DE2105845A1 - Verfahren zur additiven Herstellung von gedruckten Leiterplatten - Google Patents
Verfahren zur additiven Herstellung von gedruckten LeiterplattenInfo
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Description
Leiterplatten
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von gedruckten leiterplatten nach dem additiven Verfahren
und betrifft insbesondere ein Verfahren zur Erzeugung von gedruckten Leiterplatten mit einer besseren Verbindung
der gedruckten metallischen Schaltung mit der Oberfläche des nicht leitfähigen Schichttragera· Die Erfindung
ist auf ein Verfahren gerichtet, das auf zur Verwendung als gedruckte Leiterplatten besonders erwünschte wärmegehärtete
Harzschichtträger und insbesondere auf epoxyharz-glasfaserverstärkte
Schichtträger der im Handel als "G~10"~Platten
bekannten Art anwendbar isto Unter Verwendung des Verfahrens nach der Erfindung sind die verschiedensten Zwischenherstellungsausführungen
von gedruckten Leiterplatten möglich, die hier beschrieben sind»
Fach dem bisher bekannten Stande der Technik sind im wesentlichen zwei verschiedenartige Verfahren zur Herstellung von
gedruckten Leiterplatten zur Verwendung in elektronischen
Schaltungen vorgeschlagen worden» Eines von ihnen v/ird als das "subtraktive" Verfahren bezeichnet» das gegenwärtig vorwiegend
benutzt wird ο IXj s andere Verfahren nennt man das
"additive" Verfahrene
10ÖB3S/H73
-2-
Die Herstellung der gedruckten Schaltung mit Hilfe des
"subtraktiv en" Y ex fahr ens beginnt mit einem Schicht- oder
Verbundstoff, der aus einer Platte aus isolierendem Material
als Basis oder Schichtträger besteht, von welcher eine oder beide Seiten mit einer dünnen Kupferfolie von einer Dicke
in der G-rößenordnung von 0,0254 mn oder 0,0762 mm bedeckt
werden» Die Folie v;irä an der isolierenden Basis mit Hilfe
eines geeigneten Klebstoffes oder durch Anwendung von ¥ärme und Druck beim Formen das geschichteten 3-ebildes befestigt»
Der zum Halten der leitfähigen Schaltung benutzte Schichtträger oder die isolierende Srundlage werden üblicherweise
in Form einer ebenen Platte aus geformtem G-10- oder mitunter aus Phenolharze "serial gemachte
Nachdem der Aufbau der auf der Platte su druckenden gewünsch
ten elektrischen Schaltung konstruiert worden ist, v/lrd das
"Kunstwerk" ("art v/ork") vorbereitet, das aus einem das gewünschte
Schaltbild tragenden positiven oder negativen ■!rans par ent oder einem Seidensieb besteht· Bei dem photegragiiischen
Reproduktionsverfahren v/ird der mit Kupfer verkleidete
Kunststoffschichtträger mit einem lichtempfindlichen lockmittel
bedeckt, das im. allgemeinen ein flüssiges Pol.jsier—
präparat ist, das lichtempfindliche Initiatoren enthält und nach Belichtung mit Ultraviolettstrahlung von besonderer
Frequenz lösungsmittelbeständig wird» 3in latentes Bild der
gewünschten Schaltung wird an der Oberfläche der Platte in dem lichtempfindlichen Deckmittel durch Belichtung durch das
Transparent hindurch gebildet, und dieses Bild wird in einem geeigneten Lösungsmittel entwickelt, das das unbsLichtets
lichtempfindliche Deckmittel beseitigte Bei Verwendung des
Seidensiebes wird durch das Sieb hindurch ein chemisches Deckmittel auf die Platte gequetscht, das das gewünschte
