DE2429705B2 - Schottky-Diode und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents
Schottky-Diode und Verfahren zu ihrer HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Schottky-Diode entsprechend dem Oberbegriff des Anspruches 1. Sie
-'"> bezieht sich weiterhin auf ein Verfahren zur Herstellung
einer derartigen Diode.
Eine Schottky-Diode dieser Art ist bekannt aus dem Aufsatz »Low-Power Bipolar Transistor Memory Cells«
von D. A. Hodges et al in »IEEE Journal of Solid State
ι» Circuits«, Band Sc-4, Nr. 5, October 1969, S. 280-284.
Der Aufsatz beschreibt die Anwendung einer Schottky-Diode mit niedriger Barriere, die durch Rhodiumsilicid
auf einem implantierten Teil eines p-leitenden Siliciumkörpers gebildet ist. Dieser Teil weist eine Tiefe von
i'> 0,65 μιτι (650 nm) auf und wird durch Borimplantation in
die η-leitende epitaktische Schicht der monolithischen integrierten Schaltung gebildet. Die Quelle weist eine
Oberflächendotierung von 5 · 1016 Atome/cm'und eine
Spitzendotierung von 1017 Atome/cm! auf. Diese
w Schottky-Diode mit niedriger Barriere weist eine
schlechte Sperrkennlinie auf. Die Diode wird dazu benutzt, einen kompakten Widerstand von 20 kOhm zu
erhalten, der einen Strom von 50 μΑ bei 1 V durchläßt.
Aus »IEEE Transactions on Electron Devices«, Vol.
■»■"· ED-19, Febr. 1972, S. 267-273, ist eine Kapazitätsdiode
mit einem Schottky-Kontakt auf einer implantierten Oberflächenschicht bekannt. Diese Oberflächenschicht
dient zur Verbesserung der Kapazitäts-Spannungskennlinie, wobei sich die Erschöpfungsschicht bei zunehmen-
><> der Sperrspannung allmählich weiter in die Oberflächenschicht
ausdehnt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Schottky- Diode der eingangs genannten Art so auszubilden, daß für ein
gegebenes Metall-Halbleitersystem die effektive Höhe
">"> der Schottky-Barriere praktisch ohne Verschlechterung
der Sperrkennlinie innerhalb gewisser Grenzen beliebig bestimmt werden kann.
Diese Aufgabe wird bei einer Schottky-Diode nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 erfindungsgemäß
hl> durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1
angegebenen Merkmale gelöst.
Die Schottky-Barriere einer derartigen Anordnung im Vergleich zu der Schottky-Barriere, die die
Metallelektrode mit dem genannten Teil des Halbleiter-
·>■> körpers in Abwesenheit der flachen Oberflächenschicht
bilden würde, weist eine gesteigerte oder erniedrigte Höhe der Barriere auf, je n»ch den relativen
Leitungstypen der Dotierung der fachen Oberflächen-
schicht und der Dotierung des genannten Teiles des Halbleiterkörpers. Obgleich im aligemeinen die Größe
des Sperrstroms geändert werden wird, ist die Neigung der Sperrstrom-Spannungskennlinie nicht wesentlich
verschieden und die Durchschlagspannung in der Sperrichtung wird nicht beträchtlich herabgesetzt. Die
Änderung der effektiven Höhe der Barriere wird dadurch erhalten, daß das elektrische Feld an der
Oberfläche des Halbleiters gesteuert wird. Die Größe dieses Oberflächenfeldes wird praktisch durch die
Gesamtaiizahl effektiv wirksamer Dotierungsatome in der flachen Oberflächenschicht bestimmt. Es sei betont,
daß der betreffende physikalische Mechanismus von einem anderen Mechanismus ganz verschieden ist, der
kleine Änderungen in der Höhe der Barriere durch Änderung der Anzahl Oberflächenzustände an der
Metall-Halbleiter-Grenzfläche herbeiführt, z. B. dadurch,
daß die Halbleiteroberfläche vor der Ablagerung der Metallelektrode gereinigt wird
Derartige Schottky-Sperrschichten lassen sich in verschiedenen Strukturen verwenden. In diskreten
Schottky-Dioden oder in integrierten Schaltungen, wie
logischen Schaltungen, die integrierte Schottky-Barrieren enthalten, kann also die effektive Höhe der Barriere
einer besonderen technisch günstigen Metall-Halbleiter-Sperrschichtkombination auf einen gewünschten
Wert für die betreffende Schaltungsanwendi:ng eingestellt werden. Die Größe des Leckstromes in Sperrichtung
unterhalb des Durchschlags kann durch Wahl der Dotierung der flachen Oberflächenschicht eingestellt
und so zum Bilden einer praktisch konstanten Stromquelle benutzt werden. Bei Schottky-Sperrschichtgleichrichtem
für hohe Leistungen kann eine erniedrigte effektive Höhe der Sperre für eine bestimmte Metall-Halbleiter-Kombination zu der Herabsetzung
der Durchlaßspannung beitragen. Weiter kann eine erniedrigte effektive Höhe der Barriere
infolge des Vorhandenseins der flachen Oberflächenschicht zu der Verringerung der Gefahr vor Durchbrennen
in Hochleistungs-Schottky-Dioden beitragen. Im letzteren Falle wird angenommen, daß, wenn örtlich ein
heißer Punkt in der Diode vorhanden ist und das Metall der Elektrode örtlich durch die genannte flache
Oberflächenschicht bis zu dem genannten Teil des Halbleiterkörpers vordringt, die Höhe der Barriere an
der Stelle dieses heißen Punktes die erniedrigte effektive Höhe der Barriere an anderen Stellen
überschreitet und also ein örtliches Ausschalten an der Stelle des heißen Punktes bewirkt.
Vorzugsweise ist der Dotieriingspegel des Teiles des
Halbleiterkörpers genügend niedrig (z. B. höchstens in der Größenordnung von 10" Dotierungsatomen/cmJ),
um in der Sperrichtung einen Sättigungsstrom mit einem (für die Durchschlagspannung unterschreitende
Sperrspannungen) praktisch spannungsunabhängigen Wert zu erhalten.
Durch Wahl der Dotierung der flachen Oberflächenschicht kann das Ausmaß der Erniedrigung oder der
Steigerung der Höhe der Barriere leicht bestimmt werden. Bei einer bevorzugten Ausführungsform
beträgt der Dotierungspegel der flachen Oberflächenschicht mindestens 5 ■ to" Dotierungsatome/cmJ und
ist mindestens zwei Größenordnungen höher als der Dotierungspegel des genannten Teiles des Halbleiterkörpers.
Die effektive Höhe der Barriere kann leicht um mindestens 0,15 eV geändert werden. Sie kann z. B. um
mehr als 0,2 cV erniedrigt werden. Es wird schwierig sein, denselben Erniedrigungsbetrag lediglich durch
Erhöhung der Dotierung des Halbleiterkörpers zu erreichen, weil im allgemeinen eine derart hohe
Dotierung notwendig wäre, daß die Barriere eine sehr ι niedrige Durchschlagspannung, l. B. von etwa 1 V für
eine Metall-Silicium-Barriere aufweisen würde. Nach der vorliegenden Erfindung ist aber die Höhe von
Schottky-Barrieren, die durch Nickel auf n-Silicium gebildet sind, um sogar 0,3 eV unter Beibehaltung einer
in Durchschlagspannung von mehr als 35 V erniedrigt.
Wenn die Dotierung der flachen Oberflächenschicht den gleichen Leitungstyp wie die des darunterliegenden
Teiles des Halbleiterkörpers aufweist, ist die effektive Höhe der Barriere niedriger als die Höhe der Barriere,
Γι die die Metallelektrode mit diesem Teil des Halbleiterkörpers
beim Fehlen der flachen Oberflächenschicht bilden würde. Es wird angenommen, daß diese
Erniedrigung der Höhe der Barriere sowohl auf Tunnelung als auch auf Herabsetzung der Bildkraft
_>u zurückzuführen ist im ersteren Falle sind infolge der
höheren Dotierung und der geringen Tiefe der flachen Oberflächenschicht die Halbleiterenergiebänder in der
Nähe der Metallelektrode stark gekrümmt, so daß die Barriere genügend eng ist, um Tunnelung von
_>-. Ladungsträgern herbeizuführen.
Wenn die Dotierung der flachen Oberflächenschicht einem dem der Dotierung des unterliegenden Teiles des
Halbleiterkörpers entgegengesetzten Leitungstyp aufweist, ist die effektive Höhe der Barriere größer als die
tu Höhe der Barriere, die die Metallelektrode mit diesem Teil des Halbleiterkörpers beim Fehlen der flachen
Oberflächenschicht bilden würde. Diese Zunahme der effektiven Höhe der Barriere ist auf ein Diffusionspotential
zwischen den Gebieten entgegengesetzter
r> Leitungstypen in Reihe mit der Barriere /urückzuführen.
Das Dotierungsmaterial kann in den Teil des Halbleiterkörper durch indirekte Implantation (recoil
implantation) aus einer das Dotierungsmaterial enthal-
■iii tenden Schicht implantiert werden, welche Schicht auf
der Oberfläche des Teiles des Körpers gebildet und mit Ionen beschossen wird, um die indirekte Implantation
durchzuführen.
Der loncnbeschuß kann aber auch mit Dotierungs-
Γι ionen erfolgen, die direkt in den betreffenden Peil des
Körpers implantiert werden. Die Dotierungsionendosis wird in Übereinstimmung mit der erforderlichen Höhe
der Barriere gewählt und kann in der Größenordnung von 1012 Dotierungsionen/cm2 liegen. Der Dotierungs-
iii pegel der flachen Oberflächenschicht, die durch
Ionenimplantation gebildet ist, kann aus der lonendosis
und der Tiefe der flachen Oberflächenschicht ermittelt werden, die durch den Bereich im Halbleiterkörper der
Ionen mit der betreffenden gewählten Energie bestimmt
r> wird. Für Ionendosen von 1012—1013 Dotierungsionen/
cm2, die zur Bildung einer flachen Oberflächenschicht mit einer Tiefe von höchstens 15 nm implantiert sind,
liegt der Dotierungspegel der gebildeten Schicht in der Größenordnung von etwa 1018—1019 Dotierungsato-
Wi men/cm3, d. h. erheblich höher als die Dotierungspegel,
die gewöhnlich für den genannten Teil des Halbleiterkörpers gewählt werden und in der Regel in der
Größenordnung von 1015 Dotierungsatomen/cmJ liegen.
hi Einige Ausführungsformen der Erfindung sind in der
Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigt
Fig. I schematisch die Sperrspannungskennlinien
Fig. I schematisch die Sperrspannungskennlinien
einer üblichen Schottky-Barriere, einer infolge erhöhter Dotierung des Halbleiterkörpers erniedrigten Schottky-Barriere
und einer Schottky-Barriere in einer Diode nach der vorliegenden Erfindung,
Fig. 2 einen schematischen Schnitt durch einen Halbleiterkörper während der Herstellung einer Schottky-Diode
nach der vorliegenden Erfindung unter Verwendung von Ionenimplantation,
F i g. 3 einen schematischen Schnitt durch einen Halbleiterkörper während der Herstellung einer Schottky-Diode
nach der vorliegenden Erfindung unter Verwendung von indirekter Implantation,
Fig.4 einen schematischen Schnitt durch eine Schottky-Diode nach der vorliegenden Erfindung,
Fig.5 einen schematischen Schnitt durch eine Halbleiteranordnung während der Herstellung einer
anderen Schottky-Diode nach der vorliegenden Erfindung,
F i g. 6 eine graphische Darstellung eines Teiles der Durchlaß- und Sperrkennlinien verschiedener Schottky-Barrieren
aus Nickel auf n-Silicium, die unter Verwendung des in den Fig.2 und 4 veranschaulichten
Verfahrens hergestellt sind,
F i g. 7 eine graphische Darstellung der Zu- und Abnahme der effektiven Höhe der Barriere als Funktion
der implantierten Ionendosis,
Fig.8 eine Darstellung eines Teiles der Durchlaß-
und Sperrkennlinie verschiedener Schottky-Barrieren aus Nickel auf p-Silicium, die unter Verwendung des in
Fig. 5 veranschaulichten Verfahrens hergestellt sind, und
Fig.9 einen schematischen Schnitt durch einen Halbleiterkörper einer weiteren Schottky-Diode nach
der vorliegenden Erfindung.
Ir bezeichnet in Fig. 1 den Sperrstrom in Ampere,
der über die Barriere bei angelegter Sperrspannung Vr
in Volt fließt. Die Kurve 1 zeigt die Sperrkennlinie einer üblichen Schottky-Diode. Ein Beispiel einer derartigen
Barriere ist eine Nickelelektrode auf einer n-leitenden epitaktischen Schicht mit einer Donatordotierung von
etwa 5 · ΙΟ14 Atomen/cm3. Eine derartige Schottky-Barriere
weist eine hohe Durchschlagspannung Vb 1, z. B. von etwa 60 V, auf. Unterhalb des Durchschlags
wird der Sperrstrom auf einen praktisch konstanten Wert von z. B. 90 nA gesättigt. Eine übliche Schottky-Barriere
aus Nicke! auf n-Silicium weist eine Höhe von etwa 0,59 eV auf.
Durch Anwendung desselben Metalls und durch Erhöhung der Dotierung der epitaktischen Schicht, z. B.
auf etwa 10"» Atome/cm3, kann die Höhe einer üblichen
Barriere im spannungslosen Zustand um etwa 0,09 eV erniedrigt werden. Die Kurve 2 zeigt aber den Effekt
dieser erhöhten Dotierung auf die Sperrkennlinie der Barriere. Es sei bemerkt, daß die Durchschlagspannung
Vn2 viel geringer als VB\ ist und daß der Sperrstrom Ir
unterhalb des Durchschlags mit der angelegten Spannung Vr erheblich zunimmt Eine derartig verschlechterte
Sperrkennlinie ist bei Anwendung in vielen Schaltungen für eine Schottky-Barriere unerwünscht.
Daher wird meist ein anderes Metall statt einer anderen Halbleiterdotierung verwendet, um eine andere Höhe
der Schottky-Barriere zu erhalten.
Die Kurve 3 in F i g. 1 zeigt die Sperrkennlinie einer
Schottky-Barriere mit einer effektiven Höhe, die um etwa 0,09 eV im Vergleich zu der üblichen Diode der
Kurve 1 erniedrigt und durch das erfindungsgemäße Verfahren erhalten ist. Die Durchschlagspannung Ve 3
ist weniger als 20% niedriger als Vg 1 und der
Sperrstrom /« unterhalb des Durchschlags wird au einen praktisch konstanten Wert gesättigt, der um ein
Größenordnung höher als der der Kurve 1 ist. Di Neigung der Sperrkennlinie unterhalb des Durchschlag
τ ist im Vergleich zu der Kurve 1 nicht wesentlich erhöht.
An Hand der Fig. 2 und 4 wird nun die Herstellun
einer Schottky-Diode nach der vorliegenden Erfindung
beschrieben.
Der in den F i g. 2 und 3 gezeigte Halbleiterkörper
κι enthält eine η-leitende epitaktische Schicht 10 auf einem
η-leitenden einkristallinen Substrat 11 mit hoher Leitfähigkeit. Der Körper kann z. B. aus Silicium
bestehen und die epitaktische Schicht 10 kann z. B. einen spezifischen Widerstand von etwa 5 Ohm · cm aufwei-
r> sen, was einer Donatordotierung von etwa 1015AtO
men/cm1 entspricht.
Auf übliche Weise wird eine Isolierschicht 12 auf der
Oberfläche der epitaktischen Schicht 10 erzeugt. Ein Fenster 13 wird in der Schicht 12 an der Stelle
2(i angebracht, an der die Schottky-Barriere gebildet
werden muß. Die Schicht 12 kann aus Siliciumoxid mi einer Dicke von etwa 200 nm bestehen.
Auf dieser epitaktischen Schicht 10 könnte eine übliche Schottky-Barriere dadurch gebildet werden, daß
y< eine z. B. aus Nickel bestehende Metallschichtelektrod<
in dem Fenster 13 angebracht wird. Nach dei vorliegenden Erfindung wird aber eine andere Höhe dei
Sperre dadurch erhalten, daß ein Dotierungsmaterial in dem Fenster 13 in eine flache Oberflächenschicht 14 mit
)" praktisch gleichmäßiger Tiefe implantiert wird.
Diese Implantation kann dadurch erfolgen, daß dei Halbleiterkörper mit einem Dotierungsionenstrahl mit
niedriger Energie beschossen wird, wie mit den Pfeilen in F i g. 2 angegeben ist. Zum Erhalten einer Schottky
ir> Barriere mit einer niedrigeren Höhe werden Donator
ionen in die η-leitende epitaktische Schicht implantiert Die Ionenmasse und die lonenstrahlenergie werder
derart gewählt, daß die Tiefe der gebildeten implantier ten Schicht 14 höchstens etwa 15 nm beträgt. So können
«ι z. B. Antimonionen mit einer Energie von etwa lOkeV
als Donatorionen für Implantation in Silicium verwen
det werden. Die lonendosis wird entsprechend den gewünschten Barrierenherabsetzungsgrad gewählt. So
liegen für Barrieren aus Nickel auf n-Silicium di<
4"> verwendeten Dosen im Bereich von 1012—1013 Dona
torionen/cm2. Die Isolierschicht 12 weist eine genügen de Dicke auf. um den unterliegenden Halbleiter geger
Implantation zu maskieren, so daß Implantation in die epitaktische Schicht 10 nur im Fenster 13 auftreter
ν kann.
Die Oberfläche der epitaktischen Schicht im Fenste 13 wird vor der Implantation z. B. durch Ätzen it
verdünnter Fluorwasserstoffsäure und durch Wascher in Alkohol gereinigt, um Oxidbildung zu verhindern
■" Nach der Implantation wird die implantierte Struktu
z. B. durch Erhitzung im Vakuum auf 750° C während Ii
Minuten ausgeglüht. Die Oberfläche der flacher implantierten Oberflächenschicht 14 wird anschließen
durch Ätzen und Waschen mit Alkohol weiter gereinigt
wi wonach eine Metallelektrode 15, z. B. aus Nickel
angebracht wird. Die Elektrode 15 kann dadurct gebildet werden, daß bei Zimmertemperatur Nickel au
die Isolierschicht 12 und die Oberflächenschicht U aufgedampft und dann die Konfiguration der Elektrode
ftl> 15 durch Ätzen definiert wird. Die erhaltene Struktur is
in Fig.4 dargestellt. Die Elektrode 15 bildet mit de
epitaktischen Schicht 10 eine Schottky-Barriere mi einer Höhe, die durch die Dotierung der flacher
Oberflächenschicht 14 und eine Sperrkennlinie vom durch die Kurve 3 in F i g. 1 angegebenen Typ bestimmt
wird.
Die Darstellung nach F i g. 6 zeigt einen vergrößerten Teil der Durchlaßkennlinien 21F und 22F und der
Sperrkennlinien 21/? und 22/? unterhalb des Durchschlags von zwei Schottky-Barrieren 21 und 22, die
durch ein lonenimplantationsverfahren unter Verwendung von η-leitenden epilaktischen Schichten 10 mit
einer Donatordotierung von 5 · 10u Atomen/cm3 hergestellt
sind. Die Kurven entsprechen den folgenden Antimonionendosen und -energien:
Kurven 21 Fund 21/?-5
Kurven 22Fund 22/? - 2
Kurven 22Fund 22/? - 2
10i2/cm2beil0keV
10'*/cm2beil0keV
10'*/cm2beil0keV
Die Kurven 23F und 23/? sind die Kurven für eine Referenz-Schottky-Barriere 23, die auf einer n-leitenden
epitaktischen Schicht 10 mit einer Dotierung von 5 · 1014 Donatoratomen/cm3 hergestellt ist, wobei
jedoch die zusätzliche flache implantierte Oberflächenschicht fehlt. Eine derartige Diode ist vom üblichen Typ,
deren ganze Sperrkennlinie von dem durch die Kurve 1 in F i g. 1 angegebenen Typ ist.
All diese Barrieren 21, 22 und 23 wurden durch eine Nickelelektrode 15 in einem runden Kontaktfenster 13
mit einem Durchmesser von 100 μιη gebildet.
Bei einer Antimonionenenergie von lOkeV ist die
Tiefe der gebildeten implantierten η+ -Schicht 14 praktisch gleichmäßig und beträgt etwa 10 nm. Dies ist
genügend flach, um zu gewährleisten, daß die Erschöpfungsschicht der Barriere im spannungslosen Zustand
sich bis jenseits der Implantation für Kurven 21 Fund R und 22F und /? und in der epitaktischen Schicht 10
erstreckt. Im spannungslosen Zustand ist die flache implantierte Oberflächenschicht 14 also in bezug auf
Ladungsträger erschöpft. Infolgedessen ist die Neigung der Sperrkennlinie durch die Dotierung der epitaktischen
Schicht 10 bestimmt und von dem Vorhandensein der implantierten Schicht 14 praktisch unabhängig.
Die für diese drei Schottky-Barrieren 21, 22 und 23 gemessenen Potentiale betrugen 0.46 eV. 0.50 eV bzw.
0,59 eV. Die für diese Schottky-Barrieren 21 und 22 gemessenen Durchschlagspannungen betrugen etwa
45 V bzw. 50 V.
Kurve A in F i g. 7 zeigt weitere Ergebnisse für Schottky-Dioden aus Nickel auf n-Silicium. In diesem
Falle ist die oben beschriebene 10 keV-Antimonimplantation durch eine 5 keV-Antimonimplantation ersetzt,
die eine etwas flachere implantierte Schicht liefert, während die η-leitende epitakiische Schicht eine
Dotierung von 2 · 1015 Atomen/cm3 (2 Ω · cm) aufweist.
Kurve A zeigt die Erniedrigung der Höhe der Barriere ηΦ'β in eV als Funktion der Antimonionendosis.
Es sei bemerkt daß bei einer Dosis von lO'Vcm2 die
Höhe der Barriere aus Nickel auf n-Silicium um etwa 0,2 eV verringert wird.
Fig.3 zeigt ein anderes Irnplantationsverfahren für
die flache Oberflächenschicht 14. In diesem Falle wird nach der Reinigung eine dünne Dotierungsschicht 16,
z. B. eine 40 nm dicke Antimonschicht 16, gebildet und mit Ionen beschossen, so daß Antimonionen indirekt in
die unterliegende Isolierschicht 12 und in die epitaktische Schicht 10 implantiert werden. Die Isolierschicht 12
ist genügend dick, um den unterliegenden Halbleiter gegen die Antimonimplantation zu maskieren, die daher
innerhalb des Fensters 13 lokalisiert ist. Ein 100 keV-Kryptonionenstrahl kann dabei Anwendung finden.
Vorzugsweise werden die meisten bombardierenden Ionen in der Dotierungsschichi 16 absorbiert und
dringen nicht in die epilaktische Schicht 10 ein. Dann
sublimiert die Antimonschichl 16 während einer
ϊ Glühbehandlung, z.B. bei 75O°C im Vakuum, und das
indirekt implantierte Antimon bleibt in einer flachen Schicht 14 in der epitaktischen Schicht 10 zurück. Die
Metallelektrode wird danach auf die obenbeschriebene Weise nach Reinigung der Oberfläche angeordnet. In
in einem solchen Falle und unter Anwendung einer 20 nm
dicken Antimonschicht 16 und einer 100 keV-Kryptonionendosis von 2xlOu/cmJ wurde die Höhe einer
Schottky-Barriere aus Nickel auf n-Silicium auf etwa 0,39 eV verringert. Die Sperrkennlinie wies die gleiche
H Form wie die durch die Kurve 3 in Fig. 1 angegebene
Sperrkenniinie auf.
Fig.5 zeigt einen ImplantationsschriU bei einem
Verfahren zur Steigerung der effektiven Höhe einer Barriere aus Nickel auf n-Silicium. Dieses Beispiel ist
gleich dem Beispiel nach F i g. 3, mit dem Unterschied, daß die Dotierungsionen einen dem der epitaktischen
Schicht 10 entgegengesetzten Leitungstyp aufweisen. In diesem Falle sind die Schicht 10 und das Substrat 11 vom
p-Leitungstyp. Ein Antimonionenstrahl mit einer Ener-
2> gie von z. B.5 keV kann angewendet werden. Wie in den
vorangehenden Beispielen beschrieben ist, kann anschließend eine Nickelelektrode zur Bildung der
Schottky-Barriere angeordnet werden. Unter Anwendung eines solchen Verfahrens kann die effektive Höhe
»ι einer Schottky-Barriere aus Nickel auf p-Siliciuin z. B.
um etwa 0,3 eV gesteigert werden.
Einige Ergebnisse für eine solche Barricrencrhöhung nach dem Ausführungsbeispiel der F i g. 5 sind durch die
Kurve B in Fig.7 dargestellt, die die Zunahme der
i"> Höhe der Barriere c/Φβ in eV als Funktion der pro cm2
implantierten Antimonionendosis D für eine p-Dolierung der epitaktischen Schicht von 4 ■ 10lh Atomen/cm3
angibt. Die Antimonionenstrahlenergie ist 5 keV und die Glühtemperatur ist 750rC. Es sei bemerkt, daß bei einer
4" Dosis von 1013/cm2 die Höhe der Barriere um etwa
0,25 eV gesteigert wird.
F i g. 8 zeigt einen vergrößerten Teil der Durchiaßkennlinien
31F, 32F und 33Fund der Spcrrkennlinien
31/?. 32/? und 33/? unterhalb des Durchschlags von
Schottky-Barrieren 31, 32 und 33, die durch ein lonenimplantationsverfahren unter Verwendung von
p-leitenden epitaktischen Schichten mit einem spezifischen Widerstand von 0,4 Ω · cm hergestellt sind. Die
Kurven entsprechen den folgender. Antimonionendosen
so von 5 keV.
Kurven31 Fund/?: 2 Kurven32Fund/?.·
5 ■
Kurven 33 Fund/?: 1 ■ lO'Vcrn2
Kurven 33 Fund/?: 1 ■ lO'Vcrn2
Die Kurven 30Fund R sind für eine Referenz-Schottky-Barriere
30 angegeben, die auf einer p-leitenden epitaktischen Schicht mit einem spezifischen Widerstand
von 0,4 Ω - cm hergestellt ist Eine derartige Diode ist vom üblichen Typ.
bo Alle diese Barrieren 30, 31, 32 und 33 werden durch
eine Nickelelektrode in einem runden Kontaktfenster 13 mit einem Durchmesser von 400 μπι gebildet.
Bei einer Antimonionenenergie von 4 keV ist die Tiefe der implantierten Schicht 14 praktisch gleichmä-
b5 ßig und geringer als die Tiefe der implantierten Schicht
die durch lOkeV-lonen gebildet wird, während die
Schicht 14 im spannungslosen Zustand der Diode völlig erschöpft ist
Die Durchschlagspannung der Referenz-Schottky-Diode 30 ist etwa 10 V. Die Durchschlagspannungen der
Dioden 31,32 und 33 waren höher; die der Diode 31 war etwa 15 V. Diese Erhöhung der Durchschlagspannung
ist ein zusatzlicher Vorteil der Erfindung. Es stellt sich heraus, daß diese Steigerung auf eine Zunahme der
Barrierenhöhe rings um den Umfang des Scholtky-Kontaktes zurückzuführen ist.
F i g. 9 zeigt eine weitere Ausführungsform, in der eine flache hochdotierte Schicht 14, in die Antimon
implantiert ist, örtlich rings um den Umfang eines Schottky-Kontakts angeordnet ist, um die Barrierenhöhe
rings um diesen Umfang zu steigern. In diesem Falle wird die effektive Barrierenhöhe des ganzen Schottky-Kontaktes
durch den größten Teil des Kontakts, und zwar den nicht am Umfang liegenden Teil, bestimmt.
Aus diesen Ergebnissen geht hervor, daß mit flachen Oberflächenschichten im Schottky-Sperrschichtsystem
Barrierenhöhen über einen breiten Bereich eingestellt werden können. Obgleich die Ergebnisse sich auf
Nickel-Silicium-Barrieren bezogen, können auch andere Metall-Halbleiter-Kombinationen und andere Dotierungsmittel
für die flache Oberflächenschicht Anwendung finden. So könnten z. B. Aluminium-Schottky-Barrieren
mit p-leilendem Silicium mit Barrierenhöhen hergestellt werden, die sich zur Anwendung auf von
■'· Schottky-Dioden begrenzten pnp-Transistoren eignen. Indium kann als Akzeptordotierung zur Bildung flacher
Oberflächenschichten verwendet werden, die dazu benutzt werden können, die gebildete Barriere auf
η-leitenden Substraten zu erhöhen und Dioden mit fast
ι» idealen Kennlinien zu erhalten. Auch andere Halbleitermaterialien,
z. B. Galliumarsenid, können verwendet werden.
Im allgemeinen hängt die ohne Verschlechterung der Sperrkennlinien höchste erreichbare Herabsetzung der
>r> Barrierenhöhe von dem zur Herstellung des Schottky-Kontakts
verwendeten Metall ab. Sie wird für Metalle, die eine größere Barrierenhöhe liefern, groß sein. Auf
diese Weise kann eine Barriere aus Gold auf n-Silicium mit z. B. einer normalen Höhe von etwa 0,8 eV um etwa
0,4 eV herabgesetzt werden, wobei Antimonionen von 5 keV verwendet werden, um eine flache Oberflächenschicht
unter der Goldelektrode zu bilden.
Hierzu 5 Blatt Zeichnungen
Claims (10)
1. Schottky-Diode mit einem Hakleiterkörper mit einer flachen Oberflächenschicht (14), die einen
höheren Dotierungsgrad als der darunterliegende Teil (10) des Halbleiterkörpers und den gleichen
oder den entgegengesetzten Leitungstyp aufweist, wobei auf der flachen Oberflächenschicht eine
Metallelektrode liegt, die mit dem Halbleiterkörper eine Schottky-Barriere bildet, und wobei diese flache
Oberflächenschicht zur Regelung der effektiven Barrierenhöhe vorgesehen ist, und die Dotierung der
flachen Oberflächenschicht von einer anderen Quelle als der Metallelektrode herrührt, dadurch
gekennzeichnet, daß der Dotierungsgrad der Oberflächenschicht (14) mindestens zwei Größenordnungen
höher als der Dotierungsgrad des darunterliegenden Teils (10) ist und mindestens
5 · ΙΟ'7 Atome/cm3 beträgt, daß der Dotierungsgrad
um die Dicke der flachen Oberflächenschicht (14) so niedrig sind, daß die Oberflächenschicht (14) im
spannungslosen Zustand der Barriere in bezug auf Ladungsträger erschöpft ist, wodurch die Neigung
der Sperrstrom-Spannungs-Kennlinie durch die Dotierung des unter der flachen Oberflächenschicht
liegenden Teils (10) des Halbleiterkörpers bestimmt ist und von der Oberflächenschicht (14) praktisch
unabhängig ist.
2. Schottky-Diode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dotierung des Teiles (10)
des Halbleiterkörpers höchstens 1015 Atome/cm'
beträgt.
i. Schottky-Diode nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke
der flachen Oberflächenschicht (14) höchstens 15 mn
beträgt.
4. Schottky-Diode nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Dotierung
der flachen Oberflächenschicht (14) vom gleichen Leitungstyp wie die des Teiles (10) des
Halbleilerkörpers ist.
5. Schottky-Diode nach einem der Ansprüche 1 bis J, dadurch gekennzeichnet, daß die flache Oberflächenschicht
(14) einen Leitungstyp aufweist, der dem des Teiles (10) des Halbleiterkörpers entgegengesetztist.
6. Verfahren zur Herstellung einer Schottky-Diode nach einem der vorangehenden Ansprüche,
bei dem eine Schottky-Barriere mit einer vorbestimmten Höhe zwischen einer Metallelektrode (15)
und einem Teil (10) eines Halbleiterkörpers gebildet wird, wobei unter Verwendung eines lonenbeschusses
ein Dotierungsmaterial in den betreffenden Teil des Halbleiterkörpers zur Bildung einer flachen
höher dotierten Oberflächenschicht (14) an der Stelle implantiert wird, an der die Schottky-Barriere
gebildet werden soll, dadurch gekennzeichnet, daß die lonendosis derart gewählt wird, daß der
erforderliche höhere Dotierungspegel der flachen Oberflächenschicht (14) zur Steuerung der effektiven
Höhe der Barriere erhalten wird, wobei die Ionenenergie derart gewählt wird, daß eine derartige
Tiefe der flachen Oberflächenschicht (14) erhalten wird, daß die Schicht (14) im spannungslosen
Zustand der Barriere in bezug auf Ladungsträger praktisch erschöpft ist.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekenn-
zeichnet, daß das Dotierungsmaterial in den Teil (10)
des Halbleiterkörpers durch indirekte Implantation aus einer das Dotierungsmaterial enthaltenden
Schicht (16) implantiert wird, welche Dotierungsschicht (16) auf der Oberfläche des Teiles (10) des
Halbleiterkörpers gebildet und mit Ionen beschossen wird, um die indirekte Implantation durchzuführen.
8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Ionenbeschuß mit Ionen
des Dotierungsmaterials erfolgt, die in den Teil (10) des Halbleiterkörpers implantiert sind.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Dotierungsionendosis mindestens
1012 Dotierungsionen/cm2 beträgt.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Dotierungsionendosis etwa 10IJ
Dotierungsioncn/cm·2 beträgt.
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