DE2343499C3 - Verfahren und Vorrichtung zum Metallisieren von bewegtem flächigem Gut - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Metallisieren von bewegtem flächigem Gut

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DE2343499C3
DE2343499C3 DE19732343499 DE2343499A DE2343499C3 DE 2343499 C3 DE2343499 C3 DE 2343499C3 DE 19732343499 DE19732343499 DE 19732343499 DE 2343499 A DE2343499 A DE 2343499A DE 2343499 C3 DE2343499 C3 DE 2343499C3
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Hermann Johannes 8000 Muenchen Schladitz
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Schladitz Whiskers AG
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/48Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating by irradiation, e.g. photolysis, radiolysis, particle radiation
    • C23C16/481Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating by irradiation, e.g. photolysis, radiolysis, particle radiation by radiant heating of the substrate
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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Description

CJ
Λ QQ
wirkung von mindestens einer, quer /ur Bewegungsrichtung und in der Ebene bzw. nahe der Ebene des flächigen Gutes verlaufenden, wärmesammelnden Brennlinie eines optischen Systems ausgeht.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist mindestens eine die Wärmestrahlung einer Strahlungsquelle sammelnde Brennlinie in einer Metallisierungskammer vorhanden, die in ihren Wandungen gegenüberliegende Schlitze aufweist, die unter sich und zu der Brennlinie parallel verlaufen, wobei die zur Durchführung des durchlaufenden flächigen Gutes dienenden Schlitze vorzugsweise mit Schleusen versehen sind und die Metallisierungskammer in an sich bekannter Weise Zuführungen und Auslässe für die gasförmige Metallverbindung aufweist.
Die Metallisierungskammer kann die Form einer endseitig geschlossenen Rinne elliptischen Querschnitts haben, welche auf der dem Rinnenboden abgewandten Seite mit einem strahlungsdurchlässigen Deckel versehen ist, während die Wandungen der Rinne als Reflektor ausgebildet sind. Hierbei ist mindestens eine Strahlungsquelle in einem als Fokussierspiegel wirkenden Gehäuse angeordnet. Das Gehäuse für die Strahlungsquelle kann dabei einen elliptischen Querschnitt aufweisen, welcher denn elliptischen Querschnitt der Metallisierungskammer /u einem geschlossenen elliptischen Querschnitt ergänzt.
Bei einer anderen Ausführiingsform der Erfindung können mehrere zueinander parallel liegende Brennlinien vorhanden sein.
In dem Falle, daß das flächige Gut die Form einer abwickelbaren krummen Fläche, z. B. eines gewellten Profils, aufweist, kann die die Wärmestrahlung sammelnde Brcnnlinie eine dem Querschnitt des Nächigen Gutes entsprechend gekrümmte I .inie bilden.
Bei kleineren Abmessungen des flächigen Gutes kann dieses innerhalb der Meuillisierungskaminer quer zur Brennlinie hin- und herbewegbar sein, wubei nach Beendigung des Metallisierungsvorganges die Meiullisierungskammer geöffnet werden kann, um das flächige Gut aus der Metallisierungskammer herauszunehmen.
Die Erfindung ist anhand eines Ausführungsbeispiels in den Figuren beispielsweise veranschaulicht.
Fig. 1 ist ein .Schnitlbild durch eine erfindungsgemä-
ίο ße Vorrichtung senkrecht zum Brennliniensysiem.
F i g. 2 veranschaulicht eine perspektivische Seitenansicht auf eine Vorrichtung gemäß Fig. 1.
