DE2442464C2 - Dichtung für den Eintritt eines Stangen-, Draht- oder Bandmaterials mit gleichmäßigem Querschnitt in einen Vakuumraum bzw. für den Austritt aus demselben, sowie Vorrichtung zur Behandlung eines derartigen Materials im Vakuum unter Verwendung einer solchen Dichtung - Google Patents
Dichtung für den Eintritt eines Stangen-, Draht- oder Bandmaterials mit gleichmäßigem Querschnitt in einen Vakuumraum bzw. für den Austritt aus demselben, sowie Vorrichtung zur Behandlung eines derartigen Materials im Vakuum unter Verwendung einer solchen DichtungInfo
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- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
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- F16J15/168—Sealings between relatively-moving surfaces which permits material to be continuously conveyed
Description
Die Erfindung betrifft Dichtungen, die es möglich machen, Längen eines Werkstoffes mit gleichmäßigem
Querschnitt, beispielsweise eine Stange oder einen Draht, kontinuierlich durch eine Trennwand zwischen
Bereichen unterschiedlichen Druckes vorzuschieben, sowie eine Vorrichtung, die mit solchen Dichtungen
ausgestattet ist.
Derartige Dichtungen werden z. B, in einer Vom'chtung
benötigt, in der die Stange oder der Draht, beispielsweise mit Wärme behandelt oder mit einem
Oberzug versehen wird, und die Behandlung kontinuierlich in einem Vakuum durchgeführt werden soll. Die
Erfindung will daher eine Dichtung schaffer, die es
i" ermöglicht, daß Stangen- oder Drahtmaterial kontinuierlich
durch eine Vakuumkammer geführt wird, so daß ein kontinuierlicher Betrieb stattfinden kann.
Gemäß der Erfindung weist eine Dichtung für das Vorschieben von Stangen- oder Drahtmaterial mit
x~- gleichmäßigem Querschnitt durch eine Trennwand
zwischen zwei unterschiedlichen Druckbereichen ein Paar von Formelementen auf, die in beabstandeten
Formhaltern angebracht sind, sowie ein zwischen den Formhaltern dichtend befestigtes Rohr und einen
herausnehmbaren Einsatz, der mit seiner Außenseite in engem Paßsitz in dem Rohr eingefügt ist
Der iichte Querschnitt der Formeiemente ist derart,
daß allseitig um das durch die Dichtung vorgeschobene Material ein Spiel von 0,1 mm bis 0,2 mm vorhanden ist.
Deshalb hat die Dichtung zwei Formelemente, die so gestaltet sein können, daß sie mit dem Profil des in den
Vakuumabschluß einzuführenden Materials konform sind; im typischen Fall können die Formelemente für
kreisrundes Stangen- oder Drahtmaterial Drahtziehfor-
men ein Obermaß von 0,12 mm bezogen auf den
Durchmesser des Materials aufweisen. Der Einsatz oder die Einsätze in dem Rohr sind vorzugsweise Zylinder.
Sie müssen aus einem Material bestehen, das für die speziellen Bedingungen, denen sie ausgesetzt sind,
geeignet ist; das Material muß also die entsprechende Temperatur aushalten, wenn das Draht- oder Stangenmaterial
erwärmt wird; das Material der Einsätze darf das durchlaufende Stangen- oder Drahtmateriai nicht
abschleifen und muß eine angemessene Verschleißfestigkeit
haben. Die Einsätze "kennen aus einem Kunststoff, wie beispielsweise Nylon, bestehen, wenn
das durchlaufende Stangen- oder Drahtmaterial auf einer entsprechend niedrigen Temperatur bleibt, beispielsweise
zwischen 0°C und 1200C. Sie können auch aus einem Keramikmaterial sein, beispielsweise aus
ungebranntem oder halbgebranntem Pyrophyllit oder einem gebundenen Asbestmaterial, wenn sich das durch
die Dichtung laufende Stangen- oder Drahtmaterial auf einer höheren Temperatur befindet. Der Einsatz wird
mit einer Bohrung versehen, die das durch die Dichtung laufende Material eng umschließt, aber ein größeres
Spiel hat als die Formelemente; in einem typischen Fall für kreisrundes Stangen· oder Drahtmaterial kann der
Durchmesser der Einsatzbohrung um 1 mm größer sein als der Stangen- oder Drahtdurchmesser. Dadurch, daß
man einen solchen Einsatz sehr lang auslegt und in engem Paßsitz in dem äußeren Rohr anbringt, kann der
Druckverlust durch das System sehr gering gehalten werden. Eine solche Dichtung wird in Verbindung mit
einem kontinuierlich evakuierten Vakuumraum verwendet, wobei die Dichtung das Leek in den Grenzen der
Absaugleistung der Vakuumpumpe hält. Wie sich erwiesen hat, ist es durch die Verwendung zweier
solcher Dichtungen hintereinander ieidtl möglich, Ηρπ
ft5 Durchtritt von Luft durch die Dichtungen so weit zu
begrenzen, daß der Druck in der Vakuumkammer durch Pumpen ohne weiteres unter 1 N/m2 (0,1 kp/m2)
gegenüber dem vollen Atmosphärendruck am Einlaß
der Dichtungen gehalten werden kann. Durch Zufügen einer weiteren, gleichen Stufe in einer solchen
Anordnung wäre es möglich, einen Unterdruck in der Größenordnung von ΙΟ-3 N/m2 (10-* kp/m2) zu erzielen,
*
Es können gleiche Dichtungsanordnungen an Ein- und Auslaß der Vakuumkammer verwendet werden.
Zwei oder mehr Dichtungen können hintereinander
verwendet werden, wobei zwischen den aufeinanderfolgenden Dichtungen Zwischenvakuumstufen möglich 1»
sind.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Vakuumbehandlung von Stangen-, Draht- oder Bandmaterial
mit gleichmäßigem Querschnitt, die eine Vakuumkammer, zwei gefluchtete Dichtungssysteme, i">
die jeweils wenigstens eine Dichtung der oben beschriebenen Art aufweisen und am Ein- bzw. am
Auslaß der Kammer für das Stangen-, Draht- oder Bandmaterial angeordnet sind, sowie eine Einrichtung
zum Befördern des Materials durch die Kammer und die 2u
Dichtungssysteme aufweist
Im Rahmen der beschriebenen Anordnung kann das
durch die Dichtung bewegte Material jeden-beliebigen Querschnitt haben; es ist lediglich notwendig, Formen
zu haben, die konform mit dem Profil des Material gestaltet sind. Das Material kann beispielsweise
Stangen-, Draht- oder Bandform haben, beispielsweise ein Band für Transformatorblech; Bandmaterial mit
Querschnitten bis zu etwa 50-10 mm kann durch eine Dichtung der oben beschriebenen Art geleitet werden.
Vorzugsweise sind die Formhalter derart angeordnet, daß die Formelemente bequem ausgewechselt werden
können, wenn sich die Form des durch die Dichtung laufenden Materials ändert. Der Einsatz in dem
erwähnten Rohr kann gleichfalls bequem austauschbar sein. Um den Einsatz gut reinigen zu können, wird er
zweckmäßigerweise als Zylinder ausgebildet, der in axialer Richtung geteilt ist Der Einsatz muß genügend
Abstand von dem durch die Dichtung laufenden Material haben, so daß er die Bewegung des Materials
nicht behindert und das Material nicht abnützt oder abschleift auch wenn das Material mit einer ziemlich
hohen Geschwindigkeit durch das System bewegt wird. Die Formelemente sorgen nicht nur für eine starke
Drosselung der Luftströmung durch das System, sondern dienen auch dazu, das durch die Dichtung
bewegte Material in einer zentralen Lage in dem Einsatz oder den Einsätzen zu halten. Sie dämpfen
außerdem etwaige Schwingungen, die beispielsweise durch die Einrichtung zum Fortbewegen des Materials so
durch die Dichtung verursacht werden können.
Die erwähnten Formhalter sind zweckmäßigerweise mit Flanschen versehen, um sie an Flanschen des Rohres
befestigen zu können. Einer der Formhalter kann noch einen weiteren Flansch zur Befestigung in einer Öffnung
zur Vakuumkammer haben.
Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausfuhrungsbeispiels
anhand der beigefügten Zeichnung. Darin zeigt
Fig.! eine Skizze, die schematisch eine erfindungsgemäße
Vorrichtung zur Behandlung eines runden oder beliebig geformten Draht· oder Stangenmaterials mit
gleichmäßigem Querschnitt im Vakuum veranschaulicht,
F i g. 2 einen Längsschnitt einer Dichtung zwischen Atmosphärendruck 'jnd Vakuum in der Vorrichtung der
Fig. t.
