DE2418372A1 - Fokussierendes roentgen-linearspektrometer - Google Patents

Fokussierendes roentgen-linearspektrometer

Info

Publication number
DE2418372A1
DE2418372A1 DE2418372A DE2418372A DE2418372A1 DE 2418372 A1 DE2418372 A1 DE 2418372A1 DE 2418372 A DE2418372 A DE 2418372A DE 2418372 A DE2418372 A DE 2418372A DE 2418372 A1 DE2418372 A1 DE 2418372A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
segment
exit
ray linear
crystal
entry
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2418372A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2418372B2 (de
DE2418372C3 (de
Inventor
Bruno Dipl Phys Dr Harm
Gerold Joachim
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19742418372 priority Critical patent/DE2418372C3/de
Priority claimed from DE19742418372 external-priority patent/DE2418372C3/de
Publication of DE2418372A1 publication Critical patent/DE2418372A1/de
Publication of DE2418372B2 publication Critical patent/DE2418372B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2418372C3 publication Critical patent/DE2418372C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
    • G01N23/2076Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

  • Fokussierendes Röntgen-Linearspektrometer Ein fokussierendes Röntgen-Linearspektrometer besteht im wesentlichen aus den Elementen Eintrittsspalt, kurz ESP genannt-, Kristall mit dem Nittelpunkt K und einem Krümmungsradius 2R und Austrittsspalt, kurz ASPw Die Röntgenstrahlung tritt durch den Eintrittsspalt in das Spektrometer ein, trifft unter einem Winkel 9 auf den Kristall und wird unter dem gleichen Winkel 9, gemessen gegen die Kristalltangente, in den Austrittsspalt reflektiert. Der Kristall kann bei einem Linearspektrometer vermöge einer Führung auf einer vom Eintrittsspalt ausgehenden Schiene oder dergleichen geradlinig bewegt werden.
  • Zur Einhaltung der Fokussierungsbedingungen müssen sich Eintrittsspalt ESP, Kristallmittelpunkt K und Austrittsspalt ASP derart relativ zueinander bewegen, daß 1. die Entfernungen ESP K und K ASP stets gleich sind, 2. die Normale auf die Kristalloberfläche in K stets die Winkelhalbierende des zwischen Eintrittsspalt, Kristalimittelpunkt und Austrittsspalt aufgespannten Winkels ist, 3. die Beziehung für die Entfernung ESP K = b = 2R sin gilt.
  • Die obenstehenden drei Bedingungen sind gleichbedeutend mit den Forderungen, daß Eintrittsspalt, Kristallmittelpunkt und Austrittsspalt auf einem gewöhnlich Rowland-Kreis genannten Kreis mit dem Radius R liegen, Eintrittsspalt und Austrittsspalt vom Kristallmittelpunkt den gleichen Abstand b aufweisen und die Normale auf die Kristalloberfläche im Punkte K stets durch den Mittelpunkt des Rowland-Kreises geht.
  • Es ist eine Reihe von Lösungen zur Einhaltung der Bedin gungen 1. bis 3. bekannt. Eine dieser Lösungen ist in der US-Patentschrift 2 898 469 beschrieben. Es handelt sich dabei um ein fokussierendes Röntgen-Linearspektrometer mit einem Eintrittsspalt für Röntgenstrahlen und einem Analysatorkristall für die nach dem Bragg'schen Gesetz gebeugten und auf einen Austrittsspalt vor einem Detektor fokussierten Strahlen sowie mit drei Lenkern, die mit je einem ihrer Enden gelenkig miteinander verbunden sind und deren erster mit seinem anderen Ende in der Verlängerung der Längsachse des Eintrittsspaltes auf einer Grundplatte angelenkt ist, deren zweiter an seinem anderen, auf einer vom Eintrittsspalt ausgehenden Schiene verschiehlich und drehbar gelagerten Ende den mit seiner Oberflächennormalen in Lenkerrichtung angeordneten Analysatorkristall trägt, und das andere Ende des dritten Lenkers durch seinen Schnittpunkt mit der Längsachse des Austrittsspaltes bestimmt ist.
  • Es sind beim Bekannten also sowohl beim Kristallmittelpunkt K als auch beim Eintrittsspalt drehbar befestigte Lenker vorgesehen, die in einfacher Weise die Bewegung des Mittelpunktes des Rowland-Kreises auf einer Kreisbahn um den Eintrittsspalt gestatten. Mit einem dritten Lenker, der ebenfalls an die miteinander verbundenen Enden der beiden anderen angelenkt ist, kann die Bedingung erfüllt wer-.
  • den, daß auch der Austrittsspalt auf dem Rowland-Kreis liegt.
  • Die Ubereinstimmung der Abstande des Eintrittsspaltes vom Kristallmittelpunkt und des Kristallmittelpunktes vom Austrittsspalt wird beim Bekannten durch eine Führungsschiene erreicht, die vom Austrittsspalt ausgeht und zum Kristallmittelpunkt führt. Der Kristallmittelpunkt ist dabei durch einen Stift materialisiert, der in einem Schlitz in der Führungsschiene gleitet. Ein weiterer Stift, der in der Längsachse des Austrittsspaltes angeordnet ist, gleitet bei der bekannten Einrichtung in einer Kurvenbahn, die die Form einer Lemniskate hat. Derartige Gleitführungen gestatten nur mit großen Toleranzen eine einigermaßen leichtgängige Führung der Äpparateteile. Solche Toleranzen sind jedoch für exakte Messungen nicht tragbar.
  • Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, eine von der bekannten Drei-Lenker-Anordnung ausgehende Lösung zu schaffen, bei der Gleitführungen für den den Austrittsspalt tragenden Lenker vermieden sind. Gemäß der Erfindung ist ein oben beschriebenes fokussierendes Röntgen-Linearspektrometer dadurch gekennzeichnet, daß am freien Ende des dritten Lenkers koaxial mit der Längsachse des Austrittsspaltes ein Kreissegment befestigt ist, von dem ein Zugelement ausgeht, das über eine lose, mit der Verlängerung ihrer Drehachse in der Analysatorkristalloberfläche senkrecht zur Flächennormalen liegenden Rolle und über eine zweite, zu einer Verlängerung der Schiene um den Rollendurchmesser seitlich versetzt gelagerte lose Rolle zu einem zweiten, mit dem an der Grundplatte angelenkten Ende des ersten Lenkers fest verbundenen Kreissegment führt und dort befestigt ist.
  • Zweckmäßig beträgt der Radius des zweiten Kreissegmentes das Dreifache der einander gleichen Radien der Rollen und des ersten Kreissegmentes.
  • Bei einer Weiterbildung der Erfindung bestehen Eintritts-und Austrittsspalt aus je zwei Backen, die mit den sie tragenden Lenkern fest verbunden sind.
  • Der gegenseitige Abstand der Mittelpunkte des zweiten Segmentes und der zweiten Rolle beträgt in Schienenrichtung ungefähr zwei Lenkerlängen.
  • Das Zugelement ist an den Segmenten derart angebracht, daß es in allen vorkommenden Spektrometerstellungen tan gential an den Kreissegmenten anliegt.
  • Die Erfindung wird anhand einer Figur, die ein Ausführungsbeispiel in schematischer Darstellung zeigt, erläutert. In der Figur sind im Punkte M, der den betçeglichen Mittelpunkt des sogenannten Rowland-Kreises darstellt, drei Lenker F1, F2 und F3 gelenkig miteinander verbunden. Der Lenker F1 trägt an seinem anderen, an einer Grundplatte des Spektrometers angelenkten Ende einen Eintrittsspalt ESP für von einer Probe Pr ausgehende Röntgenstrahlen. Weiter ist an diesem Ende des Lenkers F1 koaxial mit der Längsachse des Eintrittsspaltes ESP ein Kreissegment R1 befestigt.
  • Der Lenker F2 trägt an seinem nicht mit den anderen Lenkern verbundenen Ende einen Analysatorkristall mit dem Mittelpunkt K. Am gleichen Ende ist koaxial mit einer durch K senkrecht auf der Zeichenebene gedachten Linie eine lose Rolle R3 befestigt. Der Analysatorkristall ist so ausgerichtet, daß eine durch K gehende Normale auf seiner Oberfläche auf den Mittelpunkt M des Rowland-Kreises gerichtet ist. An dem den Analysatorkristall tragenden Ende des Lenkers F2 ist außerdem drehbar ein Schlitten angebracht, der auf einer vom Eintrittsspalt ESP ausgehenden geraden Schiene gleitet.
  • Der dritte Lenker F3 trägt an seinem nicht mit den beiden anderen Lenkern verbundenen Ende den Austrittsspalt ASP und ein weiteres Kreissegment R4. Außerdem ist an diesem Lenker hinter dem Austrittsspalt ein nicht dargestellter Detektor für die austretenden Röntgenstrahlen angeordnet.
  • An dem Kreissegment R4 ist ein Zugelement Z, beispielsweise ein Zugband, befestigt, das über die lose Rolle R3 und über eine zweite lose Rolle R2 zum Kreissegment R1 geführt ist, auf dem das Zugelement Z ebenfalls befestigt ist. Die lose Rolle R2 ist auf der Grundplatte des Spektrometers an einem Punkt E gelagert, der in Schienenrichtung ungefähr zwei Lenkerlängen vom Mittelpunkt des Segmentes R1 entfernt ist.
  • Eine zweite Stellung des Spektrometers ist mit gestrichelten Linien dargestellt.
  • Aus der Figur ist abzulesen, daß, wenn, wie vorgesehen, das Segment R1 den dreifachen Radius r wie die untereinander gleichen Rollen R2, R3 und Segment R4 hat, für die Länge L des Zugelementes Z zwischen zwei Punkten P1 und P4, die mögliche Befestigungspunkte des Zugelementes Z auf den Segmenten R1 bzw. R4 darstellen, gilt wobei # dem Bogenmaß des Winkels # entspricht. Wird durch Verschieben des Befestigungspunktes E der losen Rolle R2 außerdem die Bedingung L = 2 (ESP E) + zeit r erfüllt, so folgt mit EK = ESP E - ESP K die Erfüllung der Forderung ESP K - K ASP wonach der Abstand des Eintrittsspaltes vom Kristall gleich dem Abstand vom Kristall zum Austrittsspalt sein soll. Wird außerdem der Kristallhalter so eingerichtet, daß die Kristallnormale auf M ausgerichtet ist, so sind die eingangs aufgestellten Fokussierungsbedingungen für alle Entfernungen zwischen Eintrittsspalt und Analysatorkristall und damit für alle Winkel 9 erfUllt.
  • Für ein fokussierendes Spektrometer ist es von Vorteil, wenn in der Spektrometerebene die Winkelunsicherheit, unter der Strahlung durch den Eintrittsspalt auf den Kristall trifft, sowie die Winkelunsicherheit, unter welcher der Kristall durch den Austrittsspalt gesehen wird, stets konstant sind, weil diese Winkelunsicherheiten das Auflösungsvermögen des Spektrometers, das winkelunabhangig sein soll, bestimmen. Diese Forderung ist dann erfüllt, wenn die Breite BE des Eintrittsspaltes und die Breite rS.
  • des Austrittsspaltes mit dem Sinus des Reflexionswinkels e wachsen. Dies wird dadurch realisiert, daß Eintritts- und Austrittsspalt Je aus zwei Backen im Abstand BE bzw. BA bestehen, die mit den Kreissegmenten R1 bzw. R4 fest verbunden sind, so daß für die Projektion PBE der Breite des Eintrittsspaltes in Richtung der Schiene und für die Pro-Sektion PBA der Breite des Austrittsspaltes in Richtung von dem Kristall auf den Austrittsspalt gilt PBE = BE sind und PBA = BA 0 sinß Diese Projektionen wirken als Blenden, solange die Blendenweite klein gegen die Entfernung zwischen Eintrittsspalt und Kristall ist.
  • Für eine Winkelunsicherheit sE α E durch den Eintrittsspalt bzw. ca durch den Austrittsspalt folgt somit
    = ?BE BE = const.
    ESP K
    cCA = PBA H BA
    K ASP
    5 Patentansprüche 1 Figur

