DE1934743A1 - Verfahren zum AEtzen von Siliciumnitrid - Google Patents
Verfahren zum AEtzen von SiliciumnitridInfo
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- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 37
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims description 20
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 20
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 16
- MNNHAPBLZZVQHP-UHFFFAOYSA-N diammonium hydrogen phosphate Chemical compound [NH4+].[NH4+].OP([O-])([O-])=O MNNHAPBLZZVQHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000013543 active substance Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 7
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 5
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 4
- 229960002050 hydrofluoric acid Drugs 0.000 description 3
- ISIJQEHRDSCQIU-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2,7-diazaspiro[4.5]decane-7-carboxylate Chemical compound C1N(C(=O)OC(C)(C)C)CCCC11CNCC1 ISIJQEHRDSCQIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 ammonium ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 125000001153 fluoro group Chemical class F* 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229940085991 phosphate ion Drugs 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-N Sulfurous acid Chemical compound OS(O)=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Inorganic Chemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Description
Böblingen, den 4. Juli 1969
gg-gb
Anmelderin:
International Business Machines Corporation, Armonk, N.Y. 10 504
Amtliches Aktenzeichen:
Neuanmeldung
Aktenzeichen der -Anmelderin: Docket PI 968 006
Verfahren zum Ätzen von Siliciumnitrid
Es. hat sich bei Herstellungsverfahren in der Halbleitertechnik gezeigt, daß Siliciumnitrid viele, wesentliche Funktionen übernehmen
kann, für die bisher meist Siliciumdioxyd verwendet wurde.
Siliciumnitrid weist wichtige Eigenschaften auf, die für seine Anwendung in der Halbleitertechnik sprechen. Es ist chemisch
neutral, thermisch stabil, widerstandsfähig gegen Temperatursprünge und es bildet ausgezeichnete porenfreie Schutzüberzüge.
Bei der Anwendung von Siliciumnitirid entstehen jedoch Schwierigkeiten,
wenn man versucht, Siliciumnitrid zu ätzen. Es sind bereits verschiedene Ätzverfahren vorgeschlagen worden, die jedoch
zum größten Teil unbrauchbar sind. Bei einem üblicherweise angewendeten
Verfahren wird Siliciumnitrid in phosphoriger Säure geätzt, wobei Siliciumdioxyd als Maske dient. Im allgemeinen wird
ein Zweikomponenten-System (HpO - PpO1-) verwendet. Beim Ätzen von
Siliciumnitrid mit phosphoriger Säure zeigt es sich, daß eine ziemlich
kritische Steuerung der Wasserkonzentration erforderlich ist. Es ist dazu für den Rückfluß der bei etwa l80°C kochenden phosphorigen
Säure einejkomplizierte Einrichtung notwendig. Außerdem muß Siliciumdioxyd als Maske verwendet werden, da die üblichen
Fotolacke unter den angegebenen Bedingungen keine ausreichende
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Maskierung gewährleisten.
Schließlich wurde für die Ätzung von Siliciumnitrid die Anwendung verschiedener Flußsäurelösungen vorgeschlagen. Dabei
ergaben sich ernsthafte Probleme, da unter den für die Ätzung einer Siliciumnitrid-Schicht von einigen 100 8 Dicke notwendigen
Bedingungen übliche Fotolacke von den Flußsäurelösungen angegriffen werden. Um dieses Problem zu umgehen, wurden bereits
sehr komplexe Chromsilber-Masken verwendet. Zwar wird auf diese Weise das Verfahren funktionsfähig, aber es ist unwirtschaftlich,
da spezielle Verfahrensschritte zur exakten Beschichtung mit Chrom und Silber eingeführt werden müssen.
Es ist das Ziel der Erfindung ein Verfahren zum Ätzen von Siliciumnitrid
anzugeben, das die Verwendung üblicher Fotolacke zu Maskierungszwecken gestattet.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß als Ätzlösung Ammoniumhydrogenphosphat
verwendet wird. Es erweist sich als vorteilhaft, das zu ätzende Siliciumnitrid vor dem Ätzprozeß mit Fotolack
als Maske zu beschichten. Das Verfahren ist besonders vorteilhaft, wenn das Molverhältnis NH1-ZPO2I etwa 0,8 bis 1,5 beträgt.
Insbesondere wird der Ätzprozeß im Temperaturbereich von etwa 1900C bis 235°C durchgeführt. Ein weiterer Vorteil für das
erfindungsgemäße Verfahren ergibt sich daraus, daß dem Ammoniumhydrogenphosphat ein kapillaraktiver Wirkstoff zugesetzt wird.