kontinuierlichen Behandlung eines Draht-, Stangenoder sonstigen Materials mit gleichmäßigem Querschnitt
in einer Vakuumkammer dargestellt Die Behandlung kann z.B. eine Wärmebehandlung unter
Verwendung eines Elektronenstrahlbombardements oder das Aufdampfen eines Überzugs sein. In der
Vakuumkammer können zwei oder mehr Behandiungsstufen durchgeführt werden, wozu die Vakuumkammer
in einem solchen Fall unterteilt wird, so daß sie mehrere
Abteile enthält in denen verschiedene Atmosphären oder unterschiedliche Drücke unterhalten werden. Die
Vorrichtung besteht im wesentlichen aus einer Behandlungskammer mit fluchtenden Einlaß- und Auslaßdichtungen
5 bzw. 6, durch die das zu behandelnde Material 7 von einem Drahthaspel 8 gezogen wird. Die Kammer
4 ist über eine Leitung 10 an eine Vakuumpumpe 9 angeschlossen. Wenn die Kammer 4 unterteilt ist kann
für jedes Abteil eine gesonderte Pumpe vorgesehen sein.
Einlaß- und Auslaßdichtung sind einander gleich. Fig.2 veranschaulicht eine zweistufige Einlaßdichtung
5 mit dem Ende Λ, an dem der Draht eintritt und das zur
Atmosphäre offen ist, und mit dem Ende C das in eine
Hochvakuumkammer führt die die erwähnte Kammer 4 darstellt und an die Pumpe 9 angeschlossen ist
Zwischen den zwei Stufen der Dichtung gemäß F i g. 2 ist bei Beine kleine Vakuumkammer 12 vorgesehen, die
über ein Rohr 13 an eine Pumpe 14 angeschlossen ist
Am Einlaßende A ist ein Formelement 20 in einem Formhalter 21 aufgenommen, der eini öffnung 22 für
den Eintritt des Drahtes am einen Ende und einen Flansch 23 am anderen Ende hat Letzterer ist an einem
dazu passenden Flansch 24 eines Rohres 25 befestigt das im Ende des Formhalters 21 befestigt ist Das
Formelement 20 hat eine Querschnittsform, die mit dem Profil des Drahtes, der Siange oder des sonstigen durch
die Vakuumkammer geleiteten Materials übereinstimmt Es ist in seiner Konstruktion einer herkömmlichen
Drahtziehform ähnlich, hat aber ein Übern aß von 0,1 bis 0,2 mm. In dem speziellen Beispiel für einen
runden Draht beträgt das Übermaß zum Durchmesser O1! 2 mm. Das Formelement 20 ist im axialen Schnitt
parabolisch,, so daß es von seinem engsten Bereich einen
glatten Übergang zu den beiden Seiten bietet Das Rohr 25 enthält einen zylindrischen Einsatz 26 aus Nylon mit
einer axialen Bohrung, die im Durchmesser 1 mm weiter ist als der Draht
Dieser zylindrische Einsatz 26 ist längsgeteilt, um seine Reinigung zu erleichtern. Er sitzt eng in dem Rohr
25, läßt sich aber herausnehmen. Der Einsatz 26 reicht über die gesamte Länge des Rohres 25, das an seinem
entfernten Ende in einem Halter 30 für ein zweites Formelement 31 hineinragt und darin befestigt ist.
Dieser zweite Formhalter 30 hat einen Flansch 32, der mit dem Flansch 33 an dem Rohr 25 zusammenpaßt Das
Formelement 31 ii1. eine parabolische Forifi, gleich dem
Formelement 20 und mit einem Übermaß von 0,12 mm
zum Draht Der Formhalter 30 ist an der Vakuumkammer 12 befestigt
Die zweite Dichtung entspricht der ersten Dichtung und hat zwei Formelemente 40 und 41 in Formhaltern
42 bzw. 43 mit einem Rohr 44 zwischen diesen Fonnhaltern, das einen gespaltetenen zylindrischen
Einsatz 45 enthält. Der zweite Formhalter ist an einem Einlaß 46 zu der Hochvakuumkammer 11 dichtend
befestigt.
Alle Formelemente sind aus ihren Haltern herausnehmbar und austauschbar. Sie umschließen den Draht
in enger Passung und lassen daher nur sehr wenig Luft durch die Dichtung treten. Die verhältnismäßig langen
Einsätze, die in engem Paßsitz in den Rohren eingepaßt sind, beschränkten den Luftdrucklaß stark. Für einen
Draht mit einem Durchmesser von 6 mm kann beispielsweise diese Dichtungsanordnung mit zwei
Dichtungen etwa I m lang sein. Bei dieser speziellen Anordnung ist die Kammer 12 zwischen den beiden
Dichtungsstufen auf einen Druck von rund 500 N/m2 (50 kp/m2) durch kontinuierliches Absaugen mit einer
Pumpe ausgepumpt. Die Hochvakuumkammer If wird auf einem Druck unter I N/m2 (0,1 kp/m2) gehalten. Die
Zwisi.henkami.ier 12 hat vorzugsweise eine nicht
gezeigte konische Drahtführung, um das Einfädeln des Drahtes in das System zu Beginn des Betriebs zu
erleichtern.