Muster ergibt» Demzufolge ist bei der Druck- und Äuzvariante
des "subtraktiven" Verfahrens der auf der Platte gebil-iete
Deckmittelüberzug ein positives Bild der gewünscht--a So fitt
so dass die an der Oberfläche der Platte ^urüc!:;;,ia^-·-·'.:; =
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Kupferfolie mit lichtempfindlichem Beckmittel bedeckt ist ο
Der den nicht zur Schaltung gehörenden Flächen der fertigen gedruckten Platte entsprechende übrige Teil der Kupferfolie
wird ungeschützt gelassen und dann in einer geeigneten lösung weggeätzt, gewöhnlich Ferrichlorid oder einer ammoniakhaltigen
lösung der in der USA-Patentschrift 3 231 503 beschriebenen
Art· Die entstehende, den gewünschten Schaltungsaufbau
enthaltende Leiterplatte wird dann in einem passenden Lösungsmittel behandelt, um.den auf der erhalten gebliebenen
Kupferfolie verbleibenden Beckmittelüberzug abzulösen,
und ist nunmehr fertig zu einer zusätzlichen Metallisierung oder Lötmittelauftragung, Anbringung von zusätzlichen elektronischen
Bauelementen usw* (|
Bei einer Abwandlung dieses Verfahrens, wo eine Leiterplatte auf beiden Seiten mit Kupferschichtstoffen versehen ist und
an diesen einander gegenüberliegenden Flächen Leiterkreise
mit elektrischen Zwischenverbindungen zwischen bestimmten Bereichen der einander gegenüberliegenden Flächen gebildet
werden sollen» werden durchgehende Löcher nach Bedarf durch die Platten gebohrt oder gestanzt und die Wände dieser Löcher
mit einem Metall verkleidet, um die Leiterfelder der einander gegenüberliegenden Flächen elektrisch miteinander
zu verbinden» Deshalb müssen die kupferverkleideten Platten, bevor sie das "subtraktive" Verfahren des Bildena der gewünschten
gedruckten Schaltungen auf ihren einander gegen- m überliegenden Seiten durchlaufen können, einer Reihe von ™
Arbeitsgangen unterworfen werden, die dazu bestimmt sind,
auf die Wände der durchgehenden Löcher nichtelektrisch einen dünnen Siederschlag aus Kupfer, Kickel usw· aufzubringen, um
die Oberflächenleiterfeider zu verbinden Dieses Verfahren
ist bekannt und umfaßt allgemein das Stanzen der Löcher, das Heinigen der kupferverkleideten Flächen des Schichtstoffes,
das Ätzen oder Beizen und dann das Katalysieren, auf das der nichtelektrische Niederschlag (oder in einigen Fällen die
unmittelbare G-alvanisierung) von Kupfer über die gesamte freiliegende
Oberfläche, einscfaließlict "er nichtleitenden Wände
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der durchgehenden Löcher in dein Kunst stoff schicht träger sowie
natürlich auch der kupferverkleideten Flächen des Schichtträgers,
folgtο Nach dem Aufbringen eines Schaltbildes aus
organischem oder polymeren! abdeckenden Deckmittel werden
die Leiterflächen (do tu die Schaltungsflächen) bis auf die
verlangte Dicke elektrolytisch mit Leitermetall beschichtet und dann mit einem metallischen Deckmittel 'beispielsweise
Zinn-Bleilegierung) überdeckt» Das organische Deckmittel
wird dann mit Hilfe einer geeigneten Lösung abgelöst, so daß die nicht zur Schaltung gehörenden Kupferflächen freigelegt
bleiben, und dann mit Hilfe einer geeigneten sauren oder alkalischen Ätsmittellösung entfernt»
Ein Eauptnachteil des vorstehend umrissenen "subtraktiven"