Claims (5)

  1. Patentansprüche Fokussierendes Röntgen-Linearspektrometer mit einem Eintrittsspalt für Röntgenstrahlen und einem Analysatorkristall für die nach dem Bragg'schen Gesetz gebeugten und auf einen Austrittsspalt vor einem Detektor fokussierten Strahlen sowie mit drei Lenkern, die mit je einem ihrer Enden gelenkig miteinander verbunden sind und deren ers-ter mit seinem anderen Ende in der Verlängerung der Längsachse des Eintrittsspaltes auf einer Grundplatte angelenkt ist und deren zweiter an seinem anderen, auf einer vom Eintritts spalt ausgehenden Schiene verschieblich und drehbar gelagerten Ende den mit seiner Oberflächennormalen in Lenkerrichtung angeordneten Analysatorkristall trägt, und das andere Ende des dritten Lenkers durch seinen Schnittpunkt mit der Längsachse des Austrittsspaltes bestimmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß am freien Ende des dritten Lenkers (F3) koaxial mit der Längsachse des Austrittsspaltes (ASP) ein Kreissegment (R4) befestigt ist, von dem ein Zugelement (Z) ausgeht, das über eine lose, mit der Verlängerung ihrer Drehachse in der Analysatorkristalloberfläche senkrecht zur Flächennormalen liegenden Rolle (R3) und über eine zweite, zu einer Verlängerung der Schiene um den Rollendurchmesser seitlich versetzt galagerte lose Rolle (R2) zu einem zweiten, mit dem an der Grundplatte angelenkten Ende des ersten Lenkers (F1) fest verbundenen Kreissegment (R1) führt und dort befestigt ist.
  2. 2. Röntgen-Linearspektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Radius des zweiten Kreissegmentes (R) das Dreifache der einander gleichen Radien (r) der Rollen (R2, R3) und des anderen Segmentes (R4) beträgt.
  3. 3. Röntgen-Linearspektrometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ein- und Austrittsspalte (ESP, ASP) je aus zwei Backen bestehen, die mit den sie tragenden Lenkern (F1, F3) fest verbunden sind.
  4. 4. Röntgen-Linearspektrometer nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der gegenseitige Abstand der Mittelpunkte des zweiten Segmentes (R1) und der zweiten Rolle (R2) in Schienenrichtung ungefähr zwei Lenkerlängen beträgt.
  5. 5. Röntgen-Linearspektrometer nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß das Zugelement (Z) an den Kreissegmenten (R1, R4) derart befestigt ist, daß es in allen Spektrometerstellungen tangential an den Segmenten (R1, R4) anliegt.
DE19742418372 1974-04-16 Fokussieren des Röntgen-Linearspektrometer Expired DE2418372C3 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19742418372 DE2418372C3 (de) 1974-04-16 Fokussieren des Röntgen-Linearspektrometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19742418372 DE2418372C3 (de) 1974-04-16 Fokussieren des Röntgen-Linearspektrometer

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2418372A1 true DE2418372A1 (de) 1975-10-30
DE2418372B2 DE2418372B2 (de) 1976-10-07
DE2418372C3 DE2418372C3 (de) 1977-05-18

Family

ID=

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0118965A1 (de) * 1983-03-15 1984-09-19 Technische Hogeschool Eindhoven Kinematisches Röntgenanalysegerät
EP0312155A1 (de) * 1987-10-16 1989-04-19 Koninklijke Philips Electronics N.V. Röntgenanalysegerät

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0118965A1 (de) * 1983-03-15 1984-09-19 Technische Hogeschool Eindhoven Kinematisches Röntgenanalysegerät
NL8300927A (nl) * 1983-03-15 1984-10-01 Eindhoven Tech Hogeschool Kinematisch roentgen analyse apparaat.
EP0312155A1 (de) * 1987-10-16 1989-04-19 Koninklijke Philips Electronics N.V. Röntgenanalysegerät
US4885760A (en) * 1987-10-16 1989-12-05 U.S. Philips Corporation X-ray analysis apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
DE2418372B2 (de) 1976-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3147689C2 (de) Zusatzgerät zur Durchführung von Reflexionsmessungen mit einem IR-Spektrometer
DE2114013C3 (de) Strickmaschine, insbesondere Flachstrickmaschine, mit einer elektronischen Nadelsteuereinrichtung
DE3803274A1 (de) Vorrichtung zur fernsehuntersuchung von rohrleitungen
DE2338295C2 (de) Vorrichtung zum Feststellen von Fehlern auf gegenüberliegenden Flächen einer im wesentlichen ebenen Bahn
DE2418372A1 (de) Fokussierendes roentgen-linearspektrometer
DE3142010C2 (de)
EP0416354A1 (de) Schlitten-Mikrotom
DE2418372C3 (de) Fokussieren des Röntgen-Linearspektrometer
DE9006554U1 (de) Auf einem Führungsrohr längsverschiebbar gelagerter Aufnahmeschlitten
DE1902628C3 (de) Röntgenkamera für die Röntgenstrahlen-Beugungsanalyse von pulverförmigen Substanzen
DE1572753B2 (de) Goniometer zur werkstoffanalyse mittels roentgenstrahlen
DE4118627A1 (de) Auf einem fuehrungsrohr laengsverschiebbar gelagerter aufnahmeschlitten
DE2604666A1 (de) Monochromator zur nutzung zweier wellenlaengen
DE2363221B2 (de) Spektrometer für die Analyse der von einer Röntgenstrahlenquelle emittierten Strahlung mit entern Analysator-KristaU und einem drehbar angeordneten Detektor
DE2460446B2 (de) Geraet zum pruefen der flankenrichtung von zahnraedern
DE936669C (de) Zeicheneinrichtung
DE1284123B (de) Monochromator fuer Roentgenstrahlen
DE1572753C (de) Goniometer zur Werkstoffanalyse mittels Röntgenstrahlen
DE3103322A1 (de) Roentgendiffraktometer
DE2149534C3 (de) Bogenmessgerät
DE2152201C3 (de) Changiervorrichtung
DD255785A1 (de) Anordnung zur messung von innengewinden und innenverzahnungen
DE2420799C3 (de) Vorrichtung zum verschiebbaren Befestigen von Beschriftungsschablonen oder dergleichen an Linealen von Zeichenmaschinen
CH437627A (de) Strahlenblende für durchdringende Strahlen
EP0223189A1 (de) Vorrichtung zum Prüfen und Sortieren von elektronischen Bauelementen

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee