DE2355672B2 - Magnetkopf in Dünnschichttechnik - Google Patents
Magnetkopf in DünnschichttechnikInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Magnetkopf in Dünnschichttechnik zur Verwendung beim Schreiben und
Lesen auf einem relativ dazu bewegten magnetischen Aufzeichnungsträger, mit einem Kernteil, das durch
einen Stapel von aufeinanderliegenden dünnen anisotropen magnetischen Schichten gebildet ist, zwischen
die an der einen Stirnseite des Stapels eine nichtmagnetische Zwischenlage zur Bildung eines Luftspaltes
eingefügt ist, und mit einer durch den Luftspalt verlaufenden Flachwicklung aus einem nichtmagnetischen
Leitermaterial, wobei die zu beiden Seiten des Luftspalts liegenden, jeweils durch eine Hälfte des
Schichtenstapels gebildeten Polteile in zueinander symmetrischer Reihenfolge jeweils eine weichmagnetische
Schicht und eine hartmagnetische Schicht enthalten, von denen die hartmagneüschen Schichten außen
liegen.
Ein Magnetkopf dieser Art ist aus der US-PS 36 39 699 bekannt Durch den Aufbau des Kernteils aus
s weichmagnetischen und hartmagnetischen Schichten soll eine bessere Anpassung an die sehr unterschiedlichen
Bedingungen beim Schreiben und beim Lesen erreicht werden. Der Wirkungsgrad des Magnetkopfes
beim Lesebetrieb kann nämlich in einfacher Weise
ίο durch das Verhältnis des von der Wicklung geschnittenen
Flusses zu dem auf der Höhe des Luftspalts verfügbaren Fluß definiert werden; in dieser Hinsicht
muß der magnetische Widerstand des magnetischen Materials zwischen der Wicklung und dem Luftspalt
is möglichst Wein sein, und damit eine gute Auflösung
erhalten wird, muß die Luftspaltbreite möglichst klein sein. Beim Schreiben hängt dagegen der Wirkungsgrad
von dem Verhältnis des Schreibfelds zum Schreibstrom und von dem Feldgradient auf der Höhe des Luftspalts
ab; in dieser Hinsicht müßte das magnetische Material praktisch die Remanenzinduktion Null aufweisen und
eine möglichst große Sättigungsinduktion und eine möglichst große Anisotropie-Feldstärke haben, wobei
zugleich die Permeabilität sehr viel größer als 50 sein muß. Diese beiden Gruppen von Bedingungen stehen
physikalisch im Widerspruch zueinander oder sind zumindest schlecht vereinbar.
Bei dem zuvor erwähnten bekannten Magnetkopf enthält jeder der zu beiden Seiten des Luftspalts
liegende Schenkel des Kernteils zwei direkt aufeinanderliegende um) in Berührung miteinander stehende
Schichten, wobei das Material der näher beim Luftspalt liegenden Schicht eine merklich größere Permeabilität
und eine merklich niedrigere Sättigungsflußdichte als das Material der anderen Schicht aufweist. Theoretisch
wäre dann der Luftspalt beim Lesen durch die ihn geometrisch begrenzenden weichmagnetischen Schichten
definiert, während er beim Schreiben dured die an die beiden weichmagnetischen Schichten angrenzenden
hartmagnetischen Schienen b.stimmt wäre. Diese
bekannte Kopfanordnung ergibt jedoch nicht ohne weiteres das gewünschte Ergebnis, und zwar insbesondere
deshalb, weil beim Aufbringen einer hartmagnetischen Schicht unmittelbar auf eine weichmagnetische
weichmagnetischen Schicht entsteht, wodurch die weichmagnetische Schicht ihre Eigenschaft großer
Magnetkopf zu schaffen, der die unterschiedlichen Bedingungen beim Schreiben und beim Lesen besonders
gut erfüllt.
Ausgehend von einem Magnetkopf der eingangs angegebenen Art wird diese Aufgabe nach der
W Erfindung dadurch gelöst, daß in jedem Polteil die
hartmagnetische Schicht und die weichmagnetische Schicht magnetostatisch voneinander durch eine Zwischenschicht
entkoppelt sind, welche die Blockierung der Magnetisierung der weichmagnetischen Schicht
durch die Magnetisierung der hartmagnetischen Schicht verhindert.
