DE2320099B2 - Verfahren zur Herstellung eines Kunststoffsubstrates mit aufgerauhter Oberfläche - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines Kunststoffsubstrates mit aufgerauhter OberflächeInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 61
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 48
- 239000004033 plastic Substances 0.000 title claims description 44
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 title claims description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 76
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 76
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 66
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 32
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 15
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 claims description 10
- 238000007788 roughening Methods 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims description 7
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 claims description 7
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- 229920002430 Fibre-reinforced plastic Polymers 0.000 claims description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 2
- 239000011151 fibre-reinforced plastic Substances 0.000 claims description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 32
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 29
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 29
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 14
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 11
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 7
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 6
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 6
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 3
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 3
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 3
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 2
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- PEVJCYPAFCUXEZ-UHFFFAOYSA-J dicopper;phosphonato phosphate Chemical compound [Cu+2].[Cu+2].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O PEVJCYPAFCUXEZ-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N Epichlorohydrin Chemical compound ClCC1CO1 BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 241001676573 Minium Species 0.000 description 1
- SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N N,N‐diethylformamide Chemical compound CCN(CC)C=O SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YGYAWVDWMABLBF-UHFFFAOYSA-N Phosgene Chemical compound ClC(Cl)=O YGYAWVDWMABLBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- GQCYCMFGFVGYJT-UHFFFAOYSA-N [AlH3].[S] Chemical compound [AlH3].[S] GQCYCMFGFVGYJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 239000011260 aqueous acid Substances 0.000 description 1
- 239000010425 asbestos Substances 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- DKOQGJHPHLTOJR-WHRDSVKCSA-N cefpirome Chemical compound N([C@@H]1C(N2C(=C(C[N+]=3C=4CCCC=4C=CC=3)CS[C@@H]21)C([O-])=O)=O)C(=O)\C(=N/OC)C1=CSC(N)=N1 DKOQGJHPHLTOJR-WHRDSVKCSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 210000003608 fece Anatomy 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000005865 ionizing radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 1
- 239000002650 laminated plastic Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000010871 livestock manure Substances 0.000 description 1
- 210000004072 lung Anatomy 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- JRKICGRDRMAZLK-UHFFFAOYSA-L persulfate group Chemical group S(=O)(=O)([O-])OOS(=O)(=O)[O-] JRKICGRDRMAZLK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000307 polymer substrate Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000003380 propellant Substances 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052895 riebeckite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000013517 stratification Methods 0.000 description 1
- 238000011410 subtraction method Methods 0.000 description 1
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 229920006305 unsaturated polyester Polymers 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Substrates aus thermoplastischem oder
duroplastischem Kunststoff, insbesondere aus faserverstärktem Kunststoff mit aufgerauhter Oberfläche
durch Laminieren einer Aluminiumfolie mit rauher Oberfläche auf ein Kunststoffsubstrat unter Erwärmung
und Druck und anschließendes chemisches Abätzen der Aluminiumfolie.
Die Herstellung von Kunststoffsubstraten mit aufgerauhter Oberfläche ist insbesondere auf solchen
technischen Gebieten vonnöten, wo dünne, nicht auf elektrolytischem Wege aufgebrachte Metallschichten
oder Schichten, die als Tinten, Tuschen oder Farben aufgebracht werden, dauerhaft auf einem Substrat zu
verankern sind.
Ein spezielles Anwendungsgebiet für solche beschichteten Kunststoffsubstrate sind die sogenannten
gedruckten Schaltungen, die durch die Festlegung von Bahnen aus leitendem Metall auf einem isolierenden
Substrat hergestellt werden und heute eine der wichtigsten Voraussetzungen für die Technik der
Mikroelektronik sind. Die meisten dieser gedruckten Schaltungen werden nach dem Subtraktionsverfahren
hergestellt.
Dieses Subtraktionsverfahren zur Hersteilung gedruckter
Schaltungen besteht in der Regel im Aufbringen einer etwa 35 bis 100 ^m starken Kupfcr-
schicht auf eine oder auf beide Seiten einer aus isolierendem
Kunststoff bestehenden Tafel oder Platine, wobei die Kupferschicht in der Regel in Form einer
Kupferfolie unter Verwendung von Klebstoffen, Wärme und/oder Druck auf das Kunststoffsubstrat
aufgebracht wird. Anschließend wird das Kupfer von den nicht für die elektrische Leitung benötigten
Stellen des so erhaltenen Kupfer-Kunststoff-Laminats durch Abätzen entfernt, so daß auf dem isolierenden
Kunststoffsubstrat lediglich die gewünschten Leiter-
ao bahnen aus Kupfer zurückbleiben.
Dieses Verfahren weist jedoch eine Reihe von Nachteilen auf. Einer dieser Nachteile ist das Auftreten
des sogenannten Unterschnitts, der darin besteht, daß beim Abätzen der nicht bsnötigten Teile
der Kupferschicht von der Seite her auch jene Kupferbereiche angegriffen werden, die als Leiterbahnen
stehenbleiben sollen. Durch diese Erscheinung des Unterschnitts bzw. des seitlichen Abätzens
der für die Leitung vorgesehenen Kupferbereiche wird die erzielbare Schmalheit der Leiterbahnen
wesentlich eingeschränkt. Ein weiterer Nachteil dieses Ätzverfahrens liegt in der schwierigen Wiedergewinnung
des durch Ätzen entfernten überflüssigen Kupfers, was auf Grund des Materialverlusts zu einer
Verteuerung des Gesamtverfahrens führt.
