DE2329470A1

DE2329470A1 - Einrichtung zum messen einer eigenschaft eines bandmaterials

Info

Publication number: DE2329470A1
Application number: DE19732329470
Authority: DE
Inventors: Angelo Joseph Campanella
Original assignee: INFRA SYSTEMS Inc
Current assignee: INFRA SYSTEMS Inc
Priority date: 1972-06-08
Filing date: 1973-06-08
Publication date: 1974-01-03
Also published as: IT988912B; JPS5638892B2; GB1439468A; FR2188837A5; CA982842A; JPS5030578A

Description

~2~ 9379Α7Π

der veränderlichen gemessenen Eigenschaft entspricht» Die Referenzstelle auf dem Strahlteiler enthält Material, das identisch ist mit dem Bandmaterial, dessen Eigenschaften gemessen werden.

Stand der Technik.

Bei der zerstörungsfreien Ultrarot-Messung ist das Absorptionsspektrum eines Materials die Vertekurve, die den Prozentsatz von Licht angibt, der von dem Material absorbiert wird. Die Y/erte stellen die Strahlung dar, die bei verschiedenen Y/ellenlängen absorbiert wird, und sind eine unverwechselbare, charakteristische Eigenschaft eines Materials. Die Absorption kann dargestellt werden als der Logarithmus des Kehrwerts des Transmissionsgrads des Materials, während das Spektrograrnm der Transnission oft als Absorptionsspektrum bezeichnet wird» Absorptionsmessungen werden bei der Analyse von unbekannten Mischungen verwendet, indem direkte Messungen der Transmission für Strahlung vorgegebener Wellenlängen vorgenommen werden, bei denen eine charakteristische Absorption des Materials auftrittβ

Wenn mehrere Substanzen in einem Material gleichzeitig vorhanden sind, von denen jede ein besonderes Absorptionsspektrum aufweist, so ergibt sich das Absorptionsspektrum des Materials aus der Summierung der Absorptionsspektren der Bestandteileo Es ist bekannt, bei der Ultrarot-Spektralanalyse des Absorptionsspektrums unbekannter Materialien, die mehrere Bestandteile enthalten, die prozentuale Absorption bei einer Anzahl von vorgegebenen Yfellenlängen zu messen, wobei diese Anzahl mindestens gleich der Anzahl der Bestandteile des Materials ist«. Es wird dann eine entsprechende Anzahl linearer Gleichungen gelöst, in denen jeweils die prozentuale Absorption vorkommt β

Andere bekannte Einrichtungen dienen zum Messen einer einzigen Eigenschaft ο Hierbei wird ein Strahlungssignal ausgewählt,

3Ü983 i / 1 086

das aufgrund der zu messenden Eigenschaft absorbiert wird. Wellenlänge, bei der diese Absorption auftritt, wird als Absorptionawellenlänge bezeichnet« Es ist jedoch bekannt, daß die ausgev/ählten Wellenlängen nicht vollständig selektiv wirken und daß sich daher Überlappungen ergeben und Störsignale auftreten, die von anderen Eigenschaften des Materials und von der Streuung, der die Strahlung unterworfen ist, herrühren_e Um dieses unerv/ünschte Signalverhalten zu beseitigen, kann ein Referenzsignal verwendet werden, das ausschließlich durch die störenden Eigenschaften verändert wird. Dieses Referenzsignal wird dann bei einer mathematischen Berechnung verwendet, beispielsweise nach Lambert-Beer, mittels einer Wheatstoneschen Brücke oder mittels eines Quotientenrechners. Hierdurch wird ein von Störeinflüssen weitgehend freies Meßergebnis bezüglich der interessierenden Eigenschaft erhalten·,

Bei den vorgenannten Einrichtungen zum selektiven Messen im Ultrarotbereich werden mittels Infrarot-Spektrometern und ähnlicher Vorrichtungen Informationen bezüglich der Absorption über der Wellenlänge erhalten, die im allgemeinen ausreichen, um geeignete Referenz-Wellenlängen auszuwählen. Bei bestimmten Materialien, deren Eigenschaften gemessen werden sollen, liegt das Absorptionsspektrum jedoch weit außerhalb der Möglichkeiten bekannter Einrichtungen. So erfordern beispielsweise Dünnfilme wie ein Polycarbonat-Film von 0,02 · 10 m Dicke sehr geringe Wellenlängen von beispielsweise 6 μΐη. Die üblichen Detektoren bekannter Einrichtungen vermögen solche Wellenlängen nicht zu erfassen,. Wird statt eines solchen Detektors ein empfindlicheres Bolometer verwendet, so erzeugt dieses Meßsignale mit so großer Zeitverzögerung, daß diese für viele Realzeit-Meßvorgänge unzulässig ist. Es müßten also kompliziertere Detektoren eingesetzt werden, die einen entsprechenden Aufwand erfordern» Andererseits ist es möglich, bei den kürzeren Wellenlängen zu arbeiten, die von üblichen Detektoren erfaßt werden können, jedoch unterbrechen hierbei störende optische Effekte die Messung der schwachen vorkommenden Absorptionen·

