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Die Erfindung betrifft einen Röntgenstrahlen-Monochromator mit linearer
Führung für den Kristall und den Detektor, bei dem der Kristall und ein Fokussierungsspalt
für die Röntgenstrahlen mit geeignetem gegenseitigem Abstand auf einem Rowlandkreis
gehalten und der Kristall längs einer Geraden hin- und herbewegt wird.
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Die Abufgabe der Erfindung besteht darin, einen Röntgenstrahlen-Monochromator
mit linearem Bewegungsmechanismus zu schaffen, bei welchem die Verschiebung des
Rowlandkreises auf einfache Weise möglich ist, ohne daß es dabei erforderlich wäre,
eine direkte Führung des Kreismittelpunkts längs einer Kreisbahn vorzusehen. Es
sollen dabei die verschiedenen Hauptelemente, etwa der Kristall, die Verbindungsglieder
und die Führungsrollen, an verschiedenen Drehpunkten anbringbar sein, derart, daß
die Größe des gesamten Gerätes, insbesondere bezüglich der Tiefe, wesentlich vermindert
werden kann. Der Monochromator soll so ausgebildet sein, daß selbst bei Verwendung
eines asymmetrisch geschnittenen Kristalls keine abdeckenden Elemente sich vor dem
gebogenen Kristall befinden, was eine Analyse von kürzeren Wellenlängen als bisher
ermöglicht.
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In der Zeichnung sind Ausführungsformen der Erfindung beispielsweise
dargestellt, und zwar zeigen F i g. 1 und 2 schematisch geometrische Darstellungen
zur Erläuterung der grundsätzlichen Arbeitsweise eines Monochromators; F i g. 3
zeigt schematisch eine geometrische Ansicht zur Erläuterung der Grundlagen der Erfindung,
und F i g. 4, 5 und 6 zeigen schematisch geometrische Darstellungen bevorzugter
Ausführungsformen des Röntgenstrahlen-Monochromators nach der Erfindung.
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Zum erleichterten Verständnis der Erfindung soll zunächst an Hand
der F i g. 1 und 2 eine Erläuterung der Grundlagen der Röntgenstrahlen-Spektroskopie
gegeben werden.
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F i g. 1 zeigt die geometrischen Bedingungen eines fokussierenden
Röntgenstrahlen -Monochromators, bei dem ein Kristall mit gekrümmten Netzebenen
4 (bestehend aus Bögen konzentrischer Kreise mit Mittelpunkt im Punkt 3) verwendet
ist. Dabei wird ein durch einen Punkt 1 verlaufender Röntgenstrahl an der Netzebene
reflektiert und auf den Punkt 2 gelenkt. Das heißt, divergente Röntgenstrahlen,
die durch den Punkt 1 verlaufen bzw. Röntgenstrahlen, die von einer am Punkt 1 befindlichen
Strahlungsquelle ausgesendet sind, werden theoretisch über den gesamten Bereich
der gekrümmten Netzebenen einer Beugung unterworfen, was theoretisch einer Erhöhung
des Auflösungsvermögens entspricht. In der Praxis ist es jedoch kaum möglich, einen
derartigen Kristall mit gemäß der Zeichnung gekrümmten Netzbenen herzustellen. und
die Anordnung sowie die Konstruktion des Detektors wird im Fall der Verwendung eines
solchen Kristalls äußerst schwierig und aufwendig, so daß in der Praxis derartige
Kristalle für eine Röntgenstrahlen-Spektroskopie nicht verwendbar sind. Demgemäß
werden in der Praxis im allgemeinen Kristalle verwendet, die so geschnitten sind,
daß sie entweder einen kleinen symmetrischen Bereich (entsprechend Bereich 5 der
Zeichnung) oder aber einen kleinen asymmetrischen Bereich (Bereich 6 der Zeichnung)
der gekrümmten Netzebenen umfassen. Wenn der Punkt 1 die Stelle der Röntgenstrahlen-Emission
darstellt, so befinden sich in diesem Fall der gekrümmte Krista115 (bzw. der Kristall
6) und der Brennpunkt 2 stets auf dem gleichen Kreis 8, der im allgemeinen
als Rowlandkreis bezeichnet wird. Die Winkel a und /i am Kreisumfang, die beide
durch von den Punkten 1 bis 3 ausgehende Sehnen eingeschlossen werden, sind einander
gleich, ebenso wie ihre zugehörigen Komplementärwinkel. Damit aber wird auch der
Winkel zwischen den Punkten 1-9-7 (Winkel 2 0) gleich dem Winkel zwischen den Punkten
2-.9-7. Damit sind auch die Sehnenlänge L (Länge des Segments 10) und die Sehnenlänge
La (Länge des Segments 11) einander gleich, und darüber hinaus ist
die Sehnenlänge L proportional der Wellenlänge der reflektierten Röntgenstrahlen.
