DE2330720C3 - Verfahren zur Herstellung gasdichter Rohre und Behälter - Google Patents

Verfahren zur Herstellung gasdichter Rohre und Behälter

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DE2330720C3 DE19732330720 DE2330720A DE2330720C3 DE 2330720 C3 DE2330720 C3 DE 2330720C3 DE 19732330720 DE19732330720 DE 19732330720 DE 2330720 A DE2330720 A DE 2330720A DE 2330720 C3 DE2330720 C3 DE 2330720C3
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George Albert Apolonia Eindhoven Asselman
Wilhelmus Johannes Maria Ijmuiden Hamers
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Koninklijke Philips NV
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Philips Gloeilampenfabrieken NV
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34—Nitrides
    • C23C16/345—Silicon nitride

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