandelt. Eine weitere Wärmebehandlung erfolgte bei ca. 1300°C für etwa 1 bis 2 Tage.
Claims (7)
1. Verfahren zur Behandlung der aus Keramik auf Siliziumbasis bestehenden Oberflüchen von Keramikbauteilcn
durch Oxydation bei Temperaturen ab etwa800"C, dadurch gekennzeichnet, daß
zur Erhöhung der Oxydationsbeständigkeit der Oberfläche auf dieser eine Schicht, bestehend aus
einem Element, das sich im Netz der SiOj-Glasschicht,
dieses Netz verstärkend, einbauen läßt, gleichmäßig aufgebracht und anschließend wärmebehandelt
wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmebehandlung aus mehreren
unterschiedlichen, aufeinanderfolgenden Behandlungsphasen besteht.
3. Verfahren nach den Ansprüchen I und 2,
dadurch gekennzeichnet, daß eine Aluminiumschicht aufgedampft wird.
4. Verfahren nach den Ansprüchen I und 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Magnesiumschicht
aufgedampft wird.
5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Titanschicht
aufgedampft wird.
6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste Wärmebehandlungsphasc
bei einer Temperatur von ca. 6400C vorgesehen ist.
7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweite Wärmebehandlungsphase
bei einer Temperatur von ca. 1300°C
vorgesehen ist.
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Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752510938 DE2510938C3 (de) | 1975-03-13 | Verfahren zur Oberflächenbehandlung von aus Keramik hergestellten Bauteilen, Werkstücken oder dergleichen | |
SE7602460A SE417819B (sv) | 1975-03-13 | 1976-02-26 | Sett att for okning av oxidationsbestendigheten behandla ytan pa en av kiselkeramik framstelld kropp |
CH251976A CH599069A5 (de) | 1975-03-13 | 1976-03-01 | |
GB9435/76A GB1538114A (en) | 1975-03-13 | 1976-03-09 | Silicon-based material components for use in a hot environment |
IT48525/76A IT1057985B (it) | 1975-03-13 | 1976-03-11 | Procedimento per il trattamento superficiale di elementi strutturali pezzi o simili di ceramica |
FR7607239A FR2303775A1 (fr) | 1975-03-13 | 1976-03-12 | Procede de traitement superficiel de pieces, materiaux, etc., en ceramique |
JP51027607A JPS51122114A (en) | 1975-03-13 | 1976-03-13 | Surface treatment for ceramic structual members or building materials |
US05/838,599 US4159357A (en) | 1975-03-13 | 1977-10-03 | Process for surface treating parts made of ceramic material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752510938 DE2510938C3 (de) | 1975-03-13 | Verfahren zur Oberflächenbehandlung von aus Keramik hergestellten Bauteilen, Werkstücken oder dergleichen |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2510938A1 DE2510938A1 (de) | 1976-09-23 |
DE2510938B2 DE2510938B2 (de) | 1977-01-13 |
DE2510938C3 true DE2510938C3 (de) | 1977-09-01 |
Family
ID=
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