DE2118977C3 - Verfahren zum Aufdampfen haftfester Silberschichten auf Titan oder Titanlegierungen - Google Patents
Verfahren zum Aufdampfen haftfester Silberschichten auf Titan oder TitanlegierungenInfo
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Aufdampfen von Silber auf Titan oder Titanlegierungen,
wobei in an sich bekannter Weise Zwischenschichten zur Erhöhung der Haftfestigkeit verwendet
werden.
Es ist bereits bekannt, Metalle oder auch Nichtmetalle mit Silber zu bedampfen. Da jedoch in vielen
Fällen das Silber nur eine ungenügende Haftfestigkeit aufweist, wenn es unmittelbar auf das Substrat
aufgedampft wird, ist bereits vorgeschlagen worden. Zwischenschichten zwischen Substrat und Silberschicht
zu verwenden, die die Hafttestigkeit erhöhen. So ist es bekannt, für die Spiegel von Fahrzeugscheinwerfern
zunächst Chrom und anschließend Kupfer aufzudampfen, das seinerseits die Unterlage
für die Silberschicht bildet.
Es ist auch bereits bekannt, die Grenzschichten der einzelnen Substanzen als Mischschichten auszubilden.
Diese bisher bekannten Verfahren und die bekannten Schichtenfolgen haben sich jedoch als noch
nicht ausreichend erwiesen, wenn eine Silberschicht auf Titan oder eine Titanlegierung aufgebracht werden
soll.
Die Haftfestigkeit einer Silberschicht auf Titan oder einer Titanlegierung läßt sich erfindungsgemäß
beträchtlich erhöhen, wenn auf das Titan oder die Titanlegierung zuerst eine Schicht aus Reinsttitan
und anschließend in an sich bekannter Weise Schichten aus Nickel, Kupfer und Silber aufgedampft werden.
Dabei können die Grenzschichten zwischen den einzelnen Substanzen als Mischschichten ausgebildet
sein. Vorzugsweise liegt die Dicke der Einzelschichten zwischen etwa 100 nm und 300 nm. Falls erforderlich
kann die Silberschicht anschließend galvanisch verstärkt werden.
Das Aufbringen einer Silberschicht auf Titan oder Titanlegierungen hat sich als zweckmäßig erwiesen,
wenn das Titan beispielsweise mit Stahl in Reibungsberührung gebracht werden muß. Die Silberschicht
verhindert dabei die sonst auftretende Reibungskorrosion des Titans, die sehr schnell zu einer Zerstörung
der Titanoberfläche führt.
Nachfolgend ist ein Beispiel für die Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung angegeben.
Die metallisch rauhe Titanoberfläche wird mit einer Titanbeize vorbehandelt und anschließend in
Vakuum in einer Argonatmosphäre bei etwa 10~- Torr gespült. Daran anschließend wird die Oxidhaut
durch Ionenätzung beseitigt, wobei gleichzeitig eine Erwärmung der Titanunterlage auf etwa 350 bis
400° C eintritt. Nach einer Herabsetzung des Drukkes in der VakuumJage auf etwa 10~e Torr wird zunächst
eine Titanschicht aus Reinsttitan mit einer Schichtdicke von etwa 200 nm aufgedampft. Das
Verdampfen des Titans erfolgt zweckmäßig unter Anwendung einer Elektronenstrahlkanone.
Anschließend wird eine etwa 100 nm dicke Nickelschicht aufgedampft, auf die eine Kupferschicht von
etwa 200 bis 250 nm folgt. Es ist zweckmäßig, die Grenzschichten der Nickel- und der Kupferschichten
als Mischschichten, mit einem allmählichen Übergang von reinem Nickel zum reinen Kupfer, auszubilden.
Auf die Kupferschicht wird dann eine Silberschicht aufgedampft, wobei die Grenzschicht der
Kupfer- und der Silberschicht ebenfalls vorzugsweise als Mischschicht ausgebildet wird.
Die Dicke der einzelnen Schichten kann selbstverständlich auch geringer sein als in dem hier angegebenen
Beispiel, wenn die Oberfläche des Substrats aus Titan oder einer Titanlegierung durch eine cntsprechende
Oberflächenbehandlung besser ist, als die Oberfläche des Substrats nach dem Beispiel, die
durch eine spanabhebende Behandlung hergestellt wird.
Die außerordentliche Haftfestigkeit der so aufgedampften Silberschicht ist im wesentlichen darauf zurückzuführen,
daß als erste Zwischenschicht eine Schicht aus Reinsttitan verwendet worden ist. Versuche
mit anderen Schichten, die als erste Zwischenschicht auf die Titanunterlage aufgedampft wurden,
ergaben wesentlich geringere Haftfestigkeiten.
Das beruht wahrscheinlich darauf, daß die Titanschicht ein weitgehend ungestörtes Kristallgitter bildet,
auf dem die nachfolgende Nickelschicht besonders gut haftet.
Claims (3)
1. Verfahren zum Aufdampfen haftfester Silberschichten
auf Titan und TitanJegierungen unter Anwendung von Zwischenschichten zur Erhöhung
der Haftfestigkeit, dadurch gekennzeichnet,
daß auf das Titan unmittelbar eine Schicht aus Reinsttitan und anschließend Schichten
aus Nickel, Kupfer und Silber aufgedampft werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschichten eine
Dicke von etwa 100 bis 300 nm aufweisen.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Silberschicht galvanisch
verstärkt wird.
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Also Published As
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