Wenn der Draht eine erhöhte Temperatur hat. können die Formhalter und die Rohre wassergekühlt
Scifi.
Zu beachten ist, daß diese Konstruktion für Draht jeden Querschnitts verwendbar ist, beispielsweise
runden, quadratischen oder rechteckigen Querschnitt; die Formelemente und Einsätze sind dann der
allgemeinen Form des Drahtquerschnitts anzupassen. Für rechteckige Profile, wie sie Metallbävider für die
Herstellung von Transformatorkernen haben, können ■ als Formelemente versteilbare Formen verwendet
werden. Die Einsätze 26,45 haben einen genügenden Spielraum am Draht, so daß sie die Bewegung des
Drahtes nicht behindern und ihn auch nicht abschleifen oder hemmen, auch wenn der Draht mit einer ziemlich
in hohen Geschwindigkeit durch das System gezogen wird.
Die Formelcmente 20,31,40,41 bewirken nicht nur eine
starke Drosselung der Luftströmung in die Vakuumkammer 10, sondern dienen auch dazu, den Draht in
einer Mittellage in dem Einsatz oder den Einsalzen zu
ι . halten. Sie dämpfen außerdem Vibrationen, wie sie durch den Drahthaspel 8 verursacht werden können.
Die Formelcmente, etwa die Elemente 20, 31 in einer Dichtung können aus Wolframkarbid bestehen und in
waSScigckühiiCü ! iSiiCiTi 3US ivicSSirig ΓμΟμΙΙΟΓΙ *0ϊΠ.
.-Ii Wo Wasserdampf vorhanden ist. z. B. in der Auslaßdichtung
für einen Kupferdraht-Glühofen, können Diamantformen verwendet werden.
Claims (10)
1. Dichtung for das Vorschieben eines Stangenoder
Drahtmaterials mit gleichmäßigem Querschnitt durch eine Trennwand zwischen Bereichen unterschiedlichen
Druckes, gekennzeichnet
durch zwei Formelemente (20), die in beabstandeten
Formhaltern (21) angebracht sind, ein zwischen den Formhaltern dichtend befestigtes Rohr (25) und
einen herausnehmbaren Einsatz (26) in dem Rohr (25), der mit seiner Außenfläche in enger Passung in
dem Rohr (25) aufgenommen ist.
2. Dichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Formelemente (20) im Axialschnitt derart gekrümmt sind, daß sie einen konvergenten
Einlaßteil haben, der zu der engsten Stelle führt, und einen divergenten Auslaßteil.
3. Dichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Formelemente (20) im Axialschnitt
parabolisch geformt sind
4. Dichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche für Material mit Kreisprofil, dadurch
gekennzeichnet, daß die Formelemente (20) einen kreisförmigen Querschnitt haben.
5. Dichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, für Material mit RechteckprofiLdadurch gekennzeichnet,
daß die Formelemente einen einstellbaren rechteckigen Querschnitt haben, der in Breite
und/oder Höhe verstellbar ist.
6. Dichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der bzw.
jeder Einsatz (26) ein Zylinder :sL
7. Dichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ^pr herausnehmbare
Einsatz ein Zylinder ist, der längs seiner Achse in zwei Teile geteilt ist.
8. Dichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Formhalter
mit Flanschen (28) versehen sind, mit denen sie an Flanschen (24) des Rohres (25) befestigbar
sind.
9. Vorrichtung zur Behandlung von Stangen-, Draht- oder Bandmaterial mit gleichmäßigem
Querschnitt im Vakuum, gekennzeichnet durch eine Vakuumkammer (4), zwei gefluchtete Dichlungssysteme,
von denen jedes wenigstens eine Dichtung nach einem der Ansprüche I bis 8 aufweist, die am
Eintritt bzw. am Austritt der Kammer für das Stangen-, Draht- oder Bandmaterial angeordnet
sind, und durch eine Einrichtung, um das Material durch die Kammer und die Dichtungssysteme zu
schieben.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9 für die Behandlung von Stangen-, Draht- oder Bandmaterial
mit vorgegebenem Querschnitt, dadurch gekennzeichnet, daQ die Formelemente (20,40,31,41)
solche Abmessungen haben, daß sich ein Spiel von 0,1 bis 0,2 mm allseitig um das Stangen-, Draht- oder
Bandmaterial ergibt.
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