DE2333812C3

DE2333812C3 - Magnetkopf in Dünnschichttechnik und Verfahren zu seiner Herstellung

Info

Publication number: DE2333812C3
Application number: DE2333812A
Authority: DE
Inventors: Jean Pierre Villiers Saint Frederic Lazzari
Original assignee: Compagnie Internationale pour l'Informatique CII-Honeywell Bull, 75020 Paris
Priority date: 1972-07-03
Filing date: 1973-07-03
Publication date: 1981-11-19
Also published as: DE2333812B2; IT991646B; ES416545A1; BE801184A; HU169204B; DE2333812A1; FR2209154B1; FR2209154A1; GB1431348A; NL7309181A; US3846842A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Magnetkopf der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art, sowie auf ein Verfahren zu seiner Herstellung.

Ein Magnetkopf dieser Art ist aus den F i g. 16 bis 20 der US-PS 35 49 825 bekannt. Magnetköpfe in Dünnschichttechnik weisen die Vorteile auf, daß sie mit äußerst kleinen Abmessungen herstellbar sind und daß die Herstellung nach den für die Fertigung integrierter Schaltungen entwickelten Verfahren unter Verwendung von Masken vollautomatisch in großen Stückzahlen mit geringen Kosten und hoher Präzision möglich ist. Insbesondere ist es möglich, eine große Anzahl von Magnetköpfen gleichzeitig auf einem gemeinsamen Substrat herzustellen. Die kleinen Abmessungen der Magnetköpfe werden insbesondere bei Magnetaufzeichnungs- und Wiedergabegeräten für digitale Daten gefordert. Bei solchen Geräten finden oft Kopfgruppen mit einer Vielzahl von in genauen Abständen eng nebeneinander angeordneten Magnetköpfen Anwendung. Die Magnetköpfe in Dünnschichttechnik können auf dem als endgültigen Träger dienenden Substrat gleich in der erforderlichen gegenseitigen Abständen hergestellt werden.

Ein besonderes Problem der Dünnschicht-Magnetköpfe, mit dem sich insbesondere auch die US-PS 35 49 825 befaßt, ist die Ausbildung einer für die Erzielung des erforderlichen Signal-Rauschverhältnisses ausreichenden Windungszahl, ohne daß dadurch die übrigen Eigenschaften beeinträchtigt werden. Die in den Fig. 16 bis 20 dieser Patentschrift dargestellte Lösung dieses Problems besteht darin, daß jede auf eine isolierende Zwischenschicht aufgebrachte leitende Schicht eine vollständige Windung der ringförmigen Flachleiterwicklung darstellt, die lediglich zur Erzielung des schraubenförmigen Verlaufs einen Spalt aufweist, wobei der auf der einen Seite des Spaltes liegende Endabschnitt unmittelbar auf dem freigelassenen F.ndabschnitt der vorhergehenden Winsung aufliegt, während der auf der anderen Seite des Spaltes liegende Endabschnitt seinerseits als Anschlußstelle für die

nächste Windung freigelassen wird. Diese Ausbildung hat zur Folge, daß die freigelassenen Endabschnitt treppenförmig ansteigen, so daß auch die damit zu verbindenden Endabschnitte der jeweils folgenden Windungen gegeneinander versetzt sein müssen. Die Ausbildung der Flachleiterwicklung ist daher so getroffen, daß die die Windungen bilden leitenden Schichten zwischen den den Magnetkreis bildenden magnetischen Schichten, also auf der Luftspaltseite, sowie in den sich anschließenden Seitenbereichen aufeinander liegen, während die Querverbindungen an der dem Luftspalt abgewandten Seite gegeneinander versetzt sind, so daß jede Windung kleiner als die vorhergehende Windung ist