Im Gegensatz dazu ergibt die erfindungsgemäße
Ausbildung die Wirkung, daß die Eigenschaften des Magnetkopfes beim Lesen in erster Linie durch die
inneren, weichmagnetischen Schichten, beim Schreiben dagegen durch die äußeren, hartmagnetischen Schichten
bestimmt werden; die eingefügte Zwischenschicht verhindert, daß der Magnetisierungsvektor der aniso-
tropen hartmagnetischen Schicht den Magnetisieningsvektor
der weichmagnetischen Schicht »blockiert«, wodurch die weichmagnetische Schicht ihre Eigenschaft
großer Permeabilität verlieren würde.
Es ist zu bemerken, daß aus der DE-AS U 91' 508 s
bereits ein Magnetkopf bekannt ist, bei welchem zur Aufzeichnung von Informationen in einer breiten Spur
und zur Abfühlung der aufgezeichneten Informationen in einer schmalen Spur am Rand der Spur des
Arbeitsspall-s Teile vorgesehen sind, die erne höhere
magnetische Permeabilität aufweisen als die Spaltfüllung innerhalb der übrigen Länge des Arbeitsspaltes,
und die Spaltfüllungen am Rand und im übrigen Teil des Arbeitsspaltes in verschiedenen magnetisch getrennten
Kreisen des Magnetkopfkems angeordnet sind. Zur is magnetischen Trennung sind beispielsweise Lamellen
aus nichtmagnetisierbarem Material, wie Messing, zwischen den Kernteilen verschiedener Kreise angeordnet
Hierbei handelt es sich aber um einen Magnetkopf diskreter Bauart, also nicht in Dünnschichttechnik, bei
welchem die Trennebenen zwischen den Kernteilen senkrecht zum LuftspaJt stehen und alle Kernteile aus
Material mit gleichen magnetischen Liegenschaften bestehen.
Schließlich ist aus der DE-AS 12 34 793 ein Spalt-Löschkopf bekannt, dessen Kernteil aus parallel zum
Luftspalt liegenden Blechlamellen besteht, wobeii zur scharfen Ausprägung des Löschfeldes an beiden Seiten
des Spaltfüllers eine magnetisierbare Lamelle, dann jeweils eine nichtmagnetisierbare Lamelle und schließlieh
eine Reihe magnetisierbarer Lamellen angeordnet sind. Das Problem der unterschiedlichen Bedingungen
beim Schreiben und Lesen ist mit dieser Ausbildung des Magnetkopfes nicht lösbar.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnung beschrieben. In der Zeichnung zeigt
Fig. 1 eine Explosionszeichnung der verschiedenen
Bestandteile eines Ausführungsbeispiels des Magnetkopfes nach der Erfindung,
F i g. 3 eine Schnittansicht in Richtung des Pfeils a von
Fig. 2,
F i g. 4 eine Schnittansicht in Richtung des Pfeils b von
F i g. 2 und
F i g. 5 eine Teilansicht einer Ausführungsform dner «
Polteilstruktur in größerem Maßstab.
Die Abmessungen, insbesondre die Dicken, sind in der Zeichnung der Klarheit der Darstellung wegen nicht
maßstabsgerecht dargestellt und aus dem gleichen Grund sind in Fig. 1 die Verwerfungen nicht gezeigt,
welche die verschiedenen Teile des Magnetkopfes bei ihrer Bildung auf dem Substrat t annehmen, wenn sie
beispielsweise nach einem an sich bekannten Verfahren durch Vakuum-Aufdampfen in Dünnschichten aufgebracht
werden.
