DE2116190C3 - Vorrichtung zum Beschichten großflächiger Platten wie Glasscheiben, Keramik- oder Kunststoffplatten und dergleichen mittels Kathodenzerstäubung - Google Patents

Vorrichtung zum Beschichten großflächiger Platten wie Glasscheiben, Keramik- oder Kunststoffplatten und dergleichen mittels Kathodenzerstäubung

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