DE2258458C3 - Vorrichtung zum fotooptischen Ziehen von Linien - Google Patents

Vorrichtung zum fotooptischen Ziehen von Linien

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DE2258458C3 DE19722258458 DE2258458A DE2258458C3 DE 2258458 C3 DE2258458 C3 DE 2258458C3 DE 19722258458 DE19722258458 DE 19722258458 DE 2258458 A DE2258458 A DE 2258458A DE 2258458 C3 DE2258458 C3 DE 2258458C3
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DE2258458A1 (de
DE2258458B2 (de
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Manfred Bartels
Hans 6050 Offenbach Gueldenpfennig
Wolfgang Dipl.-Ing. Schmitt
Franz Wingerter
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H BERTHOLD AG 1000 BERLIN
Original Assignee
H BERTHOLD AG 1000 BERLIN
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70383—Direct write, i.e. pattern is written directly without the use of a mask by one or multiple beams
    • G03F7/704—Scanned exposure beam, e.g. raster-, rotary- and vector scanning

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