DE2314635C3

DE2314635C3 - Verfahren zur Herstellung einer Auftreffplatte einer Farbfernseh-Kameraröhre

Info

Publication number: DE2314635C3
Application number: DE2314635A
Authority: DE
Inventors: Tadashi Kyoto Hasegawa; Hirofumi Takatsuki Tanaka
Original assignee: Matsushita Electronics Corp
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1972-03-24
Filing date: 1973-03-23
Publication date: 1980-09-11
Also published as: DE2314635A1; DE2314635B2; JPS5141537B2; FR2177933A1; US3875627A; FR2177933B1; GB1366839A; JPS4896246A

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Auftreffplatte einer Farbfernseh-Kameraröhre, bei der auf der Außenfläche der aus einer Faserplatte hergestellten Frontplatte der Kameraröhre ein Farbstreifenraster mit Indexstreifen und auf der Innenfläche eine von einer fotoelektrisch leitfähigen Schicht gleichmäßig bedeckte lichtdurchlässige leitende Schicht ausgebildet werden.

Bei Farbfernseh-Kameraröhren dieser Art weisen die optischen Fasern der die Frontplatte der Kameraröhre bildenden Faserplatte zur Erzielung eines über die gesamte Abtastfläche der Auftreffplatte möglichst guten und gleichmäßigen Auflösungsvermögens in Verbindung mit einer genauen Erfassung des Farbstreifen- bzw. Indexrasters meist Abmessungen in der Größenordnung von 20 μιη auf. Da in der Faserplatte jedoch herstellungsbedingte Verzerrungen und Verwerfungen in der Größenordnung von 10—30 μπι und mehr auftreten können, besteht in erheblichem Maße die Gefahr des Auftretens von Abbildungsfehlern und Verzeichnungen, die zu Farbverschiebungen führen und damit die Farbreinheit beeinträchtigen. Diese Tendenz verstärkt sich noch, wenn zur Verbesserung des Auflösungsvermögens in den Randbereichen die Innenseite der Auftreffplatte konkav ausgebildet wird.

Aus der DE-AS 12 90 169 ist bereits ein Verfahren zur Herstellung einer Auftreffplatte einer Farbfernseh-Kameraröhre der vorstehend genannten Art bekannt. Die Auftreffplatte weist eine durchgehende Fotoleitschicht mit leitender Unterlage auf, während die Frontplatte als Faserplatte ausgebildet ist, auf die außen ein Indexstreifen aufweisendes Farbstreifenraster aufgeklebt ist. Durch diesen Aufbau soll die Herstellung einer solchen Kameraröhre vereinfacht werden. Da die Auftreffplatte auf der Innenseite dieser als Strahlindexröhre arbeitenden Kameraröhre aus einer durchgehenden fotoelektrisch leitfähigen Schicht mit leitender Unterlage besteht, können sich Abbildungsfehler der Faserplatte, die, wie vorstehend erwähnt, insbesondere aufgrund herstellungsbedingter Verwerfungen bzw. Verzerrungen in Querrichtung der Faserplatte auftreten, bei der Elektronenstrahlabtastung des Verlaufes der Indexstreifen sehr nachteilig auswirken, da keine Kompensation derartiger Abbildungsfehler vorgesehen und bei einem solchen Röhrenaufbau auch nicht möglich ist.