Neben dem beschriebenen Subtraktions- bzw. Ätzverfahren wird zur Herstellung gedruckter Schaltungen
häufig auch das additive Verfahren verwendet, das darin besteht, daß von vornherein nur in den für
die Leitung vorgesehenen Bereichen ein leitendes Metall zur Bildung der Schaltung auf das isolierende
Substrat aufgebracht wird. Dieses Aufbringen kann entweder stromlos oder elektrolytisch erfolgen. Im
Falle des elektrolytischen Aufbringens der Leiterbahnen nach dem additiven Verfahren wird zunächst
die gesamte Oberfläche des isolierenden Substrats mit einer dünnen leitenden Metallschicht überzogen, wird
anschließend das Leitermaterial elektrolytisch auf den gewünschten Bahnen abgeschieden, und zwar
nur auf diesen, und wird dann schließlich die dünne leitende Metallgrundschicht durch Ätzen von den für
die Isolation vorgesehenen Flächen entfernt.
Bei diesem Verfahren treten zwar die beim Ätzverfahren beschriebenen Nachteile praktisch nicht
auf, jedoch liegt der große Nachteil der additiven Verfahren in der mangelnden Haftung der stromlos
aufgebrachten Metallschichten auf der Isolatoroberfläche. Da eine solche stromlos aufgebrachte Metallschicht
sowohl beim direkten Aufbringen der Leiterbahnen als auch beim elektrolytischen Aufbringen der
Leiterbahnen in Form der stromlos aufgetragenen Grundschicht die eigentliche Haftvermittlung bilden,
bleibt diese nicht ausreichende Haftung der Leiterbahnen auf dem Isolatorsubstral ein bisher unüberwindliches
Problem aller additiver Verfahren.
Es ist versucht worden, diesem Problem durch Aufrauhen der Oberfläche des Isolatorsubstrates abzuhelfen.
Dementsprechend sind auch bereits eine
Reihe von Verfahren zur Aufrauhung von Isolator- zur Aufrauhung von Isolatoroberflächen eine zufrie-
oberflächen bekanntgeworden. Es seien in diesem denstellende Aufrauhung bzw. eine zufriedenstellende
Zusammenhang die folgenden Verfahren genannt: Erhöhung der Hafivermittlung gegenüber insbeson-
1. mechanisches Aufrauhen der Oberfläche, beispiels- dere metallischen Beschichtungen erreicht werden
weise durch Sandblasen, Abstrahlen mit Flüssig- 5 kann.
keiten unter hohem Druck oder durch Aufstrahlen Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde,
von Schrot; 2. ein Verfahren zur Bildung einer porö- ein Kunststoffsubstrat zu schaffen, dessen Oberfläche
sen Oberfläche durch Auftragen eines haftenden so aufgerauht ist, daß sie Beschidhtungen, insbeson-
Lackes, der mit Glasstaub, Calciumcarbonat, Alu- dere solche aus Metall, fest zu verankern vermag,
rniriumoxid oder Magnesiumoxid vermischt ist; io Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß
3. ein Verfahren zur Herstellung poröser Oberflächen ein Laminierverfahren der eingangs genannten Art
durch Auftreiben eines thermisch härtbaren Kunst- vorgeschlagen, das dadurch gekennzeichnet ist, daß
stoffes, beispielsweise von ABS-Harz, Polypropylen man die Oberfläche der Aluminiumfolie durch elek-
oder Polycarbonat, mit einem Lösungsmittel und an- trolytisches Ätzen unregelmäßig aufrauht,
schließendes Behandeln des Kunststoffs mit Chrom- 15 Die durch das elektrolytische Ätzen erzeugte un-
oxid oder Schwefelsäure; 4. ein Verfahren zur Her- regelmäßige Rauhigkeit der Aluminiumfolie teilt sich
stellung einer porösen Oberfläche durch direkte Be- beim Laminieren dieser Folie mit der aufgerauhten
strahlung mit einer ionisierenden Bestrahlung und Seite auf der Kunststoffsubstratoberfläche dieser in
durch direktes chemisches Autrauhen einer Kunst- hervorragender Weise mit, und zwar insbesondere
stoffoberfläche, beispielsweise einer Polyäthylen- 20 dann, wenn das Laminieren unter Druck und Er-
fläche, die leicht zu zersetzen ist; 5. ein Verfahren wärmung durchgeführt wird. Auf diese Weise kann
zur Herstellung eines Kunststoffsubstrates mit auf- eine Vergrößerung der Kunststoflöberfläche um den
gerauhter Oberfläche durch Auflaminieren einer Faktor 10 bis 60 erreicht werden. Die Tiefe der
anodisch oxidierten Aluminiumfolie auf die Ober- Rauhigkeit beträgt vorzugsweise 1 bis 10 μία.
fläche des Kunststoffsubstrates unter Druck und an- 35 Nach einer bevorzugten Ausbildung der Erfindung
schließendes Entfernen der Aluminiumfolie durch hat die der elektrolytischen Ätzung unterworfene
chemisches Abätzen. Aluminiumfolie eine elektrostatische Kapazität von
Keines der genannten Verfahren vermag jedoch 60 bis 200 /iF/cm2. Hie Aluminiumfolie hat dabei
die Anforderungen ohne Inkaufnahme wesentlicher vorzugsweise eine Stärke von 10 bis 200 μΐη.
Nachteile zu erfüllen. So wird nach dem Verfahren 1 30 Die in der nachstehenden Beschreibung angegebemaximal eine Oberfläche in der Größenordnung von nen Oberflächenvergrößerungen sind die auf die 120 bis 130°/o, bezogen auf die ursprüngliche Ober- Oberfläche einer ungeätzten Aluminiumfolie bezogefläche, erhalten. Selbst bei einer Optimierung der nen Faktoren für die Oberfläche der elektrolytisch Sandstrahlbedingungen, insbesondere der Sandkorn- geätzten Aluminiumfolie.
Nachteile zu erfüllen. So wird nach dem Verfahren 1 30 Die in der nachstehenden Beschreibung angegebemaximal eine Oberfläche in der Größenordnung von nen Oberflächenvergrößerungen sind die auf die 120 bis 130°/o, bezogen auf die ursprüngliche Ober- Oberfläche einer ungeätzten Aluminiumfolie bezogefläche, erhalten. Selbst bei einer Optimierung der nen Faktoren für die Oberfläche der elektrolytisch Sandstrahlbedingungen, insbesondere der Sandkorn- geätzten Aluminiumfolie.
größe, wird kaum eine Erhöhung der Haftfestigkeit 35 Die Erfindung ist nachstehend an Hand von Aus-
der Isolatorobeidäche erreicht. führungsbeispielen näher beschrieben. Die
Der Hauptnachteil des Verfahrens 2 liegt darin. Fig. 1 zeigt eine mikroskopische Aufnahme eines
daß der Füllstoffrückstand nicht restlos entfernt wer- 800fach vergrößerten Querschnitts einer erfindungsden
kann und die verbleibenden Füllstoffrückstände gemäß geätzten Aluminiumfolie,
die Oberflächenqualität insgesamt verschlechtern. +0 Der Ausdruok »elektrolytisch geätzt«, wie er im ohne dabei jedoch eine Erhöhung der erzielbaren Rahmen dieser Beschreibung verwendet wird, beHaftung zu bewirken zeichnet ein an sich bekanntes Ätzverfahren zur
die Oberflächenqualität insgesamt verschlechtern. +0 Der Ausdruok »elektrolytisch geätzt«, wie er im ohne dabei jedoch eine Erhöhung der erzielbaren Rahmen dieser Beschreibung verwendet wird, beHaftung zu bewirken zeichnet ein an sich bekanntes Ätzverfahren zur
Nach dem Verfahren 3 wird Diäthylformamid als Oberflächenvergrößerung von Aluminiumfolien, wie
Treib- bzw. Quellmittel in Verbindung mit Chrom es insbesondere für die Herstellung elektrolytischer
(VI) verwendet. Beide Stoffe sind ausgesprochen 45 Kondensatoren verwendet wird. Im einzelnen ist
umweltunfreundlich und stellen somit in der Praxis damit ein Ätzen durch Eintauchen der Aluminiumerhebliche Abfallbeseitigungsprobleme. folie in eine elektrolytische Ätzlösung unter elektro-
Das Verfahren 4 ist im wesentlichen auf Poly- lytisch wirksamem Gleichstromfluß durch die Folie
äthylensubstrate beschränkt und erfordert darüber gemeint. Als Ätzlösung wird dabei im allgemeinen
hinaus eine Reihe aufwendiger Vorrichtungen. 50 eine wäßriges Chlorid enthaltende Lösung verwendet.
Bei dem Verfahren 5 wird schließlich von den insbesondere eine 0,5- bis bgewichtsprozentige wäßfeinen
Spalten, Rissen und Zellen Gebrauch gemacht, rige Chlorwasserstoff- oder Natriumchloridlösung
die sich während der anodischen Oxydation einer Die Lösung kann zusätzlich Essigsäure, Schwefel-Aluminiumfolie
in der gebildeten Aluminiumoxid- säure oder andere Zusätze zur Erhöhung der Ätzschicht
bilden. Diese Störstellen in der Aluminium- 55 wirkung enthalten.
oxidschicht sind Schlitze im Ä-Bereich und führen Die Ätzung wird vorzugsweise 30 bis 240 see lang
dementsprechend zu nur geringen Oberflächenzu bei 50 bis 80°C Badtemperatur und einer Stromnahmen.
Die auf der Kunststoffoberfläche auf diese dichte von 10 bis 200 A/dm2 durchgeführt. Die Tiefe
Weise tatsächlich erreichbare Aufraühung wird auch der so erzeugten Oberflächenrauhigkeit der Alumidadurch
noch vermindert, daß die in der Aluminium- 60 niumfolie und der Faktor der Oberflächenvergröße
oxidschicht vorhandenen Fehlstellen auf Grund rung können als Funktion der Zusammensetzung de;
ihrer schlitz- bis haarrißförmigen Struktur nur un- Ätzbades, der Elektrolysebedingungen und der Rein
vollständig auf die Kunststoffoberfläche übertragen heit der verwendeten Aluminiumfolie in weiten Grcn
werden können, und zwar wird diese Übertragung zen variiert werden. Die vorstehend spezifizierter
insbesondere bei der Verwendung von thermisch aus- 65 Elektrolysebedingungen sind daher als wahlweisf
härtbaren Kunststoffen beeinträchtigt. bevorzugte Grenzen zu verstehen und können je nacl
Zusammenfassend ist also festzustellen, daß nach Art der gewünschten Aufrauhuugstiefe und Ober
keinem der vorstehend besprochenen fünf Verfahren flächenzunahme abgeändert werden.
Neben der Tiefe der durch das Ätzen in der Alu- Harze, Polycarbonate, Polyphenylenoxide, PoIyminiumfolie
erzeugten Unregelmäßigkeiten ist vor sulfone und Polyolefine, wie beispielsweise Polyallem
auch die Form dieser Unregelmäßigkeiten von propylen, genannt. Als typische und bevorzugte in
Bedeutung. Wie vorstehend bereits ausgeführt, sind der Wärme aushärtbare Kunststoffe seien Epoxide.
Ätztiefen von 1 bis 10 μνη und Oberflächenvergröße- 5 beispielsweise das Reaktionsprodukt von Bisphenol A
rungen um den Faktor 10 bis 60 im Rahmen der und Epichlorhydrin, Phenolharze, beispielsweise die
Erfindung besonders bevorzugte Werte. Hinsichtlich Reaktionsprodukte von Phenol, Resorcin oder
der Form der erzeugten Oberflächenunregelmaßig- Xylenol mit Formaldehyd, ungesättigte Polyester,
keiten ist zu beachten, daß schmale und längliche beispielsweise das Reaktionsprodukt ungesättigter
Oberflächenstörstellen und Ätzgruben die Haftfestig- io Dicarbonsäuren mit Glykolen, als Auswahl genannt,
keit der unter Verwendung solcher Aluminiumiolien Die thermisch härtbaren Kunststoffe werden vorhergestellter
aufgerauhter Kunststoffsubstratober- zugsweise in Form der sogenannten Prepregs mit
flächen gegenüber chemisch oder elektrochemisch verstärkenden Einlagen benutzt. Als Einlagemateriaaufgebrachten
Beschichtungen nicht zu verbessern lien kommen Glasfasern, Papier, nichtgewebte Vliesvermag.
Bei Ausbildung zu großer Ätzstörstellen 15 materialien, Asbest oder Polyesterfasern in Betracht,
lassen sich keine gleichmäßigen Leiterbahnen mehr Als erste Stufe des Verfahrens gemäß der Erfindurch
stromloses oder elektrolytisches Plattieren dung wird das wie vorstehend beschrieben elektroherstellen.
lytisch geätzte Aluminium mit dem Kunststoff in
Vorzugsweise wird die Aluminiumfolie direkt einer Heizpresse laminiert. Bei dem so erhaltenen
elektrolytisch geätzt, und zwar am wirksamsten in der ao Laminat kann die Aluminiumfolie sowohl auf einer
Weise, daß die Folie in eine alkalische wäßrige Lö- Seite als auch auf beiden Seiten des Kunststoffsung,
beispielsweise in eine Natriumcarbonat- oder Substrats aufgebracht sein, so daß die Kunststoff-Natriumhydroxidlösung,
oder in eine saure Lösung. platte, sandwichartig zwischen zwei elektrolytisch beispielsweise in eine Salzsäurelösung, getaucht wird. geätzten und mit der geätzten Oberfläche auf dem
um dadurch bereits eine anfängliche Aufrauhung der 35 Kunststoffsubstrat aufliegenden Aluminiumfolien einOberfläche
der Aluminiumfolie zu erzielen. Die auf geschlossen, zwischen diesen zur Herstellung der
diese Weise vorzugsweise vorbereitend angerauhte Laminatverbundstruktur erhitzt und gepreßt wird.
A.uminiumfolie wird dann anschließend dem eigent- Die Prozeßparameter für das Laminieren hängen im
liehen elektrolytischen Ätzverfahren unterworfen. Detail von der Art des Kunststoffs ab, insbesondere
Wie zuvor bereits erwähnt, wird die Ausgangs- 30 ob es sich um einen Thermoplasten oder einen ther-
aluminiumfolie einem elektrolytischen Ätzverfahren misch härtbaren Duroplasten handelt,
unterworfen, wie es auch in der Regel zur Herstel- Im Falle eines Thermoplasten richtet sich die
lung der Aluminiumelektroden elektrolytischer Kon- Temperatur nach dem Erweichungspunkt des Kunst
iicnsatoren verwendet wird. Die unbearbeitete Alu- stoßs, und zwar in der Weise, daß sie zumindest der
miniumfolie hat dabei eine elektrostatische Kapazität 35 Erweichungstemperatur entspricht oder geringfügig
von 60 bis 200 μΈ/cra*, gemessen mit einer 0,5-V- höher ist. Der aufgewendete Druck liegt vorzugsweise
Universalwechselstrombrücke. im Bereich von 1 bis 50 kg/cm*. Die Verweilzeit der
Die hinsichtlich ihrer Reinheit keinen kritischen Schichtstruktur in der Heizpresse beträgt von der
Grenzbedingungen unterworfene Aluminiumfolie Aufgabe bis zur Polymerisaterweichung voreug?-
kann zweckmäßigerweise aus dem gleichen Material 40 weise etwa 0,5 bis 10 min.
bestehen, wie es allgemeinen für die Herstellung Im Falle der Verwendung eines thermisch härt-
elektrolytischer Kondensatoren verwendet wird. Aus baren Polymerisats ist darauf zu achten, daß das
wirtschaftlichen, insbesondere preislichen. Gründen. Aushärten des Polymerisats unter den angewendeten
aber auch aus technischen Gründen, insbesondere im Temperatur- und Druckbedingungen abgeschlossen
Hinblick auf ein leichtes chemisches Ablösen der 45 werden muß. Bei einer Verweilzeit von 60 bis 120 min
Folie von der Kunststoffsubstratoberfläche, wird für werden geeigneterweise Temperaturen im Bereich
das Verfahren gemäß der Erfindung eine Aluminium- von 100 bis 2500C und Drücke im Bereich von 30
folie vorgezogen, deren Reinheitsgrad hinsichtlich bis 200 kg/cm2 angewendet.
des Aluminiums 99,7 Vo oder darunter beträgt. Dem- Die thermisch härtbaren Prepreg-Harze befinden
entsprechend kann eine für das Verfahren gemäß der 50 sich in einem erst teilweise vernetzten Zustand. Wäh-
Erfindung verwendete Aluminiumfolie durchaus rend des Erwärmens und Pressens bei der Laminat-
auch aus einer Aluminiumlegierung mit anderen bildung werden die Harze dann vollständig vernetzt.
