DE2350026B2 - Verfahren zur Herstellung einer mit einem isolierenden Träger verbundenen Vielfach-Elektrodenanordnung - Google Patents
Verfahren zur Herstellung einer mit einem isolierenden Träger verbundenen Vielfach-ElektrodenanordnungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer mit einem isolierenden Träger verbundenen
Vielfach-Elektrodenanordnung für Aufzeichnungsgeräte auf Registriermetallpapierbasis, mit einem gegenüber
benachbarten Elektroden und Kontaktierungsabschnitten elektrisch isolierten Kontaktierungsabschnitt an
jeder einzelnen Elektrode, wobei die Elektrodenanordnung, die Kontaktierungsabschnitte und eine Anzahl
von Verbindungsstegen zur mechanischen Stabilisierung der Anordnung während der Fertigung aus einem
Blech durch FormteiJätzen hergestellt und die Verbindungsstege nach dem Fixieren der Elektrodenanordnung
durch den Träger entfernt werden.
Bei bekennten Verfahren wird die in der Regel als
Kammelektrode ausgebildete Vielfach- Elektrodenanordnung, die sowohl zur analogen Aufzeichnung wie
auch zum Schreiben alphanumerischer Zeichen auf Registriermetallpapier verwendet werden kann, in
Drahtwickeitechnik, durch Schichten von dünnen Blechen oder durch Fräsen von Blechen hergestellt. Das
Hauptproblem dieser mechanischen Verfahren ist die Kontaktierung der Elektroden, da jede Elektrode
einzeln angesteuert werden muß. Damit sind mindestens so viele Verbindungsleitungen notwendig, wie Elektroden
vorhanden sind.
Aus der DE-OS 21 62 438 ist ein Verfahren zur Herstellung eines Elektrodendruckkopfes für elektronisch
gesteuerte Mosaikdrucker bekannt, dessen parallel nebeneinander angeordnete Elektroden aus einem
flexiblen Metallblech herausgeätz sind. Zur Stabilisation und zur Positionierung der Einzelelektroden sind diese
in ihrem mittleren Bereich in einen festen Isolierkörper eingebettet Eine Elektrodenanordnung dieser Art
benötigt eine erhebliche Materialstärke, wodurch ein scharfkantiges Ätzen der einzelnen Elektroden stark
erschwert oder gar unmöglich gemacht wird. Wegen der großen freien Weglänge der Einzelelektroden ist die
Materialstärke jedoch erforderlich.
Aus der US-PS 36 79 500 ist ein Verfahren und eine Anordnung zum Fotoätzen von dünnen Metallteilen
bekannt, wobei angegeben ist, daß bei derartigen Verfahren auch bereits eine beidseitige Ätzung bekannt
ist. Unter Anerkennung der präziseren Ätzung von Durchbrechungen wird als Nachteil jedoch herausgestellt,
daß bei der Forderung nach präziser Ätzung von ausgedehnten Teilen das Verfahren ungeeignet sei.
Schließlich ist aus der DE-OS 20 47 637 ein Verfahren und eine Vorrichtung zur elektrofotographischen
Aufzeichnung von Informationen bekannt, wobei eine Vielfach- Elektrodenanordnung nach dem Ätzen auf
einen Träger aufgebracht wird. Diese Ausführungsform ist wegen des verwendeten Materials und wegen der
Elektrodendicke jedoch nicht zum Schreiben auf Registriermetallpapier geeignet. Außerdem können die
Elektroden bei dieser Anordnung wegen der Verwendung kaschierter Platten nur einseitig geätzt werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung von Schreibelektroden für
Registriermetallpapier-Schreiber anzugeben, welches
exakt ausgebildete und mechanisch widerstandsfähige ynd geschützte Elektroden liefert Das Verfahren soll
technisch einfach und wirtschaftlich sein, d.h. es soll
möglichst nur eine geringe Zahl von getrennten Bearbeitungsgängen aufweisen und einen hohen Grad '.