Diese Ausbildung des Magnetkopfs ergibt mehrere Nachteile. Zunächst ist die Ausdehnung der Wicklung in der dem Luftspalt entgegengesetzten Richtung umso größer, je größer die Windungszahl ist. Da dieser Ausdehnung Grenzen gesetzt sind, ist auch die praktisch realisierbare Windungszahl auf einen verhältnismäßig kleinen Wert begrenzt Auch wird die Windungslänge umso größer, je mehr Windungen vorhanden sind, was beim Schreiben eine unerwünschte Erwärmung zur Folge hat, und die verschiedenen Windungen sind unterschiedlich eng mit dem Magnetkreis gekoppelt. Ferner wird für jede aufzubringende leitende Schicht und für jede aufzubringende isolierende Schicht eine andere Maske benötigt. Der Aufwand an Masken nimmt daher mit steigender Windungszahl zu, und die Herstellung des Magnetkopfs wird infolge der Handhabung einer Vielzahl von unterschiedlichen Massen entsprechend komplizierter. Schließlich ist es auch nicht ohne weiteres möglich, eine Umkehrung des Wicklungssinnes vorzunehmen, beispielsweise zu beiden Seiten eines Zwischenabgriffs.

Aus der gleichen Patentschrift sowie aus der DE-OS 19 52 402 ist es andrerseits bekannt, alle Windungen der ringförmigen Flachleiterwicklung eines Magnetkopfs in Form einer Spiralwicklung in einer Ebene anzuordnen. In diesem Fall kann zwar die ganze Wicklung in einem Arbeitsgang mit Hilfe einer einzigen Maske hergestellt werden, doch besteht das Problem der Flächenausdehnung und der Vergrößerung der Windungslänge in erhöhtem Maße, so daß die Windungszahl noch stärker beschränkt ist. Ferner ist die Kopplung der verschiedenen Windungen mit dem Magnetkreis noch unterschiedlicher.

Aufgabe der Erfindung ist demgegenüber die Schaffung eines Magnetkopfs, der auf einfache Weise in Dünnschichttechnik herstellbar ist und dessen Wicklung bei geringer Flächenausdehnung eine beliebig große Windungszahl aufweisen kann, wobei die Windungslänge minimal sein kann und alle Windungen die gleiche optimale Kopplung mit dem Magnetkreis haben.

Diese Aufgabe wird nach der Erfindung durch die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Bei dem Magnetkopf nach der Erfindung haben alle Windungen der ringförmigen Flachleiterwicklung die gleiche Form und Ausdehnung, und sie liegen über ihren gesamten Umfang aufeinander. Die von der Wicklung w) eingenommene Fläche entspricht, unabhängig von der Windungszahl, dem Umfang einer Windung. Die Windungszahl ist daher nur durch die zulässige Höhe des Stapels beschränkt, die jedoch infolge der geringen Dicke der dünnen leitenden und isolierenden Schichten 1*5 auch bei größerer Windungszahl gering bleibt. Alle Windungen können die kleinstmögliche Windungslänge und dadurch die gleiche optimale Kopplung mit dem Magnetkreis haben.

Ferner ist auch die Herstellung des Masgnetkopfs einfach, weil alle Windungen mit einer geringen Anzahl von gleichen Masken hergestellt werden können. Die Anzahl der benötigten Masken ist unabhängig von der Windungszahl, und die Fertigung beschränkt sich auf eine einfache Wiederholung stets gleicher Verfahrensschritte, in denen immer wieder die gleichen Masken an die Auftragsstellen gebracht werden. Dies ist besonders dann vorteilhaft, wenn eine große Anzahl von Magnetköpfen gleichzeitig auf einem gemeinsamen Substrat gebildet werden soll. Ferner ist es unter Anwendung gleichartiger Verfahrensschritte leicht möglich, an beliebigen Stellen der Wicklung Zwischenabgriffe anzubringen oder den Wicklungssinn umzukehren.

Ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung von Magnetköpfen nach der Erfindung ist im Unteranspruch 9 gekennzeichnet

Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Zeichnung beispielsweise beschrieben.