ίο Weiterhin ist aus der US-PS 28 70 010 ein Verfahren zur Herstellung eines auf der Innenseite einer Farbbildröhre angeordneten Farbstreifen- und Indexrasters bekannt, gemäß dem zur Kompensation der Kissen- bzw. Tonnenverzeichnung zunächst mittels einer Hilfsmaske und einer Hilfsfrontplatte vier entsprechend vorverzeichnete konkave Masken hergestellt werden, nämlich jeweils eine Maske für jede Gruppe der Farbtripel und eine Maske für die Indexstreifen, über die sodann aufeinanderfolgend die Belichtung der auf der konkaven Innenseite des Bildschirms angeordneten lichtempfindlichen Schicht zur Ausbildung des Farbrasters und der Indexstreifen erfolgt. Dieses Verfahren bezieht sich somit im wesentlichen auf eine einfachere Herstellung von Masken zur Kompensation der sich bei der Ausbildung des Farbstreifen-Indexrasters einer Farbbildröhre bei Belichtung von der Schirminnenseite her ergebenden Kissen- b?.w. Tonnenverzeichnung und betrifft keine Maßnehmen zur Kompensation der bei der Herstellung von Farbfernseh-Kameraröhren mit einer Faserplatte bei Belichtung der Auftreffplatte von der Außenseite durch Verzerrungen in der Faserplatte hervorgerufenen Abbildungsfehler.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, das eingangs angegebene Verfahren so weiterzubilden, daß die aufgrund von fertigungsbedingten Verzerrungen in der Faserplatte auftretenden Abbildungsfehler verhindert bzw. kompensiert werden und auch auf einer konkaven Auftreffplattenfläche eine genaue Ausbildung eines diese Abbildungsfehler berücksichtigenden Indexrasters erzielt wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß auf die lichtdurchlässige leitende Schicht zunächst eine Fotolackschicht aufgebracht, diese durch eine auf der Außenfläche der Frontplatte angeordnete, die Indexstreifen des Farbstreifenrasters aufweisende optische Maske und die Faserplatte hindurch belichtet und zur Ausbildung von schmalen, den Indexstreifen des Farbstreifenrasters entsprechenden, von Fotolack befreiten Streifen entwickelt wird, und daß die lichtdurchlässige leitende Schicht unter Verwendung der entwikkelten Fotolackschicht als Ätzmaske zur Ausbildung von den Indexstreifen des Farbstreifenrasters genau zugeordneten streifenförmigen schmalen Ausnehmungen geätzt und nach Entfernen der Fotolack-Ätzmaske mit der fotoelektrisch leitfähigen Schicht gleichmäßig überzogen wird.

Hierdurch werden die in der Faserplatte fertigungsbedingt auftretenden Querverschiebungen bzw. Schub- oder Scherungsverzerrungen durch entsprechende Formänderungen eines auch auf der Auftreffplatteninnenseite in Form von Ausnehmungen in der lichtdurchlässigen leitenden Schicht oder als verbleibende Streifen einer Fotolackschicht ausgebildeten Indexrasters in vollem Umfang berücksichtigt, so daß Farbverschiebungen nicht mehr auftreten können. Außerdem kann die für die Herstellung des Rasters erforderliche Belichtung vorteilhafterweise von außen her erfolgen. Darüber

hinaus ergibt sich der wesentliche Vorteil, daß bei der Elektronenstrahlabtastung der den Indexstreifen des Farbrasters entsprechenden Ausnehmungen in der lichtdurchlässigen leitenden Schicht jeweils direkt ein kräftiger Indeximpuls erhalten wird, v/ährend zum Beispiel das sich bei der Abtastung der Auftreffplatte einer Kameraröhre gemäß der DE-AS 12 90169 ergebende Signal aufgrund des kontinuierlichen Verlaufs der lichtdurchlässigen leitenden Schicht meist noch einer Umformung zur Ausbildung eines scharfen Indexsigns'E bedarf.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben. Es zeigt

Fig. 1 teilweise im Schnitt eine Seitenansicht einer üblichen Farbfernseh-Kameraröhre und

Fig.2—4 schematische Darstellungen in Form von Längsschnitten, die das erfindungsgemäße Verfahren veranschaulichen.

Eine Farbfernseh-Kameraröhre der in ~.⁷ i g. 1 dargestellten und zum Beispiel aus der DE-AS 12 90)69 bekannten Art dient üblicherweise zur Aufnahme eines Farbbildes mit einer einzigen Kameraröhre. Bei der Farbfernseh-Kameraröhre gemäß F i g. 1 besteht eine Frontplatte 1 aus einer Reihe von optischen Fasern in Form einer Faserplatte, wobei die Außenfläche der Faserplatte mit einem Farbstreifenraster 2 versehen ist, das aufeinanderfolgend angeordnete Farbstreifen R, G, B für die Farbkomponenten rot, grün bzw. blau sowie einen Indexstreifen / zur Bildung eines Indexsignals aufweist Die Innenfläche der Frontplatte 1 ist mit einer lichtdurchlässigen leitenden Schicht 4 und einer darauf aufgebrachten fotoelektrisch leitfähigen Schicht 3 versehen. Die lichtdurchlässige leitende Schicht 4 besitzt ausgeschnittene oder isolierende Abschnitte, die den Indexstreifen / zur Erzeugung des Indexsignals zugeordnet sind, so daß die den Indexstreifen / entsprechenden Abschnitte der fotoelektrisch leitfähigen Schicht keine Signalspannungen erhalten.

Bei einer derartigen Farbfernseh-Kameraröhre wird ein Videosignal in die drei Farbkomponenten rot, grün und blau sowie ein Indexsignal zerlegt und kann sodann durch Abtastung der Auftreffplatte mit einem Elektronenstrahl abgegriffen werden.

In den Fig.2—4 sind die verschiedenen Schritte des Verfahrens zur Herstellung der Auftreffplatte einer Farbfernseh-Kameraröhre in Form von mehreren Schnittansichten einer Auftreffplatte veranschaulicht.

Gemäß Fig.2 wird eine Frontplatte 11 aus einer Faserplatte hergestellt jnd besitzt eine ebene Außenfläche 12 sowie eine konkave Innenfläche 13. die entsprechend der Fokalfläche des Elektronenstrahls ausgebildet ist Die Innenfläche 13 ist gleichmäßig mit einer lichtdurchlässigen leitenden Schicht 14 verseher, die als Zinnoxidschicht in bekannter Weise aufgebracht werden kann. Auf die lichtdurchlässige leitende Schicht 14 wird zunächst eine Fotolackschicht 15 aufgebracht. Auf der Außenfläche 12 der Frontp'.atte 11 ist eine optische Maske 16 angeordnet, die den Indexstreifen / des Farbstreifenrasters entsprechende iiclitundurchlässige Abschnitte aufweist.

Auf diese Anordnung wird über einen Kollimator paralleles Licht 17 mit einer im Ultraviolettbereich unter 0,35 μιτι liegenden Wellenlänge von außen her senkrecht auf die Außenfläche 12 der Frontplatte 11 gerichtet. Das Licht 17 tritt über die optische Maske 16 durch die Frontplatte 11 und die lichtdurchlässige leitende Schicht 14 hindurch und fällt auf die Fotolackschicht 15, so daß diese selektiv belichtet wird. Bei der sodann erfolgenden Entwicklung der Fotolack schicht wird eine den Indexstreifen /des Farbstreifenrasters entsprechende streifenförmige Ausnehmungen aufweisende Fotolackschicht 15' erhalten, wie dies in Fig.3 dargestellt ist. Daraufhin wird die diese streifenförmigen Ausnehmungen aufweisende Fotolackschicht 15' als Ätzmaske zur Ätzung der lichtdurchlässigen leitenden Schicht 14 verwendet. Hierdurch werden wiederum streifenförmige Ausnehmungen 18 in der lichtdurchlässigen leitenden Schicht 14 in der in Fig.4 dargestellten Weise ausgebildet. Nach dem Ätzvorgang wird die Ätzmaske 15' entfernt und eine gleichmäßige fotoelektrisch leitende Schicht 19 aus Antimontrisulfid, Bleimonoxid od. dgl. aufgebracht. Sodann wird das Farbstreifenraster 2 derart auf die Außenfläche 12 aufgeklebt, daß die Indexstreifen /des Farbstreifenrasters zu den streifenförmigen Ausnehmungen 18 ausgerichtet sind.

Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform wird somit eine mit den Indexstreifen /des Farbstreifenrasters 2 entsprechenden Ausnehmungen versehene Fotolackschicht 15' als Ätzmaske verwendet und sodann entfernt. Wenn darüber hinaus außerhalb der Kameraröhre ein entsprechendes optisches System angeordnet wird, muß das Farbstreifenraster nicht mit der Außenfläche der Frontplatte in Berührung gebracht, sondern kann getrennt von der Frontplatte angeordnet werden.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

1
Patentanspruch:

Verfahren zur Herstellung einer Auftreffplatte einer Farbfernseh-Kameraröhre, bei der auf der Außenfläche der aus einer Faserplatte hergestellten Fro.ntplatte der Kameraröhre ein Farbstreifenraster mit Indexstreifen und auf der Innenfläche eine von einer fotoelektrisch leitfähigen Schicht gleichmäßig bedeckte lichtdurchlässige leitende Schicht ausgebildet werden, dadurch gekennzeichnet, daß auf die lichtdurchlässige leitende Schicht (14) zunächst eine Fotolackschicht (15) aufgebracht, diese durch eine auf der Außenfläche (12) der Frontplatte (11) angeordnete, die Indexstreifen (I) des Farbstreifenrasters (2) aufweisende optische Maske (16) und die Faserplatte hindurch belichtet und zur Ausbildung von schmalen, den Indexstreifen (I) des Farbstreifenrasters (2) entsprechenden, von Fotolack befreiten Streifen entwickelt wird, und daß die lichtdurchlässige leitende Schicht unter Verwendung der entwickelten Fotofackschicht als Ä tzmaske (15') zur Ausbildung von den Indexstreifen (I) des Farbstreifenrasters (2) genau zugeordneten streifenförmigen schmalen Ausnehmungen (18) geätzt und nach Entfernen der Fotolack-Ätzmaske (15') mit der fotoelektrisch leitfähigen Schicht (19) gleichmäßig überzogen wird.