an Fertigungssicherheit mit geringem Ausschuß gewährleisten. Diese Aufgabe wird erilndungsgemäß
dadurch gelöst, daß ein fotographisches Ätzverfahren benutzt wird unter Verwendung einer ersten Fotomaske
für die Oberseite und einer zweiten Fotomaske für die ι ο Unterseite des Bleches, auf die ein Fotolack aufgetragen
ist, der nach dem Auflegen der Fotomaske teilweise belichtet und im Bereich der wegzuätzenden Blechteile
entfernt wird, und daß die Vielfach-Elektrodenanordnung
nach dem Ätzea auf den plattenförmig ausgebilde- ι >
ten Träger aufgebracht wird. Dieses Verfahren hat sich als besonders wirtschaftlich und betriebssicher erwiesen
und Uefert gleichzeitig einen Elektrodenkamm, bei dem
sich eine sehr große Anzahl von Einzelelekfoden mit präziser Gestalt auf geringer Breite unterbringen läßt. _*>
Besonders hat sich ein Foto-Negativ-Verfahren bewährt, bei dem der Fotolack im Bereich der Metallteile,
welche beim Ätzen stehenbleiben sollen, belichtet und durch Polymerisation ausgehärtet wird. Dieses Verfahren
ist beim Formteilätzen sehr wirtschaftlich und r> gestattet eine sehr exakte Formgebung mit scharfen
Kanten.
Als Materialien für das Blech zur Herstellung der Elektrodenanordnung eignen sich vor allem Federbandstahl,
Chrom- Nickel-Stahl und Kupfer-Beryllium-Le- y.>
gierungen. Die Fotomasken für die Oberseite und die Unterseite der Elektrodenanordnung werden zweckmäßigerweise
so ausgebildet, daß sie entlang einer Längsseite zusammenhängen und eine Art Ätztasche
für die Aufnahme des zu ätzenden Bleches bilden. Auf r> diese Art ist gewährleistet, daß die Masken für die Oberbzw.
Unterseite exakt zueinander positioniert sind ohne großen Justierungsaufwand.
Eine das Herstellungsverfahren wesentliche vereinfachende
Weiterbildung der Erfindung besteht darin, -tu daß die Verbindungsstege zwischen die Elektroden-Kontaktierungsabschnitte
und eine nach dem Ätzen der einzelnen Elektroden zu entfernende Haltebrücke gelegt werden. Eine sinnvolle Ergänzung dieser
Maßnahme besteht darin, daß auch die Schreibspitzen r< der Elektroden während des Ätzvorganges durch eine
nach dem Ätzen der einzelnen Elektroden zu entfernende Haltebrücke verbunden sind. Bei diesen beiden
Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens kann durch einfache, vorzugsweise mechanische Ab- ίο
trennung einer bzw. zweier Brücken die fertige Vielfach-Elektrodenanordnung erhalten werden.
Ein abgewandeltes Verfahren zur Erreichung der mechanischen Stabilisierung der Anordnung während
der Fertigung besteht darin, daß die Verbindungsstege « zwischen die einzelnen Elektroden und/oder Kontaktierungsabschnitte
gelegt werden. Dieses wie auch das zuvor geschilderte Verfahren lassen sich so verwirklichen,
daß die Fotomasken für die Oberseite und für die Unterseite unterschiedlich geformt sind zur Ausbildung wi
von Verbindungsstegen, die einseitig während des Ätzprozesses bis auf die halbe Dicke abgeätzt werden.
