DE2502591C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Ausrichtmarkierung - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Ausrichtmarkierung

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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals

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