DE2350026C3

DE2350026C3 -

Info

Publication number: DE2350026C3
Application number: DE2350026A
Authority: DE
Inventors: Hans-Christian Dipl.-Ing. 7253 Renningen Du Mont; Ludwig Ing.(Grad.) 7121 Walheim Finkbeiner; Kurt Hurst; Manfred Koeder
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1973-10-05
Filing date: 1973-10-05
Publication date: 1980-03-20
Also published as: NL7413130A; FR2247137A5; DE2350026A1; JPS5835149B2; DE2350026B2; US3962002A; GB1457649A; JPS5115924A

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer mit einem isolierenden Träger verbundenen Vielfach-Elektrodenanordnung für Aufzeichnungsgeräte auf Registriermetallpapierbasis, mit einem gegenüber benachbarten Elektroden und Kontaktierungsabschnitten elektrisch isolierten Kontaktierungsabschnitt an jeder einzelnen Elektrode, wobei die Elektrodenanordnung, die Kontaktieruiigsabschnitte und eine Anzahl von Verbindungsstegen zur mechanischen Stabilisierung der Anordnung während der Fertigung aus einem Blech durch Formteilätzen hergestellt und die Verbindungsstege nach dem Fixieren der Elektrodenanordnung durch den Träger entfernt werden.

Bei bekannten Verfahren wird die in der Regel als Kammelektrode ausgebildete Vielfach- Elektrodenanordnung, die sowohl zur analogen Aufzeichnung wie auch zum Schreiben alphanumerischer Zeichen auf Registriermetallpapier verwendet werden kann, in Drahtwickeltechnik, durch Schichten von dünnen Blechtn oder durch Fräsen von Blechen hergestellt Das Hauptproblem dieser mechanischen Verfahren ist die Kontaktierung der Elektroden, da jede Elektrode einzeln angesteuert werden muß. Damit sind mindestens so viele Verbindungsleitungen notwendig, wie Elektroden vorhanden sind.

Aus der DE-OS 21 62 438 ist ein Verfahren zur Herstellung eines Elektrodendruckkopfes für elektronisch gesteuerte Mosaikdrucker bekannt, dessen parallel nebeneinander angeordnete Elektroden aus einem flexiblen Metallblech herausgeätz sind. Zur Stabilisation und zur Positionierung der Einzelelektroden sind diese in ihrem mittleren Bereich in einen festen Isolierkörper eingebettet. Eine Elektrodenanordnung dieser Art benötigt eine erhebliche Materialstärke, wodurch ein scharfkantiges Ätzen der einzelnen Elektroden stark erschwert oder gar unmöglich gemacht wird. Wegen der großen freien Weglänge der Einzelelektroden ist die Materialstärke jedoch erforderlich.

Aus der US-PS 36 79 500 ist ein Verfahren und eine Anordnung zum Fotoätzen von dünnen Metallteilen bekannt, wobei angegeben ist, daß bei derartigen Verfahren auch bereits eine beidseitige Ätzung bekannt ist. Unter Anerkennung der präziseren Ätzung von Durchbrechungen wird als Nachteil jedoch herausgestellt, daß bei der Forderung nach präziser Ätzung von ausgedehnten Teilen das Verfahren ungeeignet sei.

Schließlich ist aus der DE-OS 20 47 637 ein Verfahren und eine Vorrichtung zur elektrofotographischen Aufzeichnung von Informationen bekannt, wobei eine Vielfach- Elektrodenanordnung nach dem Ätzen auf einen Träger aufgebracht wird. Diese Ausführungsform ist wegen des verwendeten Materials und wegen der Elektrodendicke jedoch nicht zum Schreiben auf Registriermetallpapier geeignet. Außerdem können die Elektroden bei dieser Anordnung wegen der Verwendung kaschierter Platten nur einseitig geätzt werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung von Schreibelektroden tür Registriermetallpapier-Schreiber anzugeben, welches

exakt ausgebildete und mechanisch widerstandsfähige und geschützte Elektroden liefert Das Verfahren soll technisch einfach und wirtschaftlich sein, d.h. es soll möglichst nur eine geringe Zahl vor getrennten Bearbeitungsgängen aufweisen und einen hohen Grad an Fertigungssicherheit mit geringem Ausschuß gewährleisten. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein fotographisches Ätzverfahren benutzt wird unter Verwendung einer ersten Fotomaske für die Oberseite und einer zweiten Fotomaske für die Unterseite des Bleches, auf die ein Fotolack aufgetragen ist der nach dem Auflegen der Fotomaske teilweise belichtet und im Bereich der wegzuätzenden Blechteile entfernt wird, und daß die Vielfach-Elektrodenanordnung nach dem Ätzen auf den plattenförmig ausgebildeten Träger aufgebracht wird. Dieses Verfahren hat sich als besonders wirtschaftlich und betriebssicher erwiesen und liefert gleichzeitig einen Elektrodenkamm, bei dem sich eine sehr große Anzahl von EinzelelrVtroden mit präziser Gestalt auf geringer Breite unterbringen läßt Besonders hat sich ein Foto-Negativ-Verfahren bewährt bei dem der Fotolack ;m Bereich der Metallteile, welche beim Ätzen stehenbleiben sollen, belichtet und durch Polymerisation ausgehärtet wird. Dieses Verfahren ist beim Formteilätzen sehr wirtschaftlich und gestattet eine sehr exakte Formgebung mit scharfen Kanten.

Als Materialien für das Blech zur Herstellung der Elektrodenanordnung eignen sich vor allem Federbandstahl, Chrom- Nickel-Stahl und Kupfer-Beryllmm-Legierungen. Die Fotomasken für die Oberseite und die Unterseite der Elektrodenanordnung werden zweckmäßigerweise so ausgebildet, daß sie entlang einer Längsseite zusammenhängen und eine Art Ätztasche für die Aufnahme des zu ätzenden Bleches bilden. Auf diese Art ist gewährleistet daß die Masken für die Oberbzw. Unterseite exakt zueinander positioniert sind ohne großen Justierungsaufwand.

Eine das Herstellungsverfahren wesentliche vereinfachende Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß die Verbindungsstege zwischen die Elektroden-Kontaktierungsabschnitte und eine nach dem Ätzen der einzelnen Elektroden zu entfernende Haltebrücke gelegt werden. Eine sinnvolle Ergänzung dieser Maßnahme besteht darin, daß auch die Schreibspitzen der Elektroden während des Ätzvorganges durch eine nach dem Ätzen der einzelnen Elektroden zu entfernende Haltebrücke verbunden sind. Bei diesen beiden Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens kann durch einfache, vorzugsweise mechanische Abtrennung einer bzw. zweier Brücken die fertige Vielfach-Elektrodenanordnung erhalten werden.

Ein abgewandeltes Verfahren zur Erreichung der mechanischen Stabilisierung der Anordnung während der Fertigung besteht darin, daß die Verbindungssiege zwischen die einzelnen Elektroden und/oder Kontaktierungsabschnitte gelegt werden. Dieses wie auch das zuvor geschilderte Verfahren lassen sich so verwirklichen, daß die Fotomasken für die Oberseite und für die Unterseite unterschiedlich geformt sind zur Ausbildung von Verbindungsstegen, die einseitig während des Ätzprozesses bis auf die haioe Dicke abgeätzt werden. So bieten die Verbindungsstege beim endgültigen Entfernen einen geringeren mechanischen oder Ätz-Widerstand, was zur zeitlichen Verkürzung des Gesamtverfahrens beiträgt.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird im folgenden anhand der Abbildungen näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 einen Querschnitt durch ein zu ätzendes Blechstück mit je einer Fotolackschicht und einer Fotomaske auf Ober- und Unterseite,

Fig.2a eine Draufsicht auf eine Negativ-Fotomaske ". für die Oberseite des Bleches bei der ersten Ätzung,

Fig.2b eine Draufsicht auf eine Negativ-Fotomaske für die Unterseite des Bleches bei der ersten Ätzung,

Fig.3 eine vergrößerte Darstellung eines Schnittes entlang eines quer zu den Elektroden verlaufenden κι Verbindungssteges nach der Linie II1-III in F i g. 2a,

F i g. 4 einen Schnitt durch eine Anordnung entsprechend F i g. 3 nach dem Aufkleben auf einen Träger,

F i g. 5 eine Negativ-Fotomaske für die Oberseite des Bleches während einer zweiten Ätzung zum Entfernen ι "i der Verbindungsstege,

F i g. 6 einen Schnitt durch eine Anordnung entsprechend Fig.4 nach dem teilweisen Wegätzen oder Ausschleifen des Verbindungssteges,

Fig.7 eine Draufsicht auf eine Vielfach-Elektroden- _>o anordnung mit Kontaktierungsabschnitten,

F i g. 8 eine Draufsicht auf eine Kammelektrode mit Verbindungsstegen zwischen den Kontaktierungsabschnitten,

Fig.9 eine Draufsicht auf eine Vielfach-Elektroden-2-"> anordnung mit schrägen Verbindungsstegen und je einer Haltebrücke an beiden Enden der Anordnung und Fig. 10 eine auf eine Platte mit einer gedruckten Schaltung aufgeklebte Vielfach-Elektrodenanordnung.

In F i g. 1 ist mit 10 ein Blech bezeichnet, das auf beide in Seiten je eine Schicht 11 bzw. 12 aus Fotolack trägt. Auf die obere Lackschicht 11 ist eine erste Fotomaske 13 für die Oberseite aufgelegt auf die untere Lackschicht 12 eine zweite Fotomaske 14 für die Unterseite des Bleches 10.

j-· Die Anordnung nach Fig. 1 dient zur Durchführung eines Verfahrens zur Herstellung einer Vielfach-Elektrodenanordnung in Form einer Kammelektrode für Aufzeichnungsgeräte auf Registriermetallpapierbasis. Zur Herstellung der Elektrodenanordnung, der Kuntaktierungsabschnitte und einer Anzahl von Verbindungsstegen zur mechanischen Stabilisierung der Anordnung während der Fertigung aus dem Blech 10 werden zunächst die Fololackschichten 11 und 12 nach dem Auflegen der Masken 13 und 14 belichtet. An den r. belichteten Stellen, welche nicht durch die Fotomasken 13 und 14 bedeckt waren, erfolgt durch Polymerisation eine Verfestigung der Lackschicht, welche eine Ablösung dieser Teile der Lackschichten 13 und 14 in einem anschließenden Bad verhindert. Es folgt dann ein in Formteilätzen des Bleches 10 im Bereich der abgelösten Lackschichten. Dieses fotographische Verfahren wird weiter unten noch ausführlicher beschrieben.

Das Blech 10 zur Herstellung der Elektrodenanordnung besteht in der Regel wegen des relativ niedrigen v> Preises aus Federbandstahl; sehr gut eignen sich jedoch auch Chrom-Nickel-Stahl und Kupfer-Beryllium-Legierungen für die Bleche 10 als Ausgangsmaterialien zur Herstellung von Vielfach-Elektrodenanordnungen.

Fig. 2a zeigt eine Negativ-Fotomaske 13 für die ι,ιι Oberseite des mit der Fotoiackschicht 11 versehenen Bleches 10. Die Maske 13 enthält in ihrem oberen Teil vier querlaufende Aussparungen 15, im mittleren Bereich der Maske sind Aussparungen 16 und im Unterteil der Maske 13 Aussparungen 17 erkenntlich, η von denen jeweils nur ein geringer Teil mit Bezugsziffern versehen ist. Im Bereich der Aussparungen 15, 16, 17 der Fotomaske 13 erfolgt beim Belichten eine Verfestigung der Lackschicht und beim anschließenden

Ätzen bleiben in dem Blech 10 im Bereich der Aussparungen 15 Verbindungsstege 18, im Bereich der Aussparungen 16 Verbindungsstege 19 und im Bereich der Aussparungen 17 Verbindungsstege 20 stehen. Die Verbundungsstege 20 befinden sich zwischen einzelnen Leitern einer gedruckten Schaltung, welche aus dem Blech 10 zusammen mit der Elektrodenanordnung und den Kontaktierungsabschnitten hergestellt wird. Die metallischen Verbindungsstege sind teilweise aus F i g. 8 ersichtlich. Die Aussparungen 15, 16, 17 bestehen beispielsweise aus durchsichtigen oder durchscheinenden Abschnitten in einer Glasplatte oder einer Kunststoffolie.

F i g. 2b zeigt die zweite Negativ-Fotomaske 14 zur Belichtung der Fotolackschicht 12 auf der Unterseite des Bleches 10. Diese zweite Fotomaske entspricht im wesentlichen derjenigen aus F i g. 2a, jedoch enthält sie keine Aussparungen an den Stellen, an denen entsprechend der in F i g. 2a dargestellten Maske Verbindungsstege in dem Blech 11 beim Ätzen aufrechterhalten werden sollen. Die Fotomasken 13 und 14 für die Oberseite und für die Unterseite sind also derart unterschiedlich geformt, daß sie zur Ausbildung von Verbindungsstegen in der Elektrodenanordnung dienen, die einseitig während des Ätzprozesses bis etwa auf die halbe Dicke des Bleches 10 abgeätzt werden. Zur einwandfreien gegenseitigen Justierung hängen die Fotomasken 13 und 14 für die Oberseite und die Unterseite der Elektrodenanordnung entlang einer Längsseite — in den Fig.2a bzw. 2b beispielsweise entlang der jeweiligen linken Kante 21 — zusammen und bilden eine Ätztasche für die Aufnahme des zu ätzenden Bleches 10.

F i g. 3 zeigt einen Querschnitt durch das Blech 10 nach dem ersten Ätzvorgang entlang eines Verbindungssteges 18 nach der Linie III-III in Fig. 2a. Im Bereich der Aussparung 15 in der Fotomaske 13 ist die obere Fotolackschicht durch das Belichten verfestigt worden, so daß im Bereich des Verbindungssteges 18 einseitig kein Materialabtrag stattgefunden hat. Hingegen ist die Unterseite des Bleches 10 entsprechend der Vielfach-Elektrodenanordnung eingeätzt. Der untere Teil der Elektroden 22 ist in F i g. 3 bereits ersichtlich.

Fig.4 zeigt eine Vielfach-Elektrodenordnung in einem der F i g. 3 entsprechenden Stadium, welche nach der bereits fertiggestellten Ätzung der Blech-Unterseite auf einen Träger 23 aufgeklebt ist. Das Klebemittel ist bei 24 angedeutet. Als Trägermaterial dient ein Glasfaser-Epoxid.

F i g. 5 zeigt eine weitere Negativ-Fotomaske 25, mit deren Hilfe die Verbuidurigssiege IS, 19 und 20 entfernt werden können, welche entsprechend den Aussparungen 15,_16 und 17 in der ersten Fotomaske 13 beim ersten Ätzvorgang stehen geblieben sind. Auf die in F i g. 4 dargestellte Anordnung wird zu diesem Zweck eine in den Abbildungen nicht dargestellten weitere Fotolackschicht aufgetragen, die entsprechend dem Muster der Fotomaske 25 gemäß F i g. 5 belichtet und an den belichteten Stellen derart ausgehärtet wird, daß diese in einem anschließenden Bad stehenbleiben, während die unbelichteten Teile der Fotolackschicht entsprechend wieder entfernt werden. Beim anschließenden Ätzvorgang liegt nun bei einer Anordnung entsprechend Fig.4 eine Schutzschicht über den Elektroden 22, während die dazwischenliegenden, beim ersten Ätzvorgang stehengebliebenen Abschnitte über dem Klebemittel in diesem zweiten Ätzvorgang entfernt werden. Es entsteht die in Fig.6 teilweise dargestellte, fertige Vielfach-Elektrodenanordnung mit getrennten Elektroden 22.

F i g. 7 zeigt eine Draufsicht auf einen Teil der fertigen Vielfach-Elektrodenanordnung in vergrößerter Darstellung. Hierbei ist jeder Elektrode 22 ein Kontaktierungsabschnitt 26 zugeordnet, der, ebenso wie die einzelnen Elektroden 22 untereinander, gegenüber den benachbarten Kontaktierungsabschnitten 26 elektrisch isoliert ist.

Statt die Verbindungsstege 18, 19 und 20 in einem zweiten Ätzprozeß zu entfernen, ist es auch möglich, die Verbindungsstege nach dem Aufkleben auf den Träger 23 mechanisch abzutragen. Dieses Verfahren ist einfacher als eine zweite Ätzung, jedoch ist es mit wirtschaftlich vertretbarem Aufwand nur anwendbar bei einer einfachen Anordnung von Elektroden und Kontaktierungsabschnitten, bei denen keine winkligen oder sonstwie schwierigen Schnitt- oder Schlifformen entstehen.

F i g. 8 zeigt einen Teil einer Kammelektrode 27 mit Verbindungsstegen 19 zwischen den einzelnen Kontaktierungsabschnitten 26 und mit Verbindungsstegen 20 zwischen den Leitern 28 einer gedruckten Schaltung 29. Die Kontaktierungsabschnitte 26 und die Leiter 28 sind mit in einer Reihe angeordneten Kontaktierungs-Bohrungen 30 versehen. Neben den Verbindungsstegen 19 zwischen den Kontaktierungsabschnitten 26 und den Vetbindungsstegen 20 zwischen den Leitern 28 ist zwischen dem untersten Kontaktierungsabschnitt jeder Untergruppe 31 der Kammelektrode 27 und dem benachbarten Leiter 28 der gedruckten Schaltung 29 ein weiterer Verbindungssteg 32 vorgesehen. Die Verbindungsstege 19, 20 und 32 werden, wie weiter oben bereits ausführlicher geschildert, nach dem Aufkleben auf einen Träger wiederum mechanisch oder durch eine weitere Ätzung entfernt. Eine Haltebrücke 33 im Bereich der Schreibenden der Elektroden 22 dienl ebenfalls zur mechanischen Stabilisierung der Anordnung während der Fertigung; auch diese Haltebrücke 33 wird nach dem Aufkleben der Kammelektrode 27 auf einen Träger.

Wenn die Elektroden 22 aus schreibtechnischen Gründen sehr dicht nebeneinander angeordnet werden sollen, so darf die Materialdicke des Bleches 10 eine bestimmte Größe nicht überschreiten, da andernfalls beim Ätzen zwischen den einzelnen Elektroden 22 stehenbleibende Kanten zu weit vorspringen und ein für den einwandfreien Betrieb erforderlicher Mindestabstand nicht mehr eingehalten wird. Für die Praxis hat es sich bewährt, wenn der Elektrodenabstand die Materialsiärke des Bleches 10 nicht unterschreitet. Hierbei können bei einer gebräuchlichen Materialstärke von 0^5 mm zwei Elektroden pro Millimeter Kammbreite angeordnet werden. Bei einer Materialstärke von 0,125 mm können vier Elektroden pro Millimeter Kammbreite erreicht werden, jedoch kann es bei einer derartig geringen oder gar noch weiter verringerten Elektrodendicke erforderlich werden, zur Erhöhung der Standzeiten der Elektrodenanordnung die einzelnen Elektroden wenigstens im Bereich ihrer Schreibenden zu verstärken. Dies ist möglich durch die Aufbringung einer Elektrodenstruktur durch Diffusionslöten.

Fig.9 zeigt eine Vielfach-Elektrodenanordnung während der Fertigung vor dem Abtrennen der Haltebrücke 33 im Bereich der Schreibenden der Elektroden und einer Haltebrücke 34 am kontaktierungsseitigen Ende der Elektroden 22. Die in Fig.9 dargestellte Anordnung unterscheidet sich von den

vorhergehenden dadurch, daß Verbindungsstege 35 schräg zwischen die Elektroden-Kontaktierungsabschnitte 26 und eine nach dem Ätzen der einzelnen Elektroden 22 zu entfernende Haltebrücke 34 gelegt worden sind. Diese Verbindungsstege 35 brauchen nicht beseitigt zu werden, sondern können nach dem Abtrennen der Haltebrücke 34 in der Elektrodenanordnung verbleiben. Auf diese Weise erreicht man eine wesentliche Vereinfachung des Herstellungsverfahrens für die Vielfach-Elektrodenanordnung. Die Trennstellen im Bereich der Schreibenden bzw. der Kontaktierungsenden sind bei 36 bzw. 37 angedeutet.

Im Gegensatz zu der in Fig.8 dargestellten Ausbildungsform, bei der die Elektrodenanordnung gemeinsam mit einer gedruckten Schaltung 29 durch Ätzen hergestellt und auf eine Platte aufgeklebt wird, ist

es auch möglich, daß die Elektrodenanordnung nach dem Ätzen und Entfernen der Verbindungsstege und/oder Haltebrücken auf einen plattenförmigen Träger 38 mit einer getrennt hergestellten, gedruckten Schaltung 39 aufgeklebt wird. Eine solche Anordnung ist in Fig. 10 dargestellt, im übrigen entspricht die Anordnung nach Fig. 10 grundsätzlich denjenigen der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei die Verbindungsstege wiederum in der bei Fig.9 geschilderten Weise angeordnet und hergestellt sind.

Durch die vorliegende Erfindung erreicht man also eine sehr einfache Herstellung einer Vielfach-Elektrodenanordnung, insbesondere in Form einer Kammelektrode, aus Blechen durch Formteilätzen, wobei auch die Elektroden selbst nach dem Aufkleben auf einen Träger teilweise als gedruckte Schaltung benutzt werden.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung einer mit einem isolierenden Träger verbundenen Vielfach-Elektrodenanordnung für Aufzeichnungsgeräte auf Registriermetallpapierbasis, mit einem gegenüber benachbarten Elektroden und Kontaktierungsabschnitten elektrisch isolierten Kontaktierungsabschnitt an jeder einzelnen Elektrode, wobei die Elektrodenanordnung, die Kontaktierungsabschnitte und eine Anzahl von Verbindungsstegen zur mechanischen Stabilisierung der Anordnung während der Fertigung aus einem Blech durch Formteilätzen hergestellt und die Verbindungsstege nach dem Fixieren der Elektrodenanordnung durch den Träger entfernt werden, dadurch gekennzeichnet, daß ein fotographisches Ätzverfahren benutzt wird unter Verwendung einer ersten Fotomaske (13) für die Oberseite und einer zweiten Fotomaske (14) für die Unterseite des Bleches (1O)₁ auf die ein Fotolack (11,12) aufgetragen ist, der nach dem Auflegen der Fotomaske (13, 14) teilweise belichtet und im Bereich der wegzuätzenden Blechteile entfernt wird, und daß die Vielfach-Elektrodenanordnung nach dem Ätzen auf den plattenförmig ausgebildeten Träger (23, 38) aufgebracht wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Verbindungsstege (18,19) zwischen die einzelnen Elektroden (22) und/oder deren Kontaktierungsabschnitte (26) gelegt werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fotomasken (13,14) für die Oberseite und für die Unterseite unterschiedlich geformt sind zur Ausbildung der Verbindungsstege (18, 19, 20), die einseitig während des Ätzprozesses bis auf die halbe Dicke abgeätzt werden.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Fotomasken (13,14) für die Oberseite und die Unterseite der Elektrodenanordnung entlang einer Längsseite (21) zusammenhängen und eine Ätztasche für die Aufnahme des zu ätzenden Bleches (10) bilden.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenanordnung aus Federbandstahl hergestellt wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenanordnung aus Chrom-Nickel-Stahl hergestellt wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenanordnung aus einer Kupfer-Berryllium-Legierung hergestellt wird.

8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsstege (35) zwischen die Elektroden-Kontaktierungsabschnitte (26) und eine nach dem Ätzen der einzelnen Elektroden (22) zu entfernende Haltebrücke (34) gelegt werden.

9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schreibenden der Elektroden (22) während des Ätzvorganges durch eine nach dem Ätzen zu entfernende Haltebrücke (33) verbunden sind.

10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß auf den plattenförmigen Träger (38) zusätzlich eine gedruckte Schaltung (39) aufgebracht wird.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet daß die Elektrodenanordnung gemeinsam mit einer gedruckten Schaltung (29) durch Ätzen hergestellt und auf den plattenförmigen Träger (23) aufgebracht wird.