So bieten die Verbindungsstege beim endgültigen Entfernen einen geringeren mechanischen oder Ätz-Widerstand,
was zur zeitlichen Verkürzung des t>i
Gesamtverfahrens beiträgt.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird im folgenden anhand der Abbildungen näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 einen Querschnitt durch ein zu ätzendes Blechstück mit je einer Fotolackschicht und einer
Fotomaske auf Ober- und Unterseite,
F i g. 2a eine Draufsicht auf eine Negativ-Fotomaske für die Oberseite des Bleches bei der ersten Ätzung,
F i g. 2b eine Draufsicht auf eine Negativ-Fotomaske
für die Unterseite des Bleches bei der ersten Ätzung,
F i g. 3 eine vergrößerte Darstellung eines Schnittes entlang eines quer zu den Elektroden verlaufenden
Verbindungssteges nach der Linie IH-IH in F i g. 2a,
F i g. 4 einen Schnitt durch eine Anordnung entsprechend F i g. 3 nach dem Aufkleben auf einen Träger,
F i g. 5 eine Negativ-Fotomaske für die Oberseite des
Bleches während einer zweiten Ätzung zum Entfernen der Verbindungsstege,
F i g. 6 einen Schnitt durch eine Anordnung entsprechend
Fig.4 nach dem teilweisen Wegätzen oder Ausschleifen des Verbindungssteges,
F i g. 7 eine Draufsicht auf eine Vielfach-Elektrodenanordnung mit Kontaktierungsabschnitten,
F i g. 8 eine Draufsicht auf eine Kammelektrode mit Verbindungsstegen zwischen den Kontaktierungsabschnitten,
Fig.9 eine Draufsicht auf eine Vielfach-Elektrodenanordnung
mit schrägen Verbindungsstegen und je einer Haltebrücke an beiden Enden der Anordnung und
Fig. 10 eire auf eine Platte mit einer gedruckten Schaltung aufgeklebte Vielfach-Elektrodenanordnung.
In F i g. 1 ist mit 10 ein Blech bezeichnet, das auf beide
Seiten je eine Schicht 11 bzw. 12 aus Fotolack trägt. Auf die obere Lackschicht 11 ist eine erste Fotomaske 13 für
die Oberseite aufgelegt, auf die untere Lackschicht 12 eine zweite Fotomaske 14 für die Unterseite des Bleches
10.
Die Anordnung nach F i g. 1 dient zur Durchführung eines Verfahrens zur Herstellung einer Vielfach-Elektrodenanordnung
in Form einer Kammelektrode für Aufzeichnungsgeräte auf Registriermetallpapierbasis.
Zur Herstellung der Elektrodenanordnung, der Kontaktierungsabschnitte und einer Anzahl von Verbindungsstegen zur mechanischen Stabilisierung der Anordnung
während der Fertigung aus dem Blech 10 werden zunächst die Fotolackschichten 11 und 12 nach dem
Auflegen der Masken 13 und 14 belichtet. An den belichteten Stellen, welche nicht durch die Fotomasken
13 und 14 bedeckt waren, erfolgt durch Polymerisation eine Verfestigung der Lackschicht, welche eine Ablösung
dieser Teile der Lackschichten 13 und 14 in einem anschließenden Bad verhindert. Es folgt dann ein
Formteilätzen des Bleches 10 im Bereich der abgelösten Lackschichten. Dieses fotographische Verfahren wird
weiter unten noch ausführlicher beschrieben.
Das Blech 10 zur Herstellung der Elektrodenanordnung besteht in der Regel wegen des relativ niedrigen
Preises aus Federbandstahl; sehr gut eignen sich jedoch auch Chrom-Nickel-Stahl und Kupfer-Beryllium-Legierungen
für die Bleche 10 als Ausgangsmaterialien zur Herstellung von Vielfach-Elektrodenanordnungen.