Die Metallisierungskammer 1 besteht aus einem elliptischen Halbrohr, welches auf seiner Oberseite mit einem Teflondeckel 2 abgedeckt ist. der besonders strahlungsdurchlässig ist. Der Teflondeckel 2 ist durch Kleben oder Schweißen mn dem elliptischen Halbruhr 1 verbunden. Oberhalb der Metallisierungskammer 1 befindet sich ein offenes elliptisches metallisches Flalbrohr 3 mit einer in der ein· , Brennlinie 5' angeordneten Strahlungsquelle, die i. B. aus einer Heizwedel 4 besteht. Seitlich und parallel zur Brennlinie 5 der Metallisierungskammer 1 sind schlitzförmige Durchtrittsöffnungen 6 vorgesehen, welche den Durch-
2t tritt des bandförmigen flächigen Gutes gestattet Die Schlitze 6 sind hierbei schematisch angedeuteten Schleusen 7 angeschlossen, um das Austreten des in der Kammer 1 befindlichen Metallisierungsgases möglichst klein zu halten. Beim Durchlaufen des Gutes durch die
so Schlitze 6 und 6' findet die Metallisierung an der Oberfläche 8 des Gutes statt. Die Zuführung des Melallisierungsgases findet über eine Leitung durch den veranschaulichten Stutzen 9 statt, der sich an der Kammer 1 befindet.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (8)

Patentansprüche:
1. Verfahren zum Metallisieren von bewegtem flächigem Gut, insbesondere von laufenden Materialbahnen, wobei mittels Wärmeeinwirkung auf eine gasförmige Metallverbindung mit dem Ziel ihrer Zersetzung und durch den Niederschlag des bei der Zersetzung gebildeten Metalls die Metallisierung des Gutes erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmeeinwirkung von mindestens einer, quer zur Bewegungsrichtung und in der Ebene bzw. nahe der Ebene des flächigen Gutes verlaufenden, wärmesammelnden Brennlinie eines optischen Systems ausgeht.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine die Wärmestrahlung einer Strahlungsquelle (4) sammelnde Brennlinie (5) in einer Metallisieruf^skammer (1) verläuft, die in ihren Wandungen gegenüberliegende Schlitze (6 und 6') aufweist, die unter sich und zu der Brennlinie (5) parallel verlaufen, wobei die zur Durchführung des durchlaufenden flächigen Gutes dienenden Schlit/e (6 und 6') vorzugsweise mit Schleusen (7) versehen sind und die Mctallisierungskammer (1) in an sich bekannter Weise Zuführungen (9) und Auslässe für die gasförmige Metallverbindung aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallisierungskammer (1) die Form einer end'icitig geschlossenen Rinne elliptischen Querschnitts aufweist, welche auf der dem Rinnenboden abgcwanclten Serie mit einem strahlungsdurchlässigen Deckel (2) versenen ist. während die Wandungen der Kinne als Kc.ekior ausgebildet sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder i. dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Strahlungsquelle (4) in einem als 1 okiissierspicgel wirkenden Gehause(})angeordnet ist.
r). Vorrichtung nach Anspruch 5 und 4. dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (J) fur die -Strahlungsquelle (4) einen elliptischen Querschnitt aufweist, welcher den elliptischen Querschnitt der Mctallisierungskammer (I) /u einem geschlossenen elliptischen Querschnitt ergänzt.
b. Vorrichtung nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß in der Melallisierungskanimcr (I) mehrere zueinander parallel liegende Mrcnnlinicn vorhanden sind.
7 Vorrichtung nach Anspruch 2. dadurch gekenn zeichnet, daß in dem Fall, daß das flächige (int die Form einer abwickelbaren krummen Fläche, z. H. eines gewellten Profils, aufweist, die die WiiriiK-strahlen sammelnde Brennlime (=>) eine den Quer schnitt des flächigen Gutes entsprechend gekrümm le I.iniebildet.
8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch I. dadurch gekennzeichnet, daß bei kleineren Abmessungen des flächigen Gutes diese innerhalb der McialJisicrungskammcr (1) quer zur Brennlinie (5) hin- und herbewegbar gelagert ist, und daß nach Beendigung des Mcfallisicrungsvofgaiigcs Teile der Metallisicrungskammcr geöffnet Werden können, um das flächige Gut aus der Mctallisicrungskanirncr(l) herauszunehmen,
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verfahren und Vorrichtungen zum Metallisieren von bewegtem flächigem Gut, insbesondere von laufenden Materialballen, wobei mittels Wärmeeinwirkung auf eine gasförmige Metallverbindung mit dem Ziel ihrer Zersetzung und durch den Niederschlag des bei der Zersetzung gebildeten Metalls die Metallisierung des Gutes erfolgt.
Die bekannten Vorrichtungen dieser Art weisen den
to Nachteil auf, daß die Qualität und Dicke der auf dem flächigen Gut erzeugten Schichten sehr unterschiedlich sind. Infolge der großräumigen Abscheidung des Metalls bei der Zersetzung der thermisch spaltbaren Metallverbindung wird je nach den örtlichen Verhältnissn auf der zu metallisierenden Oberfläche (Bekeimungsgrad, Unregelmäßigkeit oder dergleichen) eine erhebliche Unregelmäßigkeit sowohl in der Menge des abgeschiedenen Metalls als auch in Bezug auf dessen kristalline Struktur hervorgerufen, wobei sich im allgemeinen eine unerwünschte in der Kristallgröße schwankende grobkristalline Struktur ergibt.
Außerdem ergibt sich die Notwendigkeit, das gesamte flächige Material einer nicht unbeträchtlichen Erwärmung zu unterziehen, weil die gängigen gasförmigen Metallverbindungen, ζ. Β. Metallcarbonyle, relativ hoch gelegene Zersetzungstemperaturen aufweisen, bei denen einige der zu muallisicrenden Materialien bereits plastisch werden oder sonstige unerwünschte Eigenschaflsänderungen erleiden; außerdem ist der Energic-
!o aufwand für die Erwärmung des gesamten Materials, insbesondere bei durchlaufenden Materialbahnen, erheblich und erfordert besondere Vorkehrungen, z. B. besondere Heizkammern, um das zu metallisierende (Jut auf die /ersetzungslemperatiir der gasförmigen
Ji Metallverbindung aufzuheizen, bevor es in die eigentliche Melallisierungskammer eingeführt werden kanu. Örtliche Unterschiede bei der Aufhetzung des Gutes führen zu weiteren Unregelmäßigkeiten bei der Metallisierung der Oberfläche!' des Zv "ietallisierenden
•10 Gutes. Bei nur oberflächlicher Erwärmung des flächigen Gutes ergibt sich wiederum die Gefahr, daß der stark endotherm verlaufende Melallisierungsvorgang unter brochen wird und eine ungenügende Metallisierung stattfindet.
r· Es ist auch schon 'ikannl. I lohlspiegel zn verwenden, welche die Wärmestrahlung einer slabfönnigen Heiz quelle in Form eines parallelen Bündels auf einen flächigen nicht bewegten Gegenstand richten. Auch bei dieser bekannten Anordnung erfolgt die Erwärmung
5n des flächigen zu metallisierenden Gutes allseitig und gleichmäßig, so daß er die an den Hohlspiegeln reflektierte Strahlung in seiner ganzen Breite und in einer im wesentlichen gleichmäßig angestrebten Vertei lung auffangt, um so den flächigen Körper auf die /erselziingslemperalur der gasförmigen metallischen Verbindung zu bringen. Hierbei ergeben sich im wesentlichen die gleichen Nachteile, wie sie schon bei dem vorstehend beschriebenen Stand der Technik dargelegt wurden, ganz abgesehen davon, daß dieses s hO bekannte Verfahren nicht zur Behandlung von beweg tem Gut geeignet ist.
Die vorliegende Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, die Abschciduiigsbedingimgcfi für den Metallüberzug reproduzierbarer und gleichmäßiger zu gestalten und eine übermäßige Erwärmung des durchlaufenden Gutes sowie besondere Hcizkammcrn zu vermeiden.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Wärmccin-
DE19732343499 1973-08-29 1973-08-29 Verfahren und Vorrichtung zum Metallisieren von bewegtem flächigem Gut Expired DE2343499C3 (de)

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IT2571174A IT1017711B (it) 1973-08-29 1974-07-30 Procedimento e dispositivo per la metallizzazione di materiale piatto in particolare di mate riale in foglio continuo
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