DE2459179C3 - Verfahren zur Herstellung von photopolymerisierbaren Überzügen - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von photopolymerisierbaren ÜberzügenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von photopolymerisierbaren Überzügen, bei dem ein
Epoxid-Prepolymer mit mindestens zwei Epoxidgruppen je Molekül mit einer a-^-ungesättigten Carbonsäure
umgesetzt, dem Reaktior.sprodukt ein Photosensibilisator zugesetzt und die erhaltene Zusammensetzung
auf eine Unterlage aufgetragen wird.
Es sind viele Verfahren zur Herstellung von photopolymerisierbaren
Überzügen bekannt Ein solcher Prozeß ist beispielsweise beschrieben in der US-PS
69 982. In diesem Patent ist jedoch nicht die Kombination der Bestandteile angegeben, die in dem Verfahren
gemäß der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden. In der US-PS 34 50 613 ist die Zusammensetzung
eines Klebers beschrieben. Der Patentschrift ist die Verwendung von Epoxidharzen in Verbindung
mit a^?-äthylenisch ungesättigten organischen Säuren
zu entnehmen. Es sind jedoch mehrere Unterschiede zwischen dieser Patentschrift und der vorliegenden
Erfindung vorhanden. Insbesondere ist der US-PS 50 613 nicht zu entnehmen, wie ein photopolymerisierbarer
Überzug geschaffen werden kann. Obgleich die Verwendung eines tertiären Amin-Katalysators an
gegeben ist (Beispiele 3 und 6), ist in der Patentschrifi nicht die Verwendung eines primären aromatischer
Amins als Härtungsmittel angegeben, welches in dei vorliegenden Erfindung zwingend vorgeschrieben ist
um die ungewöhnliche Kombination der Eigenschafter des Reaktionsproduktes zu erhalten. Der tertiäre Amin;
Säure-Additionskatalysator, der in der US-PS 34 50 61: angegeben ist, ist ausreichend für die Bildung eine;
adhäsiven Klebstoffes, er ist jedoch in der vorliegender Erfindung nicht ausreichend zur Einführung der Eigen
schäften, die erforderlich sind, um das System für die
gewünschte Anwendung brauchbar zu machen. Eir wesentlicher Unterschied zwischen dieser Patentschrif
und der vorliegenden Erfindung ist auch, daß gemäC dieser Patentschrift kein Überzug in selektiven Bereichen
aus einem photopolymerisierten Material her gestellt werden kann.
Aufgabe der Erfindung ist ein Verfahren zur Her stellung von photopolymerisierbaren Überzügen, die
Belichtung eine längere Hültbarkeit als die bisher
V°k· nnten Materialien aus Epoxidharzen und aji-älhy-
? nisch ungesättigten Carbonsäuren und eine größere Q h'chtdicke aufweisen und zur Herstellung *<on
Mustern auf Schaltkarten geeignet sind. Hie Aufgabe wird durch ein Verfahren der eingangs
nnten Art dadurch gelöst, daß gleichzeitig mit
oder anschließend an die Umsetzung des Epoxids t'der a^-ungesättigten Carbonsäure eine Additionsm'ktion
zwischen dem Epoxid und einem primären rea niatjsc(1en Amin durchgeführt wird und daß dem
Rf aktionsprodukt als Photosensibilisator ein Gemisch
einem ggf substituierten Anthrachinon und einer nreanischen Halogenverbindung zugesetzt wird.
Die Verwendung primärer aromatischer Amine in Verbindung mit einer ungesättigten organischen Säure
maß der Erfindung führt zu einem Material, welches 6 ssezeichnete bildformende Eigenschaften besitzt
&U{\iI als Folge der Materialeigenschaften ein geringerer
Sauerstoffeinfluß auf die Reaktion, schärfere Kanten, erhöhte Lösungsmitteibeständigkeit der photopoiymerisierten
Bereiche, verbesserte Adhäsion u.dgl. erhalten werden.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Reaktion einer »,/J-äthylenisch ungesättigten Carbonsäure
mit einem Epoxidharz gleichzeitig mit der Reaktion eines primären aromatischen Amins mit dem gleichen
EDOxidharz durchgeführt. Das resultierende Produkt ist ein lichtempfindliches Polymermaterial, welches in
überraschender Weise außergewöhnliche photochemische Eigenschaften besitzt, während es gleichzeitig
alle physikalischen, elektrischen und chemischen Eigenschaften eines der üblichen gehärteten Epoxidharze
Es ist chemisch widerstandsfähig, thermisch stabil, mechanisch beanspruchbar, elektrisch inert und bildet
starke adhäsive Bindungen zu der darunterliegenden Unterlage, während es gleichzeitig die Fähigkeit, in
einem Photoprozeß verarbeitet zu werden, beibehält. Ein weiterer unerwarteter Vorteil der nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren hergestellten Überzüge ist, daß die Haltbarkeit der Überzüge vor Belichtung
länger als ein Monat bei Raumtemperatur ist. Im Gegensatz hierzu hatten Überzüge gemäß dem Stand
der Technik vor Belichtung nur eine Haltbarkeit von etwa 6 Stunden. Es können auch gemäß dem erfindungsgemäßen
Verfahren Überzüge mit größeren Dicken als bisher hergestellt werden. So betrugen die
Dicken der bisherigen Überzüge etwa 0,0254 mm, während die Überzüge gemäß dem erfindungsgemäßen
Verfahren eine Dicke größer 0,1270 mm aufweisen. Eine typische Anwendung des Produktes gemäß der
Erfindung ist die Herstellung eines Schutzüberzuges auf einer Schaltkarte. Bei der Herstellung gedruckter
Schaltkarten ist die Verwendung eines Polymermaterials erwünscht, in welchem mittels eines photochemischen
Prozesses Muster erzeugt werden, wie es in photopolymerisierbaren Überzügen üblich ist, aber
welches im Gegensatz zu diesen, während oder nach der Herstellung der Schaltkarte für weitere zusätzliche
Verwendungszwecke brauchbar ist. Aufgrund der ungewöhnlichen Kombination der Eigenschaften, die
den Produkten gemäß der Erfindung innewohnen, sind sie beispielsweise als dauerhafte Ätzmaske, als Lötmaske,
als Metallisierungsmaske, als dielektrischer vv. _.'._ _j „ι, ο^κ.ιίτΓιΚρΓτπ« u/p.itp.r verwendbar.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein licntp.mnfindlicher
Schutzüberzug gebildet durch die Umsetzung eines bei Zimmertemperatur festen Epoxid-Prepolymeren,
welches mindestens zwei Epoxidgruppen je Molekül besitzt, mit einer a,yü-äthylenisch
ungesättigten Carbonsäure. Diese Reaktion wird gleichzeitig mit oder getrennt von der Urnsetzung eines
primären aromatischen Amins mit der Epoxidverbindung durchgeführt. Durch die Verwendung dieser
beiden reaktiven Komponenten wird ein Produkt mit ausgezeichneten Eigenschaften erhalten. Die Lichtempfindlichkeit
desselben wird erheblich gesteigert durch den Einfluß eines Sensibilisators, welcher gemäß
der Erfindung eine Mischung aus zwei Sensibilisatoren darstellt, wie weiter unten näher beschrieben wird.
Das Epoxidharz, das die wichtigste Komponente der Formulierung bildet, ist ein Prepolymer, welches
bei Zimmertemperatur fest ist und wenigstens zwei Epoxidgruppen je Molekül besitzt. Es wird jedoch
ein Epoxidharz bevorzugt, welches wenigstens vier Epoxidgruppen je Molekül besitzt, und die besten
Ergebnisse werden mit Epoxidharzen mit wenigstens sechs Epoxidgruppen je Molekül erhalten. Beispiele
von Epoxidharzen, die diese Kriterien erfüllen, sind ein Epoxidharz, welches ein Polyglycidyläther von
0-Kresol-Formaldehyd-Novolak mit einem Epoxidäquivalentgewicht
von 230 ist, oder ein tetrafunktionelles Epoxidharz, welches ein Polyglycidyläther des
Tetraphenyläthans mit einem Epoxidäquivalentgewicht von 208 bis 240 ist. Das bevorzugte Material ist jedoch
ein Epoxidharz, welches ein Octaglycidyläther von 2,2 - (4,4' - Dihydroxydiphenyl) - dimethylmethan - (Bisphenol-A)-Formaldehyd-Novolak
mit acht Epoxidgruppen je Molekül ist.
Viele ag3-äthylenisch ungesättigte Carbonsäuren sind
bekannt und leicht im Handel erhältlich. Typische Vertreter dieser Verbindungsklasse sind Acrylsäure
und Methacrylsäure, wobei Acrylsäure das bevorzugte Material darstellt.
Die vorliegende Erfindung macht die Verwendung eines primären aromatischen Amins erforderlich. Geeignet
sind beispielsweise Anilin, m-Phenylendiamin und Diaminotoluol ein. Das bevorzugte Material ist
Methylendianilin.
Die vorliegende Erfindung macht auch die Verwendung eines Sensibilisators erforderlich. Viele solcher
Materialien sind gut bekannt. Für die Zwecke der vorliegenden Erfindung wird die Verwendung eines
Sensibilisators vom Anthrachinontyp und eines halogenhaltigen Sensibilisators bevorzugt. Brauchbare
Anthrachinon-Sensibilisatoren sind das Anthrachinon, 2-Methylanthrachinon und vorzugsweise t-Butylanthrachinon.
Halogenhaltige Sensibilisatoren sind beispielsweise Kohlenstoffteterachlorid, Bromoform und vorzugsweise
Kohlenstofftetrabromid.
Es wurde überraschend gefunden, daß für außer-55 gewöhnlich gute Ergebnisse eine Kombination je eines
Sensibilisators von beiden Typen verwendet werden muß. Die besten Ergebnisse werden bei gleichzeitiger
Verwendung von t-Butylanthrachinon und Kohlenstofftetrabromid erhalten. Diese Kombination besitzt
60 aus nicht bekannten Gründen einen synergistischen, aktivierenden Effekt, wodurch bessere Ergebnisse als
mit jeder anderen Kombination erhalten werden.
Die Reaktionsbedingungen zur Umwandlung des
Epoxidmaterials in ein brauchbares photopolymerisier-65
bares Produkt variieren notwendigerweise etwas in Abhängigkeit von den besonderen Materialien, die
ausgewählt wurden. Die optimalen Bedingungen hängen normalerweise von der Reaktivität des Epoxid-
Fnnxidharz oder dem Amin und dem Epoxidharz
DieSHerstellung eines Überzugmusters kann nach
^nL hfoiend angegebenen Schritten erfolgen.
iiiiig::
- ^ Verwendung einer Kombination von zwei
^sensibilisatoren, welche dem ungesättigten Süure-Arnin-Epoxidharz-Reaktionsprodukt
einen hohen α Lichtempfindlichkeit verleihen. Einer der
^ibilitoren wird aus der Klasse der Anthrachinon
Ξη ,mmatischen Amins, mit od
S <ί «ίAmÄialor, eines geeigneten
sungsmittels oder alternativ Zugabe des pnmaren aSschen Amins zu der Mischung zu e.nem
«rfteren 7eitounkt
2. SeTzlng de" Mischung, bis die ^d-Saureaddition
bis zu einem geeigneten Grad sUttge bi lihitiger Zunahme des Mole
1 Herstellung einer Mischung eines Epoxidharzes, Lichtempfindlichkeit verleihen. Einer der
einer Ungesättigten Carbonsäure eines pn- ^sibilisatoren wird aus der Klasse der Anthrachinon-Ξ
,mmatischen Amins, mit oder ohne einem ■ » sen ausgewählt und der andere aus der
ίAmÄialor, eines geeigneten Lo- * ^,logenha.tiger SensibiHsatormolekü.e. Das be-
n M Anthrachinon ist t-Buty an hrach.non, wel-
von g seiner vort lh ften Loshchke.t gewählt
d di bgte Halogenquelle ist KohlenllT
seiner vort lh ften Loshchke.t gewählt
und die bevorzugte Halogenquelle ist KohlenslolT-"^
Wenn die Sensibüisatoren; allein verwenit weder
das Anthrachmon noch di
«rfteren 7eitounkt wird und die bevorzugte Halogenquelle ist KohlenslolT-
SeTzlng de" Mischung, bis die ^d-Saure- -5 ™* "^ Wenn die Sensibüisatoren; allein verwen-
addition bis zu einem geeigneten Grad sUttge ^ ist weder das Anthrachmon noch die
funden hat bei gleichzeitiger Zunahme des Mole- ο haltige Klasse der Moleküle ,m Stande, den
kulargewichtes, oder alternativ Erreichen de ja g ^ derLicntempfindlichkeUzu verlegen, die
h EidharzSäure-Add.t.on m.i η Rktionsprodukt gewünscht w.rd
kulargewichtes, oder alternativ Erreiche j ^ derLicntempfindlichkeUzu ve
gewünschten Epoxidharz-Säure-Add.t.on m.i η Reaktionsprodukt gewünscht w.rd.
nachfolgender Zugabe des pri.nären aromatischen .o m ^^ mögUche Abänderung der Erfindung
Amins zu der teilweise umgesetzten Mischung ^ Zugabe ejnes ^athylemsch ungesättigten
und Fortführung der Reaktion, um den geeigne- ]eküls zu dem ungesättigten Saure-Amin-Epoxid-
ten Molekulargewichtsbereich zu "halten. harzreaktionsprodukt. Es wurde gefunden daß bei
Gegebenentalls Zugabe eines freien Monomeren, Vorhandensein einer nicht ausreichenden Menge unausgewählt
aus einer Anzahl äthylenisch unge- .,s ; Säure in der Reaktionsmischung, so daß
sättigter oder mehrfach "gesättigter Verbindun- * ^ oder gar kei fre,e oder n.chtumgese
gen zu der Reaktionsmischung. Die Zugabe kann
wegfallen, wenn bei der Reaktion eine ausrei-M ättigter Säure in nichturnge-
gen zu der Reaktionsmischung. Die Zugabe kann
wegfallen, wenn bei der Reaktion eine ausrei-M ättigter Säure in nichturnge-
Säure in der Reaktionsmischung, so daß
^^ oder gar kei fre,e oder n.chtumgesetzte
übrigbleibt, das Produkt in erheblichem Maße
wegfallen, wenn bei der Reaktion ein Lichtempfindlichkeit verliert. Dieser Mangel kann
chende Menge ungesättigter Säure in nichturnge- dadurch überwunden werden, daß entweder
setztem Zustand übrigbleibt, nachdem die Epoxia- 30 ungesättigte Säure zu der ursprünglichen Reak-
harz-Säureaddition bis zu dem geeigneten oraa tionsmischung oder vorzugsweise mehr Monomer zu
h dem Reaktionsprodukt gegeben wird. Dieses soge-
^ >>(Yeie Monomer« kann aus einer großen Anättigter
Monomerer ausgewählt werden Es
^ gefunden, daß alle nachfolgend angegebenen Materialien brauchbar sind^.Polyäthylenglykoldiacry-Äthylenglykoldiacrylat,
Athylenglykoldimethacry-,^ ^crylamid
^ konnte beobachtet werden, daß bei geeigneten
Formulierungen die Zugabe eines freien Monomeren
drastiscn zur Verlängerung der Lagerbeständigkeit des
Pdktes beiträgt Es wurde gefunden daß wenn
harzSäu
stattgefunden hat. .....
4 Zugabe einer Kombination von Sensibilisatoren ^ >>(Yeie Monomer« kann aus nr großen An-
' aus einem Anthrachinon und einer halogenierten ungesättigter Monomerer ausgewählt werden. Es
organischen Verbindung wie K-ohlenstotttetra- 35 ^ gefunden, daß alle nachfolgend angegebenen
bromid zu dem Produkt, das nach den Faragra- Mtialien brauchbar sind^Polyäthylenglykoldiacry
phen 2 oder 3 erhalten wurde. 5. Herstellen eines Überzugs aus der resultierenden
Mischung auf einer gewünschten Unterlage 6 Belichten des Überzugs mit ultravioletter Mran- 4
lung durch eine bildtragende Vorlage von gc drastiscn zur Verlängerung der Lagerbeständigkeit des
wünschtem Muster. .. . Produktes beiträgt. Es wurde gefunden, daß, wenn
7. Entwickeln des belichteten Überzugs, um oienicn ^.^ Mengen einer α,/J-äthylenisch ungesättigten
von ultraviolettem Licht getroffenen Bereicne zu Carbonsaure und eines reaktiven primären aromatientfernen,
was durch Eintauchen oder Besprühen 45 Amins in der Ausgangsformulierung verwendet
des Überzugs mit einem geeigneten Lösungsmittel werden und die Reaktionen so durchgeführt werden,
erfolgt. . ... daß aiie diese reaktiven Komponenten verbraucht
8. Gegebenenfalls Eindiffundieren eines .z"sai£- werden zugegebenes freies Monomer, welches bei
liehen Härtungsmittels in den frisch entwickelten zimmerteroperatur nicht mit Epoxidharz reagiert, zu
Überzug aus einer geeigneten Losung, uas ndi- 5 stabilen Produkt mit langer Lagerbesiändigtungsmittel
kann aus einer großen Zahl von ™η^
ählt werden von aenen
mittels, welches in den Überzug e.nd»er,
wird durch die Konzentration und die Verweilzeit
in der Lösung des Härtungsmittels bestimmt. 9. Härten des Überzugs bei erhöhten Temperaturen
zu dem gewünschten Grad der Vernetzung.
tungsmittel kann aus einer groß ^
Verbindungen ausgewählt werden, von aenen Nacndern das Reaktionsprodukt mit den Photosenbekannt
ist, daß sie Epoxidharzen besondere ei- gemischt wurde und nach Ausbildung
genschaften verleihen. Die Menge des Hartungs- so ^ f einer geeigneten Unterlage, wird
mittels, welches in den Überzug e.nd»er, 55 en ^zug^ ^^ ^^
Ktt nd die Verweilzeit aies lettem Ucht^ durch eine bildtragende
v_rlaae belichtet, wodurch ein latentes Bild in den
von g_^ ^06n Teüen des lichtempfindlichen
Überzuges gebildet wird. Wie bei negativarbeitenden Photoresistmaterialien bleiben nach der Entwicklung
een Bildbereiche zurück, die zuvor die belichte-αϊ
j t, ^ Dje Djcke des überzugSi dje Inten
ten β Spektralbereich der Lichtquelle und der
s^ ^^ LJ P chtquelle von dem überzug beeinflu,
Aosra Belichtung wie bei anderen licht-
sen die uaw jlj £ d jdh ätljh
α Acsttiatpn Carbon-Die
Kombination einer «^-ungesättigten t-arooi
säure und eines aromatischen primären Amins, welches
mit einem epoxidgruppenhaltigen Molekül umgesetzt ist, verleiht dem Molekül hchtempfindhche &genschäften,
so daß unter den gegebenen Reaktionsbe
dingungen die Photopolymer.s.erbarke.t des Produkts
Belichtung wie bei anderen licht aw rjaljen_ £s wurde jedoch zusätzljch
ä" ^ aB d ^
hergestellt wird, auch durch andere Faktoren beeinflußt wird. Es wurde gefunden, daß die Eigenschaften der
Lösungsmittel, die zur Herstellung oder Anwendung des Produktes verwendet werden, und der Grad der
Trocknung die Dauer der Belichtung beeinflussen. Nichthalogenhaltige Lösungsmittel und einige halogenhaltige
Lösungsmittel und auch eine längere Trocknungszeit machen eine längere Belichtung erforderlich.
Um diesen Mangel zu beseitigen, wurden beide Sensibilisatoren in das Reaktionsprodukt eingearbeitet, ι ο
Das resultierende Material wurde durch die oben angegebenen mechanischen Variablen nicht mehr beeinflußt.
So verbessert die Kombination von t-Butylanthrachinon und Kohlenstofftetrabromid nicht nur
die allgemeine Empfindlichkeit erheblich, sondern führt auch zu einem haltbareren Überzugsmaterial.
Die Entwicklung des belichteten Überzuges kann durch Eintauchen oder Besprühen mit irgend einem Lösungsmittel
aus einer Anzahl verschiedener Lösungsmittel oder Lösungsmittelkombinationen durchgeführt werden.
Im allgemeinen werden Lösungsmittel bevorzugt, welche die nichtbelichteten Bereiche des Überzuges
lösen, während sie gleichzeitig die belichteten Bereiche sehr wenig beeinflussen. Einige Lösungsmittel
besitzen diese erwünschte Eigenschaft, aber andere Lösungsmittel wirken zu stark und können nur verwendet
werden, wenn sie zuerst mit einem wenig wirksamen Lösungsmittel gemischt werden. Von den
bevorzugten Lösungsmitteln und Lösungsmittelmischungen sind die folgenden am geeignetsten:
Heißes Trichlorethylen (60 bis 700C)
Aceton
Aceton
Methyläthylketon/Äthylacetat (60:40)
Chloroform/Methylchloroform (50 : 50)
Chloroform/Methylchloroform (50 : 50)
Sobald der Überzug zu einem Rcüefbild entwickelt
ist, kann, wenn es erwünscht ist, ein Härter eingeführt werden, z.B. durch Eintauchen des Überzugs in eine
das Härtungsmittel enthaltende Lösung. Auf diese Weise können optimale Eigenschaften des Epoxidproduktes,
welches den Hauptbestandteil des Überzugs ausmacht, erhalten werden. Zwei Beispiele für Härtungsmittel,
die auf diese Art eingerührt werden können, sind die folgenden:
Eine 2%ige Lösung von Triäthylentetramin in Trichloräthylen, eine 2%ige Lösung von Methylendianilin
in Methyläthylketon/Äthylacetat (60 :40).
Ein 1 bis 2 Minuten lang dauerndes Eintauchen des Überzugs in eine der Lösungen und nachfolgendes so
Spülen mit einem Lösungsmittel war befriedigend. Auf diese Weise wurden die Erweichungstemperaturen
dieses Überzugs nach einer thermischen Härtung von 30 Minuten bei 160 von etwa 90 C für einen Überzug,
der nicht in eine ein Härtungsmittel enthaltende Lö- ss sung getaucht war, auf 175 C erhöht.
Wie: oben angegeben hängen die Reaktionsbedingungen zur Herstellung des ungesättigten Säurc-Amin-Epoxidharzproduktes
von dem Epoxidharz, ab. Es wurde: gefunden, daß für beste Ergebnisse zwei Para- (,0
meter kontrolliert werden sollten. Diese sind der Grad der Epoxidharz-Säurereaktion und das Molekulargewicht
des Produktes, das von der Epoxidharz-Mcthylendianilin-Aclditionsreaktion
resultiert. Nur die relativen Änderungen des Molekulargewichts sind von Bcdcu- <>s
lung, und deshalb genügt die Messung der Viskosiliit
der Rcaklionsmischung. Das Ausmaß der Epnxidharz-Sniirttreakiion
wire! bestimmt durch Titration mit einer alkoholischen Lösung einer standardisierten Base, beispielsweise
KOH. Der Bereich der Werte für jeden dieser Parameter wurde bestimmt für ein Epoxidharz,
welches ein Octaglycidyläther von Bisphenol-A-Formaldehyd-Novolak mit acht Epoxidgruppen je Molekül
ist, er kann jedoch auch leicht für andere Epoxidharze bestimmt werden. Die Kriterien, die erfüllt sein müssen,
um bestimmte Werte für beide Parameter zu erhalten, basieren auf der Untersuchung der Photopolymerisierbarkeit
des Produktes, wenn die Parameter variiert werden. Sowohl die Säure- wie auch die
Aminzugabe zu dem Epoxidmolekül beeinflussen die Lichtempfindlichkeit des Produktes. So sind, wenn zu
wenig von jeder Komponente in der Mischung vorhanden ist, nach Zugabe der Photosensibilisatoren
lange Belichtungszeiten mit ultraviolettem Licht erforderlich, wenn das Bild entwickelt wird. Eine zu
große Menge an zugegebenem Amin resultiert in Rückständen in den nichtbelichteten Bereichen des
Überzugs. So gibt es für jeden dieser Parameter einen Bereich von Werten, bei deren Einhaltung die Belichtungszeit
verkürzt wird, ein gut haftender Überzug hoher Integrität und genau definierte Bilder erhalten
werden.
Die Reihenfolge der Zugabe der ungesättigten Säure und des aromatischen Amins zu dem Epoxidharz
bei der Herstellung des Reaktionsproduktes können variiert werden. Es können entweder die Säure und
das Amin zu Beginn der Reaktion zugegeben werden, oder die Säure kann zuerst zugegeben werden, wobei
ein Großteil der Säure-Epoxidharzreaktion stattfindet, und dann erfolgt die Zugabe des Amins, und die
Amin-Epoxidharzreaktion läuft bis zu dem Endpunkt ab.
Es gibt mehrere Methoden, um die Geschwindigkeit der Säure-Epoxidreaktionen und der Amin-Epoxidreaktion
zu variieren. Die Lösungsmittelmenge, die in der Reaktion verwendet wird, und die Reaktionstemperatur
beeinflussen die Geschwindigkeit beider Reaktionen. Die Zugabe eines tertiären Aminkatalysators
wirkt spezifischer durch Beschleunigung der Säure-Epoxidreaktion, während die Menge nicht umgesetzter
Säure, die jederzeit während des Reaktionsverlaufs vorhanden ist, das Ausmaß der Amin-Epoxidreaktion
beeinflußt, da Säuren letztere Reaktionen katalysieren. Als tertiärer Amin-Katalysator kommt beispielsweise
ein in Lee and Neville »Handbook of Epoxy Resins« McGraw Hill 1967 in Tabelle 9.1 angegebenes
tertiäres Amin in Frage. Durch Auswahl der Konzentration, der Temperatur, der Menge des Katalysators,
der Menge ungesättigter Säure und der Reihenfolge der Zugabe der einzelnen Komponenten kann ein
photopolymerisicrbares Reaktionsprodukt unter verschiedenen Kontrollen und in verschiedenen Endformen
hergestellt werden. Um beispielsweise ein Produkt mit langer Lagerbeständigkeit herstellen zu
können, soll so wenig Säure und Amin wie möglich verwendet werden, damit kein Überschuß in dem
Reaktionsprodukt vorhanden ist. Die Photopolymerisicrbarkcit
des Produktes wird dann gesteigert durch die Zugabe eines der obenerwähnten ungesättigten
Monomeren.
Spezifische Formulierungen, die unter spezifischen Bedingungen hergestellt wurden, werden in den nachfolgenden
Beispielen angegeben. Einige typische Bereiche der Materialkonzcntrationen und der Endpunktparameter
bei Verwendung eines Epoxidharzes mit acht Epoxidgruppen je Molekül sind die folgenden:
Lösungsmittel 30 bis 200 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz
Acrylsäure 2 bis 16 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz
Methylendianilin 0,2 bis 1,5 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz
Tertiärer Aminkatalysator 0,05 bis 0,5 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz
Temperatur 50 bis 110uC
Reaktionszeit 2 Stunden bis 18 Tage
Säureverbrauch in dem Reaktionsprodukt 1,5 bis 4,5 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz
Ungesättigtes Monomer 3 bis 15 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz
t-Butylanthrachinon 1,5 bis 2,5 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz
Kohlenstofftetrabromid 1 bis 5 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz
Additive, die normalerweise in der Epoxidharztech- als »minimale Belichtungszeit« notiert. Für diese
nologie verwendet werden, können mit den photo- Mischung betrug die minimale Belichtungszeit 420 sec
polymerisierbaren Überzügen gemäß der Erfindung Die Lagerfähigkeit des Überzugs wurde bestimmt
verwendet werden. Additive, die jedoch offensichtlich 15 indem man den getrockneten Überzug bei Zimmerdrastisch entweder die Lichtabsorption des Überzugs temperatur in Abwesenheit von Licht beließ. Untei
oder das Photoresistmaterial beeinflussen, sollen ver- diesen Bedingungen fand eine langsame Vernetzung*
mieden werden. Wenn Additive verwendet werden reaktion statt, bis Bedingungen eintraten, daß bei dei
sollen, sollten sie vorzugsweise nach Herstellung des Bildentwicklung in Trichloräthylen ein durch Gel
Reaktionsproduktes zugegeben werden, um irgend- 20 bildung gebildetes Material in denjenigen Bereicher
welche möglichen schädlichen Einwirkungen auf die zurückblieb, die an sich löslich sein sollten. Die Zei
Reaktionsmechanismen zu verhindern. von der Trocknung des Überzugs bis zu dem Zeitpunkt
Unterlagen, auf die die photopolymerisierbaren bei dem Rückstände von durch Gelbildung gebildeten:
Überzüge aufgetragen werden können, sind irgend- Material beobachtet werden, wird als Lagerbeständig
welche Metalle, Kunststoffe, Glas oder andere Mate- 25 keit des Materials bezeichnet. Für diese Formulieruni
rialien, auf die Epoxidharze normalerweise aufgetragen betrug die Lagerbeständigkeit 24 Stunden.
W^denö -,.J^,-, Der Erweichungspunkt der Formulierung wurde ar
Der Bereich der Belichtungszeit und der Intensität dem Überzug gemessen nach einer 30 Minuten lan*
fur einen typischen photopolymerisierbaren Überzug dauernden Härtung bei 1600C. Der Erweichungspunk
kann aus den folgenden typischen Bedingungen er- 30 (Ts) war 90"C.
mittelt werden:
mittelt werden:
a) ein 0,0254 mm dicker Überzug wird aus einer
Entfernung von 76,2 cm mit einer Hochdruck- Zu der Lösur>g des Reaktionsproduktes, deren Her
Quecksilberlampe mit möglichst punktförmigem stellung im § 1 von Beispiel 1 beschrieben ist, wurder
Lichtbogen und 500 Watt für eine Dauer von 35 5 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz Kohlenstoff
20 bis 120 see belichtet. tetrabromid gegeben. Die minimale Belichtungszei
b) ein 0,0508 mm dicker Überzug wird unter den betrug 36° sec· Die Lagerbeständigkeit betrug 24 Stun
gleichen Bedingungen wie unter a) für eine Dauer ^en"
von 30 bis 160 see belichtet. ' Der Erweichungspunkt nach einer 30 Minuten lan*
c) ein 0,127 mm dicker Überzug wird unter den 4° dauernden Härtung bei 160"C war 90°C.
gleichen Bedingungen wie unter a) für eine Dauer B e i s η i e I 3
gleichen Bedingungen wie unter a) für eine Dauer B e i s η i e I 3
von 60 bis 340 see belichtet. μ
rv c r . . . . . . ,., , Zu der Lösung des Reaktionsproduktes, deren Her
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden stellung im § 1 von Beispiel beschrieben ist, wurder
Ausfuhrungsbeisp.ele naher erläutert. 45 2 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz t-Butylanthra
Beispiel 1 chinon und 5 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidhar;
.„ „ ... . . Kohlenstofftetrabromid gegeben. Die minimale Be
100 g Epoxidharz, welches ein Octaglycidyläther lichtungszeit war 60 see. Die Lagerbeständigkeit wa
von, B.sphenol-A-Formaldehyd-Novolak mit acht Ep- 24 Stunden. Der Erweichungspunkt nach einer 30 Mi
oxidgruppen je Molekült ist, werden in 200 g Chloro- 50 nuten lang dauernden Härtung bei 160"C war 90 C
form gclösi. 16 g Acrylsäure werden zugegeben, dann
läßt man die Mischung bei 50"C 12 Tage lang reagieren. Beispiel 4
Zu diesem Zeitpunkt war der Säureverbrauch 1,8 Ge- Proben, die wie im Beispiel 3 angegeben behandel
wichtsteile je 100 Teile Epoxidharz. 1,3 g Methylen- waren, wurden unmittelbar nach der Entwickluni
dianilin wurden zugegeben und die Temperatur 16 ^ 2 Minuten lang in eine 2%ige Lösung von Triäthylcn
Stunden lang bei 50 C gehalten. Die Viskosität betrug tetramin in Trichloräthylen getaucht und anschließen!
150 cSt· mit reinem Trichloräthylen gespült. Nach einer 30 Mi
Zu dieser Lösung des Reaktionsproduktcs wurden nuten lang dauernden Härtung bei 160"C wurde de
100 g Athylcnglykolmonomethylälhcr und 2 Gewichts- Erweichungspunkt gemessen und betrug 175C.
teile je 100 Teile Epoxidhar/. t-Butylanthrachinon (*,
gegeben. Die Mischung wurde auf eine Unterlage Beispiel 5
aus Kupfer aufgetragen, eine Stunde lang bei 50"C
aus Kupfer aufgetragen, eine Stunde lang bei 50"C
getrocknet, wobei ein 0,0254 mm dicker Überzug er- 100 g Epoxidharz, welches ein Octaglycidyliithcr voi
hallen wurde, und durch einen Stul'enkcil aus einer Bisphcnol-A-Formaldchyd-Novolak mit acht F.poxid
Entfernung von 76,2 cm mit der obenerwähnten 500- 1,5 gruppen je Molekül ist, wurden in 200 g Chlorororn
Watl-l.ampc belichtet. Die Belichtungszeit, bei der ein gelöst. Zu dieser Lösung wurden 0,8 g Mcthylcndianilii
brauchbares Bild nach einer 2 Minuten lang dauernden gegeben und in derselben gelöst. 16 g Acrylsäure wurdi
Entwicklung in Trichlorälhylen erhalten wurde, wurde zugegeben. Dk- Mischung wurde Π Ί ;ιμο lang au
SO"C erhitzt. Nach Zugabe von 2 Gewichtsteilen je
100 Teile Epoxidharz t-Butylanthrachinon und 5 Gewichtsteilen je 100 Teile Epoxidharz von Kohlenstofftetrabromid
wurde gefunden, daß die minimale Belichtungszeit 60 sec und die Lagerbeständigkeit 48
Stunden betrugen.
9,6 kg Epoxidharz, welches ein Octaglycidyläther von Bisphenol-A-Formaldehyd-Novolak mit acht
Epoxidgruppen je Molekül ist, wurden in 19,2 kg Chloroform in einem 45,4 1 fassenden Reaktor gelöst.
Zu dieser Lösung wurden 76,8 g Methylendianilin gegeben, und es wurde gewartet, bis alles gelöst war.
Dann wurden 1,536 kg Acrylsäure zugegeben. Die Mischung wurde 11 Tage unter langsamem Rühren
auf 500C gehalten, wobei das Produkt erhalten wurde. Der Säureverbrauch des Produktes war 2,1 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz und die Viskosität betrug
170 cSt. Mit 2 Gewichtsteilen je 100 Teilen Epoxidharz t-Butylanthrachinon und 5 Gewichtsteilen je
100 Teile Epoxidharz Kohlenstofftetrabromid betrug die minimale Belichtungszeit 60 sec, wenn sie wie im
Beispiel 1 gemessen wurde. Die Lagerbeständigkeit betrug 48 Stunden.
Nach Verdünnung mit Äthylenglykolmonoäthylätheracetat wurden auf Schaltkarten mit Abmessungen
von 30,48 X 38,1 cm Überzüge auf beiden Seiten aufgesprüht zu einer Trockenüberzugsdicke von
0,0635 mm bis 0,0762 mm. Die Schaltkarten wurden durch ein Bildmuster belichtet, welches Photopolymerisation
in allen Bereichen gestattete, außer über den durchplattierten Öffnungen über dem verbreiterten
Teil der Leiterzüge, über denen das Material während der Entwicklung entfernt werden sollte. Die Entwicklung
wurde durchgeführt durch 3 Minuten dauerndes Besprühen der Karten mit heißem Trichloräthylen
(650C). Unmittelbar nach der Entwicklung wurden die Karten eine Minute lang in eine 2%ige Lösung von
Triäthylentetramin getaucht und anschließend mit heißem Trichloräthylen gespült. Die Karten wurden
nach der Entwicklung und Anwendung der das Härtungsmittel enthaltenden Lösung 30 Minuten lang bei
16O0C gehärtet. Die gehärteten Karten wurden einem Lötprozeß bei 249"C unter Anwendung eines Lötflußmittels
unterworfen, ohne daß Beschädigungen auftraten.
Das Material, das gemäß Beispiel 6 hergestellt wurde,
wurde auf ein Glasfaser-Harz-Laminat, welches zur stromlosen Kupferabscheidung vorgesehen war, aufgetragen.
Zur Herstellung eines Schaltkreismusters auf
dem beschichteten Laminat wurde dasselbe belichtet, entwickelt, mit einem Härtungsmittel behandelt und
gehärtet, wobei das Verfahren von Beispiel 6 angewendet wurde. Die Laminate wurden dann zur stromlosen
Kupferplattierung in ein kupferionenhaltiges Bad gegeben und 24 Stunden darin gelassen. Ein brauchbares
Schaltkreismuster wurde abgeschieden, ohne daß Beschädigungen an dem photopolymerisierten Überzug
auftraten.
100 g Epoxidharz, welches ein Octaglycidyläther von Bisphenol - A - Formaldehyd - Novolak mit acht
Epoxidgruppen je Molekül ist, wurden in 150 g Chloroform gelöst. 0,4 g Methylendianilin und 16 g
Acrylsäure wurden zu der Lösung gegeben, und die Reaktion wurde 5 Tage lang bei 60°C unter Erhalt
des Produktes durchgeführt Der Säureverbrauch war 2,1 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz und die
Viskosität betrug 442 cSt Zu dem Produkt wurden 2 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz t-Butylanthrachinon
und 5 Gewichtsteüe je 100 Teile Epoxidharz Kohlenstofftetrabromid gegeben. Das Produkt
wurde dann mit Äthylenglykolmonoäthylätheracetat verdünnt und mittels Versprühen auf eine Kupferfolie
zu einer Trockenschichtdicke von 0,0635 mm (nach einstündigem Trocknen bei 50°C) aufgetragen. Die
minimale Belichtungszeit dieses Produktes, gemessen wie im Beispiel 1, betrug 60 sec. Die Entwicklung
3c dauerte 90 see und erfolgte mit einer Mischung aus
Methyläthylkcton/äthylacetat (Volumenverhältnis 60 : 40). Dabei ergab sich ein Auflösungsmuster des Bildes
von 0,0508 mm breiten Linien mit 0,0508 mm Abständen zwischen denselben. Die Lagerbeständigkeit
betrug 48 Stunden.
Zu 400 g Epoxidharz, welches ein Octaglycidyläther von Bisphenol-A-Formaldehyd-Novolak mit acht
Epoxidgruppen je Molekül ist, wurden 120 g Chlorbenzol zugegeben. Die Mischung wurde auf 110 C
erhitzt, wobei nach einer halben Stunde eine klare Lösung erhalten wurde. Während die Lösung bei
110"C gehalten wurde, wurden 10 g Acrylsäure und 1,2 g Methylendianilin zugefügt. Das Reaktionsprodukt
wurde nach 3,5stündigem Erhitzen erhalten. Zu Teilen des Reaktionsproduktes wurden 3 Gewichtsteile je
100 Teile Epoxidharz Kohlenstofftetrabromid und 2 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz t-Butylanthra-
so chinon und verschiedene Typen ungesättigter Monomerer
gegeben. Die Empfindlichkeit wurde wie im Beispiel 1 angegeben bestimmt. In Tabelle 1 sind die
Ergebnisse zusammengefaßt.
Freies Monomer
Menge in Gcwichtstcilcn je 100 Teile
Epoxidharz
Epoxidharz
Minimale
Belichtungszeit
in see
Belichtungszeit
in see
Kontrollmessung
Polyäthylenglykoldiacryliit
Acrylsäure
Pcntacrythrittctnicrylat
Äthylenglykolmclhacrylat
Acrylamid*)
*) Acrylamid wurde zu der Mischung gegeben und dieselbe wurde /um Losen 30 Minuten l;ing
auf 60 C erhitzt.
0 | 600 |
5 | 40 |
15 | 60 |
K) | 60 |
10 | 40 |
5 | 40 |
13 14
BeisDiel 10 anthrachinon, 3 Gewichtsteilen je 100 Teile Epoxid-
harz KohlenstofTtetrabromid und 10 Gewichtsteilen je
400 g Epoxidharz, welches ein Octaglycidyläther 100 Teile Epoxidharz ungesättigtes Monomer, PoIy-
von Bisphenol - A - Formaldehyd - Novolak mit acht äthylenglykoldiaciylat. Die Mischung wurde auf eine
Epoxidgruppen je Molekül ist, wurden in 100 g 5 .Kupferunterlage aufgetragen, eine Stunde lang bei
Chloroform gelöst. 2,4 g 4,4'-Methylendianilin wurden 50°C getrocknet, wobei ein 0,03810 mm dicker Überzug
zu der Lösung gegeben und gelöst. 9,0 g Acrylsäure erhalten wurde, und durch einen Stufenkeil aus einer
(Gehalt 98,41 %) wurden hinzugefügt. Die Mischung Entfernung von 76,2 cm mit der oben beschriebenen
wurde auf 60"C gebracht und eine Zeit lang auf dieser 500-Watt-Lampe belichtet. Die Zeit, die erforderlich
Temperatur gehalten. io war, um ein brauchbares Bild nach einer 2 Minuten
Der Mischung wurden zu verschiedenen Zeiten dauernden Entwicklung in heißem Trichlorethylen zu
Proben entnommen, um den Säureverbrauch, die Vis- erzeugen, wurde als minimale Belichtungszeit notiert,
kosität und die Empfindlichkeit zu bestimmen. Die In der nachfolgenden Tabelle 2 sind die Resultate
Empfindlichkeit wurde bestimmt durch Hinzufügen angegeben, die bei verschiedenen Zeiten erhalten
von 2 Gewichtsteilen je 100 Teile Epoxidharz t-Butyl- 15 wurden, bis die Reaktionen beendet waren.
Säureverbrauch in Gewichtsteilen je 100 Teile Epoxidharz Viskosität in cSt
Minimale Belichtungszeit in see
Minimale Belichtungszeit in see
Beispiel 1 wurde wiederholt unter Anwendung der 30 betrug die minimale Belichtungszeit 35 see und der
dort verwendeten Materialien und Bedingungen mit Säureverbrauch 2,2 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxid-
der Ausnahme, daß ein tertiärer Amin-Katalysator harz. Die Lagerbeständigkeit der Formulierung in
Benzyldimethylamin zu der Reaktionsmischung in Form eines Überzugs bei Zimmertemperatur war
einerMenge von 0,2 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxid- größer als 1 Monat,
harz gegeben wurde. Nach 42 Stunden Reaktionszeit 35
harz gegeben wurde. Nach 42 Stunden Reaktionszeit 35
100 g Epoxidharz, welches ein Octaglycidyläther wurde 4 Stunden lang auf 650C erhitzt. Zu dieser
von Bisphenol - A - Formaldehyd - Novolak mit acht 4° Zusammensetzung wurden 1,5 Gewichtsteile je 100
Epoxidgruppen je Molekül ist, wurden in 100 g Teile Epoxidharz t-Butylanthrachinon, 3,0 Gewichts-
Chioroform gelöst. Zu dieser Lösung wurden 8 g teile je 100 Teile Epoxidharz Kohlenstofftetrabromid
Acrylsäure und 0,15 g Benzyldimethylamin gegeben. und 5 Gewichtsteile je 100 Teile Epoxidharz PoIy-
Die Mischung wurde 16 Stunden lang auf 65"C erhitzt; äthylenglykoldiacrylat gegeben. Als minimale Beanschließend
wurde 1 g Methylendianilin, gelöst in 45 lichtungszeit wurden 120 see beobachtet. Die Lager-
50 g Chloroform, zugefügt Die Gesamtmischung beständigkeit betrug 2 Wochen.
Reaktionszeit bei 60"C, | 88 | in Stunden | 136 |
64 | 1,2 | 112 | 1,6 |
0,9 | 1420 | 1,4 | 2075 |
1290 | 100 | 1690 | 30 |
160 | 60 | ||
Beispiel 11 | |||
Claims (14)
1. Verfahren zur Herstellung von photopolymcrisierbaren Überzügen, be: dem ein Epoxid-Prepolymer
mit mindestens zwei Epoxidgruppen je Molekül mit einer agif-äthylenisch-ungesättigten
Carbonsäure umgesetzt, dem Reaklionsprodukt ein Photosensibilisator zugesetzt und die erhaltene
Zusammensetzung auf eine Unterlage aufgetragen ι ο wird, dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig
mit der, oder anschließend an die Umsetzung des Epoxids mit der a^-äthylenisch-ungesättigten
Carbonsäure eine Additionsreaktion zwischen dem Epoxid und einem primären aromatischen
Amin durchgeführt wird und daß dem Reaktionsprodukt als Photosensibilisator ein Gemisch
aus einem ggf. substituierten Anthrachinon und einer organischen Halogenverbindung zugesetzt
wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Umsetzung des Epoxids mit der
aJJ-äthylenisch-ungesättigten Carbonsäure und
dem primären aromatischen Amin in Gegenwart eines tertiären Amin-Katalysators durchgeführt
wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Reaktionsprodukt des Epoxids
mit der a^S-äthylenisch-ungesättigten Carbonsäure
und dem primären aromatischen Amin weitere ungesättigte Monomere zugesetzt werden.
4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurrch gekennzeichnet, daß das verwendete
Epoxid-Prepolymer acht Epoxidgruppen je Molekül enthält.
5. Verfahren nach den Ansprüchen 1, 2 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Epoxid-Prepolymeres
ein Polyglycidyläther von o-Kresol-Formaldehyd-Novolak, ein Polyglycidyläther des Tetraphenyläthans
oder ein Octaglycidyläther von 2,2 - (4,4' - Dihydroxydiphenyl) - dimethylmethan-Formaldehyd-Novolak
verwendet wird.
6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2 dadurch gekennzeichnet, daß als a-^-äthylenischungesättigte
Carbonsäure Acrylsäure oder Methacrylsäure verwendet wird.
7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2 dadurch gekennzeichnet, daß als primäres aroma
tisches Amin Anilin, m-Phenylendiamin, Diamino toluol oder Methylendianilin verwendet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß als organische Halogenverb.ndunj
des Photosensibilisators Kohlenstofftetrachlorid Kohlenstofftetrabromid oder Bromoform verwen
det wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Anthrachinonbestandteil de;
Photosensibilisators Anthrachinon, 2-Methyl- odei t-Butylanthrachinon verwendet wird.
10. Verfahren nach den Ansprüchen 1, 8 und 9. dadurch gekennzeichnet, daß als Photosensibilisatoi
eine Mischung aus t-Butylanthrachinon und Kohlenstofftetrabromid verwendet wird.
11. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß als weitere ungesättigte Monomere Acrylsäure, Polyäthylenglykoldiacrylat, Pentaerythrittetracrylat,
Äthylenglykolmethacrylat odei Acrylamid zugesetzt werden.
12. Verfahren nach den Ansprüchen 1, 2 unc 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß 2 bis 16 Ge
wichtsteile a-^-äthylenisch-ungesättigte Carbon
säure mit 100 Gewichtsteilen Epoxid-Prepolymei umgesetzt werden.
13. Verfahren nach den Ansprüchen 1, 2 und 7 dadurch gekennzeichnet, daß 0,2 bis 1,5 Gewichts
teile primäres aromatisches Amin mit 100 Gewichts teilen Epoxid-Prepolymer umgesetzt werden.
14. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 8 bi; 10, dadurch gekennzeichnet, daß 1 bis 7,5 Gewichts
teile Photosensibilisator auf 100 Gewichtsteile Epoxid-Prepolymer eingesetzt werden.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US42687773A | 1973-12-20 | 1973-12-20 | |
US42687773 | 1973-12-20 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2459179A1 DE2459179A1 (de) | 1975-06-26 |
DE2459179B2 DE2459179B2 (de) | 1977-04-21 |
DE2459179C3 true DE2459179C3 (de) | 1977-12-29 |
Family
ID=
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