Fig.2a zeigt eine Negativ-Fotomaske 13 für die Oberseite des mit der Fotolackschicht 11 versehenen
Bleches 10. Die Maske 13 enthält in ihrem oberen Teil vier querlaufende Aussparungen 15, im mittleren
Bereich der Maske sind Aussparungen 16 und im Unterteil der Maske 13 Aussparungen 17 erkenntlich,
von denen jeweils nur ein geringer Teil mit Bezugsziffern versehen ist. Im Bereich der Aussparungen 15, 16,
17 der Fotomaske 13 erfolgt beim Belichten eine Verfestigung der Lackschicht und beim anschließenden
Ätzen bleiben in dem Blech 10 im Bereich der Aussparungen 15 Verbindungsstege 18, im Bereich der
Aussparungen 16 Verbindungsstege 19 und im Bereich der Aussparungen 17 Verbindungsstege 20 stehen. Die
Verbundungsstege 20 befinden sich zwischen einzelnen Leitern einer gedruckten Schaltung, welche aus dem
Blech 10 zusammen mit der Elektrodenanordnung und den Kontaktierungsabschnitten hergestellt wird. Die
metallischen Verbindungsstege sind teilweise aus F i g. 8 ersichtlich. Die Aussparungen 15, 16, 17 bestehen
beispielsweise aus durchsichtigen oder durchscheinenden Abschnitten in einer Glasplatte oder einer
Kunststoffolie.
Fig.2b zeigt die zweite Negativ-Fotomaske 14 zur
Belichtung der Fotolackschicht 12 auf der Unterseite des Bleches 10. Diese zweite Fotomaske entspricht im
wesentlichen derjenigen aus F i g. 2a, jedoch enthält sie keine Aussparungen an den Stellen, an denen entsprechend
der in F i g. 2a dargestellten Maske Verbindungsstege in dem Blech 11 beim Ätzen aufrechterhalten
werden sollen. Die Fotomasken 13 und 14 für die Oberseite und für die Unterseite sind also derart
unterschiedlich geformt, daß sie zur Ausbildung von Verbindungsstegen in der Elektrodenanordnung dienen,
die einseitig während des Ätzprozesses bis etwa auf die halbe Dicke des Bleches 10 abgeätzt werden. Zur
einwandfreien gegenseitigen Justierung hängen die Fotomasken 13 und 14 für die Oberseite und die
Unterseite der Elektrodenanordnung entlang einer Längsseite — in den Fig.2a bzw. 2b beispielsweise
entlang der jeweiligen linken Kante 21 — zusammen und bilden eine Ätztasche für die Aufnahme des zu
ätzenden Bleches 10.
Fig.3 zeigt einen Querschnitt durch das Blech 10
nach dem ersten Ätzvorgang entlang eines Verbindungssteges 18 nach der Linie IH-IiI in Fig.2a. Im
Bereich der Aussparung 15 in der Fotomaske 13 ist die obere Fotolackschicht durch das Belichten verfestigt
worden, so daß im Bereich des Verbindungssteges 18 einseitig kein Materialabtrag stattgefunden hat. Hingegen
ist die Unterseite des Bleches 10 entsprechend der Vielfach-Elektrodenanordnung eingeätzt. Der untere
Teil der Elektroden 22 ist in F i g. 3 bereits ersichtlich.
Fig.4 zeigt eine Vielfach-Elektrodenordnung in einem der F i g. 3 entsprechenden Stadium, welche nach
der bereits fertiggestellten Ätzung der Blech-Unterseite auf einen Träger 23 aufgeklebt ist Das Klebemittel ist
bei 24 angedeutet Als Trägermaterial dient ein Glasfaser-Epoxid.
F i g. 5 zeigt eine weitere Negativ-Fotomaske 25, mit deren Hilfe die Verbindungsstege 18,19 und 20 entfernt
werden können, welche entsprechend den Aussparungen 15, 16 und 17 in der ersten Fotomaske 13 beim
ersten Ätzvorgang stehen geblieben sind. Auf die in F i g. 4 dargestellte Anordnung wird zu diesem Zweck
eine in den Abbildungen nicht dargestellten weitere Fotolackschicht aufgetragen, die entsprechend dem
Muster der Fotomaske 25 gemäß Fig.5 belichtet und
an den belichteten Stellen derart ausgehärtet wird, daß
diese in einem anschließenden Bad stehenbleiben, während die unbelichteten Teile der Fotolackschicht
entsprechend wieder entfernt werden. Beim anschließenden Ätzvorgang liegt nun bei einer Anordnung
entsprechend Fig.4 eine Schutzschicht über den Elektroden 22, während die dazwischenliegenden, beim
ersten Ätzvorgang stehengebliebenen Abschnitte fiber dem Klebemittel in diesem zweiten Ätzvorgang
entfernt werden. Es entsteht die in Fig.6 teilweise
dargestellte, fertige Vielfach-Elektrodenanordnung mit getrennten Elektroden 22.