In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine Obersicht eines Magnetkopfs nach der Erfindung,

F i g. 2 das elektrische Schema eines Wicklungsbeispiels für den Magnetkopf von F i g. 1,

F i g. 3 die Ausbildung einer Maske, die zur Herstellung des Magnetkopf^, von F i g. 1 verwendet wird, und

Fig.4 und 5 die Anordnung der Schichten bei dem Magnetkopf nach der Erfindung für das Wicklungsschema von F i g. 2 in auseinandergezogener Darstellung ohne Berücksichtigung der wirklichen Form, welche die Schichten beim Aufbringen auf das Substrat annehmen, wobei F i g. 4 einen Schnitt in der Symmetrieachse des Magnetkopfs zeigt, während Fig.5 einen Schnitt senkrecht zu dieser Symmetrieachse darstellt.

Für die Herstellung eines Magnetkopfs durch Aufdampfen von Schichten in einem evakuierten Raum in einem kontinuierlichen Prozeß wird eine Maske M1 (F i g. 3) verwendet. Diese Maske hat neun Felder Fi bis F9 gleicher Höhe, die in einer Linie angeordnet sind und von denen jedes einen Ausschnitt A\ bis -4 9 aufweist. Dadurch ist es möglich, die Maske M1 nach dem Anbringen in dem (nicht dargestellten) Vakuumraum durch einen Verschiebemechanismus, wie er für die Steuerung der Verschiebung von Teilen in Vakuumräumen üblich ist, schrittweise gegenüber einem Substrat 5(F i g. 4 und 5) einzustellen, wobei die Länge der Verschiebeschritte der Höhe der Felder Fl bis F9 oder einem Mehrfachen dieser Höhe entspricht. Diese Verschiebung erfolgt nach irgendeinem Programm, das so beschaffen ist, daß die nacheinander erhaltenen Schichten auf dem Substrat genau aufeinanderliegen. Das Aufdampfen der Schichten kann vorzugsweise über eine feste Maske M2 erfolgen, die einen Ausschnitt zur Begrenzung der nutzbaren Fläche des Substrats S aufweist. In Fig.4 und 5 sind schematisch drei in dem Vakuumraum angeordnete Quelle Q\, Q2, Q3 eines magnetischen Materials (m), eines Leitermaterials (c) bzw. eines dielektrischen Materials (Isoliermaterials) (d) angedeutet. Diese Quellen sind in dem Vakuumraum so angebracht, daß die aufgedampften Stoffe sich gleichmäßig über die betreffende Fläche des Substrats verteilen, wie es der üblichen Technik bei den Verfahren zur Bildung von Strukturen aus dünnen Schichten durch Aufdampfen entspricht. In jeder Stellung der Maske wird die entsprechende Quelle aktiviert, beispielsweise durch

Erhitzen des bzw. der Tiegel, die das für die gewünschte Schicht geeignete Material enthalten, was gleichfalls einer an sich üblichen Technologie entspricht.