3 0 9 8 8 1/10 8 6

Erfindung.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung der eingangs genannten Art so auszubilden, daß ein Meßergebnis erhalten wird, das weitgehend frei von Störwirkungen, äußeren Störeinflüssen und Reflexionseigenschaften ist, wobei die Einrichtung zum Messen einer Eigenschaft sehr dünner Bandmaterialien geeignet sein solle

Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung bei einer Einrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß ein Strahlteiler den infraroten Wellenlängenbereich in mehrere Strahlen unterschiedlicher Wellenlängen teilt, daß Mittel vorgesehen sind, die die Strahlen unterschiedlicher Wellenlänge in das Bandmaterial lenken, daß der Strahlteiler in einer ersten Stellung einen Strahl mit einer ersten Wellenlänge abgibt, die aufgrund der Eigenschaft des Bandmaterials absorbiert wird, und in einer zweiten Stellung einen Strahl abgibt, in dem die aufgrund der Eigenschaft am stärksten absorbierte Strahlung fehlt, und daß die Auswertevorrichtung ein Ausgangs signal erzeugt, das der Energie der geteilten Strahlen entspricht·

Die Einrichtung gemäß der Erfindung ist zum Messen einer Eigenschaft auch von äußerst dünnen Bandmaterialien geeignet. Der Strahlteiler erzeugt ein Signal bei einer Wellenlänge, die als Absorptionswellenlänge geeignet ist, sowie ein Signal bei der Referenz-Wellenlänge. Um die starken Störwirkungen der optischen Interferenz, die als Kanalspektren bezeichnet werden, bei der Messung sehr dünner Bandmaterialien im Meßergebnis zu unterdrücken, kann die der Referenz-Wellenlänge entsprechende Stelle auf dem Strahlteiler ein Material aufweisen, das identisch mit demjenigen des Bandmaterials ist, dessen Eigenschaft gemessen wird. Hierdurch wird derjenige Teil des Strahls, der am stärksten von dem dünnen Bandmaterial absorbiert wird, aus dem Referenzsignal entfernt. Die dem anderen Strahl zugeordnete Stelle im Strahlteiler, die dieses Mate-

309881/1086

rial nicht aufweist, läßt diejenigen Wellenlängen durch, die von dem Material absorbiert werden und die somit bei der Absorptionswellenlänge liegen.

Weitere Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben.

Die Erfindung sowie weitere Ausgestaltungen werden im folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen.
Es zeigen:

Pigei in schematisierter Darstellung eine Einrichtung gemäß der Erfindung;

Figo 1A eine Anordnung von Filtern, einer Strahlungsquelle und einem Detektor;

Figo 1B eine Anordnung zur mehrfachen Filterung;

Fig.2 ein Schaubild von Absorptions- und zwei Referenzsignalen;

Fig.3 als Sohaubild Kanalspektren-Meßfehler in Abhängigkeit von Filterabständen;

Fig.4 als Schaubild die Entstehung von Kanalspektren-Meßfehlern;

Fig·5 als Schaubild den Einfluß von anormaler Streuung auf den Reflexionsgrad;

Fig·6 als Blockschaltbild wesentliche Teile einer Einrichtung gemäß der Erfindung;

Fig.7 das Filterrad einer Einrichtung gemäß der Erfindung.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele_a

Gemäß Fig.1 ist das Material, von dem eine Eigenschaft gemessen werden soll, ein sehr dünnes Bandmaterial 10, beispielsweise ein Polypropylenfilm. Dessen Dicke beträgt annähernd

309881/1086

5 * 10" m. Die Messung erfolgt an einem den Walzen 114, 114' nahen Meßort.

Eine Lichtquelle 13 ist vorgesehen, bei der es sich um ,eine Strahlungsquelle mit verteiltem Spektrum handelt. Die Lichtquelle 13 wird so betrieben, daß sie Strahlung im gesaraten Ultrarotbereich aussendet. Bekannterweise werden bestimmte Frequenzen der Strahlung innerhalb des Spektrums aufgrund bestimmter Eigenschaften absorbiert.

Gemäß Fig. 1 und 1B sind hinter der Lichtquelle 13 zwischen dieser und dem Bandmaterial 10 verschiedene Mittel vorgesehen, um mehrere Frequenzen innerhalb des ultraroten Wellenlängenbereichs zu erzeugen, wie dies aus der US-PS 3 405 268 bekannt ist. Zusätzlich zur Strahlungsquelle sind ein Zerhacker, ein Strahlteiler sowie erforderlichenfalls eine Kollimatorlinse vorgesehen. Der Strahlteiler teilt den den Kollimator verlassenden Strahl in einzelne Strahlen auf.

Wie dargestellt, sind zur Erzeugung des Strahls eine Strahlungsquelle 13, eine Kollimatorlinse 14, ein Zerhacker 11 und ein Strahlenteiler 15 vorgesehen, der den die Kollimatorlinse 14 verlassenden Strahl in einzelne Strahlen aufteilt. Der Zerhacker 11 wird von einem Motor M angetrieben und weist eine Sektorenblende mit lichtundurchlässigen Sektoren 30' auf, die den von der Strahlenquelle 13 kommenden Lichtstrahl mit einer vorgegebenen Frequenz an einer Stelle unterbrechen, die vor derjenigen Stelle liegt, an der der Strahl mittels des Strahlteilers 15 geteilt wird. Als Strahlteiler 15 kommen verschiedene Ausführungsformen in Frage. Bei dem Ausführungsbeispiel weist er einen mittleren, durchlässigen Fensterteil 16 und einen geneigten, als Spiegel 17 ausgebildeten Teil auf. Der Fensterteil 16 läßt die ihm zugeführte Strahlenenergie durch, während der Spiegel 17 den von ihm aufgefangenen Teil des die Strahlungsenergie übertragenden Strahls unter Winkeln von 45 zu einem Spiegel 19 ablenkt. Dieser wiederum lenkt die Strahlteile in eine Richtung um, die senkrecht zur Längsrichtung

309881/1086

des bewegten Bandmaterials 10 verläuft₀ Die Strahlungsquelle I3 kann eine Glühlampe sein, die ein kontinuierliches Spektrum erzeugt, das den ultraroten Wellenlängenbereich umfaßt, wobei die Lampe aus einer mit Genauigkeit geregelten Energieversorgungsquelle gespeist ist, so daß eine praktisch konstante Lichttemperatur und damit konstantes Emissionsspektrum erzielt wird. Der Detektor kann so angeordnet sein, daß eine Messung an Dünnfilmen aufgrund der Reflexion möglich ist· Pig.1A zeigt eine das reflektierte Streulicht auswertende Meßvorrichtung, bei der die von der Strahlenquelle 13 abgegebene Strahlung auf das Bandmaterial 10 fällt, das hier ein Papierband ist· Die von dem Papier weder absorbierte noch durchgelassene Strahlung wird von der Grenzfläche des Papiers reflektiert. Die Eigenschaften des reflektierten Strahls und deren Auswertung sind in der US-Patentanmeldung 874 357 und in der US-PS 3 597 616 beschrieben. Bei der Verwendung der bekannten Meßeinrichtung ist jedoch zu bemerken, daß bei der Messung von Dünnfilmen störende Abweichungen auftraten. Bei der Untersuchung dieser Abweichungen, beispielsweise bei der Messung an Polypropylenfilmen mit einer Dicke von 5 · 10** m, wurde gefunden, daß zur Verbesserung des Meßergebnisses vor allem die Auswirkungen optischer Interferenzen unterdrückt werden müssen·

Bei einem Dünnfilm, d.ho bei einem Bandmaterial, dessen Dicke nur wenigen Wellenlängen entspricht, ändert sich der Transmissionsgrad mit der Wellenlänge, da an der hinteren und vorderen Grenzfläche verstärkende und auslöschende Interferenzen der Reflexion auftreten· Der Transmissionsgrad ist daher kein verläßliches Maß für die Reflexionsverluste. Wenn die Maxima (Peaks) des Kanalspektrums bei Wellenlängen auftreten, deren Abstände der Breite des Absorptionswellenlängenbereiches entsprechen und beispielsweise bei einer Wellenlänge von 3»4 jum einen V/ert von 0,1 oder 0,2 (mn haben, dann unterdrückt die einfache Überlagerung einer Absorptions- und einer Referenzwellenlänge nicht die Wirkung des Kanalspektrums auf die Quotientenmes-

309881/1086

sung. Es gibt dann ein Paar von bestimmten, nicht absorbierten Wellenlängen, bei denen gleichgroße und einander entgegengesetzte Reflexionsverluste auftreten. Dies ergibt sich aus Fig.3.

Es wurde gefunden, daß das Vorhandensein von Kanalspektren auf das Fehlen einer Absorption innerhalb des Bandmaterials zurückzuführen ist. Die Wirkung ergibt sich daraus, daß eine von der zweiten Grenzschicht reflektierte Welle zur ersten Grenzschicht zurückläuft, dann zur zweiten Grenzschicht zurückläuft, diese durchsetzt und sich dem direkt durchgelassenen Teil des Strahls überlagert. Die Vektorsumme dieser Wellen hat dann eine Amplitude, deren V/ert sich mit ansteigender Dicke des Bandmaterials zyklisch ändert. Nur ein geringer Anteil der Absorption bei der Referenzwellenlänge genügt, um diesen Kanalspektren-Effekt zu unterdrücken.

Es ist demgemäß wünschenswert, eine oder mehrere Referenzwellenlängen vorzusehen, die teilweise absorbiert werden. Eine günstige Wahl für die Stelle solcher Wellenlängen sind die untere und obere Flanke der Absorptionslinie, wie dies in Fig.4 gezeigt ist.

Bei dem Auaführungsbeispiel gemäß Fig.6 wird ein einziger Filter 22 mit einem engen Durchlaßbereich verwendet, der die von der Strahlungsquelle 13 durch das Bandmaterial 10 zu dem Detektor 12 übertragene Strahlung filtert« Bei der Verwendung des Filters 22 ist das Vorhandensein eines Kollimators nicht erforderlich. Der Filter 22 wird in einer Ebene angeordnet, die senkrecht zum Verlauf des Strahlenganges steht. Der Durchlaß-Wellenlängenbereich des Filters 22 umfaßt lediglich denjenigen Bereich von Wellenlängen, für die eine nicht vernachlässigbare Absorption im Bandmaterial 10 auftritt, dessen Dicke als interessierende Eigenschaft gemessen wird.

Der Meßstrahl wird mittels eines als Filterrad ausgebildeten

309881/1086

Zerhackers 31 unterbrochen, der abwechselnd durchlässige Abschnitte und Abschnitte aufweist, die mit einem Filmmaterial bedeckt sind, das dem gemessenen Bandmaterial gleich ist oder das sich in spektraler Hinsicht gleich wie das Bandmaterial verhält. Die durchlässigen Abschnitte können neutrale, die durchgelassene Strahlung schv/ächende Filter aufweisen, um die Signalhöhe abzugleichen»

Durch den beschriebenen Aufbau der Einrichtung wird erreicht, daß der Absorptions-Durchlässigkeitsbereich Energie enthält, die von dem gemessenen Bandmaterial absorbiert wird, während der Referenz-Durchlässigkeitsbereich Energie enthält, die nur schwach von dem gemessenen Bandmaterial absorbiert wird. Der entsprechende schwache Absorptionsgrad wird so gewählt,

daß er genügt, die Kanalspektren zu unterdrücken, indem der Durchlässigkeits^-V/ellenlängenbereich eines Bandpaßfilters entsprechend gewählt wird, der an beliebiger Stelle innerhalb des Strahlenganges angeordnet wird.

In der Praxis kann die Strahlung mit der Referenzwellenlänge in zwei engen Wellenlängenbereichen liegen, die ihrerseits auf beiden Seiten der Wellenlänge liegen, bei der die stärkste Absorption auftritt. Diese symmetrische Anordnung führt zu einer erhöhten Genauigkeit bei der Messung der Dicke des Bandmaterials. Dies ist auf den Reflexionsgrad des Bandmaterials bei der Absorptionswellenlänge zurückzuführen, der gegenüber dem Reflexionsgrad für die Referenzwellenlängen um ein geringes Maß verschieden ist. Der Brechungsindex des Bandmaterials bestimmt den Reflexionsgrad, der seinerseits in der Umgebung der Absorptionslinie sich nach dem Prinzip der anormalen Streuung ändert, wie dies in Fig.5 dargestellt ist. Auf der Seite geringerer Wellenlängen bezüglich der Absorptionslinie ist der Brechungsindex etwas geringer, und auf der Seite größerer Wellenlängen ist er etwas höher. Im Mittel liegen die Reflexionsverluste der Referenzstrahlen jedoch mit guter Genauigkeit beim selben Wert wie die Verluste bei der Absorptionswellenlänge.

309881/1086

" ¹^ " 7329470

Ein weiterer Vorteil bei der Wahl eines geringen Abstandes zwischen Referenz- und Absorptionswellenlängen liegt darin, daß die Auswirkungen von Kanalspektren selbst bei größeren Dicken des Bandmaterials unterdrückt werden. Bei wachsender Dicke verschwinden die Kanalspektren schließlich, da die Änderungen des Brechungsindex an den Grenzflächen und im Inneren des Bandmaterials, beispielsweise bei einer Messung innerhalb einer Fläche von 2,5cm Durchmesser, die Kohärenz bei der Reflexion des Strahles zerstören. Bei dein Ausführungsbeispiel wird daher eine Unabhängigkeit von Meßfehlern aufgrund der Kanalspektren bei Dicken des Bandmaterials zwischen Null und 25 · 10" m einschließlich der dazwischenliegenden kritischen Werte erreicht»

Bei der praktischen Verwendung wurde das Ausführungsbeispiel gemäß Pig.6 mit einem einzigen Filter gemäß Figo7 benutzt zur Messung an einem durchsichtigen Polypropylenfilm, dessen Dicke zwischen 12 · 10*" m und 25 · 10"* m schwankte. Es wurde dabei eine Zweikanal-Messung des Transmissionsgrades vorgenommene Der Filter wurde unter dem Einlaßfenster des Detektors angeordnet» Das Filterrad der Strahlenquelle wies an seiner der Referenzwellenlänge entsprechenden Stelle ein Blatt aus einem Kunststoffmaterial auf, das eine schmale Absorptionswellenlängen-Linie bei 3,37 Jim aufweist und das damit in seinen optischen Eigenschaften dem untersuchten Film entspräche An seiner der Absorptionswellenlänge entsprechenden Stelle wies das Filterrad der Strahlungsquelle eine neutrale Dämpfungsscheibe (Graufilter) zum Ausgleich der Impulshöhen der elektronisch erzeugten Impulse auf_e

Im Detektor 40 ist Bleiselenid (Klaustalit) verwendet, da hierdurch längere Wellenlängen erfaßt werden können. Der Detektor erzeugt nur schwache Ausgangssignale· Daher wurden Mittel vorgesehen, um den Rauschabstand zu verbessern. Hierzu werden zwei Referenz- und zwei Absorptionsimpulse erzeugt, wodurch der Informationsgehalt verdoppelt wird und das Signal-Rausch-

309881/1086

" " " 7329470

f1

verhältnis auf das Doppelte verbessert wird. Die Absorptionsund Referenzimpulse schließen aneinander an, wodurch sich eine Unterbrechungsfrequenz von 120 Hz ergibt, während sich bei einem Zweikanal-Paar im Abstand von 180° eine Frequenz von 60 Hz ergäbe· Weiter wird der Rauschabstand dadurch verbessert, daß das Rauschen, des Photostroms mit zunehmender Frequenz abnimmt O

Werden die am Ausgang des Detektors auftretenden Impulse in der Reihenfolge ihres Auftretens als Impulse 1, 2, 3_f 4 bezeichnet, so werden diese Impulse mittels einer logischen Schaltung 50 in der Weise verteilt, daß die Impulse 1 und 3 als Referenzimpulse und die Impulse 2 und 4 als Absorptionsimpulse dienen· Da an der der Referenzwellenlänge entsprechenden Stelle absorbierendes Material vorgesehen ist, betragen die Impulshöhen der Referenzimpulse nur einen Bruchteil der Höhe der Absorptionsimpulse. Hierdurch pulsieren die erhaltenen Höhen der interessierenden Absorption, falls keine oder eine nur geringe Dämpfung erfolgt.

Der Summen-Rechner 18 kann in verschiedener Weise ausgeführt werden, um die Linearität oder Proportionalität der zur Anzeige verwendeten Auslenkung des Schreiborgans eines Streifenschreibers 26, eines Anzeigegerätes o.dgl. zu verbessern. Dabei ist es vorteilhaft, einen Ausdruck der Form

zu bilden, da dieser annähernd entsprechend der Logarithmusfunktion verläuft. Dabei muß auch die Energie des Referenzstrahles berücksichtigt werden, die ebenfalls in dem vom Detektor 12 erfaßten Absorptionsimpuls enthalten ist· Es kann daher gesetzt werden - A" = A + R, wobei R¹ = R, wobei die gestrichenen Größen für das vorliegende Ausführungsbeispiel gelten. Die mathematische Kombination dieser Ausdrücke ergibt, daß als "Summe" vorzugsweise (2R¹ - A') / A¹ zu verwenden ist«

In Pig.7 ist das Filterrad 30 mit aus Kunststoff bestehenden

309881 /1086

Filmen zur Bildung der Referenzstrahlen gezeigt· Das Filterrad 30 weist vier bei der Strahlbildung wirksame Stellen auf.

309881/1086

Claims

Patentanwälte Dipl-Ing. ?.%;ckmann, 9 ^ 9 Q A 7 Π

Dipl.-Ing. H."WtIckmanx, Di?l.-Prys. Dr. K.Tincke Dipl.-Ing. R A.Weickmann, Dipl.-Chem. B. Huber

8 MÜNCHEN 86, DEN POSTFACH 860 820

MÖHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 48 3921/22

<983921/22>

INPRA SYSTEMS, INC.

ANSPRÜCHE.

·) Einrichtung zum Messen einer chemischen oder physikalischen Eigenschaft eines bewegten Bandmaterials mit einer Ultrarot-Strahlungsquelle und einem Ultrarot-Detektor, wobei ein von der Strahlungsquelle zum Detektor gelangender Strahl entsprechend der Eigenschaft verändert wird und wobei das Ausgangssignal des Detektors mittels einer Ausv/erteschaltung auswertbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein Strahlteiler (15) den infraroten Wellenlängenbereich in mehrere Strahlen unterschiedlicher Wellenlängen teilt, daß Mittel vorgesehen sind, die die Strahlen unterschiedlicher Wellenlänge in das Bandmaterial (10) lenken, daß der Strahlteiler (15) in einer ersten Stellung (Fensterteil 16) einen Strahl mit einer ersten Wellenlänge abgibt, die aufgrund der Eigenschaft des Bandmaterials (10) absorbiert wird, und in einer zweiten Stellung einen Strahl abgibt, in dem die aufgrund der Eigenschaft am stärksten absorbierte Strahlung fehlt, und daß die Auswertevorrichtung (16, 18, 20, 24, 26, 28, .30, 32 in Fig«1; 50, 55 in Fig.6) ein Ausgangssignal erzeugt, das der Energie der geteilten Strahlen entspricht.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteiler als Öl-Strahlteiler ausgebildet ist.

3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,

309881/1086

daß der Strahlteiler bei seiner zweiten Stellung ein Material aufweist, das in seinen optischen Eigenschaften mit den Eigenschaften des Bandmaterials (10) übereinstimmt«

4e Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet, daß das Bandmaterial (10) ein Dünnfilm ist«

5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4» dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle (13 in Fig.1 und 1B, 42 in Fig.6) und der Detektor (12 in Pig.1 und 1B, 40 in Fig.6) auf gegenüberliegenden Seiten des Bandmaterials (10) angeordnet sind, so daß der Detektor die von dem Bandmaterial durchgelassene Strahlung erfaßte

6· Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als die am stärksten absorbierte Strahlung diejenige mit dem Kanalspektrum gewählt ist.

Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des Bandmaterials in der Größenordnung von 5 ^β 10*"mliegt.

8e Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteiler einen Strahl mit der Absorptionswellenlänge, einen Referenzstrahl mit einer unterhalb der Absorptionswellenlänge liegenden Wellenlänge und einen Referenzstrahl mit einer oberhalb der Absorptionswellenlänge liegenden Wellenlänge abgibto

9· Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der den ultraroten Wellenlängenbereich in mehrere Strahlen teilende Strahlteiler mindestens zwei Strahlen mit der Absorptionswellenlänge und mindestens zwei Strahlen mit Referenzwellenlänge abgibt·

10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch ge-

309881 /1086

kennzeichnet, daß die gemessene Eigenschaft die Dicke des Bandmaterials (10) iste

30S881/1086