Im Folgenden wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand eines
Ausführungsbeispiels beschrieben. Dabei zeigt:
Fig. 1 eine Darstellung der Ätzgeschwindigkeit (A/min.) in
Abhängigkeit von der Temperatur (0C) und
Fig. 2 eine Darstellung der Ätzgeschwindigkeit (8/min.) bei
verschiedenen Molverhältnissen der Ammonium-Ionenkonzentration zur Phosphat-Ionenkonzentration.
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Docket FI 968 006
Das erfindungsgemäße Verfahren gestattet das Ätzen von Siliciumnitrid,
wobei zu Maskierungszwecken direkt üblicher Fotolack verwendet werden kann, ohne daß komplizierte Maskierungstechniken
anzuwenden wären. Beim Ätzen eines Siliciumnitrid-Substrats, das mitgebräuchlichen Fotolacken maskiert ist, müssen
zwei wesentliche Prozeßparameter sorgfältig kontrolliert werden. Die Temperatur desjÄtzbades muß etwa im Bereich von 1900C bis
235 C gehalten werden. Um optimale Ergebnisse zu erreichen, sollte das Molverhältnis von Ammonium-Ionen" zu Phosphat-Ionen etwa
im Bereich von 0,8 bis 1,5 gehalten werden. Die niederste Temperatur, bei der das erfindungsgemäße Verfahren noch wirkungsvoll
ist, liegt bei etwa 190°C, da bei dieser Temperatur die Verfestigung des Ätzmittels eintritt. Unterhalb dieser Temperatur
nimmt die Ätzwirkung des Ammoniumhydrogenphosphats schnell ab. Bei Temperaturen über 235 C zersetzt sich das Ätzmittel unter
Freiwerden von Ammoniakgas, so daß die Beendigung des Ätzprozesses erforderlich wird.
Es hat sich gezeigt, daß eine Temperatur von 220 C eine geeignete obere Temperaturgrenze für das Ätzverfahren darstellt. Diese
Temperaturgrenze ergibt sich aus der Tatsache, daß die meisten gebräuchlichen Fotolacke oberhalb dieser Temperatur anfangen zu
versagen.
Aus der Fig. 1 ist zu ersehen, daß die Ätzgeschwindigkeit mit der Temperatur linear zunimmt. Fig. 2 zeigt dagegen die Geschwindigkeit,
mit der Siliciumnitrid geätzt wird, in Abhängigkeit vom Molverhältnis der Ammonim-Ionen zu den Phosphat-Ionen,
wobei die Temperatur bei veränderlichem Molverhältnis bei 210 C konstant gehalten wird. Der Verlauf zeigt, daß die Ätzgeschwindigkeit
mit abnehmendem Molverhältnis linear zunimmt. Das dimensionslose Molverhältnis ergibt sich aus der Ammonium-Ionenkonzentration
in Mol geteilt durch die Phosphat-Ionenkonzentration in Mol. Es ist darauf hinzuweisen, daß die Durchführung des erfindungsgemäßen
Verfahrens auch bei Molverhältnissen unter 0,8 in Erwägung gezogen wurde. Die Festlegung der untersten Grenze des
Decket FI 968 006 90388Ä/1B42
• Molverhältnisses auf 0,8 entspringt rein praktischen Gründen.
Es hat sich nämlich gezeigt, daß bei Molverhältnissen, unter
0,8 derzeit gebräuchliche Fotolacke versagen. Sobaldpedoch ;i
widerstandsfähigere Fotolacke erhältlich sein werden, kann
auch das Molverhältnis weiter vermindert werden.
Auch die obere Grenze des Molverhältnisses wurde aus praktischen Gründen festgelegt. Es zeigt sich, daß bei Molverhältnissen
oberhalb von 1,5 die Ätzgeschwindigkeit zu gering wird, um wirtschaftliche noch tragbar zu sein. Spielt jedoch die Ätzzeit
keine Rolle, sind also geringere Ätzgeschwindigkeiten tragbar, so kann das Molverhältnis auch über 1,5 gewählt werden.
Um eine Vergleichsmöglichkeit zu bieten, sei angegeben, daß beim Ätzen von phophordotiertem Siliciumdioxyd mit Ammoniumhydrogenphosphat
eine Ätzgeschwindigkeit von 1,965 8/min. erreicht wird, daß beim Ätzen von bordotiertem Siliciumdioxyd eine Ätzgeschwindigkeit
von etwa 143 S/min, erreicht wird und daß schließlich
beim Ätzen von undotiertem Siliciumdioxyd Ätzgeschwindigkeiten zwischen 0 und 20 S/min, auftreten. Die Abweichung von der
Ätzgeschwindigkeit 0 ist wahrscheinlich eine Folge von Verunreinigungen
im Siliciumdioxyd. Auch die hier festgestellten Ätzgeschwindigkeiten ergeben sich bei einer Temperatur von 210 C.
Die im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ermittelten
Werte ergeben sich bei Durchführung des Verfahrens unter Atmosphärendruck. Es ist demzufolge anzumehmen, daß sich die Werte
bei anderen Druckverhältnissen etwas ändern.
Der Beschreibung eines speziellen Ausführungsbeispiels seien
einige allgemeine Feststellungen vorangestellt, die bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zusätzlich von
Bedeutung sein können.
Es hat sich gezeigt, daß die Bewegung des Ätzmittels während
des Ätzprozesses aus folgenden Gründen zweckmäßig iet. Die
Docket FI 968 006 90S83W1642
Bewegung des Ätzmittels stellt eine einheitliche Temperatur im
Ätzbad und außerdem einen gleichmäßigen Ätzvorgang sicher, da ein ausreichender Kontakt zwischen Ätzmittel und Oberfläche des zu
ätzenden Materials hergestellt wird.
Es ist außerdem im allgemeinen erforderlich, das Ätzmittel nach dem Ätzprozeß vom geätzten Substrat abzuwaschen, da sich das
Ätzmittel sonst verfestigt und auf dem Substrat eine harte Kruste bildet. Zwar sind mehrere Möglichkeiten bekannt, diese Kruste
zu entfernen, es ist jedoch wesentlich wirtschaftlicher das restliche anhaftende Ätzmittel mit heißem entionisiertem Wasser
zu entfernen.
An das erfindungsgemäß direkt auf das zu ätzende Siliciumnitrid als Maske aufzubringende Fotolaekmaterial ist lediglich die Bedingung
zu stellen, daß es bei den vorkommenden Temperaturen seine ihm zugedachte Aufgabe effektiv erfüllen kann.
Falls erförderlich, kann dem Ätzbad ein kapillaraktiver Wirkstoff
zugesetzt werden 9 so daß die Oberflächenspannung des Ätzmittels
reduziert und damit die Menge des beim Entfernen des Substrats aus dem Ätzbad am Substrat haftenden Ätzmittels vermindert
wird.
Zusätzlich kann es vorteilhaft sein, dem Ätzbad zur Verstärkung der Wirksamkeit etwas Fluorsalz zuzusetzen. Es ist dabei jedoch
zu beachten, daß Fluorsalz die Haftfähigkeit des Fotolackes herabsetzt.
Unter Einbeziehung dieser Feststellungen wird im Folgenden ein spezielles Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens
beschrieben,
Das au ätzende Siliciumnitrid-Substrat wird zunächst in einer
schwefligen Säurelösung gereinigt. Anschließend wird das Substrat einer kurzen Behandlung mit gepufferter Fluorsäure unterzogen.
Docket FI 968 006 9098SA/1642
Nach Aufbringen von Fotolack wird das Substrat in einer Zentrifuge
auf 3 600 Umdrehungen pro Minute beschleunigt, um eine gleichmäßige
Verteilung des Fotolacks auf der Oberfläche zu gewährleisten. Das auf diese Weise mit Fotolack beschichtete Substrat wird
dann während der Dauer von drei Minuten bei 90 - 950C auf einer
heißen Platte vorgetrocknet. Anschließend erfolgt die Belichtung des Fotolacks entsprechend dem gewünschten Ätzmuster. Nach der
Entwicklung erfolgt die Wässerung in zwei Butylacetat-Bädern. . Schließlich wird das Substrat während einer Dauer von einer Stunde
bei einer Temperatur von 2450C getrocknet.
Der Ätzprozeß selbst findet in einem geeigneten Gefäß statt, das das Ätzmittel und das Siliciumnitrid-Substrat aufnimmt. Gewöhnlich
ist ein derartiges Gefäß von einem elektrisch gespeisten Heizmantel umgeben, über den die erforderliche Wärme zugeführt
wird. Das zu ätzende Substrat wird in das in diesem Gefäß untergebrachte, geschmolzene Ammoniumhydrogenphosphat, das auf einer
Temperatur von 2100C gehalten wird, eingebracht. Für das Abätzen
von jeweils 1 000 S werden 15 Minuten Ätzzeit veranschlagt. Bei einer Temperatur von 210 C beträgt die Ätzgeschwindigkeit bei
einem Molverhältnis von 1,02 etwa 67 S/min. Nach 35 Minuten Ätzzeit
wird das Substrat aus dem Ätzbad entnommen. Die Fotolack schicht wird entfernt und das Substrat wird gewässert.
Es ist darauf hinzuweisen, daß im Ammoniumhydrogenphosphat Wasser absorbiert sein kann. Beim Schmelzen des Phosphats entweicht
der größte Teil des Wassers. Es ist jedoch möglich, daß ein Teil des absorbierten Wassers während des Ätzprozeßes ausgetrieben
wird, so daß das Substrat dadurch mehrere Male an die Oberfläche des Ätzbades geschwemmt wird. Im allgemeinen ist sämtliches absorbierte
Wasser nach einer Ktzzeit von 15 Minuten entwichen, so daß dann das Substrat nicht mehr an die Oberfläche geschwemmt
wird. Dieser Vorgang hat keinen Einfluß auf den Ätzprozeß, wenn die Zeiträume, während der das Substrat beim Aufschwemmen nicht
in das Ätzmittel eintaucht, nicht zu groß sind.
909884/1642-
Docket FI 9-68-OOb
Claims (1)
- PATENTANSPRÜCHEVerfahren zum Ätzen von Siliciumnitrid, dadurch gekennzeichnet, daß als Ätzlösung Ammoniumhydrogenphosphat verwendet wird.Verfahren nach Anspruch 1,- dadurch gekennzeichnet, daß das zu ätzende Siliciumnitrid vor dem' Ätzprozeß mit Fotolack als Maske beschichtet wird.Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Molverhältnis NH^/PO^ etwa 0,8 bis 1,5 beträgt.Verfahren nach Ansprüchen 1-3 dadurch gekennzeichnet, daß der Ätzprozeß im Temperaturbereich von etwa 1900G bis 235°C durchgeführt wird.Verfahren nach Ansprüchen 1 - k, dadurch gekennzeichnet, daß dem Ammoniumhydrogenphosphat ein kapillaraktiver Wirkstoff zugesetzt wird.909884/164/
Docket FI 9-68-006
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US74529268A | 1968-07-16 | 1968-07-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1934743A1 true DE1934743A1 (de) | 1970-01-22 |
DE1934743B2 DE1934743B2 (de) | 1971-04-29 |
Family
ID=24996075
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19691934743 Withdrawn DE1934743B2 (de) | 1968-07-16 | 1969-07-09 | Verfahren zum aetzen von siliciumnitrid |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3706612A (de) |
JP (1) | JPS4841440B1 (de) |
DE (1) | DE1934743B2 (de) |
FR (1) | FR2014621A1 (de) |
GB (1) | GB1209889A (de) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1423448A (en) * | 1973-07-18 | 1976-02-04 | Plessey Co Ltd | Method of selectively etching silicon nitride |
US4075367A (en) * | 1976-03-18 | 1978-02-21 | Ncr Corporation | Semiconductor processing of silicon nitride |
US5341805A (en) * | 1993-04-06 | 1994-08-30 | Cedars-Sinai Medical Center | Glucose fluorescence monitor and method |
US5503559A (en) * | 1993-09-30 | 1996-04-02 | Cedars-Sinai Medical Center | Fiber-optic endodontic apparatus and method |
US5456252A (en) * | 1993-09-30 | 1995-10-10 | Cedars-Sinai Medical Center | Induced fluorescence spectroscopy blood perfusion and pH monitor and method |
CA2385527A1 (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-09 | Neks Recherche & Developpement Inc. | Device and method to detect dental root canal apical foramina and other structures |
DE102004025000A1 (de) | 2004-05-21 | 2005-12-08 | Bayer Technology Services Gmbh | Verfahren zur Herstellung von chemischen und pharmazeutischen Produkten mit integrierter Mehrsäulen-Chromatographie |
-
1968
- 1968-07-16 US US745292A patent/US3706612A/en not_active Expired - Lifetime
-
1969
- 1969-06-25 FR FR6921607A patent/FR2014621A1/fr not_active Withdrawn
- 1969-07-07 GB GB34104/69A patent/GB1209889A/en not_active Expired
- 1969-07-09 DE DE19691934743 patent/DE1934743B2/de not_active Withdrawn
- 1969-07-15 JP JP44055511A patent/JPS4841440B1/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS4841440B1 (de) | 1973-12-06 |
GB1209889A (en) | 1970-10-21 |
US3706612A (en) | 1972-12-19 |
FR2014621A1 (de) | 1970-04-17 |
DE1934743B2 (de) | 1971-04-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
SH | Request for examination between 03.10.1968 and 22.04.1971 | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |