DE2419157C3 - Metallischer Träger für Halbleiterbauelemente und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Metallischer Träger für Halbleiterbauelemente und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
- Publication number
- DE2419157C3 DE2419157C3 DE2419157A DE2419157A DE2419157C3 DE 2419157 C3 DE2419157 C3 DE 2419157C3 DE 2419157 A DE2419157 A DE 2419157A DE 2419157 A DE2419157 A DE 2419157A DE 2419157 C3 DE2419157 C3 DE 2419157C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- bonding layer
- metal
- metallic carrier
- gold
- metallic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49575—Assemblies of semiconductor devices on lead frames
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49579—Lead-frames or other flat leads characterised by the materials of the lead frames or layers thereon
- H01L23/49582—Metallic layers on lead frames
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45117—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
- H01L2224/45124—Aluminium (Al) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/485—Material
- H01L2224/48505—Material at the bonding interface
- H01L2224/48599—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Gold (Au)
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/485—Material
- H01L2224/48505—Material at the bonding interface
- H01L2224/48599—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Gold (Au)
- H01L2224/486—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Gold (Au) with a principal constituent of the bonding area being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/48663—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Gold (Au) with a principal constituent of the bonding area being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
- H01L2224/48664—Palladium (Pd) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/485—Material
- H01L2224/48505—Material at the bonding interface
- H01L2224/48699—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Aluminium (Al)
- H01L2224/487—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Aluminium (Al) with a principal constituent of the bonding area being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/48763—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Aluminium (Al) with a principal constituent of the bonding area being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
- H01L2224/48764—Palladium (Pd) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/8538—Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
- H01L2224/85399—Material
- H01L2224/854—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/85463—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
- H01L2224/85464—Palladium (Pd) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L2224/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L24/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01014—Silicon [Si]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01027—Cobalt [Co]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01028—Nickel [Ni]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01029—Copper [Cu]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01032—Germanium [Ge]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01047—Silver [Ag]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01078—Platinum [Pt]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen metallischen Träger für Halbleiterbauelemente, der mehrere Köfilakifahnen
und auf diesen eine metallische Bondschicht aufweist«
Metallische Träger der Vorbeschriebenen Art werden zur Halterung von Halbleiterbauelementen, beispielü*
weise aus Silizium, Germanium oder anderen halbleitenden Stoffen, in denen durch besondere Behandlungsprozesse
die zur Ausübung von Schaltfunktionen notwendigen Strukturen erzeugt sind, verwendet. Diese metallisehen
Träger weisen eine Insel auf, die das Halbleiterbauelement trägt. Mit den Kontaktfahnen des metallischen
Trägers werden die Anschlußstellen des Halbleiters mittels sehr feiner Drähte aus Gold oder
Aluminium, deren Dicke üblicherweise zwischen 10 und
50 μιη liegt, durch Bonden verbunden. Zu diesem Zweck befindet sich auf den Kontaktfahnen eine metallische
Bondschicht. Die elektrische Verbindung zwischen Halbleiterbauelement und Bondschicht erfolgt, wie
erwähnt, über einen dünnen Draht entweder nach dem Verfahren der Thermokompression, also durch Andrük-Ven
des Drahtes auf die zu bondende Stelle bei gleichzeitiger Erwärmung, oder nach dem Ultraschall-Bondverfahren
(vgl. Lewicki, A.: Neue Entwicklungsrichtungen in der Dickfilmtechnik, In: Mikroelektronik 3·
(Vorträge zur 3. Mikroelektronik-Tagung des INEA in München vom 11. bis 13. November 1968), Hrsg. von L
Steine, München/Wien 1969, Seiten 163 bis 176). Es ist bekannt, die Bondschichten auf den späteren Kontaktfahnen
durch Walzplattieren, Galvanisieren (DE-OS 21 27 633) oder Aufdampfen aufzubringen. Das galvanische
Verfahren, das bei der Herstellung von Halbleiterträgern in der Praxis in beträchtlichem Umfang
eingesetzt wird, ermöglicht nur noch schwer eine kontinuierliche Fertigung. Außerdem müssen die
galvanisch hergestellten Bondbereiche immer unverhältnismäßig groß sein, weil im Randbereich nur eine
allmähliche Abnahme der Schichtdicke auf den Wert 0 erreicht werden kann. Des weiicicii im es auf
galvanischem Wege nicht möglich, die Zusammerisetzung
der Bondschicht in solch weiien Grenzen zu variieren, wie es in der vorliegenden Erfindung
gefordert wird. Diese galvanisch, durch Aufdampfen oder Aufplattieren aufgebrachten Bondschichten sind
auf Grund des angewendeten Aufbringungsverfahrens sehr kompakt, so daß die Gefahr be- :eht, daß der dünne
Draht beim Einreiben in die Bondschicht bricht oder Risse erhält. Außerdem stören z. B. beim Walzplattieren
die bei dem Walzvorgang aufgebrachten Fremdschichten (Walzhaut), die die Verwendungsmöglichkeit des
fertigen Bauelements stark beeinträchtigen können und bei mechanischer Einwirkung seine Zuverlässigkeit
herabsetzen. Darüber hinaus ist mit den bekannten Verfahren zum Aufbringen der Bondschicht ein nicht
unerheblicher Edelmetallverbrauch verbunden, so daß diese Verfahren die Herstellung der Bondschicht an
diskreten Stellen der Kontaktfahnen nicht in wirtschaftlicher Weise gestatten. Der metallische Träger wird
üblicherweise aus einem Band ausgestanzt, dessen eine Oberfläche wenigstens teilweise mit der Bondschicht
versehen ist. Aus diesem Band wird dann der metallische Träger mit seinen Kontaktfahnen gestanzt, wobei ein
Teil des mit Bondschicht aus Edelmetall versehenen Bandes als Stanzabfall anfällt. Die Rückgewinnung des
Edelmetalls aus diesem Stanzabfall ist mit zusätzlichen Kosten verbunden.
Aufgabe der Erfindung ist es. einerseits eine Bondschicht zu schaffen, die es gestattet, das Bonden,
also Verbinden der feinen Drähtchen mit der Bondschicht, zu erleichtern und qualitativ zu verbessern, und
andererseits soll ein Verlust an hochwertigem Bondmetall vermieden werden.
Für einen metallischen Träger der eingangs charakterisierten
Art kennzeichnet sich die Lösung dieser
Aufgabe dadurch, daß die Bondschicht eine schwammartige, mikroporöse Struktur besitzt und an diskreten
Stellen der Kontaktfahnen mit diesen über eine Diffusionszone verankert ist.
Bondschichten aus einem Metall aus der Gruppe Gold, Palladium, Silber, Aluminium und Kupfer, einer
Legierung aus wenigstens zwei der Metalle dieser Gruppe oder aus einer Basislegierung eines Metalls
dieser Gruppe haben sich bewährt Besonders gute Ergebnisse wurden für Bondschichten aus Gold erzielt,
die durch AuiJrucken einer Goldpaste erzeugt sind, deren Goldteilchen eine mittlere Korngröße von
weniger als 5 μπι besitzen. Zweckmäßigerweise liegt die
Dicke der Bondschicht im Bereich zwischen 2 und 30 μιτι, vorzugsweise beträgt sie 3 bis ΙΟμιτι. Als
Werkstoff für den metallischen Träger kommen vorteilhafterweise ein Metall oder eine Legierung eines
oder mehrerer Metalle aus der Gruppe Kupfer, Nickel, Eisen oder Kobalt in Frage.
Erfindungsgemäß ausgebildete metallische Träger besitzen eine Reihe von Vorteilen, die sich nur durch die
Kombination der kennzeichnenden Merkmale ergeben. So ermöglicht die schwammartige, mikroporöse Struktur
der Bondschicht ein ziemlich leichtes Einreiben oder Andrücken des sehr feinen Drahtes aus Gold oder
Aluminium, der die Bondschicht mit dem Halbleiterbauelement elektrisch leitend verbindet. Das Brechen
des sehr feinen Verbindungsdrahtes ist dadurch auf ein Minimum reduziert. Auch das Auftreten von Bruchstellen
oder Rissen im Draht ist beseitigt, so daß die fertigen Bauelemente eine sehr hohe Zuverlässigkeit auch bei
mechanischem Stoß aufweisen. Nicht zuletzt sei erwähnt, daß die Herstellung der Bondschicht im an sich
bekannten Siebdruckverfahren Edelmetallverluste völlig vermeidet, weil das Siebdruckverfahren unter
Verwendung einer Schablone es in einfachster Weise ermöglicht, die Bondschicht nur an diskreten Stellen der
Kontaktfahnen aufzubringen. Die Verankerung der Bondschicht mit der Kontaktfahne über eine Diffusionszone gewährleistet eine gute mechanische und elektri-
sehe Verbindung beider.
In der Figur ist eine Aufsicht auf ein Bauteil dargestellt unter Verwendung eines erfindungsgemäß
ausgebildeten metallischen Trägers für Halbleiterbauelemente.
Mit der Bezugsziffer 1 ist der metallische Träger bezeichnet der di? Kontaktfahne 1 und die Insel 3
aufweist. Auf der Insel 3 ist ein Halbleiterbauelement 4 befestigt. Die elektrische Verbindung zwischen dem
Halbleiterbauelement und den Kontaktfahnen wird mittels sehr feiner Drähte 5, beispielsweise aus Gold
oder Aluminium, bewerkstelligt. An diskreten Stellen weisen die Kontaktfahner 2 Bondschichten 6 auf, die
eine schwammartige, netzförmige, mikroporöse Struktur besitzen. Die Herstellung der Bondschichten erfolgt
in der Weise, daß im an sich bekannten Siebdruckverfahren unter Verwendung einer Schablone eine Paste.
insbesondere eine Goldpaste, aufgedruckt wird. Die Goldpaste enthält das bondfähige Metall, αΐεα beispielsweise
Gold, in feinverteilter Form in einem organischen Medium suspendiert. Die mittlere Korngröße oer
Bondmetallteilchen beträgt weniger als 5 μπι. Das
organische Siebdruckbindemittel besteht in an sich bekannter Weise aus einem Harz, das in einem
Lösungsmittel gelöst wird. Es können handlesübliche Siebdruckbindemittel verwendet werden, es ist aber
vorzuziehen, ein Harz zu verwenden, das durch Hitze leicht verflüchtigt werden kann, um die Bildung
kohlenstoffreicher Zersetzungsprodukte in der Schicht des bondfähigen Metalls zu vermeiden. Als geeignet
haben sich beispielsweise Polymethacrylate, die in Terpineol gelöst sind, erwiesen. Nach dem Druckvor
gang wird die an diskreten Stellen aufgedruckte Schicht aus bondfähigem Metall getrocknet und anschließend in
einem Ofen einer Wärmebehandlung unterworfen, bei der zunächst das organische Bindemittel ausgetrieben
bzw. verflüchtigt wird und danach durch Diffusion zwischen der metallischen Kontaktfahne und der
Bondschicht beide miteinander -Tanken werden.
Gegebenenfalls erfolgt die Wärmebehar jiung in inerter
oder reduzierender Atmosphäre, wenn man eine Oxidation von unedlem Trägerwerkstoff vermeiden will.
Zur Herstellung des metallischen Trägers bedient man sich ehes bandförmigen Ausgangsproduktes, auf das
man an diskreten Stellen nach vorgegebenem Schablonenmuster die Bondschicht aufdruckt. Aus diesem
Metallband wird dann nach erfolgter Wärmebehandlung der metallische Träger ausgestanzt.
Auf ein Trägerband aus einer Legierung, die im wesentlichen aus 53% Eisen, 28,7% Nickel, 17,5%
Kobalt und weniger als 1% Silizium und Mangan besteht, wird entsprechend einer Schablone an diskreten
Stellen eine Bondschicht aus Gold aufgebracht. Hierzu wird eine Goldpaste an den diskieten Stellen
über ein Kunststoffsieb mit 90 Fäden pro Zentimeter aufgetragen. Das Trägerband mit aufgedruckter Paste
wild zunächst einer Wärmebehandlung bei 4000C
unterworfen, um die Paste auszutrocknen und das organische Bindemittel auszutreiben. Anschließend
wird das Band reduzierend bei 6500C in einer
Wasserstoffatmosphäre geglüht. Die Glühdauer beträgt etwa 2 Minuten. Bei dieser Temperatur findet eine
Diffusion zwischen metallischem Träger und Bondschicht statt, wodurch beide miteinander verankert
werden. Gleichzeitig sintern die feinen Goldteilchen der Paste zu einer mikroporösen Schicht mit schwammartiger
Struktur zusammen, deren Dicke zwischen 3 und 10 μιτι beträgt. Danach .vird der metallische Träger aus
c"em ·ηίί Bondschicht versehenen Band ausgestanzt, so
daß sich ein Träger ergibt, wie er in Aufsicht in der Figur dargestellt ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (10)
- Patentansprüche:t. Metallischer Träger für Halbleiterbauelemente, der mehrere Kontaktfahnen und auf diesen eine metallische Bondschicht aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Bondschicht eine schwammartige, mikroporöse Struktur besitzt und an diskreten Stellen der Kontaktfahnen mit diesen über eine Diffusionszone verankert ist
- 2. Metallischer Träger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bondschicht aus einem Metall aus der Gruppe Gold, Palladium, Silber, Aluminium und Kupfer, einer Legierung aus wenigstens zwei der Metalle dieser Gruppe oder aus einer Basislegierung eines Metalls dieser Gruppe besteht
- 3. Metallischer Träger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Bondschicht aus Gold besteht.
- 4. MetalK^her Träger nach einem der Ansprüche ! bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der mikroporösen, schwammartigen Bondschicht 2 bis 30μΐη beträgt.
- 5. Metallischer Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß er aus einem Metal! oder einer Legierung eines oder mehrerer Metalle aus der Gruppe Kupfer, Nickel, Eisen und Kobalt besteht.
- 6. Verfahren zur Herstellung eines metallischen Trägers für Halbleiter-Bauelemente, der mit einer Bondschicht vei'sehen ist, nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis t>, dadurch gekennzeichnet, daß eine Metallisierungspaste aus Metallpulver in einem organischen Bindemittel im .Siebdruckverfahren ausschließlich an den zum Boiiuen vorbestimmten Flächenbereichen aufgebracht wird, dann das organische Bindemittel durch Erhitzen ausgetrieben wird und das abgeschiedene Metall durch Diffusion mit dem Träger verbunden wird.
- 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Goldpaste im Siebdruckverfahren aufgebracht wird.
- 8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die im Siebdruckverfahren aufgebrachte Metallisierungspaste bei einer Temperatur zwischen etwa 400 und 65O0C mit dem Träger verbunden wird.
- 9. Verfahre:1 nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Diffusionsglühung in reduzierender Atmosphäre ausgeführt wird.
- 10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Diffusionsglühung über eine Zeitdauer von mehreren Minuten durchgeführt wird, die ausreicht, um die Goldteilchen der Paste zu einer mikroporösen Schicht mit schwammartiger Struktur in einer Dicke zwischen 3 und 10 μιη zusammenzusintern.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2419157A DE2419157C3 (de) | 1974-04-20 | 1974-04-20 | Metallischer Träger für Halbleiterbauelemente und Verfahren zu seiner Herstellung |
US05/560,532 US4027326A (en) | 1974-04-20 | 1975-03-20 | Metallic support carrier for semiconductor elements |
US05/738,615 US4065851A (en) | 1974-04-20 | 1976-11-03 | Method of making metallic support carrier for semiconductor elements |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2419157A DE2419157C3 (de) | 1974-04-20 | 1974-04-20 | Metallischer Träger für Halbleiterbauelemente und Verfahren zu seiner Herstellung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2419157A1 DE2419157A1 (de) | 1975-10-30 |
DE2419157B2 DE2419157B2 (de) | 1976-05-26 |
DE2419157C3 true DE2419157C3 (de) | 1979-06-28 |
Family
ID=5913465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2419157A Expired DE2419157C3 (de) | 1974-04-20 | 1974-04-20 | Metallischer Träger für Halbleiterbauelemente und Verfahren zu seiner Herstellung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4027326A (de) |
DE (1) | DE2419157C3 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3010770A1 (de) * | 1979-03-30 | 1980-10-09 | Ferranti Ltd | Schaltungsanordnung mit duennfilm- komponenten |
DE3717246A1 (de) * | 1986-05-23 | 1987-11-26 | Mitsubishi Electric Corp | Material auf nickelbasis fuer eine halbleiteranordnung |
DE3813701A1 (de) * | 1987-04-22 | 1988-11-03 | Mitsubishi Electric Corp | Verfahren zur herstellung eines leiterrahmens fuer halbleitervorrichtungen |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1981001629A1 (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-11 | Western Electric Co | Fine-line solid state device |
DE3106193A1 (de) * | 1981-02-19 | 1982-09-09 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Systemtraeger fuer mit kunststoff umhuellte elektrische bauelemente |
US4459607A (en) * | 1981-06-18 | 1984-07-10 | Burroughs Corporation | Tape automated wire bonded integrated circuit chip assembly |
JPS5928553A (ja) * | 1982-08-11 | 1984-02-15 | Hitachi Ltd | 耐食性アルミニウム配線材料 |
JPS61257443A (ja) * | 1985-05-08 | 1986-11-14 | Mitsubishi Shindo Kk | 半導体装置用Cu合金リ−ド素材 |
US4674671A (en) * | 1985-11-04 | 1987-06-23 | Olin Corporation | Thermosonic palladium lead wire bonding |
US4767049A (en) * | 1986-05-19 | 1988-08-30 | Olin Corporation | Special surfaces for wire bonding |
DE3635375A1 (de) * | 1986-10-17 | 1988-04-28 | Heraeus Gmbh W C | Systemtraeger fuer elektronische bauelemente |
US4993622A (en) * | 1987-04-28 | 1991-02-19 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor integrated circuit chip interconnections and methods |
JP2660934B2 (ja) * | 1989-10-30 | 1997-10-08 | 三井金属鉱業株式会社 | 接続機能を有するテープキャリヤ |
US5262347A (en) * | 1991-08-14 | 1993-11-16 | Bell Communications Research, Inc. | Palladium welding of a semiconductor body |
JP2917607B2 (ja) * | 1991-10-02 | 1999-07-12 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置用リードフレーム |
US5719447A (en) * | 1993-06-03 | 1998-02-17 | Intel Corporation | Metal alloy interconnections for integrated circuits |
JP2002262430A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Star Micronics Co Ltd | リード線接続構造および方法ならびにリード線接続用クラッド材 |
JP4758976B2 (ja) * | 2007-12-03 | 2011-08-31 | 日立ケーブルプレシジョン株式会社 | 半導体発光素子搭載用リードフレーム及びその製造方法並びに発光装置 |
JP6736716B1 (ja) * | 2019-03-22 | 2020-08-05 | 大口マテリアル株式会社 | リードフレーム |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3627901A (en) * | 1969-12-19 | 1971-12-14 | Texas Instruments Inc | Composite electronic device package-connector unit |
US3801364A (en) * | 1971-02-03 | 1974-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method for making printed circuits which include printed resistors |
-
1974
- 1974-04-20 DE DE2419157A patent/DE2419157C3/de not_active Expired
-
1975
- 1975-03-20 US US05/560,532 patent/US4027326A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3010770A1 (de) * | 1979-03-30 | 1980-10-09 | Ferranti Ltd | Schaltungsanordnung mit duennfilm- komponenten |
DE3717246A1 (de) * | 1986-05-23 | 1987-11-26 | Mitsubishi Electric Corp | Material auf nickelbasis fuer eine halbleiteranordnung |
DE3813701A1 (de) * | 1987-04-22 | 1988-11-03 | Mitsubishi Electric Corp | Verfahren zur herstellung eines leiterrahmens fuer halbleitervorrichtungen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2419157A1 (de) | 1975-10-30 |
US4027326A (en) | 1977-05-31 |
DE2419157B2 (de) | 1976-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2419157C3 (de) | Metallischer Träger für Halbleiterbauelemente und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE1300788C2 (de) | Verfahren zur herstellung kugeliger loetperlen auf traegerplatten | |
DE112014005600T5 (de) | Metallteil, Metallteiloberflächenbearbeitungsverfahren, Halbleitervorrichtung, Halbleitervorrichtungsherstellungsverfahren und Verbundformkörper | |
DE3140348A1 (de) | Verfahren zur gleichzeitigen herstellung mehrfacher elektrischer verbindungen, insbesondere zum elektrischen anschluss eines halbleiterbauelementes | |
DE10148120A1 (de) | Elektronische Bauteile mit Halbleiterchips und ein Systemträger mit Bauteilpositionen sowie Verfahren zur Herstellung derselben | |
DE2844888A1 (de) | Vormaterial fuer elektrische kontakte | |
DE2033532A1 (de) | Kontaktsystem fur Halbleiteranordnungen | |
DE1202854B (de) | Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Schaltung | |
DE1927646A1 (de) | Halbleitervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE3643898A1 (de) | Verfahren zur bildung eines leitfaehigen musters auf einer halbleiteroberflaeche | |
DE1646795C3 (de) | Trägerkörper für einen Halbleiterkörper einer Halbleiteranordnung und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE1178154B (de) | Verfahren zur Herstellung von elektrischen Verbundkontakten | |
DE1915148C3 (de) | Verfahren zur Herstellung metallischer Höcker bei Halbleiteranordnungen | |
DE1564066B2 (de) | Verfahren zur Herstellung von elektrischen Verbindungen zu Kontaktschichten an der Oberfläche des Halbleiterkörpers von Halbleiteranordnungen | |
DE4425943B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines mehrschichtigen Leiter- bzw. Anschlusselements und Leiter- bzw. Anschlusselement | |
DE19758452C2 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Metall-Keramik-Substrates und Metall-Keramik-Substrat | |
DE3406542A1 (de) | Verfahren zum herstellen eines halbleiterbauelementes | |
DE1621258B2 (de) | Kontaktstueck aus einem leitenden traeger aus einem unedlen metall und einem dreischichtigen verbundkontaktkoerper sowie dessen herstellungsverfahren | |
DE1952499A1 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements | |
DE3508806A1 (de) | Verfahren zur herstellung von elektrischen kontakten | |
DE3107665A1 (de) | "metallhalbzeug" | |
DE3151557A1 (de) | Elektrooptische anzeigevorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung | |
DE2207012C2 (de) | Verfahren zur Kontaktierung von Halbleiterbauelementen | |
DE2610539A1 (de) | Halbleiterbauelement mit elektrischen kontakten und verfahren zur herstellung solcher kontakte | |
DE3106193A1 (de) | Systemtraeger fuer mit kunststoff umhuellte elektrische bauelemente |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |