DE2507408A1

DE2507408A1 - Mikrowellenheizvorrichtung

Info

Publication number: DE2507408A1
Application number: DE19752507408
Authority: DE
Inventors: Goeran Boeling
Original assignee: Stiftelsen Institutet for Mikrovagsteknik Vid Tekniska Hogskolan
Current assignee: Stiftelsen Institutet for Mikrovagsteknik Vid Tekniska Hogskolan
Priority date: 1974-02-22
Filing date: 1975-02-20
Publication date: 1975-08-28
Also published as: DK141520C; IT1029810B; FR2262470A1; FI57865B; US3999026A; NO135656B; NL7501928A; DE2507408C2; GB1505552A; DK141520B; FI750467A; CA1025952A; JPS568993B2; FI57865C; JPS50143137A; FR2262470B1; NO135656C; SU629906A3; NO750601L; AU7822875A

Description

PATENTANWÄLTE

HELMUT SCHROETER KLAUS LEHMANN

DIPL.-PHYS. DIPL.-INC.

Stiftelsen Instltutetfor Mikrovagsteknik no-im-12

12.Februar 1975 BB/P.

Mikrowellenheizvorrichtung

Die Erfindung betrifft eine Mikrowellenheizvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Die Vorrichtung kann beispielsweise zum Vorbinden von Werkstücken aus Kunststoff oder kunststoffüberzogener Pappe durch Schweißen verwendet werden, oder zum Trocknen und Aushärten von Leim beim Verschließen von Packungen.

Wenn man einen dichten Hitzeverschluß erhalten will, muß das Erhitzen über den gesamten Abschnitt des Gegenstandes erfolgen, wo der Verschluß angeordnet ist. In den Fällen, in denen das Erhitzen während einer kontinuierlichen Förderung mit einer konstanten Geschwindigkeit des Gegenstandes erfolgt, ist es nicht notwendig, daß die Erhitzung an jedem Punkt längs der Heizvorrichtung in gleichem Maße erfolgt. Wegen der kontinuierlichen Bewegung erhalten diejenigen Abschnitte, die an der Heizvorrichtung vorbeigekommen sind, die gleiche Wärmemenge, auch wenn die Hitze längs der Heizzone· nicht konstant ist. In den Fällen, in denen die Förderung stufenweise erfolgt und bei denen der zu erhitzende Gegenstand sich während des Erhitzens relativ zur Heizvorrichtung nicht bewegt, ist es jedoch unabdingbar, daß die Heizvorrichtung eine gleichmäßige Wärme abgibt. Wenn es sich um einen besonders dichten Verschluß oder

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Telefon: (07171) 56 90 Deutiche Bank München 70/37369 (BLZ 700 700 10) Telefon: (0*9) 7719 SCHROETER Telegramme: Schroeptt SAwäbödi Gmünd 02/00 535 (BLZ 613 700 Si) K.LEHMANN Telegramme: Sdaoep*

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eine besonders gute Verbindung handeln soll, ist es notwendig, daß die erwärmten Kanten kräftig gegeneinandergedrückt werden.

Bei automatischen,mit großer Geschwindigkeit arbeitenden Verfahren v/erden hohe Anforderungen an ein schnelles Erwärmen und schnelles Zusammenpressen gestellt und gegebenenfalls muß die Verbindung gekühlt werden. Wenn mit Kunststoff überzogene Gegenstände miteinander verbunden werden, ist ein Kühlen notwendig. Per Kunststoff wird geschmolzen und die Verbindung hält solange nicht, bis der Kunststoff auf die Erstarrungstemperatur abgekühlt ist.

Das Zusammendrücken kann in verschiedener Wise erfolgen. Die Heizvorrichtung kann so ausgestaltet sein, daß gleichzeitig durch sie beim Erhitzen ein Druck ausgeübt wird. Andererseits kann das Zusammendrücken auch später erfolgen.

Beim Hitzeverschließen von Vorpackungen aus Papier oder Pappe hat man bisher ein Verfahren angewandt, bei dem beispielsweise die Hitze be^?m Zusammendrücken von Ke'zbacken übertragen worden ist. Bei diesem Verfahren muß die Hitze durch den Werkstoff hindurchgehen, wodurch dieses Verfahren langsam wird. Die höchste Temperatur ist auf der Oberfläche des Werkstoffes und nicht in der Verbindung. Die Oberflächentemperatur muß unterhalb eines gewissen Wertes gehalten werden, so daß der Werkstoff nicht zerstört wird. Bei einem anderen Verfahren, bei dem das Erhitzen eines sich"längs einer Pörder strecke bewegenden Gegenstandes erfolgt, wird das Erhitzen durch warme Luft beispielsweise mittels einer Gasflamme vorgenommen. Bei diesem Verfahren Jedoch besteht eine Schwierigkeit darin, das in der Verpackung vorhandene Gut vor der heißen Luft zu schützen. Ferner besteht eine große Brandgefahr ,wenn der Verfahrensvorgang in irgendeinerweise gestört wird. Es gibt auch

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Versuche,bei denen HochfrequenESchweißen verwendet wird, insbesondere bei Frequenzen von I35 oder 27 MHz. Bei diesen relativ niedrigen Frequenzen war es notwendig, große Feldintensitäten zur Verfugung zu stellen, wobei Streuverluste oder eine lange Verfahrenszeit in Kauf genommen werden müssen.

Mit einer Mikrowellenheizung bei einer Frequenz von beispielsweise 2450 MHz, erfolgt das Erhitzen ungefähr 100 mal so schnell wie bei der oben erwähnten Hochfrequenzheizung, wenn die gleichen Feldstärken vorliegen. Wenn man einen mit einem Schlitz versehenen Wellenleiter zum Erhitzen von Leim oder einer Kunststoffbeschichtung mittels Mikrowellenenergie verwendet, so kann dies in relativ einfacher '.'eise geschehen. Eine Schwierigkeit besteht jedoch darin, eine gleichmäßige Erwärmung über eine längere Strecke zu erhalten, so daß eine praktische Verwendung möglich ist. Bei jeder Art von Wellenleiter erfolgt das Erwärmen nicht gleichmäßig, da Energie von dem zu erwärmenden Gegenstand längs des Wellenleiters aufgenommen wird,und auch weil stehende Wellen innerhalb des Wellenleiters auftreten.

Forner ist es schwierig, Kühlelemente aus Metall bei solchen Vorrichtungen zu verwenden, da die Kühlelemente die Arbeitsweise des Wellenleiters beeinflussen. Kühlelemente aus keramischem oder Plastikmaterial können verwendet werden, jedoch ist die Kühlwirkung solcher Elemente häufig wegen des relativ geringen Wärmeleitvermögens dieses Materials nicht zufriedenstellend.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Mikrowellenheizvorrichtung darzustellen, bei der eine gleichmäßige Erwärmung in einem sich der Länge nach erstreckenden Kelzbereieh erfolgt, wenn sowohl ruhende als auch sich bewegende Gegen-

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stände erhitzt werden .

Eine Lösung dieser Aufgabe ist durch den Anspruch 1 angegeben.

Erfin :ungsgemäß wird ein elektrisches ? Id vorgesehen, das in der Heizvorrichtung erzeugt wird und über den gesamten Heizbereich konstant ist.

Bei einer Weiterbildung der Erfindung können Kühlelemente aus Metall vorgesehen werden, die die Verbindung wirkungsvoll unmittelbar nach dem Unterbrechen der zugeführten Mikrowellenenergie abkühlen , wobei die V- rbindung unter Druck stehen kann, bis eine ausreichende Abkühlung erfolgt ist.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Erzeugen eines entsprechenden Feldes hat einen durch eine Metallwand in zwei parallele Kammern geteilten Resonator. Das Zuführen der Mikrowellenenergie erfolgt in der Weise, daß das magnetische Feld gezwungen wird, sich um die Metallwand herum zu schlie en. Wenn die Kammern die gleiche Form haben, und wenn der Resonator einem konstaten Querschnitt über sein gesamte Länge hat, erhält man in der Nähe der Metallwand eine konstante Magnetfeldintensität. Das dem Magnetfeld zugeordnete elektrische ?eld erzeugt eine gleichmäßige Erhitzung in einem dielektrischen, homogenen Werkstoff.

Ausführungsbeispiele der Erfindungen werden im folgenden anhand der Figuren beschrieben.

Fig.l zeigt einen schematischen Querschnitt eines Resonators.

Fig.2 zeigt einen Schnitt des Resonators längs der Linie II-II der Fig.l.

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Pig.3 zeigt den Längsschnitt einer anderen Ausführungsform eines Resonators.

Fig.4 zeigt im Querschnitt eine Ausfuhrungsform mit zwei Resonatoren zum Erwärmen beider Seiten eines Werkstücks.

Fig.5 zeigt einen schematischen Querschnitt im größeren Maßstab einer weiteren Ausfuhrungsform.

Fig.6 zeigt einen schematischen Längsschnitt einer anderen Ausführungsform eines Resonators.

Fig.7 zeigt eine Ausführungsform eines Resonators mit Kühlelementen aus Metall.

Fig.δ zeigt den Resonator der Fig.7 in vergrößertem Maßstab.

Fig.9 zeigt einen Querschnitt einer weiteren Ausführungsform eines Resonators.

Fig.10 zeigt einen Längsschnitt der Ausfuhrungsform gemäß Fig.9-

Fig.ll zeigt einen Querschnitt einer noch anderen Ausführungsform.

Die Fig. 1,2, und 7 stellen die erste der Ausfuhrungsformen dar. Der Resonator wird durch Längswände 2, 4, 6 und 8 begrenzt. Die Längswand 2 hat einen Schlitz 16. Der Resonator wird durch eine Trennwand 14 in zwei Kammern 10 und 12 aufgeteilt.

In der Fig.2 ist eine Möglichkeit dargestellt, auf welche Weise Mikrowellenenergie in geeigneter Form der Vorrichtung zugeführt werden kann. In der Wand 14 ist eine V-förmige Ausnehmung 24 vorgesehen. Ein Leiter 26 ist mit dem oberen Ende

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der Ausnehmung verbunden. Das andere Ende des Leiters wird mit einem Wellenleiter verbunden, so daß ihm ein Magnetfeld umschließt. Dadurch wird in dem Leiter ein Strom erzeugt, der in die Trennwand 14 fließt und ein anderes Magnetfeld, das sich um die Wand 14 schließt, erzeugt. Das diesem Magnetfeld zugeordnete elektrische Feld wird über die gesamte Länge des Schlitzes 16 eine konstante Intensität haben. 3ei einer gewissen Bewegung erstreckt sich das elektrische i"eld von der freien Kante der Wand 14 zu den Kanten der Wand 2, die an beiden Seiten der Trennwand angeordnet sind, wie es in ?ig.l durch . Pfeile E dargestellt ist. Im gleichen Augenblick wird sich das Magnetfeld senkrecht zur Papierebene ausbilden, wie es durch Pfeile mit Punkten und Enden die mit H bezeichnet sind, dargestellt ist. Wenn ein dielektrischer, im wesentlichen homogener Gegenstand dicht am Schlitz 16 angeordnet wird, wird er im wesentlichen längs der gesamten Länge des Schlitzes erwärmt.

In der Fig.7 ist dargestellt, auf welche Weise die Heizvorrichtung gemäß Fig.l mit Kühlelementen aus Metall versehen werden kann. Zwei Längselemente 17 und I9 aus Metall dienen als ^:rühlelemente. Sie erstrecken sich senkrecht zum elektrischen Feld, so daß sie die Arbeitsweise der Heizvorrichtung so wenig wie möglich beeinflussen. Die unteren Abschnitte der Kühlelemente können mit Röhren 44 und 45 versehen sein, in denen ein Kühlmedium fließen kann. Die Kühlelemente dürfen die Wände des Resonators nicht oder nur über einen kleinen Teil ihrer Länge berühren. Die Kühlelemente können beispielsweise an einem dielektrischen Werkstoff angeordnet sein, der geringe dielektrische Verluste hat, wie z.B. ein unter dem Handelsnamen "Teflon" bekannter Werkstoff, der die Kammern 10 und 12 ausfüllt. Die Vorrichtung bewirkt mit und ohne Kühlelemente ein gutes Erhitzen.

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Ein langer Resonator wird vorzugsweise an zwei oder mehreren Stellen mit Energie versorgt. In Fig.3 erfolgt die Versorgung über einen als T ausgebildeten Wellenleiter. An beiden Zuführstellen muß die zugeführte Energie die gleiche Phase haben. Infolgedessen ist der Abstand zwischen dem Verzweigungspunkt, wo der Wellenleiter 30» der den Stamm des T bildet mit dem Querteil 30a des T verbunden ist, und einem Jeden Zuführpunkt gleich groß. An Jedem Zuführpunkt befindet sich in der Wand 14 eine V-förmige Ausnehmung 24 und ein Leiter 26.

Es ist auch möglich, zwei Resonatoren einander gegenüberliegend anzuordnen, wie es in der Fig.4 dargestellt ist. Dadurch kann die Wirkung eines geringen Abstandes oder die Wärmehomogenität erhöht werden, wenn ein dicker Gegenstand 34 erwärmt wird. Zum letzteren Zweck kann es ausreichend sein, nur einen Resonator zu speisen. Die Speiseleitung des anderen Resonators sollte dann kurzgeschlossen sein. Ein weiterer Vorteil bei der Verwendung von zwei Resonatoren besteht darin, daß Streuverluste weiter verringert werden.

Die zweite Ausführungsform ist in den Fig.5, 6 und 8 dargestellt. Zusätzlich zu den zwei Resonatorkammern 10 und 12 entsprechend den Kamm rn 10 und 12' der beschriebenen Ausführungsform sind zwei weitere Kammern 38 und 39 symmetrisch an beiden Seiten der Trennwand 14 vorgesehen, die über eine Zuführvorrichtung gespeist werden. Das Magnetfeld in den Kammern Io und 12 schließt sich um die Trennwände 40 und 42 in der gleichen V/eise, wie es bei der Wand 14 der Fall ist. Das diesem Magnetfeld zugeordnete elektrische Feld wird sich zu einem gegebenen Zeitpunkt von der freien Kante der Wand 14 zu den freien Kanten der Wände 40 und 42 und von den freien, nach innen weisenden Kanten der Wand 2 zu den Kanten der Wand 40 und 42 erstrecken, wie es durch mit E bezeichnete Pfeile in der Fig.5 angedeutet ist.

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Gleichzeitig erstreckt sich das Magnetfeld senkrecht zur Papierebene, wie es durch die Spitzen bzw. Enden der Pfeile H dargestellt ist.

Das elektrische Feld im Schlitz 16 verläuft parallel zur Trennwand 14. Diese Ausführungsform ist infolgedessen besonders für zu erwärmende Gegenstände geeignet, die in den Schlitz 16 eingeführt werden können. In der Fig.5 ist dargestellt, auf welche V/eise s.B. zwei mit Kunststoff überzogene Pappstücke 16a zum Zusammenschweißen erhitzt werden können. 3ei der Ausführungsform der Vorrichtung, bei der das elektrische Feld senkrecht zu der Ebene der Oberfläche verläuft, in der der Schlitz liegt, entstehen äußerst geringe Streuverluste.

Die Mikrowellenenergie kann in der gleichen Weise wie bei der ersten Ausführungsform zugeführt werden, wie es in Fig.6 dargestellt ist.

Auch die zweite Aus führungs form kann mit Kühlelementen ge.räß Fig. δ versehen werden. Die Metallwände 46 und 48 sind senkrecht zum elektrischen ?eld angeordnet und können Wärme von der Verbindung ableiten. Die von der V rbindung fortweisenden Enden haben Röhren 47 und 49, durch die ein Kühlmedium fließen kann. Diese Kühlelemente können in der gleichen Weise befestigt iverden, wie es in .der oben beschriebenen Vorrichtung geschehen ist. Bei beiden Vorrichtungen können weitere entsprechend angeordnete Kühlelemente in den Resonatorkammern vorhanden sein, als diejenigen, die in den Figuren dargestellt sind, wenn eine stärkere Kühlung notwendig ist.

Es wurde bereits darauf hingewiesen, daß das Zusammendrücken und "ühlen von Bedeutung ist, wenn mit Kunststoff oder Leim überzogene Gegenstände miteinander verbunden werden sollen.

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Wenn eine doppelte Heizvorrichtung gemäß Fig.4 verwendet wird, kann das Zusammendrücken zwischen den zwei Resonatoren erfolgen. Die Schlitze der Heizvorrichtungen können mit einem Kunststoff- oder Keramikwerkstoff mit geringen Verlusten bedeckt oder angefühlt sein. In Abhängigkeit von den Kühlanforderungen können Kühlelemente gemäß Pig.7 vorgesehen werden oder auch nicht. Auch kann nur einer oder beide Resonatoren mit Kühlelementen ausgestattet sein.

Bei der Vorrichtung gemäß Pig.l kann ein Druck gegen beispielsweise eine Platte aus Kunststoff oder keramischen Werkstoff mit geringen Verlusten erfolgen. Das Zusammenpressen kann auch durch die Verbindung erfolgen, nach dem der zu erhitzende Gegenstand die Heizvorrichtung verlassen hat, wobei er beispielsweise zwischen zwei Metallbacken bewegt wird, während die Verbindung noch warm ist und durch die Metallbacken zusammengedrückt wird, wobei gleichzeitig die Verbindung durch die Backen abgekühlt wird. In letzterem Fall können die Backen durch beispielsweise Wasser gekühlt werden. Dies läßt sich auch bei der Vorrichtung gemäß Fig. 5 anwenden.

Bine andere Möglichkeit des Zusammendrückens insbesondere zum Verschließen von Packungen an Laufbändern besteht darin, daß ein oder mehrerer Rad- oder Rollenpaare vorgesehen sind, zwischen denen die Verbindungen unmittelbar nach dem Erhitzen hindurchgehen.

Bei einer dritten Ausführungsform hat die Vorrichtung einen Resonator mit einem sich der Länge nach erstreckenden Hohlraum, der von drei Wänden 4, 6, 8 entsprechend den Wänden der Vorrichtung gemäß Fig.l begrenzt ist. Eine Trennwand 14, die vorzugsweise etwas kürzer als die Resonatorwände ist, ist an der Innen-

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fläche der Wand 6, beispielsweise durch Löten befestigt. Die Befestigungskante der Wand 14 hat eine V-förmige Ausnehmung Gegenüber der Spitze dieser Ausnehmung befindet sich in .der Wand 6 eine öffnung 6a, durch die ein Leiter 26 durchgeführt ist. Dieser Leiter ist an der Spitze der Ausnehmung mit der Wand 14 verbunden. Der Leiter 26 kann Teil eines Schaltkreises sein, dessen anderer Teil (dieser ist nicht dargestellt) mit einem Wellenleiter verbunden ist, von dem aus die Mikrowellenenergieversorgung , wie es bereits oben beschrieben worden ist, erfolgt.

An der der Wand 6 gegenüberliegenden Seite des Resonators sind Teile 40 und 41 aus keramischem Werkstoff vorgesehen und zwischen den Wänden 4 und 8 und der Trennwand 14 angeordnet. Der '..'erkstoff dieser Teile sollte möglichst verlustarm sein. Die Heizbereiche befinden sich in dem Bereich unmittelbar außerhalb der Teile 40 und 41. Der zu erhitzende Gegenstand 42 wird beispielsweise durch einen dritten, Isolierenden, möglichst verlustfreien Teil ^3 gegen diesen Bereich gedrückt. Es kann auch ein weiterer Resonator 44 parallel gemäß Fig.11 angeordnet und wie der Resonator 4, 8, 6 ,14 aufgebaut sein. Der zu erhitzende Gegenstand 42 wird zwischen den zwei Resonatoren angeordnet. Der Resonator 44 kann in gleicher Weise wie der Resonator 4,6,6, 14 von der gleichen Mikrowellenquelle oder einem anderen Mikrowellenkreis (dieser ist nicht dargestellt) gespeist werden, der eine andere Frequenz als die erste Quelle haben kann. Wenn der zusätzliche Resonator 44 nicht direkt mit Energie versorgt wird, wirkt er trotzdem als Resonator, da Energie von dem gespeisten Resonator übertragen wird. Der zusätzliche, nicht direkt gespeiste Resonator kann einen Leiter 26 haben, dessen äußeres Ende zur Resonatorwand 6 hin kurzgeschlossen ist.

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Claims

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1. Mikrowellenheizvorrichtung mit einer vorzugsweise sich der· Länge nach erstreckenden Heizzone, einem von einer Mikrowellenquelle gespeisten Resonator, wobei der Resonator einen sich der Länge nach erstreckenden durch .'ände begrenzten Hohlraum hat, von denen eine mit einem Längssehlitz versehen ist , und wobei in dem Resonator eine vorzugsweise etwas kürzer als der Hohlraum ausgebildete Trennwand mit einer an der dem Längsschlitz gegenüberliegenden Wand angeordneten Kante ist, wobei die Trennwand parallel zum Schlitz verläuft und sich von der Wand zum Schlitz hin erstreckt, wodurch wenigstens ein Teil der Cuerschnittsoberfläche des Hohlraumes in zwei Kammern geteilt ist, und wobei die Tr nnwand eine Speisevorrichtung mit einem oder mehreren Leitern hat, die durch eine oder mehrere Öffnungen in der Resonatorwand führen und mit der Trennwand verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß der Leiter (26) in Brzug auf den Resonatorquerschnitt symmetrisch zur Trennwand (14) angeordnet ist und mit einem Abschnitt (24) der Kante der Wand (14) verbunden , die zu der Resonatorwand (6) weist, an der der Leiter (26) angeordnet ist, wobei der Abschnitt (24) von dieser Resonatorwand (6) frei ist, wodurch ein sich um die Trennwand (14) schließences Magnetfeld in der. Resonator erzeugbar ist, und wobei ein zugeordnetes elektrische ?eld zwischen den Kanten des Schlitzes (16) und der freien Kante der Trennwand erzeugbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder freie Abschnitt (24) der Trennwand (14), an

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der ein Leiter (2$) verbunden ist, die ?orm einer Ausnehmung (24) hat, wobei der Leiter (26) am Boden dieser Ausnehmung verbunden ist.

3· Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnehmung oder Ausnehmungen (24) in der Trennwand (14) V-förmig ausgebildet sind, und daß der oder die Leiter (26) an der Spitze des V angeordnet sind.

4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennze lehnet , daß j'eder Leiter (26) Teil eines Schaltkreises ist, dessen anderer Teil ein in einen Teil (JOa)' eines Wellenleiters (30 eingeführter Teil ist, wobei der Wellenleiter nahe am Resonator angeordnet ist und durch ihn Mikrowellenenergie von einyr Energiequelle her eingespeist wird.

5· Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennze lehnet, daß der Wellenleiter (JOa) den oberen, waagerechten Teil eines T-förmigen Wellenleiters bildet, wobei di-ser Teil parallel zum Resonator und unmittelbar anschließend an die Resonatorwand angeordnet ist, an der die Trennwand (14) befestigt ist.

6. Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Resonator zwei zusätzliche Kammern (38, 39) hat, die parallel zu den durch die Trennwand (14) getrennten Kammern (10) angeordnet sind, wobei Jede der zusätzlichen Kammern (38, 39) zwischen den beiden erst erwähnten Kammern (10,12¹I einen ' Schlitz hat, so daß die Kammern zu einander und zu dem Schlitz hin offen sind, wobei ein zusätzlicher Schlitz ( 16) zwischen

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den Schlitzkanten der zusätzlichen Kammern (38, 39), die von dem ersten Schlitz am weitesten entfernt sind, angeordnet ist, wobei in dem zusätzlichen Schlitz (16) das zu erhitzende Werkstück oder Material (16a) einführbar ist.

7· Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Resonatoren parallel zueinander und mit einander gegenüberliegenden Schlitzen in einem gewissen Abstand voneinander angeordnet sind, wobei der Raum zwischen den Schlitzen als Heizzone für das Material.(34) verwendbar ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Resonatoren von einer gemeinsamen Mikrowellenenergiequelle gespeist sind, oder ein jeder Resonator von je einer Mikrowellenenergiequelle, die verschiedene Frequenzen haben.

9· Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichn e t, daß nur ein Resonator von einer Kikrowellenenergiequelle versorgt ist, während der andere Resonator entweder keine Speiseleitung hat oder eine oder mehrere mit der Außenwand des Resonators kurzgeschlossene Speiseleitungen hat.

10. Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet , daß die durch die Trennwand (14) getrennten Kammern (10, 12) des Resonators oder die zusätzlichen Kammern (38,39) Elemente (17,44,45,46, 47, 48, 49) haben, durch die Wärme aus der Heizzone abfUhrbar ist.

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11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Elemente lange Metallwände (17, 19; 46, 4c) parallel zur Heizzone sind.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennze lehnet, daß die Metallwände (17, 19; 46, 46) im wesentlichen senkrecht zum elektrischen Feld in den Karr.-ri'-rn (IC, 12) oder den zusätzlichen Kammern (38, 39) angeordnet sind und keine leitende Verbindung mit den Kammerwänden haben.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Metallwände (17, 19; 46,46) mit einer Röhre (44, 45; 47, 49) für ein Kühlmedium an einer Längskante ausgebildet ist.

14. Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennze lehne t, da3 die Schlitze oder öffnungen des Resonators mindestens teilweise mit einem möglichst verlustarmen Werkstoff gefüllt sind, wie z.B. Kunststoff oder einem keramischen Werkstoff.

15. Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehencen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß die Trennwand (14) eine metallene Platte ist, deren Weite längs der Heizzone bis 'auf die Abschnitte konstant ist, in denen der/die Leiter (26) verbunden ist/sind .

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