DE2364183A1 - Originalplatte zur uebertragung eines erhabenen musters und verfahren zum uebertragen eines erhabenen musters von einer originalplatte auf ein thermoplastisches harzmaterial - Google Patents

Originalplatte zur uebertragung eines erhabenen musters und verfahren zum uebertragen eines erhabenen musters von einer originalplatte auf ein thermoplastisches harzmaterial

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DE2364183A1
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Tadanori Inoue
Takezo Sano
Yukikazu Uemura
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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