DE2123740C3 - Verfahren zum Herstellen einer lichtabsorbierenden Schicht - Google Patents

Verfahren zum Herstellen einer lichtabsorbierenden Schicht

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DE2123740C3
DE2123740C3 DE19712123740 DE2123740A DE2123740C3 DE 2123740 C3 DE2123740 C3 DE 2123740C3 DE 19712123740 DE19712123740 DE 19712123740 DE 2123740 A DE2123740 A DE 2123740A DE 2123740 C3 DE2123740 C3 DE 2123740C3
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methyl cellulose
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light
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Arthur 7900 Ulm Geyer
Otto Dipl.-Chem. 7901 Wangen Marzel
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Licentia Patent Verwaltungs GmbH
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer lichtsorbierenden Schicht, die die Leuctmtoffpunkte eines Leuchtschirmes einer Farbbildkathodenstrahlröhre umrahmt unter Verwendung eines Positiv-Fotolackes, dessen Wasserlöslichkeit durch Elektronenstrahlung beeinflußbar ist
Es ist aus der DE-AS 10 59 028 bereits bekannt, die einzelnen Leuchtstoffpünkte mittels elftes optischen Fotodruckverfährcns mit einer zusätzlichen schwarzen, lichtabsorbierendeh Schicht zu umrahmet), Um die fteflexiofi des Umgebungslichtes wenigstens teilweise zu unterdrücken. Diese Schicht hat die Form einer mit einer Vielzahl von Lochern versehenen oder aus Streifen bestehenden dunklen Folie, in deren Äusnelv mungen die Leuchtstoffelemente angeordnet sind. Man erzielt durch diese zusätzliche Leuchtstoffpunktumrahmung eine merkliche Kontrastverbesserung. Die Herstellung dieser Schicht erfordert zusätzliche Arbeitsgän-■> ge, die verhätenismäßig kompliziert sind und die die Gefahr eines Fertigungsausfalles erhöhen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art so auszugestalten, daß es zur Belichtung mit Elektronen
ίο besonders geeignet ist und keine schwierigen Entwicklungsverfahren erfordert
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß als Positiv-Fotolack eine wäßrige Methylcelluloselösung verwendet wird, daß die durch Elektronenbeaufschlagung warm-
ii wasserlöslich gemachten Flächenteile mittels erwärmten Wassers entfernt werden und daß die zurückbleibenden nicht von Elektronen beaufschlagter Flächenteile mittels eines Gerbmittels kaltwasserunlöslich gemacht werden.
Durch die Verwendung von Methylcellulose zum Aufbringen der lichtabsorbierenden Schicht ist es möglich, ein im Vergleich zur genannten DE-AS weniger Verfahrensschritte erforderndes Positiv-Verfahren anzuwenden, wobei zur Entwicklung, also zum
Herauswachsen der belichteten Flächenteile der Schicht, mit Wasser gearbeitet werden kann. Auch eignet sich Methylcellulose besonders gut für die Belichtung mit Elektronen.
Das Verfahren eignet sich zum Herstellen einer
jo lichtabsorbierenden Schicht sowohl vor als auch nach dem Aufbringen der Leuchtstoffpunkte. Es ist jedoch bevorzugt, diese lichtabsorbierende Schicht vor Aufbringen der Leuchtstoffpunkte auf dem Leuchtschirmträger aufzubringen.
H Die Herstellung der hchtabsorbierenden Schicht geschieht bei einem Ausführungsbeispiel in der Weise, daß man eine wäßrige Methylcelluloseschicht auf den Leuchtschirmträger aufbringt. Diese Schicht ist mit einem elektrisch leitenden und lichtabsorbierenden
■ι« Pigment, insbesondere Graphit vermischt. Nach Trocknen dieser Schicht wird diese durch die zwischenzeitlich einzuknöpfende Lochmaske hindurch mittels der drei Elektronenstrahlen des Elektronenstrahlerzeugungssystems der Röhre belichtet Die horizontale und vertikale
4ί Ablenkung geschieht durch die übliche Ablenkeinheit mit den bei Betrieb üblichen Ablenkströmen Um einen Punkidurchmesser auf der elektronenabsorbierenden Schicht /u erhalten, der kleiner ist als die Öffnungen in der Schattenmaske, ist es zweckmäßig, die Schatten-
i» maske auf ein Potential zu legen, das negativer ist als das Potential der hchtabsorbierenden Schicht. Dadurch werden die Elektronenstrahl fokussiert.
Nach der Belichtung durch Elektronen wird der erwärmte Schirm mit erwärmten Wasser entwickelt.
v, Methylcellulose ist im kalten Wasser löslich, in heißem Wasspr dappgpn unlöslich. Infoke <'<■'■ Re'if'hli'nq Hurch Elektronen wird nun die Methylcelluloseschicht an den von F.lektronen getroffenen Flächenteilen erwärmten Wasser löslich. Bei der Fntwuklung nut erwärmten Wasser, vorzugsweise mit Wasser zwischen 40"C und 700C, Werden also die Von Elektronen getroffenen Fliichenteile ausgespült urifcli es Verbleiben in Form einer dünnen Folie mit einer Vielzahl von Löchern, die zwar kaltwasserlöslichcn, jedoch warmwasserunlöslichen
Flächenteile der lichtabsorbierenden Melhylcellulose' schicht.
Für die späteren AufbrifigVeffahren der Leuchtstoff' punkte ist es zweckmäßig, daß dieses aufgebrachte
Zl 2ό
; Lochraster gegen Wasser gänzlich unlöslich gemacht
wird. Dies geschieht am besten mit Hilfe eines Gerbmittels, mit welchem die Schicht beispielsweise besprüht wird. Als Gerbmittel sind Stoffe geeignet, die zu einer irreversiblen Fällung von Methylcellulose aus wäQrigen Lösungen führen, wie z, B. Tannin oder Gerbsäure.

Claims (7)

21 26 740 Patentansprüche:
1. Verfahren zum Herstellen einer lichtabsorbierenden Schicht, die die Leuchtstoffpunkte eines Leuchtschirms einer Farbbildkathodenstrahlröhre umrahmt unter Verwendung eines Positiv-Fotolakkes, dessen Wasserlöslichkeit durch Elektronenstrahlung beeinflußbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß als Positiv-Fotolack eine wäßrige Methylcelluloselösung verwendet wird, daß die durch Elektronenbeaufschlagung warmwasserlöslich gemachten Flächenteile mittels erwärmten Wassers entfernt werden und daß die zurückbleibenden nicht von Elektronen, beaufschlagten Flächenteile mittels eines Gerbmittels kaltwasserunlöslich gemacht werden.
2. Verfahren nach Anspruch I1 dadurch gekennzeichnet, daß eine Methylcelluloselösung mit einer Konzentration von 0,1 bis 10 Volumenprozenten, insbesondere von 1 bis 2 Volumenprozenten verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Methylcellulose verwendet wird, deren durchschnittlicher Polymerisationsgrad zwischen 100 und 1000. vorzugsweise bei etwa 200 liegt
4. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Methylcellulose verwendet wird, deren durchschnitt-Sicher Substitutionsgrad zwischen 1 und 3, insbesondere zwischen 1,5 und 2 liegt.
5. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichne!, daß der Methylcellulose als lichtabsorbierendes Mittel Graphit zugemischt wird.
6. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet daß das Entfernen (Entwickeln) der mit Elektronen beaufschlagten Flächenteile der Mcthylcelluloseschicht mit auf eine Temperatur zwischen 35"C und 90° C. vorzugsweise 4O0C bis 70°C erwärmtem Wasser vorgenommen wird.
7. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche I bis 6. dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronenbeaufschlagung der Methylcellulose· schicht durch eine Lochmaske hindurch erfolgt und die lochmaske während der Elektronenbeaufschlagung auf ein Potenual gelegt wird, das gegenüber dem an dem Leuchtschirmträger anliegenden Potential negativ ist
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DE2123740A1 DE2123740A1 (en) 1972-11-16
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DE2151852C2 (de) * 1971-10-19 1983-04-28 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zum Herstellen eines Leuchtschirmes
NL7510274A (nl) * 1975-09-01 1977-03-03 Philips Nv Werkwijze voor het vervaardigen van een kathode- straalbuis met een inwendige geleidende bedek- king, inrichting voor het uitvoeren van de werk- wijze en buis verkregen volgens deze werkwijze.

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