Metallen, wie beispielsweise Eisen, Kupfer oder d.h. ausgehärtet, so daß beim Pressen die in der
Silicium, bestehen. Aluminiumoberfläche durch das elektrolytische Ätzen
Auch die Dicke der verwendeten Aluminiumfolie jx gebildeten Ätzgruben und Löcher mit dem PoIyist
prinzipiell nicht kritisch und kann relativ frei merisat ausgefüllt werden und sich die unregelmäßig
gewählt werden, wobei es selbstverständlich ist, daß zerklüftete Oberflächenstruktur der Aluminiumfolie
eine zu dicke Folie hinsichtlich ihrer Abätzung von auf diese Weise auf die Polymerisatoberfläche, durch
der Kunststoffoberfläche, auf die sie laminierend ge- die Raumvemetzung fixiert, überträgt,
bunden wird, sinnlos ist. Aus praktischen Gründen 60 Bei Verwendung von Thermoplasten werden diese
vird für die Dicke der Aluminiumfolie daher ein unter dem aufgewendeten Druck und der Tempera-Bereich
von 10 bis 200 ^m vorgezogen. tür ausreichend plastifiziert bzw. verflüssigt und bei
Als Material für die Kunststoffsubstrate, auf die der Zurücknahme des Druckes und der Temperatur
die aufgerauhte Oberflächenstruktur der Aluminium- wieder verfestigt, so daß ein im Effekt und in der
folie durch das Laminieren übertragen wird, kommen 65 Struktur gleiches Laminat wie bei Verwendung von
prinzipiell praktisch alle Thermoplaste und thermisch thermisch härtbaren Duroplasten erhalten wird,
härtenden Duroplaste in Frage. Als typische und In der Regel wird die auf solche Weise herge-
bevorzugte Thermoplaste seien beispielsweise ABS- stellte laminierte Tafel oder Platte zunächst einer
, 7
mechanischen Bearbeitungsstufe unterworfen, in der sie beispielsweise auf die gewünschte Platinengröße
zugeschnitten oder mit den erforderlichen Bohrungen versehen wird.
Die auf diese Weise erhaltene, mechanisch bearbeitete laminierte Platine, die aus einer, gegebenenfalls
zwei Aluminiumfolie!! und dem Kunststoffsubstrat besteht, wird dem zweiten Arbeitsgang, dem
chemischen Abätzen der Aluminiumfolie, unterworfen. Geätzt wird vorzugsweise durch Eintauchen
der Laminatplatte in eine wäßrige Alkalilösung, beispielsweise
in eine wäßrige, 20- bis 30prozentige Natronlauge, oder in eine wäßrige Säure, beispielsweise
in Salzsäure. Die Atztemperatur liegt dabei vorzugsweise im Bereich zwischen Zimmertemperatur
und 80° C. Die Verweilzeit der Platine im Ätzbad richtet sich nach der Dauer, die zur vollständigen
Ablösung bzw. Auflösung der Aluminiumfolie erforderlich ist.
Wenn das Verfahren gemäß der Erfindung im wesentlichen auch nur aus den beiden beschriebenen
Bearbeitungsstufen besteht, so können doch noch eine Reihe zusätzlicher Verfahrensstufen, beispielsweise
Waschen mit Wasser, vorgesehen sein.
Die Oberfläche des auf diese Weise erzeugten Kunststoffsubstrats ist durch Unregelmäßigkeiten
bemerkenswert vielfältiger und unterschiedlicher Struktur aufgerauht. Diese wünschenswerte Eigenschaft
wird offensichtlich auf Grund der nachstehend geschilderten Verhältnisse erreicht: Wenn die noch
nicht behandelte Aluminiumfolie dem elektrolytischen Ätzen unterworfen wird, bilden sich zahlreiche
Ätzgruben bzw. Atzlöcher mit einer Tiefe von etwa ! bis 10 /<m auf der Oberfläche der Folie. Die so
gebildeten Ätzgruben bzw. Ätzlöcher weisen außerordentlich und ungewöhnlich vielfältig strukturierte
und geformte geometrische Ausbildungen auf, so daß die Oberfläche der Aluminiumfolie um den Faktor
20 bis 40 oder darüber, bezogen auf die Oberfläche der nicht geätzten Aluminiumfolie, vergrößert wird.
Die Fig. 1 zeigt eine Mikroskopaufnahme eines Querschnittes einer elektrolytisch geätzten Aluminiumfolie
in 800facher Vergrößerung. Der Faktor der Oberflächenvergrößerung beträgt im Falle der
Abbildung 40. Der zentrale weiße Teil der Abbildung zeigt den Schnitt durch die Aluminiumfolie.
Wie der Photographic deutlich zu entnehmen ist, zeigt die Oberfläche eine geometrisch außerordentlich
komplizierte und vielfältige Aufrauhung. Auf diese Weise bietet eine so ausgebildete Aluminiumoberfläche
für einen noch relativ weichen Kunststoff eine Fülle von Eindringmöglichkeiten. Insbesondere unter
dem Einfluß von Temperatur und Druck tritt der Kunststoff des Substrats tief in die Löcher und Atzgruben
der Folienoberfläche ein. Nach dem Aushärten bzw. Wiedererhärten des Kunststoffs wird die
Aluminiumfolie chemisch aufgelöst, so daß ein Kunststoffsubstrat mit einer vielfältige und komplizierte
Unregelmäßigkeiten und Rauhigkeiten aufweisenden Oberfläche zurückbleibt, wobei die positiven
Oberflächenrauhigkeiten der Kunststoffoberfläche den negativen Aufrauhungen der geätzten Aluminiumoberfläche
entsprechen. Die auf diese Weise auf dem Kunststoffsubstrat ausgebildeten rauhen Oberflächen
sind auf Grund der Vielfältigkeit ihrer geometrisch-räumlichen Ausbildung ideal für die Verankerung
bzw. für den überaus fest haftenden Auftrag von Oberflächenbcschichtungen. Wenn daher
Überzüge, beispielsweise Farben, Tuschen, Metalltinten oder -pasten, stromlos auf solche Substratoberflächen
aufgetragen werden, wird eine äußerordentlich feste Haftung der Beschichtungen auf den
Kunststoffsubstraten erreicht. Insbesondere bei der Bildung metallischer Überzüge durch stromloses Auftragen
der Metalle werden verblüffende und unerwartete Effekte erhalten. So kann beispielsweise
auf einem Substrat, das aus einer auf eine Ober-ίο flächenvergrößerung um den Faktor 20 geätzten
99,7prozentigen Aluminiumfolie, die eine bei 0 Volt gemessene elektrostatische Anfangskapazität von
90 /iF/cm* hatte, und einem Epoxid hergestellt worden
war, bei stromloser Plattierung mit Kupfer eine Haftfestigkeit von 1,4 bis 1,7 kg auf eine Breite von
1 cm erreicht werden. Bei Wiederholung des gleichen Herstellungsverfahrens, jedoch mit einer Aluminiumfolie,
die auf eine 40fache Oberflächenvergrößerung geätzt wurde und eine elektrostatische Kapazität von
so 130 /iF/cm* im ungeätzten Zustand, gemessen bei
einer Transformationsspannung von 0 Volt, aufwies.
wurde eine Haftfestigkeit von 1,6 bis 3,2 kg auf einer Breite von 1 cm erhalten.
Die Haftfestigkeiten wurden nach der japanischen
as Industrienorm JIS C 6481 bestimmt, nach der die zis
testende Kupferlaminatprobe mit einem 1 cm breiten Kupferstreifen als Deckschicht in der Weise getrennt
wird, daß der Kupferstreifen von der Testmaschine unter einem Winkel von 90° vom Substrat abgezogen
wird. Als Testgerät kann dazu beispielsweise ein SCHOPPER-Tensidtestgerät oder ein anderes
geeignetes Testgerät verwendet werden. Die zum Ab pellen der Laminatschicht unter 90° erforderliche
Masse kann an den genannten Geräten direkt in kg abgelesen werden.
Wie eingangs bereits erwähnt, besteht die Schwierigkeit bei der Herstellung gedruckter Schaltungen
nach dem additiven Verfahren in der mangelnden Haftfestigkeit zwischen dem Metall der Leiterbahn
♦o und dem Substrat. Bei Anwendung des Verfahrens
gemäß der Erfindung wird dieser Nachteil der mangelnden Haftfestigkeit mit überraschend guten Ergebnissen
überwunden. Mit Hilfe des Verfahrens gemäß der Erfindung können gedruckte Schaltungen
mit ausgezeichneten Eigenschaften und in wirtschaftlicher Weise nach dem additiven Verfahren hergestellt
werden.
Die Vorteile, die insbesondere verfahrenstechnisch der additiven Methode zuzuschreiben sind, wenn
man diese mit der Ätzmethode vergleicht, liegen aui der Hand, wenn man beide Verfahren nebeneinandei
hält:
Wenn eine beidseitig mit Leiterbahnen versehene Platine nach dem subtraktiven Verfahren, d. h. nacr
dem Ätzverfahren, hergestellt werden soll, wobei dis Platine Kontaktlöcher von einer zur anderen Karten
seite aufweisen soll, sind die folgenden Arbeits schritte erforderlich: Herstellung der kupferüber
zogenen Laminatplatte, Schneiden der großen Platti
auf die gewünschte Karten- bzw. Platinengröße Lochen der Karte, gegebenenfalls unter numerische
Maschinensteuerung, Abstrahlen der Kupferbeschich tung, Oberflächenbehandlung in den gebohrten Lö
ehern, Oberflächenbehandlung der Kupferschichl
katalytische Aktivierung, chemische Kupferplattie rung, primäre Kupferpyrophosphatplattierung, Sei
denumkehraufdruck der Leiterbahnen, sekundär Kupferpyrophosphatplattierung, Goldplattierung bzv
409 529/34
A 203
Goldlötung, Entfernen der Ätztinte, Ätzen mit Am- bahnen wird dann in üblicher Weise durch mechani
moniumpersulfat, Oberflächenbehandlung, Bearbei- sehe Bearbeitung und die Entfernung der äußerei
tung des äußeren Randes und andere mehr. Bei einer Aluminiumfolien, wie im Falle der einschichtiger
spezifischeren Aufgliederung all dieser Arbeitsstufen Platine beschrieben, fertiggestellt,
kann man in die 50 unterschiedliche Arbeitsstufen 5 In den folgenden Beispielen ist die Erfindung ai
festhalten, die zur Herstellung der als Beispiel ge- Hand spezifischer Ausführungsformen näher be
nommenen Platine nach dem Ätzverfahren erforder- schrieben: lieh sind.
Wenn dagegen eine gleiche Leiterplatine nach dem Beispiel 1
Additionsverfalsiren hergestellt werden soll, so sind 10 Pin_ .,„„· ., , .. . . _ . . . . A.
dagegen lediglich die folgenden Schritte erforderlich: i^^f* m" ei"er R*mheit des A1"
Herstellung einer Aluminiumfolie mit vergrößerter ^? V n°?™JJ '"~ *obei die ubnßen Ve™
Oberfläche! Herstellung des Laminats, Alkalibehand- 3J™ °/J % fr ,°'°3 ?/o ξ" und 0,07 ·/. S, s.nd
lung, Schneider, der großen Platte auf Kartengröße, ™ffl Z t \°^ Αΐζ1°5™ε getaucht,.eh.
Anbringen der Löcher, gegebenenfalls unter nume- ,s izllZ J^c S ™\ 3,^«««"»f Salzsaure und 5 m
rischer Maschinensteuerung, katalytische Aktivierung, Af^^S^T ^*"" Da* elek u troIytl
Seidenumkehrdruck, chemische Kupferplattieruni, ShA? 7Γίπ80^c Jang bei einer Glachstrom
Oberflächenbehandlung und Bearbeitung des äuße- SS>* *OI\15 ^m und emer Badtemperatur vor
ren Randes. Auch bei feiner Untergliederung all die- Ti1 · durchg?fuhrt. Die auf diese Weise hergestellt,
ser Arbeitsschritte sind für die Herstellung einer «, Aluminiumfolie hatte eine Stärke von 100 ,um um
solchen beidseitig mit Leiterbahnen "ersehenen Pia- nf!?· uge 01^a*?1)*"* geätzt worden, b.s sie eim
tine höchstens etwa 20 Arbeitsschritte erforderlich OberflachenverBroßerung um den Faktor 20 aufwies
Der Vorteil des additiven Verfahrens gegenüber daneben wurde ein Prepreg von 150 ^m Dicke aui
dem subtraktiven Verfahren liegt jedoch nicht nur in Z „ Epoxidharz imprägnierten Glasfaserlucl
der bedeutend geringeren Anzahl der erforderlichen « p'8f, Γ,· E?°^d wurde durch ^mselzen v01
Bearbeitungstufen begründet. Wenn beispielsweise ^Picn|orhydnn mit Bis-phenol A erhalten Die ge
das Kunststoffsubstrat und die Kupferbeschichtune , · A»«"»·»«»«««!« und das Prepreg wo den s(
gleichzeitig gelocht bzw. gebohrt werden, müssen zur ^«nandergelegt, daß die geätzte Oberflache de
Erzielung einwandfreier Ergebnisse genaue Schneid- Aluminiumfolie auf der Oberfläche des Prepregs lag
bedingungen und Vorschubgeschwindigkeiten einge- 3„ » V° e™"teac Schichtstruktur wurde in eine mehr
halten werden, da sonst leicht ein Lösen der Be- ^o^ HtaPrfssc gegeben und 120min lang be
schichtung von der Isolatorplatt eintritt. Diese Sorg- "ηί!Γ 30 ^S/^a1 zu einer laminierti ;i PlatK
falt braucht dann bei weitem nicht aufgewendet zu ^1P1"?1- °as so erhaltene Laminat bestand .ms den
werden, wenn im Falle des additiven Verfahrens au.sgenarteten Glasfaserepoxidsubstrat und e.ner mi
lediglich die Kunststoffsubstratplatte gelocht werden 35 ^^l Oberflachfi fest verbundenen Aluminium
muß. Darüber hinaus nimmt die Wahrscheinlichkeit δ κι· η
dar Ablösung beider Kupferscbichten beim Ätzvei- AnscwieBend wurde die so erhaltene laminiert
fahren zu, wenn der Katalysator auf die Kupfer- ^!a"c 10 ™n lang in eine 70° C warme 30pr'zentigi
grundschicht aufgetragen und auf diese anschließend waBnge Natronlauge getaucht. Durch diese Behänd
die sekundäre Kupferschicht chemisch abgeschieden 40 ? ^1™ ^ Aluminiumfolie vollständig aufgelöst
wird. Wenn der Katalysator dagegen direkt auf die ??. ," nur noch das aluminiumfreie Substrat zurück
aufgerauhte Kunststoffsubstratoberfläche aufgetragen f?'
und das Kupfer in einer Schicht chemisch auf diese ηκ rf"uPrÜDglich 1^1 der Aluminiumfolie Gedeckt
Oberfläche aufgebracht wird, tritt eine solche Ab- ^"iache der so erhaltenen ausgehärtete, Glas
lösung nicht auf. 45 taser.ep°xidplatte war rauh und zeigte geometriscl
Der vorstehende Vergleich dieser beiden Verfahren vielfaltige und komplizierte Oberflächenmikrostruk
zeigt deutlich die Überlegenheit des additiven Ver- turen- die für eine Verankerung und feste Haftunj
fahrens gegenüber dem subtraktiven bzw. dem Atz- vo" Beschichtungen hervorragend geeignet ist.
verfahren. Durch das Verfahren gemäß der Erfin . e a"f diese Weise erhaltene Oberfläche wurdi
dung, das dem Kunststoffsubstrat eine praktisch ideal 50 ^ katalvt|schen Aktivierung und der stromlose!
aufgerauhte Oberfläche mit außerordentlich hoher *uPterplattiening nach an sich bekannten Verfahrei
Haftfestigkeit für die Leiterbahnen verleiht, ist die αΊ, ^iJ . Die Haftfestigkeit, gemessen als die zun
volle Ausnutzung der Vorteile des additiven Ver- ADscnaien eines Überzugsstreifens erforderliche Last
fahrens möglich geworden. rv u J" den S° herSestellten Kupferfilm bei eine
Das Verfahren gemäß der Erfindung kann in prin- 55 ^lclce d?! Kupferbeschichtung von 35 ^m 1.7 kg be
zipiell gleicher Weise, wie vorstehend beschrieben, r ^«»«»wte von 1 cm.
auch auf uiehrschichtige Leitesplatinen angewendet
werden. Im einzelnen werden im Fall einer mehr- Beispiel 2
schichtigen Platine auf die beiden äußersten Schich- Eine Aluminiumfolie mit einer Stärke von 100 «in
"Sa^Sff^^T t f^olytiSw ?eätZtefn 6O d^aufrenO^ächenZuwacnsfaktorvon20dek
wht ΐΐΓΛ d?r K bes5i7ebenen ^1V Γ li;o!yiisch &** worden war, und zwar unter de.
gebracht. Die Leiterzwischenschichten werden durch gleichen Bedingungen, wie im Beisoiel 1 beschrieben
je eine dünne Platte erhalten, auf der das verdrahtete wurde mit der geätzten Seite auf dn 150 ,!m dicke
Muster der ShOmbahnen der Zwischenschicht ange- Prepreg zur Bildung einer Schichtstruktur aufgelegt
ordnet ist. Die Zwischenplatten werden dann zu- 65 Das Prepreg wurde durch Imprägnieren eines Papier
sammen nut den äußeren geatzten Alumimumfohen mit einem Phenolformaldehvdharz hereestellt Die s(
und den Prepregs zur Mehrschichtenplatte laminiert. erhaltene Schichtstruktur wurden 25T mehrstufig.
Die endgültige elektrische Schaltung der Leiter- Heizpresse gebracht und ^Ohdi! Zg;wS?C
A 203
unter 150 kg/cm* zu einem festen Laminat verpreßt.
Die erhaltene Platte bestand aus dem vollständig ausgehärteten Polymerisatsubstrat und der auf dessen
Oberfläche fest haftenden Aluminiumfolie. Anschließend wurde diese Laminatplatte 10 min lang in eine
70° C warme 30prozentige Salzsäure getaucht. Unter diesen Bedingungen wurde die Aluminiumfolie vollständig
aufgelöst, so daß das aluminiumfreie Substrat mit der aufgerauhten Oberfläche zurückblieb.
Auf diese Substratoberfläche wurde nach einem an sich bekannten Verfahren stromlos eine Kupferschicht
abgeschieden. Die Haftfestigkeit der durch diese Art des Plattierens erhaltenen Kupferschicht
betrug bei einer Schichtdicke von 35 ^m 1,8 kg, bezogen
auf einen Streifen von 1 cm Breite.
Eine 50 μία dicke Aluminiumfolie, die in der im
Beispiel 1 beschriebenen Weise elektrolytisch auf einen Faktor der Oberflächenzunahme von 40 geätzt
worden war, wurde auf die Oberfläche einer I mm
starken Polycarbonatplatte gelegt. Das Polycarbonat
wurde durch Umsetzen von Bisphenol A mit Phosgen erhalten. Die Aluminiumfolie lag dabei mit der ausgeätzten
Seite auf dem Kunststoffsubstrat. Diese Schichtstruktur wurde anschließend in eine mehrstufige
Heizpresse gegeben und bei 160° C unter 10 kg/cm2 gepreßt. Mit einsetzender Verflüssigung
des Kunststoffs wurde der Druck verringert. Die so erhaltene, aus der Aluminiumfolie und dem PoIycarbonatsubstrat
bestehende Laminatplatte wurde anschließend nach dem Abkühlen 10 min lang in in eine 70° C warme 30prozentige wäßrige Natronlauge
getaucht. Dabei wurde die Aluminiumschicht vollständig abgelöst, so daß ein Polycarbonatsubstrat
mit einer zum Aufbringen festhaftender Beschichtungen geeigneten Oberfläche erhalten wurde.
Das so erhaltene Substrat wurde in an sich bekannter Weise stromlos mit Kupfer plattiert. Die
Haftfestigkeit der so hergestellten 35 μνα starken
ίο Kupferplattierung auf dem Substrat betrug 3,2 kg bei
1 cm Breite der Beschichtung.
Hierzu I Blatt Zeichnungen
A203
Claims (8)
1. Verfahren zur Herstellung eines Substrats aus thermoplastischem oder duroplastischem
Kunststoff, insbesondere aus faserverstärktem Kunststoff mit aufgerauhter Oberfläche durch
Laminieren einer Aluminiumfolie mit rauher Oberfläche auf ein Kunststoffsubstrat unter Erwärmung
und Druck und anschließendes chemisches Abätzen der Aluminiumfolie, dadurch
gekennzeichnet, daß man die Oberfläche der Aluminiumfolie durch elektrolytisches Ätzen
unregelmäßig aufrauht.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Aluminiumfolie durch
Eintauchen in eine elektroiytische Ätzlösung, die in wäßriger Lösung Chloridionen enthält, elektrolytisch
ätzt.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Aluminiumfolie
im Verlauf von 30 bis 240 see bei einer Temperatur von 50 bis 80° C und einer
Stromdichte von 10 bis 200 A/dms elektrolytisch
geätzt wird
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächenstörsteilen
bzw. Ätzgruben in der Oberfläche der Aluminiumfolie eine Tiefe von etwa 1 bis 10 μΐη haben.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Aluminiumfolie
auf eine Oberflächenzuwachsrate um den Faktor 10 bis 60, bezogen auf die ungeätzte
Oberfläche, geätzt wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Aluminiumfolie
vor der elektrolytischen Ätzung zum vorläufigen Anrauhen der Oberfläche zunächst in
eine wäßrige Alkali- oder Säurelösung getaucht wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Aluminiumfolie,
die dem elektrolytischen Ätzen unterworfen ist, eine elektrostatische Kapazität von 60
bis 200 ^F/cm* hat.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Aluminiumfolie
eine Stärke von 10 bis 200 «m hat.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP47039645A JPS5123266B2 (de) | 1972-04-21 | 1972-04-21 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2320099A1 DE2320099A1 (de) | 1973-10-25 |
DE2320099B2 true DE2320099B2 (de) | 1974-07-18 |
DE2320099C3 DE2320099C3 (de) | 1979-10-11 |
Family
ID=12558809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2320099A Expired DE2320099C3 (de) | 1972-04-21 | 1973-04-19 | Verfahren zur Herstellung eines Kunststoffsubstrates mit aufgerauhter Oberfläche |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3876479A (de) |
JP (1) | JPS5123266B2 (de) |
DE (1) | DE2320099C3 (de) |
GB (1) | GB1374934A (de) |
SE (1) | SE379674B (de) |
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1972
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1973
- 1973-04-19 DE DE2320099A patent/DE2320099C3/de not_active Expired
- 1973-04-19 SE SE7305651A patent/SE379674B/xx unknown
- 1973-04-19 GB GB1897173A patent/GB1374934A/en not_active Expired
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8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |