DE2118977B2 - Verfahren zum Aufdampfen haft fester Silberschichten auf Titan oder Titanlegierungen - Google Patents

Claims (3)

1 2 sein. Vorzugsweise liegt die Dicke der Einzelschich- Patentaisprüche: ten zwischen etwa 100 mn und 300 mn. Falls erfor derlich kann die Silberschicht anschließend galva-

1. Verfahren zum Aufdampfen haftfester SiI- nisch verstärkt werden.

beschichten auf Titan und Titanlegierungen un- 5 Das Aufbringen einer Silberschicht auf Titan oder

ter Anwendung von Zwischenschichten zur Erhö- Titanlegierungen hat sich als zweckmäßig erwiesen,

hung der Haftfestigkeit, dadurch gekenn- wenn das Titan beispielsweise mit Stahl in Reibungs-

zeichnet, daß auf das Titan unmittelbar eine berührung gebracht werden muß. Die Silberschicht

Schicht aus Reinsttitan und anschließend Schich- verhindert dabei die sonst auftretende Reibungskor-

ten aus Nickel, Kupfer und Silber aufgedampft io rosion des Titans, die sehr schnell zu einer Zerstö-

werden. rung der Titanoberfläche führt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- Nachfolgend ist ein Beispiel für die Durchführung kennzeichnet, daß die Zwischenschichten eine des Verfahrens nach der Erfindung angegeben.
Dicke von etwa 100 bis 300 mn aufweisen. Die metallisch rauhe Titanoberfläche wird mit

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch 15 einer Titanbeize vorbehandelt und anschließend in gekennzeichnet, daß die Silberschicht galvanisch Vakuum in einer Argonatmosphäre bei etwa 10~² verstärkt wird. Torr gespült. Daran anschließend wird die Oxidhaut

durch Ionenätzung beseitigt, wobei gleichzeitig eine Erwärmung der Titanunterlage auf etwa 350 bis

20 400° C eintritt. Nach einer Herabsetzung des Druk-

kes in der Vakuumlage auf etwa 10~° Torr wird zunächst eine Titanschicht aus Reinsttitan mit einer

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Schichtdicke von etwa 200 nm aufgedampft. Das Aufdampfen von Silber auf Titan oder Titanlegierun- Verdampfen des Titans erfolgt zweckmäßig unter gen, wobei in an sich bekannter Weise Zwischen- 25 Anwendung einer Elektronenstrahlkanone.
schichten zur Erhöhung der Haftfestigkeit verwendet Anschließend wird eine etwa 100 nm dicke Nickelwerden, schicht aufgedampft, auf die eine Kupferschicht von

Es ist bereits bekannt, Metalle oder auch Nichtme- etwa 200 bis 250 nm folgt. Es ist zweckmäßig, die talle mit Silber zu bedampfen. Da jedoch in vielen Grenzschichten der Nickel- und der Kupferschichten Fällen das Silber nur eine ungenügende Haftfestig- 30 als Mischschichten, mit einem allmählichen Uberkeit aufweist, wenn es unmittelbar auf das Substrat gang von reinem Nickel zum reinen Kupfer, auszuaufgedampft wird, ist bereits vorgeschlagen worden. bilden. Aui die Kupferschicht wird dann eine Silber-Zwischenschichten zwischen Substrat und Silber- schicht aufgedampft, wobei die Grenzschicht der schicht zu verwenden, die die Haftfestigkeit erhöhen. Kupfer- und der Silberschicht ebenfalls vorzugsweise So ist es bekannt, für die Spiegel von Fahrzeug- 35 als Mischschicht ausgebildet wird.
Scheinwerfern zunächst Chrom und anschließend Die Dicke der einzelnen Schichten kann selbstver-

Kupfer aufzudampfen, das seinerseits die Unterlage ständlich auch geringer sein als in dem hier angegefür die Silberschicht bildet. benen Beispiel, wenn die Oberfläche des Substrats

Es ist auch bereits bekannt, die Grenzschichten aus Titan oder einer Titanlegierung durch eine entder einzelnen Substanzen als Mischschichten auszu- 40 sprechende Oberflächenbehandlung besser ist, als die bilden. Oberfläche des Substrats nach dem Beispiel, die

Diese bisher bekannten Verfahren und die be- durch eine spanabhebende Behandlung hergestellt kannten Schichtenfolgen haben sich jedoch als noch wird.

nicht ausreichend erwiesen, wenn eine Silberschicht Die außerordentliche Haftfestigkeit der so aufge-

auf Titan oder eine Titanlegierung aufgebracht wer- 45 dampften Silberschicht ist im wesentlichen darauf zuden soll. rückzuführen, daß als erste Zwischenschicht eine

Die Haftfestigkeit einer Silberschicht auf Titan Schicht aus Reinsttitan verwendet worden ist. Ver- oder einer Titanlegierung läßt sich erfiridungsgemäß suche mit anderen Schichten, die als erste Zwischenbeträchtlich erhöhen, wenn auf das Titan oder die schicht auf die Titanunterlage aufgedampft wurden, Titanlegierung /.uerst eine Schicht aus Reinsttitan 50 ergaben wesentlich geringere Haftfestigkeiten,
und anschließend in an sich bekannter Weise Schich- Das beruht wahrscheinlich darauf, daß die Titan-

ten aus Nickel, Kupfer und Silber aufgedampft wer- schicht ein weitgehend ungestörtes Kristallgitter bilden. Dabei können die Grenzschichten zwischen den det, auf dem die nachfolgende Nickelschicht besoneinzelnen Substanzen als Mischschichten ausgebildet ders gut haftet.