Auf das Substrat 1 wird zunächst eine Schicht .1 aus
einem magnetischen Material aufgebracht, das eine Sättigungsinduktion und eine Sättigungsfeldstärke von
großem Wert, eine Remanenz-Induktion, die praktisch Null ist, und eine Permeablilität hat, die sehr viel größer
als 50 ist. Ein solches Material kann Kobalt oder eine Eisen-Kobalt-Legierung sein, doch wird vorzugsweise
Eisen verwendet, dessen Slttigungsinduktion größer als diejenige von Kobalt und seiner Legierungen ist, das bei
Temperaturen verdampft werden kann, die mit dem zuvor erwähnten allgemeinen Herstellungsverfahren
vereinbar sind, und dessen Remanenzinduktion ir. solchen Dünnschicht! J sehr klein und für die endgültig
geforderten Eigenschaften des Magnetkopfs praktisch vernachlässigbar ist Als Anhaltspunkt kann angegeben
werden, daß der Wert der Sättigungsinduktion von aufgedampftem Eisen etwa 2 T beträgt, gegenüber 1,8 T
für Kobalt Die Permeabilität von Eisen, das in einer dünnen Schicht bei einer Substrattemperatur von etwa
200 bis 30O0C aufgebracht worden ist liegt bei einer
Dicke von einigen Mikron zwischen 100 und 300, und die
Sättigungsfeldstärke, die näherungsweise der Anisotropiefeldstärke einer dünnen einachsigen Schicht gleichgesetzt
werden kann, da sie hinsichtlich der Erfindung die gleichen Wirkungen hat, erreicht und überschreitet
sogar 20 A/cm.
Die Schicht 2, deren Dicke beispielsweise in der Größenordnung von etwa 20 Mikron liegt wird dann
mit einer dünneren Schicht 3 bedeckt auf deren Beschaffenheit später eingegangen wird. Auf die Schicht
3 wird dann eine magnetische Schicht 4 aus einem Material aufgebracht das gegenüber dem Material der
Schicht 2 eine Sättigungsinduktion von kleinerem Wert, eine merklich größere Permeabilität und eine Anisotropie-Feldstärke
hat, die beträcht.'ich kleiner als die
Sättigungsfeldstärke des Materials der Schicht 2 ist. Ein solches Material kann vorzugsweise eine Eisen-Nickel-Legierung
sein, deren Sättigungsinduktion in der Größenordnung von 1 T liegt, deren Permeabilität
annähernd zwischen 5000 und 1000 liegt und deren Anisotropie-Feldstärke etwa 5,6 A/cm beträgt, wenn die
Form und die Dicke etwa die gleichen sind wie bei der Schicht 2.
Dann wird auf diesem Schichtenstapel, der eines der magnetischen Polteile des Magnetkopfes bildet, die
Flachwicklung 5 gebildet. Diese Wicklung wird in an sich bekannter Weise in Form einer Flachwicklung mit
mehreren Windungen geformt, die voneinander isoliert sind und auf dem Stapel der Schichten 2 bis 4 nur mit
dem vorderen Schenkel aufliegen, während die seitlichen Schenkel und der hintere Schenkel auf dem
Substrat 1 aufliegen. Nach der Bildung wird die Wicklung 5 vollkommen mit einer Isolierschicht
umhüllt, wie sie bei 9 in Fig.4 dargestellt ist, mit Ausnahme ihrer Luftspaltfläche, an der die blanken
Ränder der Leiter 10 erscheinen. Die Luftspalttlächen des Stapels 2-3-4 und der Wicklung 5 liegen natürlich in
einer Linie mit dem entsprechenden Rand des Substrats 1. Die Breite L 3 des Substrats ist dami gleich der Breite
L 1 der Schichten 2 und 3, zu beiden Seiten vergrößert um die Breite sder seitlichen Schenkel der Wicklung 5.
Die Breite L 2 der Schicht 4 ist vorzugsweise kleiner als die Breite L 1.
Der Stapel der Schichten 2-3-4 bildet eines der Polteile des Magnetkopfs. Das andere Polteil wird dann
oberhalb der Wicklung 5 und des Substrats symmetrisch zu dem ersten Polteil in Bezug auf den durch die Dicke e
der Wicklung gebildeten geometrischen Luftspalt geformt. Dieses zweite Polteil beginnt also mit einer
Schicht 6 aus dem gleichen Material und von den gleichen Abmessungen wie die Schicht 4, gefolgt von
einer Zwischenschicht 7, auf die eine magnetische Schicht 8 ausbracht wird, die aus dem gleichen
Material wie die Schicht 2 besteht und die gleichen Abmessungen wie diese hat. Als Beispiel ist angegeben,
obgleich dies nicht zwingend ist, daß vor dem Aufbringen der Schicht 6 zwei Isolierblöcke 11 vor,
gleicher Dicke wie diese Schicht und zu beiden Seiten des für sie vorgesehenen Platzes auf den entsprechenden
Teilen des vorderen Schenkels der Wicklung 5 gebildet werden. Die zusammengesetzte Schicht 6—11
ergibt dann eine ebene Fläche der Breite L 1 für das Aufbringen der Schichten 7 und 8 an dieser Stelle der
Struktur. Man kann die Blöcke 11 fortlassen, wenn man zuläßt, daß die Schichten 7 und 8 dann über die seitlichen
Ränder der Schicht 6 bis zur Oberseite des Luftspaltschenkels der Wicklung 5 nach unten gehen.
Die Zwischenschichten 3 und 7 haben den Zweck, eine magnetostatische Entkopplung zwischen der
»harten« Schicht und der »weichen« Schicht der Polteile zu bewirken Die Schichten 2 und 8 sind die »harten«
Schichten, und die Schichten 4 und 6 sind die »weichen« Schichten. Damit der Magnetkopf seine beiden Funktionen,
nämlich das Schreiben und das Lesen, richtig ausüben kann, ist es nämlich zwingend erforderlich, daß
die Magnetisierung der weichen Schichten nicht durch die Magnetisierung der entsprechenden harten Schicht
gestört werden kann, und daß die weichen Schichten ihre Richtung leichter Magnetisierbarkeit parallel zu
azt grc|<c az. Lüf:;~s!ie: beibehalten können
Für die Zwischenschichten 3 und 7 sind zwei Herstellungsweisen möglich. Die erste besteht darin,
daß sie aus einem dielektrischen Material, wie SiOj gebildet werden, dessen Dicke so bemessen wird, daß
die gewünschte Entkopplung gewährleistet ist. Die zweite Herstellungsweise besteht darin, daß die
Zwischenschichten durch aufeinanderfolgendes und abwechselndes Aufdampfen von Filmen gebildet werden,
die sehr dünn gegen die Dicke der Schichten sind, die sie in jedem Polteil voneinander trennen, wobei
diese abwechselnden Filme aus dem gleichen Material wie diese Schichten bestehen. In einer derartigen
Zwischenschicht blockieren dann die Filme aus dem »harten« Material die Magnetisierungen der Filme aus
dem »weichen« Material, doch hat die zusammengesetzte Struktur keine Streufelder und auch keine Gesamtentmagnetisierungsfelder,
die in der Lage wären, die zu beiden Seiten liegenden Schichten zu beeinflussen,
wodurch sich die gewünschte magnetische Entkopplung zwischen diesen zu beiden Seiten liegenden Schichten
ergibt.
Die zweite Ausführungsform der Zwischenschichten ist für die Schicht 3 in F i g. 5 in Form der
aufeinanderliegenden Filme 14 und 15 dargestellt, deren Anzahl in dieser Darstellung willkürlich gewählt ist.
Wie ferner in F i g. 5 gezeigt ist, ist jede der Schichten 2 und 4 somit auch jede der entsprechenden Schichten 8
und 6 des anderen Polteils in einer Schichtstruktur gebildet, die durch aufeinanderfolgendes Aufbringen
von dünnen Filmen aus ihren jeweiligen Materialien erhalten sind, wobei diese Filme elektrisch voneinander
durch Häutchen getrennt sind, die außerordentlich dünn gegen ihre eigene Dicke sind. Diese Ausbildung, die
gegebenenfalls, wenn es erwünscht und ausreichend ist, nur für die weichen Schichten angewendet werden kann,
ermöglicht die Ausschaltung einer Einwirkung der Entmagnetisierungsfelder, die sich bei einstückig gebildeten
Schichten zwangsläufig in den harten Schichten über Wege schließen würden, die durch die Luft gehen,
wodurch wieder Kopplungen zwischen den weichen und den harten Schichten entstünden, die den gewünschten
Betrieb beeinträchtigen wurden, außer wenn die Dicke der Zwischenschichten übertrieben groß bemessen
würde. Diese Maßnahme ermöglicht also eine optimale Bestimmung der Abmessungen des Magnetkopfes.
Mit einer Magnetkopfstruktur der beschriebenen Art, die also «us -A-cichcr. und harten Schichten besieh1., die
magnetisch voneinander entkoppelt sind und deren Dicke in der gleichen Größenordnung liegt, haben die
Schichten 4 und 6 beim Schreiben nur eine vernachlässigbare Wirkung, während die Wirkung der Schichten 2
und 8 vorherrschend ist und eine Schreib-Luftspaltbreite ft (Fig.4) bestimmt, die ein tiefes Schreiben in der
Aufzeichnungsschicht gewährleistet, welche in der Richtung des Pfeils 5 vor der Luftspaltfläche des
MagiK" !kopfes vorbeiläuft. Dagegen sind beim Lesen die
Schichten 2 und 8 vollkommen unwirksam, und nur die Schichten 4 und 6 bestimmen den Lese-Luftspalt ei, der
im wesentlichen gleich dem geometrischen Luftspalt e ist.
Für die weichen und harten Schichten sind verschiedene Breiten dargestellt, da es vorteilhaft erscheint, das
Lesen über eine Breite der Magnetspur des Aufzeichnungsträgers vorzunehmen, die kleiner als die Breite ist,
über welche diese Spur beschrieben worden ist, doch ist diese Besonderheit an sich nicht zwingend notwendig.
Abschließend läßt sich feststellen, daß die beschriebenen Magnetkopfstrukturen ihre Funktionen des Schreibens und Lesens vollkommen getrennt in der Hinsicht durchführen, daß die weichen Schichten darin miteinander gekoppelt sind und kein merkliches Streufeld haben, und daß sie magnetostatisch von den harten Schichten entkoppelt und daher unempfindlich für die Streufelder dieser harten Schichten sind.
Abschließend läßt sich feststellen, daß die beschriebenen Magnetkopfstrukturen ihre Funktionen des Schreibens und Lesens vollkommen getrennt in der Hinsicht durchführen, daß die weichen Schichten darin miteinander gekoppelt sind und kein merkliches Streufeld haben, und daß sie magnetostatisch von den harten Schichten entkoppelt und daher unempfindlich für die Streufelder dieser harten Schichten sind.
Claims (5)
1. Magnetkopf in Dünnschichttechnik zur Verwendung beim Schreiben und Lesen auf einem
relativ dazu bewegten magnetischen Aufzeichnungsträger, mit einem Kernteil, das durch einen Stapel
von aufeinanderlegenden dünnen anisotropen magnetischen Schichten gebildet ist, zwischen die an
der einen Stirnseite des Stapels eine nichtmagnetische Zwischenlage zur Bildung eines Luftspaltes
eingefügt ist, und mit einer durch den Luftspalt verlaufenden Flachwicklung aus einem nichtmagnetischen
Leitermaterial, wobei die zu beiden Seiten des Luftspalts liegenden, jeweils durch eine Hälfte
des Schichtenstapels gebildeten Polteile in zueinander symmetrischer Reihenfolge jeweils eine weichmagnetische Schicht und eine hartmagnetische
Schicht enthalten, von denen die hartmagneiischen Schichten außen liegen, dadurch gekennzeichnet,
daß in jedem Polteil die hartmagnetische Schacht (2,8) und die weichmagnetische Schicht
(4, 6) magnetostatisch voneinander durch eine Zwischenschicht (3, 7) entkoppelt sind, welche die
Blockierung der Magnetisierung der weichmagnetischen Schicht (4, 6) durch die Magnetisierung der
hartmagnetischen Schicht (2,8) verhindert.
2. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (3, 7) aus einem
unmagnetischen dielektrischen Material besteht.
3. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zwischenschicht (3, 7) aus einem Stapel ve·:, sehr dünnen Filmen (14, S5) besteht, die
abwechselnd aus dem Ma'erial der weichmagnetischen
Schicht (4, 6» und aus dem Material der hartmagnetischen Schicht (2: "-) bestehen.
4. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens jede der
weichmagnetischen Schichten (4,6) aus einem Stapel von dünnen, elektrisch voneinander isolierten
Filmen (13) gebildet ist, deren Isolierdicke sehr klein gegen die Dicke eines der Filme ist.
5. Magnetkopf nach einem der Ansprüche I bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Material der
weichmagnetischen Schichten (4, 6) eine Eisen-Nikkel-Legierung ist, die eine Achse leichter Magnetisierbarkeit
parallel zu der Breite des Luftspalts hat, und daß das Material der hartmagnetischen
Schichten (2, 8) Eisen oder Kobalt oder eine Eisen- und/oder Kobalt-Legierung ist.
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