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F i g. 2 zeigt nun die grundsätzlichen Bedingungen einer » linearen«
Röntgenstrahlen - Spektroskopie. Wenn dabei ein gebogener Kristall s so verschoben
wird wie durch die Bezugszeichen 5 a und 5 b dargestellt ist, d. h.
also entlang einer geraden Linie 10, und außerdem der Rowlandkreis 8 so verschwenkt
wird, daß er stets durch den Röntgenstrahlen-Emissionspunkt 1 hindurchgeht, in der
Zeichnung durch 8 a und 8 b angedeutet, so werden die Fokussierungsbedingungen ständig
erfüllt sein. In diesem Fall beschreibt der durch die Punkte 2 a und 2 b hindurchgehende
Fokussierungspunkt 2 eine komplizierte, in etwa einer Lemniskate entsprechende Bahn,
die gemäß der gestrichelten Linie 12 verläuft.
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Da die Richtung des von der Quelle 1 ausgehenden Röntgenstrahls bei
diesem System stets konstant ist, eignet sich dieses System insbesondere für die
Verwendung in Elektronen-Mikroanalysatoren und Fluoreszenz-Röntgenstrahlen-Analysatoren,
bei denen die Konstanz des Röntgenstrahlen-Ausfallwinkels wesentlich ist. Darüber
hinaus ergibt sich der Vorteil einer direkten Ablesung der Röntgenstrahlen-Wellenlänge
aus der Verschiebungsdistanz.
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Wenn in F i g. 2 der Rowlandkreis 8 von der Position 8 a in die Position
8 b verschoben wird, so wandert sein Mittelpunkt 9 von 9 a nach 9 b und der Spalt
13 bzw. der Detektor 14 von 13a und 14a nach 13 b und 14 b.
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Der eben beschriebene bekannte Röntgenstrahl-Monochromator mit linearer
Führung für den Kristall und den Detektor ist also aufgebaut, daß sich der Mittelpunkt
9 des Rowlandkreises auf einer Kreisbahn mit der Röntgenstrahlenquelle 1 als Mittelpunkt
bewegt. In der Praxis jedoch ist eine direkte Führung des Mittelpunkts des Rowlandkreises
auf dieser Kreisbahn nur sehr schwer zu erreichen, und zwar auf Grund der besonderen
Gestaltung der Röntgenstrahlenquellen. Soll also beispielsweise der Mittelpunkt
des Rowlandkreises auf der Kreisbahn 9, 9a, 9 b ... geführt werden,
so ist als Zentralpunkt für die Führung der Punkt 1 zu wählen, an welchem jedoch
auch die zu analysierende Probe angeordnet sein muß. Für eine direkte Führung ist
somit in Punkt 1 als Rotationszentrum eine Schwenkwelle od. dgl. anzuordnen, welche
jedoch weder die Anbringung der Probe noch den Einfall der Röntgenstrahlen hindern
darf. Eine diese Forderungen erfüllende Anordnung kann aber in der Praxis kaum erreicht
werden. Deshalb sind bisher indirekte Führungsmechanismen verwendet worden, also
Mechanismen, die mit dem Rotationszentrum nicht direkt in Verbindung stehen, besipielsweise
starr angeordnete
Bogenführungen. Diese indirekten Führungen erschweren
jedoch die Gesamtkonstruktion des Gerätes. So ist es mit den starren Bogenführungen
beispielsweise nicht möglich, eine Feinverstellung fier die Probe vorzusehen, was
den analysierbaren Wellenlängenbereich des Gerätes beträchtlich vermindert.
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Mit der Erfindung werden nun diese Schwierigkeiten vermieden, und
zwar durch einen Röntgenstrahlen-Monochromator mit linearer Führung, bei welchem
die grundsätzliche Betriebsweise des Monochromators von F i g. 2 durch eine Führung
erzielt wird, die keine Anhäufung mechanischer Führungselemente am Punkt l der Strahlungsquelle
erfordert. Die Grundlagen der Erfindung werden nun an Hand der F i g. 3 beschrieben.
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In F i g. 3 ist ein Rowlandkreis 8 dargestellt, mit Mittelpunkt 9
und einem vorgegebenen Radius. Gemäß der Erfindung ist außerdem ein Hilfskreis 21
vorgesehen, der sich teilweise mit dem Rowlandkreis 8 überdeckt. Der Hilfskreis
21 hat einen Mittelpunkt 17 und den gleichen Radius wie der Rowlandkreis.
Einer der beiden Schnittpunkte der Kreise 8 und 21. ist mit 19 bezeichnet.
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Werden die Winkel zwischen den Punkten 7-9-19 und 9-19-17 mit Z bzw.
e bezeichnet, so kann am Rowlandkreis 8 ein Punkt 22 bestimmt werden, der einen
Winkel 7-9-22 erzeugt. Ausgehend von Punkt 22 kann ein Punkt 20 festgelegt
werden, und zwar dadurch, daß eine Gerade 40 mit einer Länge entsprechend der Entfernung
zwischen den Punkten 1 und 22 vom Punkt 19 bis zum Schnitt mit dem Hilfskreis 21
gezogen wird. Ausgehend vom Punkt 20 kann dann ein Punkt 1.8 erhalten werden, derart,
daß sich ein Dreieck 20-17-18 ergibt, das kongruent mit dem Dreieck 19-9-17 ist.
Schließlich wird durch Schnitt einer Geraden 39 einer Länge entsprechend der Entfernung
zwischen den Punkten 1.8 und 20
mit der Linie 40 der Punkt
2 festgelegt. Nachfolgend werden nun die geometrischen Bedingungen im einzelnen
angegeben.
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Es soll angenommen werden, daß der Mittelpunkt 9 des Rowlandkreises
zum Punkt 17 verschoben werden muß, und damit der Brennpunkt 2 zum Punkt 18 auf
dem Hilfskreis 21, da die Entfernung zwischen dem Brennpunkt 2 und dem Punkt 18
gleich ist der Entfernung zwischen dem Mittelpunkt 9 des Rowlandkreises und dem
Mittelpunkt 17 des Hilfskreises. Dabei soll der Schnittpunkt der Linie zwischen
den Punkten 17 und 19 mit der Linie zwischen den Punkten 9 und 2 mit 48 bezeichnet
werden. Es ist ersichtlich, daß dann die Winkel zwischen den Punkten 19-48-2 und
19-17-18 einander gleich sind. Für den Winkel zwischen den Punkten 7-9-2
ergibt sich damit folgende Beziehung: 7-9-2 = (:# 7-9-10) + (@ 19-9-2), _
+ i ( 19-48-2) - ; J , = s@ - + f ( 19-17-20) - r; , _ - 2
+ («2 i 19-17-20).
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Andererseits wird der Winkel zwischen den Punkten 1-9-7 durch folgende
Gleichung dargestellt: <# 1-9-7 = (#: 1-9-22) - (@ 7-9-22).
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Da die Dreiecke 1-9-22 und 19-17-20 zueinander kongruent sind, ist
der Winkel zwischen den Punkten 1-9-22 gleich dem Winkel zwischen den Punkten
19-17-20, mit der Folge, daß für den Winkel zwischen den Punkten 1-9-7 folgende
Beziehung gilt: <#: 1-9-7 = ( 19-17-20) - (2 c; - 5), _ - 2-;- ( 19-17-20).
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Dies bedeutet aber, daß der Brennpunkt 2, bezogen auf den Punkt 7,
symmetrisch zum Punkt 1 angeordnet ist.
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Die eben erläuterten Grundgedanken der Erfindung können nun wie folgt
in die Praxis umgesetzt werden: Zunächst wird ein Hilfskreis 21 bestimmt, der teilweise
den Rowlandkreis 8 überdeckt. Damit sind der Mittelpunkt 17 des Hilfskreises und
der Schnittpunkt 19 der beiden Kreise gegeben. Ein erstes Gestänge verbindet nun
die erwähnten Punkte 17, 19 und 7 sowie einen beliebigen Punkt 35
des Rowlandkreises miteinander, derart, daß sie relativ zueinander fest sind. Das
Gestänge ist dabei so ausgebildet, daß die Punkte 7 und 35 auf Geraden verschieben
können, die sich im Punkt 1 schneiden. Diese Punkte 7 und 35 bleiben dabei auch
dann auf dem Rowlandkreis, wenn dieser um den Punkt 1 verschwenkt wird. Wenn also
der Punkt 7 festgelegt ist, so ergibt sich auf der Geraden 38 ein Punkt 22, welcher
der obigen Winkelbedingung genügt, d. h. Winkel a = 7-9-22 entspricht 2,-,e, und
die Entfernung zwischen den Punkten 1 und 22 wird auf eine gerade
Führung 40 übertragen, um die Entfernung eines beweglichen Punktes
20 festzulegen, der in reziproker Weise längs der Führung vom Punkt 19 aus
verschiebbar ist. Die gerade Führung 40 ist schwenkbar am Punkt 19 angelenkt. Ein
zweites Gestänge verbindet die Punkte 17 und 20 derart, daß ihre Entfernung dem
Radius des Rowlandkreises 8 bzw. des Hilfskreises 21 entspricht, und der Punkt 18
ist diesen beiden Punkten derart zugeordnet, daß ein gleichschenkliges Dreieck entsteht,
das kongruent mit dem Dreieck 9-19-17 ist. Schließlich ist der Punkt 2 beweglich
an der Führung 40 angeordnet und bewegt sich längs dieser Führung an einem
Gestänge 39 fester Länge, welche der Basis der gleichschenkligen Dreiecke entspricht.
Demgemäß kann bei der Erfindung der Punkt 22 sowohl dem Punkt 7 als auch dem Punkt
19 entsprechen.
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Bei der Erfindung sind also folgende Bauelemente erforderlich: a)
Ein erstes Gestänge für die Verbindung von vier Punkten, bestehend aus einem ersten
Drehpunkt am Punkt 17, der einen bestimmten Abstand vom Mittelpunkt 9 des Rowlandkreises
8 besitzt, aus einem ersten Endpunkt 7, an welchem ein Analysierkristall angeordnet
ist, einem zweiten Endpunkt 35, wobei die Punkte 7 und 35 sich am Umfang des Rowlandkreises
befinden, und einem zweiten Drehpunkt am Schnittpunkt 14 des Rowlandkreises mit
einem Hilfskreis 21, wobei der Hilfskreis den gleichen Radius wie der Rowlandkreis
aufweist und einen Mittelpunkt 17 besitzt; b) Führungselemente zum Bewegen der Punkte
7 und 35 längs gerader Linien, die sich am Ort der Röntgenstrahlenquelle schneiden
und einen bestimmten Umfangswinkel am Rowlandkreis bilden; c) eine am zweiten Drehpunkt
befestigte Geradeführung;
d) ein zweites Gestänge zum Verbinden
dreier Punkte, nämlich eines dritten Drehpunktes, der beweglich an einem Punkt
20 auf der Geradeführung angeordnet ist, und zwar mit einem Abstand von Punkt
19 entsprechend der Entfernung zwischen der Röntgenstrahlenquelle und dem
Punkt 7, dem Punkt 19 oder dem Punkt 22 am anderen Ende der Basis des Dreiecks 7-9-22
mit Zentriwinkel a (cr = 2 (9-19-17) - (7-9-19) und eines dritten Endpunktes
18 mit einer Entfernung vom Punkt 20 entsprechend dem oben angegebenen Abstand;
e) ein Lenker 39 mit einer Länge entsprechend dem oben angegebenen Abstand, dessen
eines Ende am Punkt 18 und dessen anderes Ende verschieblich an der Geradeführung
angebracht ist; f) eine Halterung zum Lagern eines Röntgenstrahlen-Detektors außerhalb
des Rowlandkreises und auf der Verlängerung einer geraden Linie, welche die Punkte
7 und den Schnittpunkt 2 (Fokussierungspunkt) der Geradeführung sowie am anderen
Ende des Lenkers 39, und g) Verbindungsglieder zum linearen Bewegen des dritten
Drehpunktes und des anderen Endes des Lenkers gemeinsam mit dem ersten Gestänge.
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Eine Ausführungsform der Erfindung, und zwar in Anwendung auf Röntgenstrahlen-Mikroanalysatoren,
ist in F i g. 4 gezeigt, wobei e = 2 @ und die gleichen Bezugsziffern wie in F i
g. 3 verwendet sind. Zusätzlich sind ein Elektronenstrahl 15, eine Elektronenlinse
33 und eine zu analysierende Probe 16 dargestellt.
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Bei der Ausführungsform nach F i g. 4 ist ein Analysatorkristall 5
am Endpunkt 7 eines ersten Gestänges zum Verbinden der Punkte 7-17-35-19 angeordnet,
wobei die Punkte 7 und 35 längs der Geraden 10 bzw. 23 beweglich sind, die sich
am Ort der Röntgenstrahlenquelle 1 unter einem Winkel O schneiden. Aus der obigen
Erläuterung ist verständlich, daß die Entfernung zwischen den Punkten 7 und 35 konstant
gehalten werden muß. Demgemäß ist es möglich, die Punkte 7, 1 und 35 auf dem Rowlandkreis
8 zu halten, dessen Mittelpunkt stets auf dem Umfang einer Kreisbahn um die Röntgenstrahlenquelle
1 liegt, mit dem gleichen Radius wie der Rowlandkreis. Das zweite Gestänge 32 zum
Verbinden der Punkte 17-20-18 ist um den Punkt 17 schwenkbar, und der Punkt 20 des
Gestänges 32 ist beweglich auf einer Geradeführung 24 angeordnet, deren eines Ende
am Punkt 19 schwenkbar angelenkt ist. Rollen 26 und 27 sind an den Punkten 7 und
19 angeordnet, und ein Lenker 39 ist zwischen den Punkten 18 und dem beweglichen
Punkt 2 (Fokussierungspunkt) auf der Geradeführung 24 vorgesehen. Außerdem
läuft ein Spannband 25 um die Rollen 26, 27 und 28, wie in F i g. 4 dargestellt
ist, und ist mit seinem Ende am Punkt 20 befestigt. Ein Röntgenstrahlen-Detektor
30 ist außerhalb des Rowlandkreises 8 auf der Verlängerung derjenigen Geraden angeordnet,
welche die beiden Punkte 2 und 7 miteinander verbindet. Bei dieser Ausführungsform
fällt der Endpunkt 2 des Lenkers 39 stets mit dem Fokussierungspunkt zusammen, wodurch
vom Kristall s gebeugte Röntgenstrahlen am Fokussierungspunkt exakt fokussiert werden
können. Dabei durchlaufen die gebeugten Röntgenstrahlen einen Fokussierungsspalt
29, der am Punkt 2 angeordnet ist, und werden dann vom Detektor 30 aufgenommen.
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Da der Drehwinkel des Gestänges 31 gleich demjenigen der Führung 2
ist, können durch Verwendung von Rollen 26 und 27 gleichen Durchmessers die Längen
des Spannkörpers 25 zwischen den Rollen einander gleichgemacht werden, wobei die
entsprechenden Spannrichtungen einander entgegengesetzt sind. Unabhängig von der
Lage des Rowlandkreises 8 wird somit die Entfernung zwischen dem Punkt 19 und dem
Punkt 20 durch den Spannkörper 25 derart festgelegt, daß sie gleich ist derjenigen
zwischen den Punkten 1 und 7. Da der Winkel e von F i g. 3 gleichgesetzt ist 2 @
beim Beispiel von F i g. 4, wird der Punkt 22 von F i g. 3 mit dem Punkt 7 zusammenfallen.
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Um zu verhindern, daß die Spannung nachläßt, ist es erforderlich,
am Punkt 20 als Spannmittel eine nicht gezeigte Feder anzubringen. Selbstverständlich
ist es nicht erforderlich, daß die Gestänge 31 und 32 nur aus geraden Lenkern bestehen,
vielmehr sind auch andere Ausbildungen für diese Gestänge möglich, vorausgesetzt,
daß sie die exakte Einhaltung der Stellungen der Drehachsen gewährleisten.
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Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist in F i g. 5 dargestellt,
und zwar für den Fall, daß die Winkelbeziehung in F i g. 3 durch e = 2 @-e, d. h.
5 = s ausgedrückt werden kann und der Punkt 22 mit dem Punkt 19 zusammenfällt. Insbesondere
ist an Stelle des Spannmittels 25 des Beispiels von F i g. 4 ein Spannglied
25 a vorgesehen, das zwischen dem Mittelpunkt des gebogenen Kristalls und
dem Fokussierungspunkt eine Entfernung gewährleistet, die gleich ist der Entfernung
zwischen der Röntgenstrahlenquelle und dem Schnittpunkt der beiden Kreise. Die Konstruktion
der anderen Teile ist gleich denjenigen von F i g. 4.
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Um eine Kompensation der Wicklung des Spannglieds um die Spannrollen
zu erhalten, sind jedoch eine Rolle 27a und eine Rolle 41 mit doppeltem Durchmesser
der Rolle 27a verwendet, da bei einem Drehverhältnis von Gestänge 31, Führung 24
und Gestänge 32 von 1:2: 3 die Rotationsdifferenz zwischen der Führung 24 und dem
Gestänge 32 gleich 3-2 = 1 ist. Außerdem ist das Außenende des Spannglieds
25 a am Gestänge 32 befestigt. Darüber hinaus können durch Anbringung von
Rollen des gleichen Durchmessers wie 27 a an den Punkten 20, 18 und 2 jegliche Längendifferenzen
des Spannkörpers vermieden werden.
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Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist in F i g. 6 dargestellt,
wobei diese Ausführungsform für einen asymmetrisch geschnittenen Kristall bestimmt
ist. Diese Ausführungsform zeichnet sich dadurch aus, daß der asymmetrisch geschnittene
Kristall am Schnittpunkt der beiden Kreise angeordnet ist und daß ein Gestänge zum
Bewegen des Kristalls vorgesehen ist. Da in diesem Fall kein besonderes mechanisches
Teil vor dem gebogenen Kristall erforderlich ist und das Segment 10 proportional
der Wellenlänge .2 der zu reflektierenden Röntgenstrahlen ist, kann die Wellenlänge
der Röntgenstrahlen direkt am Punkt 47 abgelesen werden, gegenüber welchem der Punkt
7 parallel verschoben worden ist. Aus diesem Grund wird der gebogene Kristall 6
indirekt mit Hilfe der Gestänge 44 und 45 bewegt. Die Tatsache, daß dabei die Bewegung
des Drehzapfens 47 proportional der Wellenlänge
ist, ergibt sich
offensichtlich daraus, daß der Imaginärpunkt 7 eine Parallelverschiebung erfährt.
Das heißt, abgesehen von der Konstruktion des Teils zum Bewegen des gebogenen Kristalls
6 ist der übrige Aufbau dieser Ausführungsform gleich derjenigen von F i g. 5.
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Mit der Erfindung ist es möglich, durch Elemente wie Elektronenlinsen
usw. üblicherweise auftretende Schwierigkeiten zu vermeiden, und zwar dadurch, daß
der Mittelpunkt des Rowlandkreises in eine geeignete Stellung verschoben wird, wodurch
die Entfernung zwischen der Probe und dem Analysierkristall und folglich der Anwendungsbereich
des Monochromators bezüglich der zu messenden Röntgenstrahlen-Wellenlängen vergrößert
wird. Da die verschiedenen Teile, etwa der Kristall, die Gestänge und die Rollen,
an verteilten Stellen angebracht werden können, wird darüber hinaus die Tiefenausdehnung,
d. h. die Dicke des gesamten Gerätes gegenüber den üblicher Geräte beträchtlich
vermindert, bei denen diese Teile zwangläufig an einem bestimmten Punkt konzentriert
sind. Die Erfindung eignet sich somit besonders für Fälle, bei denen eine große
Anzahl von Spektroskopen in Kombination verwendet werden.
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Die Erfindung erbringt weiterhin den Vorteil, daß eine Konstruktion
möglich ist, bei welcher keine Teile vor dem gebogenen Kristall liegen, selbst wenn
der Kristall asymmetrisch geschnitten ist, wodurch eine Dispersion kurzer Wellenlängen
möglich ist und damit ebenfalls das Anwendungsgebiet des Gerätes vergrößert wird.
Demgemäß ist die Erfindung besonders wirkungsvoll bei Anwendung auf Röntgenstrahlen-Mikroanalysatoren
und Fluoreszenz-Röntgenstrahlen-Analysatoren.