DE2424313C2 - Meßverfahren zum genauen Ermitteln des zeitlichen Mittelpunktes von stark verrauschten elektrischen Signalen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Meßverfahren zum genauen Ermitteln des zeitlichen Mittelpunktes von stark verrauschten elektrischen Signalen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens

Info

Publication number
DE2424313C2
DE2424313C2 DE2424313A DE2424313A DE2424313C2 DE 2424313 C2 DE2424313 C2 DE 2424313C2 DE 2424313 A DE2424313 A DE 2424313A DE 2424313 A DE2424313 A DE 2424313A DE 2424313 C2 DE2424313 C2 DE 2424313C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
signal
cross
correlation function
correlation
memory
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2424313A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE2424313A1 (de
Inventor
Charles Dana Pleasant Valley N.Y. Gill
Philip Meade Hopewell Junction N.Y. Ryan
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of DE2424313A1 publication Critical patent/DE2424313A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2424313C2 publication Critical patent/DE2424313C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H01J37/3045Object or beam position registration
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Radar Systems Or Details Thereof (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
DE2424313A 1973-06-08 1974-05-18 Meßverfahren zum genauen Ermitteln des zeitlichen Mittelpunktes von stark verrauschten elektrischen Signalen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens Expired DE2424313C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US368384A US3924113A (en) 1973-06-08 1973-06-08 Electron beam registration system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2424313A1 DE2424313A1 (de) 1975-01-02
DE2424313C2 true DE2424313C2 (de) 1984-03-01

Family

ID=23450995

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2424313A Expired DE2424313C2 (de) 1973-06-08 1974-05-18 Meßverfahren zum genauen Ermitteln des zeitlichen Mittelpunktes von stark verrauschten elektrischen Signalen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens

Country Status (7)

Country Link
US (1) US3924113A (enrdf_load_stackoverflow)
JP (1) JPS5248060B2 (enrdf_load_stackoverflow)
CA (1) CA1009766A (enrdf_load_stackoverflow)
DE (1) DE2424313C2 (enrdf_load_stackoverflow)
FR (1) FR2240484B1 (enrdf_load_stackoverflow)
GB (1) GB1427695A (enrdf_load_stackoverflow)
IT (1) IT1010161B (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2320665A1 (fr) * 1975-08-04 1977-03-04 Telecommunications Sa Perfectionnements aux filtres electromecaniques passe-bande de frequences
JPS5315076A (en) * 1976-07-28 1978-02-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Electron beam position detection method
JPS5319764A (en) * 1976-08-09 1978-02-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Mark detection system in electron beam exposure
DE2702448C2 (de) * 1977-01-20 1982-12-16 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur Positionierung eines mit einer Marke versehenen Werkstückes relativ zu einem Abtastfeld bzw. zu einer Maske
DE2846316A1 (de) * 1978-10-24 1980-06-04 Siemens Ag Verfahren und vorrichtung zur automatischen ausrichtung von zwei aufeinander einzujustierenden objekten
JPS6058793B2 (ja) * 1980-03-24 1985-12-21 日電アネルバ株式会社 プラズマ分光監視装置
US4387433A (en) * 1980-12-24 1983-06-07 International Business Machines Corporation High speed data interface buffer for digitally controlled electron beam exposure system
JPS57106130A (en) * 1980-12-24 1982-07-01 Jeol Ltd Detecting method for mark
JPS57122517A (en) * 1981-01-22 1982-07-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Alignment mark detector for electron beam exposure
JPS58122725A (ja) * 1982-01-14 1983-07-21 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ビ−ム形状測定装置
US4546260A (en) * 1983-06-30 1985-10-08 International Business Machines Corporation Alignment technique
FR2586506B1 (fr) * 1985-08-20 1988-01-29 Primat Didier Procede et dispositif optique et electronique pour assurer la decoupe automatique de plaques
US4803644A (en) * 1985-09-20 1989-02-07 Hughes Aircraft Company Alignment mark detector for electron beam lithography
DE3735154C2 (de) * 1986-10-17 1994-10-20 Canon Kk Verfahren zum Erfassen der Lage einer auf einem Objekt vorgesehenen Marke
JPH0724256B2 (ja) * 1987-08-13 1995-03-15 日本電子株式会社 サイズ測定装置
US10566169B1 (en) 2008-06-30 2020-02-18 Nexgen Semi Holding, Inc. Method and device for spatial charged particle bunching
US10991545B2 (en) 2008-06-30 2021-04-27 Nexgen Semi Holding, Inc. Method and device for spatial charged particle bunching
DE102015117693A1 (de) * 2015-10-16 2017-04-20 Ald Vacuum Technologies Gmbh Verfahren zur Bestimmung der sich verändernden Lage des Auftreffpunktes eines energetischen Strahles auf einer begrenzten Fläche

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3328795A (en) * 1959-11-18 1967-06-27 Ling Temco Vought Inc Fixtaking means and method
US3329813A (en) * 1964-08-25 1967-07-04 Jeol Ltd Backscatter electron analysis apparatus to determine elemental content or surface topography of a specimen
US3535516A (en) * 1966-10-17 1970-10-20 Hitachi Ltd Electron microscope employing a modulated scanning beam and a phase sensitive detector to improve the signal to noise ratio
US3614736A (en) * 1968-05-21 1971-10-19 Ibm Pattern recognition apparatus and methods invariant to translation, scale change and rotation
US3646333A (en) * 1969-12-12 1972-02-29 Us Navy Digital correlator and integrator
US3644700A (en) * 1969-12-15 1972-02-22 Ibm Method and apparatus for controlling an electron beam
US3745317A (en) * 1970-05-04 1973-07-10 Commissariat Energie Atomique System for generating the fourier transform of a function
US3644899A (en) * 1970-07-29 1972-02-22 Cogar Corp Method for determining partial memory chip categories
US3717756A (en) * 1970-10-30 1973-02-20 Electronic Communications High precision circulating digital correlator
US3777133A (en) * 1971-01-26 1973-12-04 C Wormald Cross correlator
CA953010A (en) * 1971-12-03 1974-08-13 Her Majesty In Right Of Canada As Represented By The Minister Of Transpo Rt Radar cross correlator
US3718813A (en) * 1972-01-19 1973-02-27 O Williams Technique for correlation method of determining system impulse response

Also Published As

Publication number Publication date
DE2424313A1 (de) 1975-01-02
US3924113A (en) 1975-12-02
FR2240484A1 (enrdf_load_stackoverflow) 1975-03-07
IT1010161B (it) 1977-01-10
CA1009766A (en) 1977-05-03
JPS5248060B2 (enrdf_load_stackoverflow) 1977-12-07
JPS5023782A (enrdf_load_stackoverflow) 1975-03-14
FR2240484B1 (enrdf_load_stackoverflow) 1976-06-25
GB1427695A (en) 1976-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2424313C2 (de) Meßverfahren zum genauen Ermitteln des zeitlichen Mittelpunktes von stark verrauschten elektrischen Signalen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
DE2607187C3 (de) Verfahren zur Messung des zeitlichen Impulsabstandes von zwei elektrischen Impulsen
DE102012015423B4 (de) Verfahren und Sensorsystem zur kapazitiven Vermessung der Eigenschaften einer Übertragungsstrecke eines Messsystems zwischen einer Senderelektrode und Empfängerelektrode
DE69912685T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Normierung und Eichung einer Sensormatrix
EP1882959A1 (de) Optisches Distanzmessverfahren und entsprechender optischer Distanzmesser
WO2003038423A2 (de) Sensor-anordnung
DE2608249A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen von uebertragungsfunktionen
DE2637775A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen von uebertragungsfunktionen
DE2643300A1 (de) Elektrische schaltanordnung fuer ein ultraschall-impulsechoverfahren zur messung von wanddicken der pruefstuecke
DE2828171A1 (de) Anordnung zur verringerung des winkelmessrauschens in einer radaranlage
DE69304373T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von durch ein Sekundärradar mittels Phasenanalyse empfangenen vermischten Impulsen
DE3135158A1 (de) Zeitintervall-messanordnung
EP0483296A1 (de) Verfahren zum auswerten binärer informationen einer magnetspeicherkarte
EP0837334A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einfallender Empfangsleistung oder -energie wenigstens eines Signales
DE1473622B2 (de) Verfahren zur selbsttaetigen aufzeichnung der dicke eines gegenstandes und der lage einer fehlerstelle
DE2450439B2 (de) Einrichtung zur beruehrungslosen messung der geschwindigkeit
DE4108376C2 (de) Verfahren und Schaltungsanordnung zur Erfassung und Auswertung von Signalen bei der Entfernungsmessung
EP0155348A2 (de) Verfahren zur Signalübertragung bei einer Längen- oder Winkelmesseinrichtung und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP2762920B1 (de) Verfahren zur Bestimmung einer Signallaufzeit
EP0267375B1 (de) Verfahren zum Bestimmen von beweglichem Material innerhalb eines Körpers
DE3347420C2 (de) Verfahren zur Messung des zeitlichen Abstandes von zwei elektrischen Impulsen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE19703633C2 (de) Verfahren zur Bestimmung eines Zeitintervalls zwischen zwei Ereignissen
DE112022002695T5 (de) Tdc-vorrichtung, distanzmessvorrichtung, und distanzmessverfahren
DE69601315T2 (de) Sehr genaue Chronometrierung eines Vorfalls
DE69222741T2 (de) Gerät für Entfernungsmessung zwischen zwei Fahrzeugen in Bewegung unter Verwendung von Lichtwellen

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
8125 Change of the main classification

Ipc: G01R 29/00

D2 Grant after examination
8380 Miscellaneous part iii

Free format text: IN PATENTANSPRUCH 3, SP.1, Z. 50 MUSS ES ANSTATT "RUECKGESTEUERTEN" RICHTIG "RUECKGESTREUTEN" UND IM PATENTANSPRUCH 6, SP.2, Z. 27 ANSTATT "AUSGANGSREGISTERS" RICHTIG "AUSGANGSREGISTER" HEISSEN.

8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee