DE2213036C3 - Verfahren zum Gasätzen einer Siliciumnitridschicht - Google Patents

Verfahren zum Gasätzen einer Siliciumnitridschicht

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Peter Gordon Bishops Stortford Hertfordshire Eldridge
Richard Charles George Harlow Essex Swann
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TDK Micronas GmbH
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    • H10P14/6334—
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    • H10P14/6682—
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