DE2138800A1 - Vorrichtung zum Analysieren, insbesondere zum Messen von Elektronenenergie - Google Patents
Vorrichtung zum Analysieren, insbesondere zum Messen von ElektronenenergieInfo
- Publication number
- DE2138800A1 DE2138800A1 DE19712138800 DE2138800A DE2138800A1 DE 2138800 A1 DE2138800 A1 DE 2138800A1 DE 19712138800 DE19712138800 DE 19712138800 DE 2138800 A DE2138800 A DE 2138800A DE 2138800 A1 DE2138800 A1 DE 2138800A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sample
- magnetic field
- electrons
- opening
- analyzing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP45072621A JPS5129437B1 (ar) | 1970-08-19 | 1970-08-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2138800A1 true DE2138800A1 (de) | 1972-03-30 |
Family
ID=13494621
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19712138800 Pending DE2138800A1 (de) | 1970-08-19 | 1971-08-03 | Vorrichtung zum Analysieren, insbesondere zum Messen von Elektronenenergie |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5129437B1 (ar) |
DE (1) | DE2138800A1 (ar) |
FR (1) | FR2104427A5 (ar) |
GB (1) | GB1367302A (ar) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8609740D0 (en) * | 1986-04-22 | 1986-05-29 | Spectros Ltd | Charged particle energy analyser |
US5506414A (en) * | 1993-03-26 | 1996-04-09 | Fisons Plc | Charged-particle analyzer |
GB201622206D0 (en) | 2016-12-23 | 2017-02-08 | Univ Of Dundee See Pulcea Ltd Univ Of Huddersfield | Mobile material analyser |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3479505A (en) * | 1966-06-30 | 1969-11-18 | Applied Res Lab | Method of operating an ion microprobe using secondary elections |
-
1970
- 1970-08-19 JP JP45072621A patent/JPS5129437B1/ja active Pending
-
1971
- 1971-08-03 DE DE19712138800 patent/DE2138800A1/de active Pending
- 1971-08-17 FR FR7129971A patent/FR2104427A5/fr not_active Expired
- 1971-08-19 GB GB3908071A patent/GB1367302A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1367302A (en) | 1974-09-18 |
FR2104427A5 (ar) | 1972-04-14 |
JPS5129437B1 (ar) | 1976-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3689490T2 (de) | Elektronenstrahlprüfsonde zur Untersuchung integrierter Schaltungen. | |
EP0218829B1 (de) | Anordnung zur Detektion von Sekundär- und/oder Rückstreuelektronen in einem Elektronenstrahlgerät | |
DE1937482A1 (de) | Mikrostrahlsonde | |
DE2335304A1 (de) | Abtastelektronenmikroskop | |
DE3126575C2 (de) | Vorrichtung zur Erfassung der Sekundärelektronen in einem Rasterelektronenmikroskop | |
EP0105439A2 (de) | Spektrometerobjektiv mit parallelen Objektiv- und Spektrometerfeldern für die Potentialmesstechnik | |
DE2116289C3 (de) | Rasterelektronenmikroskop | |
DE112017007063T5 (de) | Ladungsträgerstrahlvorrichtung | |
DE3045013C2 (ar) | ||
DE2136460A1 (de) | Röntgenstrahlenquelle | |
DE2705430C3 (de) | Elektrostatischer Analysator für geladene Teilchen | |
DE2304159A1 (de) | Ionen-mikroanalysator | |
DE2411841C3 (de) | Auger-Elektronenspektrometer | |
DE2138800A1 (de) | Vorrichtung zum Analysieren, insbesondere zum Messen von Elektronenenergie | |
DE2440120A1 (de) | Vorrichtung zur wiedergabe der energieverteilung eines aus geladenen teilchen bestehenden strahles | |
DE1950938A1 (de) | Massenspektrograph | |
DE2730889C2 (de) | Einrichtung zur ortsauflösenden Materialuntersuchung einer Probe | |
DE2012431A1 (de) | Elektronenstrahlgerät | |
DE2752933A1 (de) | Elektronenmikroskop | |
DE2414221A1 (de) | Teilchenoptisches geraet fuer die ionenstreuungsspektrometrie und sekundaerionenmassenspektrometrie | |
DE2022132A1 (de) | Spektrometer | |
DE3211022A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bereitstellung einer fuer die untersuchung mit einem elektronenmikroskop geeigneten probe | |
DE2835978A1 (de) | Energieanalysator zur analyse der energie geladener teilchen | |
DE2245397C3 (de) | Abtast-Elektronenmikroskop | |
DE2216821B1 (de) | Analysegerät zur Untersuchung einer Meßprobe mittels ausgelöster Auger-Elektronen |