Jede auf diese Weise gebildete Schicht hat die Form und die Lage, die durch die Form und die Lage des Ausschnitts der entsprechenden Ausschnittstelle der Maske bestirr tu sind. Zur Verdeutlichung ist jede Schicht in F i g. 4 und 5 mit zwei Ziffern bezeichnet, wovon die erste Ziffer mit dem Index des Ausschnitts übereinstimmt, der zu ihrer Herstellung verwendet wird, während die zweite Ziffer die nacheinander mit diesem Ausschnitt hergestellten Schichten angibt. Beispielsweise werden mit dem Ausschnitt A 3 nacheinander die Schichten 3.1, 3.2 ... 3.5 hergestellt. Die ersten Ziffern sind auch in Fig. 1 und 2 angegeben. Im Feld Fl (Fig. 3), das für die Bildung einer magnetischen Schicht (m) bestimmt ist, entspricht der Ausschnitt A 1 den die Magnetkreisschenkel des Magnetkopfs bildenden Schichten 1.1 und 1.2. Der Ausschnitt A 1 hat einen Rand, der mit der oberen Begrenzungslinie des Feldes Fl fluchtet. Beim Aufbringen schneiden somit die entsprechenden magnetischen Schichten 1.1, 1.2 mit dem vorderen Rand des Substrats 5 ab. Die Felder F3, F4 und F6 enthalten die Ausschnitte A3, A4 bzw. A 6, welche die drei Formen und Lagen von dielektrischen Schichten (d) bestimmen, die in dem Schichtenstapel des Magnetkopfs verwendet werden. Der Ausschnitt A 3 ist U-förmig; die Ausschnitte A 4 und A 6 sind zueinander symmetrisch in bezug auf die Achse des Ausschnitts A 1, und wenn man annimmt, daß sie aufeinandergelegt sind, ist zu erkennen, daß sie sich sowohl gegenseitig als auch den Ausschnitt A 3 an Endabschnitten überlappen, so daß die drei Ausschnitte A3, A4 und A 6 zusammen eine rechteckige Zone definieren, die einen gleichfalls rechteckigen mittleren Ausschnitt aufweist Die magnetischen Schichten 1.1 und 1.2 ragen bei der Bildung des Stapels zu beiden Seiten über den Querschenkel der auf Grund des Ausschnitts A 3 gebildeten dielektrischen Schicht hinaus. Die Ausschnitte A 2, A 5, A 7, A 8 und A 9 definieren Leiterschichten (c) mit bestimmten Formen und gegenseitigen Lagen auf dem Substrat. Wenn eine Überlagerung der Ausschnitte A 2. A 5 und A 9 betrachtet wird, und wenn angenommen wird, daß zwischen den mit diesen Ausschnitten gebildeten Schichten bestimmte Isolierschichten vorhanden sind, erkennt man, daß man direkt eine Darstellung einer flachen Schraubenwicklung mit einer einzigen Windung erhält, und daß durch Einfügung des Ausschnitts A 8 diese Windung mit einem Mittelabgriff versehen wird. Durch Vereinigung der die dielektrischen Schichten (d) bildenden Ausschnitte A3, A4, Ab und der die leitenden Schichten (c) bildenden Ausschnitte A 2, AS, Al. /4 9 ist dann leicht tu erkennen, daß diese Ausschnitte zusammen eine schraubenförmige Wicklung mit aufeinanderliegenden, aber voneinander isolierten Windungen definieren, in der die elektrische Kontinuität aufrechterhalten ist, beispielsweise in der Folge

A2-A3-A4-A5-AS-A7-A3-A4-A5-A6-A9

oder dergleichen. Es braucht nur auf jeder Seite einer solchen Wicklung eine Schicht 3 und eine Schicht 1 vorgesehen zu werden, damit ein Stapel erhalten wird, der einen vollständigen Magnetkopf bildet, in welchem die Windungsleiter der Wicklung zusammen Schleifen bilden, die sich unter den magnetischen Schichten schließen, und zwar sehr nahe bei diesen außerhalb davon liegenden Schichten, wodurch eine Wicklung mit hoher Wirksamkeit erhalten wird, welche eine optimale Abwicklung hat. Der hier verwendete Ausdruck »unter den magnetischen Schichten« ist so zu verstehen, daß er j auch den Fall einschließt, wo ein Teil der Windungen der Wicklung, wenn möglich, außerhalb des zwischen den magnetischen Schichten liegenden Raumes liegt.

Die verschiedenen Schichten und ihre Überlappungszonen sind in F i g. 1 in Oberansicht dargestellt; im

in Hinblick auf die vorstehende Erläuterung braucht diese Figur nicht näher beschrieben zu werden; die Umrisse der leitenden und magnetischen Teile sind in vollen Linien gezeichnet, und die Umrisse der isolierenden oder dielektrischen Teile in unterbrochenen Linien.

i"> Das Ausführungsbeispiel eines Wandlers mit der in Fig. 2 dargestellten Wicklung ist in Fig. 4 und 5 entsprechend der zuvor gegebenen Definition dargestellt:
Nach dem Aufbringen der ersten magnetischen

2(i Schicht 1.1, wobei das Feld Fl der Maske Ml unter dem Fenster der Maske M 2 liegt und die Quelle Qi aktiviert ist. wird das Feld F3 der Maske M1 vor den verwendeten Abschnitt des Substrats 5 gebracht, und die Quelle Q 2 wird aktiviert. Dadurch wird auf die

-'"> Schicht 1.1 die Schicht 3.1 aufgebracht, die somit einen mittleren Teil der Schicht 1.1 mit ihrem Querschenkel bedeckt. Wenn angenommen wird, daß die Wicklung rechtsläufig ist, wird dann als nächstes die Schicht 2.1 auf die Schicht 3.1 durch den Ausschnitt A 2 der Maske M1

so aufgebracht, wobei der (in Fig. 3) linke seitliche Schenkel dieser Schicht mit (in Fig. 1 und 4) hinteren Rand des Substrats abschneidet. Dann wird das Feld F3 der Maske M1 wieder vor das Substrat S gebracht, damit eine weitere dielektrische Schicht 3.2 aufgebracht

ü wird, die den Querschenkel und Teile der seitlichen Schenkel der leitenden Schicht 2.1 bedeckt. Auf einem Teil des freiliegenden Abschnitts des längeren seitlichen Schenkels der Schicht 2.1 wird dann eine dielektrische Schicht 4.1 durch den Ausschnitt A 4 der Maske M1 gebildet. Dann erfolgt das Aufbringen der leitenden Querschicht 5.1 durch den Ausschnitt A 5, wobei diese Schicht mit dem hinteren Freigelassenen Endabschnitt des kürzeren Schenkels der Schicht 2.1 in Kontakt steht, während ihr (in F i g. 3) linkes Ende von dieser Schicht

⁴^ 2.1 isoliert bleibt. Anschließend wird die dielektrische Schicht 6.1 mit Hilfe des Ausschnitts A 6 der Maske M1 auf die Schicht 5.1 aufgebracht, damit deren (in F i g. 3) rechter Teil isoliert wird, und die leitende Schicht 7.1 wird durch den Ausschnitt A 7 der Maske M1 auf die Isolierschicht 6.1 und den freigelassenen Endabschnitt der Schicht 5.1 aufgebracht, die somit am unteren Teil des (in F i g. 3) linken seitlichen Schenkels in direktem Kontakt mit der Schicht 7.1 steht Nach dem Aufbringen der dielektrischen Schichten 3.3 und 4.2 wird die Wicklung durch Aufbringen der Schicht 5.2 weitergebildet, auf der dann zur Bildung des Mittelabgriffs der Wicklung die Schicht 8.1 durch den Ausschnitt A 8 der Maske M1 aufgebracht wird Die Bildung der Wicklung wird durch aufeinanderfolgendes Aufbringen der

fco Isolierschicht 6.2, der leitenden Schicht 7.2, der Isolierschichten 3.4 und 43, der Leitenden Schicht 53 und der isolierenden Schicht 63 fortgesetzt Zur Beendigung der Wicklung wird die zur Schicht Zl symmetrische Schicht 9.1 durch den Ausschnitt A 9 der Maske Ml aufgebracht Zur Vervollständigung des Dünnschicht-Magnetkopfs wird schließlich eine weitere Isolierschicht 3J aufgebracht auf der dann die magnetische Schicht 1.2 gebildet wird.

Natürlich sind geringfügige Änderungen der Formen der Ausschnitte und/oder Änderungen der Reihenfolge der Ausschnitte in der Maske möglich, wie auch Abänderungen der Maske, die eine Verschiebung in zwei Dimensionen anstatt in einer Dimension erfordern.

Es können mehrere Magnetköpfe gleichzeitig auf dem gleichen Substrat so gebildet werden, daß ihre Luftspalte an einem Rand des Substrats in einer Linie liegen, und daß die von ihnen eingenommenen Flächen in der Richtung dieses Randes in Abständen voneinander liegen. Die Maske Mi weist dann ebenso viele Reihen von Ausschnitten Ai bis A 9 auf, wie Magnetköpfe zu bilden sind.

Das magnetische Material (m) kann beispielsweise eine Eisen-Nickel-Legierung sein, deren Komponenten aus Tiegein aufgedampft werden, die so ausgebildet sind, daß ein vorbestimmter Anteil der Komponenten in den fertigen Schichten gewährleistet ist, was einer an sich bekannten Technik entspricht. Das Leitermaterial (c) kann Kupfer sein. Das dielektrische Material (d) kann Siliziumdioxid sein, das in an sich bekannter Weise durch Aufdampfen von SiO in Gegenwart von Sauerstoff oder Wasserdampf unter geringem Druck erhalten wird. Das Substrat S kann ein Glas mit hohem Schmelzpunkt sein.

Als Anhaltspunkt sowohl für die Wicklungen mit Umkehrungen der Wicklungsschritte und für die Wicklungen mit Windungen, die teilweise außerhalb des durch die magnetischen Schichten begrenzten Luftspalts liegen, kann das folgende einfache Beispiel betrachtet werden: Eine von links nach rechts laufende Windung, eine Magnetschicht, zwei von rechts nach links laufende Windungen, eine Magnetschicht, eine von links nach rechts laufende Windung. Zur Bildung einer solchen Struktur wird der Stapel der Schichten auf dem Substrat 5 dann mit der nachstehenden Folge der Ausschnitte der Maske M1 gebildet:

A2-A3-A4-A S-A6-A T-A3-Ai-A3-A4-A T-A6-A S-A3-A A-AT-A6-Λ 5-A3-A4-A T-A3-Ai-A3-A6-AT-A3-Λ4-Λ5-Λ6-Λ9.

40 Obgleich die Schichten in F i g. 4 und 5 der Einfachheit der Zeichnung wegen eben gezeigt sind, ist es selbstverständlich, daß bei dem Zusammenfügen der Schichten in inniger Überlagerung auf dem Substrat jede Schicht eine Form annimmt, die sich an das Gesamtrelief der vorhergehenden Schichten auf dem Substrat anschmiegt. Damit die dem Substrat entgegengesetzte Oberfläche des Wandlers glatt gemacht wird, kann man dann, wie bei D angedeutet ist, ein schützendes Dielektrikum auf diese Fläche des Wandlers aufbringen.

Zur Erzielung des entgegengesetzten Wicklungssinnes würde das Verfahren zur Bildung des gleichen Wandlers die nachstehende Schichtenfolge anwenden:

- 1.1 —3.1—9.1—3.2—6.1 —5.1 —4.1 —
7.1 -3.3-6.2-5.2-8.1-4.2-7.2-3.4-6.3-5.3-4.3-2.1-3.5-1.2.

Die Erweiterung auf eine größere Windungszahl der als Beispiel gewählten Wicklung ergibt sich direkt durch eine Wiederholung der Schichtenfolgen gemäß der zuvor angegebenen Regel.

Nachdem der Schichtenstapel vervollständigt ist, wird durch Abschleifen der links von der Linie K-K in F i g. 1 liegende Teil der Struktur (einschließlich des Substrat) entfernt, wodurch der magnetische Luftspalt freigelegt wird, den dann die beiden Enden der Schichten 1.1 und 1.2 bilden, die an diese Abschleifstelle durch die aufeinanderliegenden dielektrischen Schichten 3.1 bis 3.5 voneinander getrennt sind. Eine offensichtliche Abänderung dieser Ausführungsform könnte natürlich darin bestehen, daß die Schichten 3 direkt so geformt werden, daß sie mit dem Rand des Substrats und somit auch mit den magnetischen Schichten 1.1 und 1.2 abschneiden.

Eine andere, gleichfalls offensichtliche Abänderung besteht darin, die Reihenfolge der Bildung der Schichten 3 und 4 (bzw. der Schicht 6. je nach dem Wicklungssinn) nach jeder Bildung einer Schicht 7 in dem Stapel zu vertauschen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Magnetkopf in Dünnschichttechnik, bestehend aus einem Stapel von nacheinander auf ein nichtmagnetisches dielektrisches Substrat aufgebrachten dünnen Schichten, mit einer aus abwechselnd aufgebrachten leitenden und isolierenden Schichten gebildeten Flachleiterwicklung mit mehreren Windungen, wobei a) die ieitenden Schichten u> Abschnitte einer schraubenförmigen Bahn sind, und wobei b) jede auf eine leitende Schicht aufgebrachte isolierende Schicht einen Endabschnitt der zuvor aufgebrachten leitenden Schicht freiläßt und jede auf eine isolierende Schicht aufgebrachte leitende ΐϊ Schicht den freigelassenen Endabschnitt der zuvor aufgebrachten leitenden Schicht überlappt, and mit zwei einen Magnetkreis bildenden magnetischen Schichten, zwischen denen die Windungen der Flachleiterwicklung aufeinanderliegend hindurchgehen und die an Endabschnitten im Inneren des Wicklungsringes magnetisch miteinander verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß jede Windung der Flachleiterwicklung aus mehreren abwechselnd aufgebrachten leitenden und isolieren- 2^r> den Schichten in der Form von Teilabschnitten gebildet ist, die sowohl bei den leitenden als auch bei den isolierenden Schichten sich überlappende Endabschnitte aufweisen, und daß alle Windungen der schraubenförmigen Flachleiterwicklungen, mit jo Ausnahme der mit Anschlußleitern versehenen Windungen, die gleiche Form und Größe haben, und mit ihrem gesamten Umfang aufeinander liegen.

2. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder leitende oder isolierende Teilabschnitt entweder eine Symmetrieachse aufweist, die mit der Symmetrieachse der magnetischen Schichten zusammenfällt, oder in bezug auf diese Symmetrieachse spiegelbildlich zu einem anderen Teilabschnitt gleicher Art ist.

3. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens der erste und der letzte leitende Teilabschnitt des Stapels einen über den Umriß der ringförmigen Flachleiterwicklung hinausragenden, als Anschlußleiter dienenden Ansatz aufweist.

4. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in den Stapel wenigstens eine mit einem leitenden Teilabschnitt in Kontakt stehende, über den Umriß der ringförmigen Flachleiterwicklung hinausragende, als Zwischenabgriff dienende leitende Schicht eingefügt ist.

5. Magnetkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Umlaufsinn der sich teilweise überlappenden leitenden und isolierenden Teilabschnitte zu beiden Seiten einer als Zwischenabgriff dienenden leitenden Schicht entgegengesetzt ist.

6. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die die isolierenden Teilabschnitte bildenden Schichten breiter als die die leitenden Teilabschnitte bildenden Schichten sind.

7. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß außerhalb der den Magnetkreis bildenden magnetischen Schichten wenigstens eine vollständige zusätzliche Windung fr^r> der ringförmigen Flachleiterwicklung durch sich teilweise überlappende isolierende und leitende Teilabschnitte gebildet ist.

8. Magnetkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die außerhalb der magnetischen Schichten liegenden zusätzlichen Windungen den entgegengesetzten Wicklungssinn wie die zwischen den Magnetschichten liegenden Windungen haben.

9. Verfahren zum Herstellen von Magnetköpfen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet daß eine Maske (Ml) hergestellt wird, die Ausschnitte (A 1 bis A 9) aufweist, die den magnetischen Schichten (1) und den Teilabschnitten der leitenden und isolierenden Schichten (2, 5, 6, 8, 9 und 3, 4, 6) entsprechen, daß das Substrat (S) in einem abgeschlossenen Raum mit steuerbarer Atmosphäre angeordnet wird, der durch Wärme aktivierbare Quellen (Qi, Q₂, Q₃) für das Aufdampfen der Materialien der magnetischen, isolierenden und leitenden Schichten enthält, daß die Maske (M 1) in dem abgeschlossenen Raum vor dem Substrat (S) so verschoben wird, daß jeweils der der nächsten aufzubringenden Schicht entsprechende Ausschnitt vor die Stelle des Substrats gebracht wird, an der diese Schicht aufzubringen ist, und daß jeweils die Quelle des Materials für diese Schicht aktiviert wird.