DE2257201A1 - Verfahren zum herstellen eines elektrischen zwischenverbindungs-leiterzugmusters - Google Patents

Verfahren zum herstellen eines elektrischen zwischenverbindungs-leiterzugmusters

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DE2257201A1
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DE2257201A
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English (en)
Inventor
Rudolf August Herbert Heinecke
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TDK Micronas GmbH
Original Assignee
Deutsche ITT Industries GmbH
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Publication date
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    • H10P95/00—
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/02—Local etching
    • H10W20/40—

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ZA727342B (en) 1973-06-27
FR2162038B1 (OSRAM) 1976-04-23
GB1299837A (en) 1972-12-13
FR2162038A1 (OSRAM) 1973-07-13

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