DE2314635A1

DE2314635A1 - Farbfernsehkameraroehre

Info

Publication number: DE2314635A1
Application number: DE19732314635
Authority: DE
Inventors: Tadashi Hasegawa; Hirofumi Tanaka
Original assignee: Matsushita Electronics Corp
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1972-03-24
Filing date: 1973-03-23
Publication date: 1973-09-27
Also published as: JPS5141537B2; FR2177933B1; FR2177933A1; DE2314635B2; US3875627A; JPS4896246A; DE2314635C3; GB1366839A

Description

PATENTANWALTSBÜRO TlEDTKE - BüHLJMG - KlNNE 2314635

TEL (0611) 539653-56 TELEX-. 524145 tipat CABLii ADDRESS: Gemaniapatent München

8000 München 2 Bavarlarlng4 23. März 1973

Postfach 202403

Matsushita Electronics Corporation Osaka (Japan)

Färb fernsehkameraröhre

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Färbfernsehkameraröhre.

Die Erfindung wird im folgenden im Zusammenhang mit den beigefügten Abbildungen erläutert.

Fig. 1 zeigt teilweise aufgebrochen eine Seitenansicht einer üblichen Farbfernsehkameraröhre.

Fig. 2 bis 4 zeigen ausschnittweise Längsschnitte, um das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren darzustellen.

Eine Farbfernsehkameraröhre, wie sie in Fig. 1 gezeigt ist, wird üblicherweise dazu verwendet, ein Farbbild mit einer einzigen Fernsehkameraröhre aufzunehmen. In dieser Färbfernsehkameraröhre wird eine Frontplatte 1 aus einer Reihe von optischen Fasern in Form einer Faserplatte gebildet, wobei die äußere Oberfläche dieser Platte mit einem streifenförmigen optischen Filter 2 versehen ist, das aufeinanderfolgend angeordnete Streifen von Rot R, Grün G und Blau B zum Zerlegen einer Farbe und einen Streifen I aufweist, der ein Indexsignal liefert. Die innere Oberfläche der Frontplatte 1 weist einen lichtdurchlässigen leitenden Film 4 und einen darauf gebildeten Film 3 mit photoelektrischer Leitfähigkeit auf. Der lichtdurch-

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OftlGINAL INSPECTED

lässige leitende Film k besitzt ausgeschnittene oder isqlierende Teile in Übereinstimmung mit den Streifen I zum Erzeugen des Indexsignals, so daß die Teile des lichtelektrisch leitenden Films, die den Streifen I entsprechen, frei vom Anlegen von Signalspannungen sind.

Bei Verwendung einer derartigen Farbfernsehkamera wird ein Videosignal in drei Farbkomponenten, rot, grün und blau, und ein Indexsignal zerlegt und kann nachfolgend von einer gemeinsamen Signalelektrode durch Abtasten mit einem Elektronenstrahl erhalten werden. Da jedoch in der Faserplatte, die die Frontplatte 1 bildet, Ver scher ungen von Io bis 3o/U oder mehr vorkommen, kann keine getreue Übereinstimmung zwischen dem auf das optische Filter 2 geworfene Bild und dem Bild erreicht v/erden, das zu dem dem photoelektrisch leitenden Film 3 geleitet wird, so daß ein teilweiser Versatz in dem reproduzierten Bild auftritt, der einen Farbversatz erzeugt.

Ferner ist es notwendig, die Breite eines jeden Streifens in dem optischen Filter gleich oder kleiner als Zo ax zu wählen, was bedeutet, daß die Auflösung der Röhre überjdie gesamte Abtastoberfläche hinweg gut sein muß, damit der Index von derartig feinen Streifen sicher abgenommen werden kann. In Wirklichkeit besteht jedoch ein Problem, daß nämlich die Auflösung insbesondere, am Sand gering sein kann, wodurch Farbversatz verursacht wird.

Zur Verbesserung der Auflösung in den Randbereichen wurde vorgeschlagen, die innere Oberfläche der Frontplatte entsprechend

konkav der Focalfläche des Elektronenstrahls auszubilden. In diesem Falle ist jedoch die Bildung des Films mit den isolierenden Streifen auf einerJsionkaven Oberfläche sehr schwierig.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur Herstellung einer Färbfernsehkameraröhre zu finden, das die genannten Nachteile vermeidet und «ine Farbverschiebung

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aufgrund von Versicherungen in der die Frontplatte bildenden Faserplatte vermeidet.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer Farbfernsehkameraröhre vorgeschlagen, das dadurch gekennzeichnet ist, dass ein lichtdurchlässiger leitender Film und ein Photowiderstandsfilm nacheinander auf der inneren Oberfläche einer Frontplatte, die aus einer Faserplatte hergestellt ist, gebildet wird, daß der Photowiderstandsfilm selektiv Lichtstrahlen, die durch eine optische Maske von der äußeren Oberfläche der Frontplatte einfallen, ausgesetzt und zur.Ausbildung von engen Ausnehmungen in diesem Film entwickelt wird, daß der lichtdurchlässige leitende Film geätzt wird, um streifenfö'rmige enge Ausnehmungen in ihm zu bilden, indem der mit Ausnehmungen versehene Photowiderstandsfilm als Ätzmaske benutzt wird, daß ein photoelektrisch leitender Film gleichmäßig auf dem lichtdurchlässigen leitenden Film mit den engen Ausnehmungen gebildet wird und daß ein optisches Filter mit Streifen zur Erzeugung eines Indexsignals, das diesen engen Ausnehmungen entspricht, auf der äußeren Oberfläche der Frontplatte angebracht wird.

Nach diesem Verfahren wird eine photoelektrisch leitende Auftreffelektrode mit ,nichtleitfähigen Streifen dadurch gebildet, daß ein Photowiderstandsfilm, der die innere Oberfläche der Frontplatte bedeckt, durch die Frontplatte und eine an der äußeren Oberfläche der Frontplatte angebrachte optische Maske selektiv bestrahlt wird. Sogar, wenn sich in der Faserplatte, die die Frontplatte bildet, Verscherungen und/ oder andere Verwindungen befinden, v/erden diese durch Veränderung der Formen der nichtleitenden Streifen, die durch den Photowiderstandsfilm gebildet werden, kompensiert. Farbverschiebungen aufgrund dieser Fehler können daher nicht auftreten. Gemäß der Erfindung können die nichtleitenden Streifen sogar auf einer konkaven inneren Oberfläche der Front-

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platte leicht hergestellt werden. Bisher wurde der Photowiderstandsfilm von der Innenseite der Röhre belichtet, wodurch die genannten Fehler nicht eliminiert werden konnten.

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines "bevorzugten Ausführungsbeispiels im Zusammenhang mit den Abbildungen näher erläutert.

Fig. 2 bis. Zf zeigen ausschnittweise Schnitte einer Frontplatte, um die verschiedenen Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens darzustellen. Gemäß Fig. 2 wird eine Frontplatte 11 aus einer Faserplatte gebildet und besitzt eine flache äußere Oberfläche 12 und eine konkave innere Oberfläche 13, die entsprechend der Focalfläche des Elektronenstrahls ausgebildet ist. Die innere Oberfläche 13 ist mit einer gleichmäßigen lichtdurchlässigen' leitenden Schicht IZf in Form eines Zinnoxidfilms versehen, der nach einem bekannten Verfahren aufgebracht ist. Ein Photowiderstandsfilm 15 aus einem Material, das unter dem Handelsnamen "KPR" oder "KTFR" der Firma Eastman Kodak vertrieben wird, oder einem entsprechenden Material ist ferner auf dem lichtdurchlässigen leitenden Film M\ angebracht. Auf der äusseren Oberfläche 12 der Frontplatte 1Ί ist eine optische Maske

16 angebracht, die in Bezug auf die Streifen I zur Erzeugung des Indexsignals ein lichtundurchlässiges Verhalten besitzt.

Paralleles Licht 17 mit einer Wellenlänge kürzer als 3 5>oo S, das von einer Lichtquelle emittiert wird und durch einen Kollimator ausgerichtet wird, wird auf diese Anordnung senkrecht zur äußeren Oberfläche 12 von außen her geworfen. Das Licht

17 trifft über die optische Maske 16 auf den Photowiderstandsfilm 15, wobei es durch die Frontplatte 11 und den lichtdurchlässigen leitenden Film IZf hindurchgeht, um den Photowiderstandsfilm 15 selektiv zu bestrahlen. Wenn ein derartig bestrahlter Photowiderstandsfilm entwickelt wird, wird ein mit Ausnehmungen versehener Photowiderstandsfilm 15¹ gebildet, der entfernte Streifen enthält, die den Streifen I zur Erzeu- ■

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gung des Indexsignals auf dem lichtdurchlässigen leitenden Film lif entsprechen,wie Fig. 3 zeigt. Als nächstes wird dieser mit Ausnehmungen versehene Photowiderstandsfilm 15¹ als Ätzmaske benutzt, um den lichtdurchlässigen leitenden Film 1^ zu 'atzen. Dadurch werden streifenförmige Teile, enge Ausnehmungen 18, in dem lichtdurchlässigen leitenden Film 1 if, wie in Fig. k gezeigt, gebildet. Nach diesem Ätzvorgang wird die Ätzmaske I5¹ entfernt und ein gleichmäßiger photoelektrisch leitender Film 19 aus Antimontrisulfid, Bleimonoxid o. dgl. gebildet. Danach wird das optische Filter 2 auf der äußeren Oberfläche 12 aufgeklebt, so daß die Streifen I in dem Filter sich in Übereinstimmung mit den engen Ausnehmungen: 18 befinden.

Bei dieser Ausführungsform wird ein mit öffnungen versehener Photowiderstandsfilm 15^f als Ätzmaske benutzt und dann entfernt. Der Photowiderstandsfilm kann aber auch in Streifenform entsprechend den Streifen I ausgebildet und in der Röhre belassen werden. In diesem Fall besteht keine Notwendigkeit dafür, den lichtdurchlässigen.leitenden Film zu ätzen, und ein photoelektrisch leitender Film wird gleichmäßig auf dem lichtdurchlässigen leitenden Film mit dem streifenförmigen Photowiderstandsfilm. ausgebildet. Wenn weiterhin außerhalb der Röhre ein entsprechendes optisches System vorgesehen wird, braucht der optische Filter nicht mit der äußeren Oberfläche der Frontplatte in Berührung gebracht und kann getrennt hiervon angebracht werden.

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Die Erfindung liefert somit ein Verfahren zur Herstellung einer Farbfernsehkameraröhre, die eine Frontplatte aufweist, die aus einer Faserplatte besteht, sowie eine fotoleitende Elektrode mit nicht-leitenden Abschnitten in Streifenform hat, die an der ineren Fläche der Frontplatte vorgesehen ist, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, daß man nacheinander einen lichtdurchlässigen leitenden Film und einen Fotowiderstandsfilm auf der inneren Oberfläche der Frontplatte bildet, eine optische Maske auf die äussere Oberfläche der Frontplatte setzt, Ültraviolett-Strahlen auf den Fotowiderstandsfilm durch die Fotomaske und die Frontplatte hindurch richtet, um selektiv den Fotowiederstandsfilm den ültraviolett-Strahlen auszusetzen, und daß man den Fotowiderstandsfilm so entwickelt, daß man einen gelochten Fotov/iederstandsfilm erhält, der die nicht-leitenden Abschnitte bildet.

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Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zur Herstellung einer Färbfernsehkameraröhre, dadurch gekennzeichnet, daß ein lichtdurchlässiger leitender Film und ein Photowiderstandsfilm nacheinander. auf der inneren Oberfläche einer aus einer Faserplatte hergestellten Frontplatte gebildet, der Photowiderstandsfilm mit Lichtstrahlen, die die Frontplatte und eine optische Maske auf der äußeren Oberfläche der Frontplatte durchlaufen, bestrahlt und zur Bildung von engen öffnungen hierin entwickelt, der lichtdurchlässige leitende Film unter Benutzung dieses mit öffnungen versehenen Photowiderstandsfilms als Ätzmaske zur Bildung streifenförmiger enger Ausnehmungen in dem lichtdurchlässigen leitenden Film geätzt, ein photoelektrisch leitender Film gleichmäßig auf dem lichtdurchlässigen leitenden Film mit den engen Ausnehmungen gebildet und ein optisches Filter mit Streifen zur Erzeugung eines Indexsignals entsprechend den engen Ausnehmungen auf der äußeren Oberfläche der Frontplatte angebracht wird.

2. Verfahren zur Herstellung einer Färbfernsehkameraröhre, dadurch gekennzeichnet, daß ein lichtdurchlässiger leitender Film und ein Photowiderstandsfilm nacheinander auf der inneren Oberfläche einer aus einer Faserplatte hergestellten Frontplatte gebildet, der Photowiderstandsfilm mit Lichtstrahlen, die die Frontplatte und eine optische Maske auf der äußeren Oberfläche der'Frontplatte durchlaufen, bestrahlt und zur Bildung eines streifenförmig ausgebildeten Photowiderstandsfilms entwickelt, auf dem lichtdurchlässigen leitenden Film mit dem ihn bedeckenden Photowiderstandsfilm gleichmäßig ein photoelektrisch leitender Film gebildet und ein optisches Filter mit Streifen zur Erzeugung eines Indexsignals entsprechend dem streifen-r förmigen Photowiderstandsfilm auf der äußeren Oberfläche der Frontplatte angebracht wird.

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