F i g. 7 zeigt eine Draufsicht auf einen Teil der fertigen Vielfacb-Elektrodenanordnung in vergrößerter Darstellung.
Hierbei ist jeder Elektrode 22 ein Kontaktierungsabschnitt 26 zugeordnet, der, ebenso wie die einzelnen
Elektroden 22 untereinander, gegenüber den benachbarten Kontaktierungsabschnitten 26 elektrisch isoliert
ist.
Statt die Verbindungsstege 18, 19 und 20 in einem zweiten Ätzprozeß zu entfernen, ist es auch möglich, die
Verbindungsstege nach dem Aufkleben auf den Träger 23 mechanisch abzutragen. Dieses Verfahren ist
einfacher als eine zweite Ätzung, jedoch ist es mit wirtschaftlich vertretbarem Aufwand nur anwendbar
bei einer einfachen Anordnung von Elektroden und Kontaktierungsabschnitten, bei denen keine winkligen
oder sonstwie schwierigen Schnitt- oder Schlifformen entstehen.
Fig.8 zeigt einen Teil einer Kammelektrode 27 mit
Verbindungsstegen 19 zwischen den einzelnen Kontaktierungsabschnitten 26 und mit Verbindungsstegen 20
zwischen den Leitern 28 einer gedruckten Schaltung 29. Die Kontaktierungsabschnitte 26 und die Leiter 28 sind
mit in einer Reihe angeordneten Kontaktierungs-Bohrungen 30 versehen. Neben den Verbindungsstegen
19 zwischen den Kontaktierungsabschnitten 26 und den Verbindungsstegen 20 zwischen den Leitern 28 ist
zwischen dem untersten Kontaktierungsabschnitt jeder Untergruppe 31 der Kammelektrode 27 und dem
benachbarten Leiter 28 der gedruckten Schaltung 29 ein weiterer Verbindungssteg 32 vorgesehen. Die Verbindungsstege
19, 20 und 32 werden, wie weiter oben bereits ausführlicher geschildert, nach dem Aufkleben
auf einen Träger wiederum mechanisch oder durch eine weitere Ätzung entfernt Eine Haltebrücke 33 im
Bereich der Schreibenden der Elektroden 22 dient ebenfalls zur mechanischen Stabilisierung der Anordnung
während der Fertigung; auch diese Haltebrücke 33 wird nach dem Aufkleben der Kammelektrode 27 auf
einen Träger.
Wenn die Elektroden 22 aus schreibtechnischen Gründen sehr dicht nebeneinander angeordnet werden
sollen, so darf die Materialdicke des Bleches 10 eine bestimmte Größe nicht überschreiten, da andernfalls
beim Ätzen zwischen den einzelnen Elektroden 22 stehenbleibende Kanten zu weit vorspringen und ein für
den einwandfreien Betrieb erforderlicher Mindestabstand nicht mehr eingehalten wird. Für die Praxis hat es
sich bewährt, wenn der Elektrodenabstand die Materialstärke des Bleches 10 nicht unterschreitet Hierbei
können bei einer gebräuchlichen Materialstärke vor 0,25 mm zwei Elektroden pro Millimeter Kammbreite
angeordnet werden. Bei einer Materialstärke von 0,125 mm können vier Elektroden pro Milümetei
Kammbreite erreicht werden, jedoch kann es bei einei
derartig geringen oder gar noch weiter verringerter Elektrodendicke erforderlich werden, zur Erhöhung dei
Standzeiten der Elektrodenanordnung die einzelner Elektroden wenigstens im Bereich ihrer Schreibender
zu verstärken. Dies ist möglich durch die Aufbringung
einer Elektrodenstruktur durch Diffusionslöten.
Fig.9 zeigt eine Vielfach-Elektrodenanordnunj
während der Fertigung vor dem Abtrennen dei
Haltebrücke 33 im Bereich der Schreibenden dei Elektroden und einer Haltebrücke 34 am kontaktie
rungsseitigen Ende der Elektroden 22. Die in Fig.ί
dargestellte Anordnung unterscheidet sich vor dei
vorhergehenden dadurch, daß Verbindungsstege 35 schräg zwischen die Elektroden-Kon takt ierungsabschnitte
26 und eine nach dem Ätzen der einzelnen Elektroden 22 zu entfernende Haltebrücke 34 gelegt
worden sind. Diese Verbindungsstege 35 brauchen nicht beseitigt zu werden, sondern können nach dem
Abtrennen der Haltebrücke 34 in der Elektrodenanordnung verbleiben. Auf diese Weise erreicht man eine
wesentliche Vereinfachung des Herstellungsverfahrens für die Vielfach-Elektrodenanordnung. Die Trennstellen
im Bereich der Schreibenden bzw. der Kontaktieiungsenden
sind bei 36 bzw. 37 angedeutet.
Im Gegensatz zu der in Fig.8 dargestellten Ausbildungsform, bei der die Elektrodenanordnung
gemeinsam mit einer gedruckten Schaltung 29 durch Ätzen hergestellt und auf eine Platte aufgeklebt wird, ist
es auch möglich, daß die Elektrodenanordnung nach dem Ätzen und Entfernen der Verbindungsstege
und/oder Haltebrücken auf einen plattenförmigen Träger 38 mit einer getrennt hergestellten, gedruckten
Schaltung 39 aufgeklebt wird. Eine solche Anordnung ist in Fig. 10 dargestellt. Im übrigen entspricht die
Anordnung nach Fig. 10 grundsätzlich denjenigen der vorhergehenden Ausführungsformen, wobei die Verbindungsstege
wiederum in der bei F i g. 9 geschilderten Weise angeordnet und hergestellt sind.
Durch die vorliegende Erfindung erreicht man also eine sehr einfache Herstellung einer Vielfach-Elektrodenanordnung,
insbesondere in Form einer Kammelektrode, aus Blechen durch Formteilätzen, wobei auch die
Elektroden selbst nach dem Aufkleben auf einen Träger teilweise als gedruckte Schaltung benutzt werden.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (11)
1. Verfahren zur Herstellung einer mit einem isolierenden Träger verbundenen Vielfach-Elektrodenanordnung
für Aufzeichnungsgeräte auf Registriermetallpapierbasis,
mit einem gegenüber benachbarten Elektroden und Kontaktierungsabschnitten
elektrisch isolierten Kontaktierungsabschnitt an jeder einzelnen Elektrode, wobei die
Elektrodenanordnung, die Kontaktierungsabschnitte und eine Anzahl von Verbindungsstegen zur
mechanischen Stabilisierung der Anordnung während der Fertigung aus einem Blech durch
Formteilätzen hergestellt und die Verbindungsstege nach dem Fixieren der Elektrodenanordnung durch
den Träger entfernt werden, dadurch gekennzeichnet,
daß ein fotographisches Ätzverfahren benutzt wird unter Verwendung einer ersten
Fotomaske (13) für die Oberseite und einer zweiten Fotomaske (14) für die Unterseite des Bleches (10),
auf die ein Fotolack (11,12) aufgetragen ist, der nach
dem Auflegen der Fotomaske (13, 14) teilweise belichtet und im Bereich der wegzuätzenden
Blechteile entfernt wird, und daß die Vielfach-Elektrodenanordnung
nach dem Ätzen auf den plattenförmig ausgebildeten Träger (23, 38) aufgebracht wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Verbindungsstege (18,19) zwischen die
einzelnen Elektroden (22) und/oder deren Kontaktierungsabschnitte (26) gelegt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fotomasken (13,14) für die
Oberseite und für die Unterseite unterschiedlich geformt sind zur Ausbildung der Verbindungsstege
(18, 19, 20), die einseitig während des Ätzprozesses; bis auf die halbe Dicke abgeätzt werden.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Fotomasken
(13,14) für die Oberseite und die Unterseite der Elektrodenanordnung entlang einer Längsseite
(21) zusammenhängen und eine Ätztasche für die Aufnahme des zu ätzenden Bleches (10) bilden.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenanordnung
aus Federbandstahl hergestellt wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenanordnung
aus Chrom-Nickel-Stahl hergestellt wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenanordnung
aus einer Kupfer-Berryllium-Legierung hergestellt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsstege (35) zwischen
die Elektroden-Kontaktierungsabschnitte (26) und eine nach dem Ätzen der einzelnen Elektroden (22)
zu entfernende Haltebrücke (34) gelegt werden.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die
Schreibenden der Elektroden (22) während des Ätzvorganges durch eine nach dem Ätzen zu
entfernende Haltebrücke (33) verbunden sind.
10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß auf den plattenförmigen Träger
(38) zusätzlich eine gedruckte Schaltung (39) aufgebracht wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenanordnung gemeinsam mit einer gedruckten Schaltung
(29) durch Ätzen hergestellt und auf den plattenförmigen Träger (23) aufgebracht wird.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2350026A DE2350026B2 (de) | 1973-10-05 | 1973-10-05 | Verfahren zur Herstellung einer mit einem isolierenden Träger verbundenen Vielfach-Elektrodenanordnung |
FR7346616A FR2247137A5 (de) | 1973-10-05 | 1973-12-27 | |
US05/509,245 US3962002A (en) | 1973-10-05 | 1974-09-25 | Method for making comb electrode for electrical recording apparatus |
JP49114600A JPS5835149B2 (ja) | 1973-10-05 | 1974-10-04 | 記録装置用多心−電極装置の製作方法 |
GB4307874A GB1457649A (en) | 1973-10-05 | 1974-10-04 | Method of forming a multiple electrode arrangement |
NL7413130A NL7413130A (nl) | 1973-10-05 | 1974-10-04 | Multi-electrode. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2350026A DE2350026B2 (de) | 1973-10-05 | 1973-10-05 | Verfahren zur Herstellung einer mit einem isolierenden Träger verbundenen Vielfach-Elektrodenanordnung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2350026A1 DE2350026A1 (de) | 1975-04-24 |
DE2350026B2 true DE2350026B2 (de) | 1979-07-26 |
DE2350026C3 DE2350026C3 (de) | 1980-03-20 |
Family
ID=5894589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2350026A Granted DE2350026B2 (de) | 1973-10-05 | 1973-10-05 | Verfahren zur Herstellung einer mit einem isolierenden Träger verbundenen Vielfach-Elektrodenanordnung |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3962002A (de) |
JP (1) | JPS5835149B2 (de) |
DE (1) | DE2350026B2 (de) |
FR (1) | FR2247137A5 (de) |
GB (1) | GB1457649A (de) |
NL (1) | NL7413130A (de) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA1041159A (en) * | 1975-11-06 | 1978-10-24 | Northern Electric Company | Thermal printing device |
US4352715A (en) * | 1977-11-28 | 1982-10-05 | Irvine Sensors Corporation | Detector array module fabrication |
US4215194A (en) * | 1978-02-21 | 1980-07-29 | Masterwork, Inc. | Method for forming three-dimensional objects from sheet metal |
DE2818389A1 (de) * | 1978-04-27 | 1979-11-08 | Moto Meter Ag | Fahrtschreiber fuer fahrzeuge, insbesondere kraftfahrzeuge |
US4209355A (en) * | 1978-07-26 | 1980-06-24 | National Semiconductor Corporation | Manufacture of bumped composite tape for automatic gang bonding of semiconductor devices |
US4415403A (en) * | 1978-11-20 | 1983-11-15 | Dynamics Research Corporation | Method of fabricating an electrostatic print head |
US4235664A (en) * | 1979-06-29 | 1980-11-25 | Hutchinson Industrial Corporation | Unitary type-carrier elements and method of making same |
US4282311A (en) * | 1979-10-03 | 1981-08-04 | Rca Corporation | Method for fabricating flyleads for video disc styli |
FR2477072A1 (fr) * | 1980-02-28 | 1981-09-04 | Sagem | Tete d'ecriture par decharge electrique pour machine imprimante par points et son procede de fabrication |
US4631100A (en) * | 1983-01-10 | 1986-12-23 | Pellegrino Peter P | Method and apparatus for mass producing printed circuit boards |
FR2546819A1 (fr) * | 1983-06-02 | 1984-12-07 | Dynamics Res Corp | Procede de fabrication de tetes d'impression electrostatique et tetes d'impression obtenues par sa mise en oeuvre |
GB8714177D0 (en) * | 1987-06-17 | 1987-07-22 | Grace W R Ltd | Printing plate manufacture |
US4878990A (en) * | 1988-05-23 | 1989-11-07 | General Dynamics Corp., Pomona Division | Electroformed and chemical milled bumped tape process |
DE3914862C2 (de) * | 1989-05-05 | 1993-12-16 | Productech Gmbh | Verfahren zur Verminderung von mechanischen Spannungen beim Schweissen |
FR2713143B1 (fr) * | 1993-12-06 | 1996-01-26 | Dol Christian | Tête d'écriture notamment pour machine d'impression sur papier électrosensible. |
JP2014088594A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | V Technology Co Ltd | 蒸着マスク |
CN111028702B (zh) * | 2019-12-05 | 2022-01-25 | 湖南创瑾科技有限公司 | 一种制造led透明显示屏的方法及显示屏 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3413647A (en) * | 1963-02-08 | 1968-11-26 | Leeds & Northrup Co | Digital analog recorder |
US3415699A (en) * | 1965-03-29 | 1968-12-10 | Buckbee Mears Co | Production of etched patterns in a continuously moving metal strip |
US3537175A (en) * | 1966-11-09 | 1970-11-03 | Advalloy Inc | Lead frame for semiconductor devices and method for making same |
US3539259A (en) * | 1967-07-07 | 1970-11-10 | Mitronics Inc | Method of making lead array for connection to miniature electrical device such as a chip |
US3647584A (en) * | 1970-01-05 | 1972-03-07 | Gregory A Duffy | Chemical milling process |
US3771634A (en) * | 1971-05-06 | 1973-11-13 | Bausch & Lomb | Surface pattern stylus board |
JPS4847450A (de) * | 1971-10-21 | 1973-07-05 | ||
US3747202A (en) * | 1971-11-22 | 1973-07-24 | Honeywell Inf Systems | Method of making beam leads on substrates |
DE2162438A1 (de) * | 1971-12-16 | 1973-06-28 | Olympia Werke Ag | Verfahren zum herstellen eines elektrodendruckkopfes |
-
1973
- 1973-10-05 DE DE2350026A patent/DE2350026B2/de active Granted
- 1973-12-27 FR FR7346616A patent/FR2247137A5/fr not_active Expired
-
1974
- 1974-09-25 US US05/509,245 patent/US3962002A/en not_active Expired - Lifetime
- 1974-10-04 NL NL7413130A patent/NL7413130A/xx not_active Application Discontinuation
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US3962002A (en) | 1976-06-08 |
FR2247137A5 (de) | 1975-05-02 |
NL7413130A (nl) | 1975-04-08 |
JPS5115924A (en) | 1976-02-07 |
GB1457649A (en) | 1976-12-08 |
DE2350026A1 (de) | 1975-04-24 |
JPS5835149B2 (ja) | 1983-08-01 |
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