Verfahrens liegt in der Notwendigkeit, anfänglich erhebliche Kupfermengen auftragen und sie dann wegätzen au müssen,
um den gewünschten Schaltungsaufbau zu erzeugen» Das Atzen
stellt nicht nur ein Abf&llbeseitigungsproblem auf G-rund
der giftigen Katür der meisten A'tzlcsungen, .gondern es tritt was
schwerwiegender ist - im Verlaufe des A'tzvorgar-gs ein
als "ünterschneiden" bekanntes Phänomen auf· ünterschneiden
ist der Fachausdruck, der benutzt wird, um das seitliche
Unterhöhlen der Leiterfläche in dem entsten enden, an der
Oberfläche der Platte gebildeten ο c haltung sauf "bau zu beschreiben»
Lieees Phänomen öes Unterric/.ueia^ris begrenzt nämlich
erheblich die Feinheit oder ichrr.elr.eit der Leiterflächen,
die toleriert werden kann; d»ho dais diese Leiterflachen
in ihrer Breite überdimensioniert wurden massen, um ein
solches Untersciraieiden zuzulassen» Lies erschwert natürlich
Versuche in äichtuiig einer v/eiteren lliniaturisierung der
Leiterpletteiu Außerdem muß dort, 7;ο öie Art der Schaltung
die Verwendung eintr stärkeren od.^r dickeren Kupferioiie
an der Oberfläche des Kunatstof f schicht tr ;' = ers erforderlich
macht, eine längere Ver.?eilzeit der ?:. ,t:c- in der Ätzlösung
eingehalten werde;:-, im Verlaufe derer für des eigentliche Iieokffiaterial eine naturgemäße Neigung bestent, in einigen
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Bereichen der Platte unterhöhlt und teilweise beseitigt zu werden, was zu Ausschuß-führte
Somit ist das Problem beim Arbeiten nach dem sogenannten
"subtraktiven" Verfahren zur Herstellung von gedruckten Leiterplatten auf Grund der Tatsache, daß auf die Platte
zunächst Kupfer aufgeschichtet und dann ein großer Teil von
ihm weggeätzt wird, nicht nur ein wirtschaftliches Problem, sondern, was schwerwiegender ist, auch ein Problem der weitgehenden
Begrenzung der Konstruktion der gewünschten gedruckten Schaltungen insoweit, als der Raumbedarf betroffen
ist» · μ
Als Alternative zu dem vorstehend erörterten "subtraktiven" Verfahren ist bisher das als "additives" Verfahren zur Herstellung
solcher Tafeln bekannte Verfahren vorgeschlagen wordene Bei diesem Verfahren geht man von einer nicht leitenden,
von jeglichem Kupferfolienschichtstoff freien Platte
aus, auf die ein Schaltbild aufgebracht wird, indem man sie metallisiert, um auf die gewünschten Flächen der Platte
unmittelbar Leitermetall aufzubringeno Dieses Verfahren weist
gegenüber dem "subtraktiven" Verfahren offensichtlich eine Anzahl von Vorteilen auf, und es sind viele Versuche unternommen
vvorden, um geeignete Leiterplatten zu erzeugen*. Bis
heute haben sich jedoch auch diese Versuche bei handeis- g
mäßiger Herstellung noch nicht als zufriedenstellend erwieserio
Das Haupthindernis für eine erfolgreiche "additive" gedruckte Leiterplatte ist die Schwierigkeit des Erzielens
einer angemessenen Haftung zwischen dem chemisch aufgebrachten
Kupfer odor sonstigen leitfähigen Metall und dem dielektrischen
Schichtträger.» J-Jines der kürzlich entwickelten Verfahren
ist in "Transactions of the Institute of Metal
Finishing", 1968, Heft 46, Seiten 194-197, beschrieben» Di e- ■jg:i Verfahren umfaßt die aufeinanderfolgenden Schritte der
Behandlung der Oberfläche der unbedeckten Schichtträgerpl-itte
mit einem Hauptroagens ("keying" agent), der Lochung
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-o—
der Platte zum Bilden der notwendigen durchgehenden Löcher, der Aufbringung eines sehr dünnen anfänglichen liickelniederschlages
über die gssamte Oberfläche mittels eines nichtelektrischen Hickelbades, worauf öeee. ein Deckmittel aufgebracht
und entwickelt v/ird zum. Hervorrufen eines negativen
Bildes des gewünschten Sch<ungsacfcer.as, worauf durch übliche
G-alvanisierungstschniken ein sju-ätzlicher Metallüberzug
aufgebracht wird«, uia die leitenden Teile der Schaltung
bis auf die verlangte Dicke aufzubauen« Danach wird das Deckmittel
abgelöst und die gedruckte Leiterplatte geätzt, um den
ursprünglichen, dünnen nichtelektriscten jtetallniedersehlag
von den nicht zur Schaltung gehörenden Flächen vollständig
abzulösen, so daß nur noch die stärker überzogenen, d»ho
die zur Schaltung gehörenden Bereichs9 auf der Tafel zurückbleibeno
Darauf wird die Platte in üblicher Weise behandelt t
um auf der gedruckten Leiterschaltung einen Schutzfilm aus
Edelmetall oder Lack vorzusehen oder sie andernfalls mit
einem Lötmittelüberzug zu bedecken, um das Anschließen der üblichen zusätzlichen, in die fertige Leiterplatte eingebauten
elektronischen Bauelemente zu erleichtern*
Das vorstehend umrissene Verfahren hat gewisse Vorteile insbesondere
insofern, als es den elektrischen Niederse hlag der
Leiterschaltung erleichtert und die liotwendigkeit v/eiterer
nichtelektrischer Auftragsvorgänge vermeidet oder vermindert»
Bei diesem Verfahren liegt jedoch eine Schwierigkeit
darin, daß bei ihm ein Eauptreagens verwendet wird, das obwohl im vorerwähnten Artikel nicht vollständig beschrieben ein
polymerer Überzug zu sein scheint* Sorgfältige Zubereitung und Aufbringung dieses BeSchichtungsmaterials sind zum
Erzielen wirksamer und gleichbleibender Ergebnisse erforderlich»
Ferner bestehen wie in den meisten fällen, in welchen Versuche gemacht worden sind, um Klebstoffe als Zwischenglieder
zum Verbinden von Kupfer oder sonstigen Lei^srJietalleii mit
einem Kunst stoff schichtträger zu verwenden, stess ,Probiene
beim Erzielen richtiger dielektrischer Eigenschaftan des
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Klebstoffes, der genauen und gleichbleibenden Reproduzierbarkeit
des polymeren Bindematerials und beim Vermeiden der Zerbrechlichkeit oder* Bclicfaigfceit der Verbindungsatelle, um
nur einige au nennen. Ea seheint außerdem, daß das erwähnte
Verfahren für Schichtträger aus thermaplastischem Harz besser geeignet ist als für hitzehärtbare Schichtträger, obwohl
die letztgenannten für elektronische Zwecke mehr bevorzugt
werden»
Die der Erfindung zugrundeliegende Hauptaufgabe besteht in
der Schaffung eines Verfahrens, bei welchem die Verwendung
polymerer Haftüberzüge venaieden wird und doch eine zufrie- ' %
denstellende Haftung des Kupfers oder sonstigen leitfähigen
Metalls an dem dielektrischen Schichtträger, insbesondere an wärmehärtbaren H;irzschicfotträgem wie den vorerwähnten
G-10- und Phenolarten au erzeugen·
Kurz gesagt umfaßt das Verfahren nach der Erfindung das anfängliche
Eintauchen oder sonstige Inberührungbrineen des dielektrischen Schichtträgers mit einem organischen Lösungsmittel
der nachstehend allgemein beschriebenen Gruppe, von der jedoch die gegenwärtig bevorzugten spezifischen Beispiele
N1E-Dimethylformamid,, Formamid, Iv-Methy!pyrrolidon, H,N-Dimethylacetamid
und BiEethylsulfoxid sind» Auf diesen Verfahr
ens schritt folgen das Eintauchen in eine geeignete oxy- I
dierende Ghrom-Schwefel-Isösuiig, das Katalysieren der Platte
mit eines geeigneten niciitelektriscnen luetallisierungskatalysator
und dann entweder das Aufbringen eines dünnen anfänglichen Eiedersehlages ai's leitfänigem Metall über die gesamte
Oberfläche -5er Plstrte ißit darauffolgendem Aufbringen eines
DeckEiittels i:·: ?orc eines geeigneten Bildes des gewünschten
8chaltungsbiliv=a, v/ie es im vorerv/ähivcen Artikel beschrieben
isty oier das aufbringen und Sßtivickeln eines Becknittels
unmittelbar η sei: dleE Kstaljsierunssscr.ritt zum Schaffen eines
geeigneten Bilies öes gesünsanten Schal"\ngsbildese Darauf
folgt in leder. PaIIe ei:i weiterer elihtrolytischer bavr» nicht-
tOS835/ 1473
-8-
elektrischer Niederschlag aus Leitermetall, um auf der Platte
die gewünschte endgültige Dicke der bchaltungsleiter aufzubauen»
Beide vorstehend beschriebenen Arbeitsprozesse sind zufriedenstellend,
wobei jeder von ihnen naturgemäß Vorteile aufweist, durch die er bei einer besonderen Anwendung dem anderen
gegenüber vorzuziehen ist3 Beispielsweise macht die erwähnte
erste Prozedur die Verwendung von elektrischem Niederschlag bei der Bildung des Leiterschaltungsbildes möglich,
was naturgemäß billiger ist als Arbeitsprozesse zur Erzeugung von nichtelektrischem Wiedorsc hl ag» Jedoch macht die
Verwendung dieses Verfahrens einen abschließenden Ätzverfahr ensschritt erforderlich, um den anfänglichen dünnen
durchgehenden Überzug aus leitfähigem Metall nach Beendigung
des Aufbaus der schaltung zu entfernen»
'./elcher der beiden hier beschriebenen Arbeitsprozesse auch
immer verwendet wird, 30 ist es ein wesentlicher G-esichtspunkt
bei der Erfindung, daß die Leiterplatte im Verlaufe
ihrer Entwicklung an einer oder mehreren Steilen erwärmt oder hitsebehandelt wirdy um eine wirksame Bindung zwischen
dem Leiter und dem Harzschichtträger zu fördern« Ein solcher Erwärmungs- oder Hitzebehandlungsvorgang kann an einer beliebigen
oder an mehreren Stellen durchgeführt werden, doho:
3} nach dem Katalysierungsschrittj b) nach dem Aufbringen
der anfänglichen durchgehenden dünnen Leitermetallschicht;
cj nach dem Aufbringen des Beckr:iix*els; d) nach dem Entwickeln
des aus Deokmitiiel bestehenden Schaltungsbildes oder
e) nach FertigStellung der Leiterplatte ^e nachdem, welcher
Arbeitsprozeß verwendet wird» V/ährend ein solches Erwärmen
oder Hitsebehandeln nicht in all diesen Stufen erforderlich
ist, wird es stets in der einen oder anderen im Anschluß an die Katalysierungsstufe erforderlich und ist förderlich
für das Erzielen einer guten Haftung»
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Während der Mechanismus der besseren Haftung durch Kombination
einer vorausgehenden Lösungsmittelbehandlung mit einem anschließenden Hitzebehandlungsschritt noch nicht ganz richtig
verstanden wird* scheint es» daß diese Kombination zum
Erzeugen eines innigeren Kontaktes zwischen dem Schichtträger und der leitfähigen Metallschicht beiträgt«.
Eines der mit der Herstellung von Leiterplatten nach dem "additiven" Verfahren in "Verbindung stehenden Probleme liegt
darin, daß während der Behandlung des glasfaserverstärkten wärmegehärteten Schichtträgers mit den vorerwähnten organischen
Lösungsmitteln und/oder während des Ätzvorgangs die ·
unbedeckte Faser der G-lasfaserverstärkung wahrscheinlich an
der Schichtträgeroberfläche freigelegt wird mit dem Ergebnis, daß die physikalischen Eigenschaften der Oberfläche
und insbesondere die elektrischen Eigenschaften nachteilig beeinflußt werdene Beim Versuch, an einer Schichtträgeroberfläche
einen durch Metallisieren aufgebrachten Metallüberzug
zu bilden, ist das Ergebnis gewöhnlich ein Ausschußteil auf Grund schlechter oder dürftiger Abdeckung uswo
Es hat sich herausgestellt, daß das Ablösen des Kunststoffes bis auf die bloße 3?aser des Glasgewebes während der Lösungsmittelbehandlung
und/oder des Ätzschrittes vermieden werden kann durch Benutzung eines verstärkten wärmegehärteten Harzschichtträgers
mit einem Oberflächenüberzug aus dem wärmegehärteten Harz, der eine Dicke von etwa 0,0254 bis etwa
0,127 mm und vorzugsweise von etwa 0,0381 bis etwa 0,09652 mm über der Glasfaserverstärkung in dem Sohichtträgerkörper
aufweist»
Ein typischer sehr brauchbarer verstärkter Haxzachichtträger
mit einem Oberflächenüberzug der gewünschten Dicke kann beispielsweise hergestellt werden durch Anstreichen von Leinwandbindung
aufweisendem Glasgewebe mit einer Dicke von.
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0,1016 mm (Gewicht: 49 g/m ) mit einem Epoxylack der nachstehenden
Formel:
Teile
Mepoxidhara in Aceton .*.\ 125
Dicyandiamid 4
Dimethylformamid 15
Äthylenglycolmethyläther 15
Benzyldimethylamin (BDMa) 0,3
1*) Hergestellt durch Reaktion von Bisphenol A mit Epichlorhydrin»
Der Lack wird angesetzt durch Yermischen von Dimethylformamid,
Äthylenglycolmethyläther und Dicyandiamid mit anschließendem Erwärmen des Gemisches auf 43,33 C. Nach dem
Abkühlen bis auf Raumtemperatur wird der Harzlösung nach Bedarf
zusätzliches Aceton beigegeben, worauf die Lösung schließlich vor ihrer Benutzung mindestens 8 Stunden gründlich
durchgerührt wird*
Das mit dem anfänglichen Lacküberzug versehene Gewebe ließ man 15 Minuten an der Luft trocknen, worauf es zum Bilden
eines Materials der B-Stufe 6 Minuten auf 177° 0 erwärmt wurde*. Nach dem Abkühlen wurde das Harz der B-Stufe erneut
mit einem Epoxylack angestrichen, 15 Minuten an der Luft getrocknet und erneut für die Dauer von 6 Minuten bei 177° C
hitzebehandelt· Der entstehende Schichtträger wurde ausgehärtet,
indem er bei 177° C für die Dauer von 45 Sekunden einem Druck 3,5 kg/cm und dann für die Dauer von 30 Minuten
bei 177° C einem Druck von 35 kg/cm ausgesetzt wurde· Die
Dicke des Überzuges über dem G-lasgewebe in der Außenschicht
des sich ergebenden Schichtstoffes wurde gemessen und lag zwischen 0,05842 und 0,07528 mm»
109835/U73
Zur Oberfläcnenfeeachichtung des Harzschichtträgers kann ein
beliebiger einer Vielzahl von dem i'achmann bekannten Epoxy- ;
harzlacken verwendet werden» Das Aufbringen des Lacks kann
mit dem Pinselt durch Aufsprühen, durch Aufwalzen o. dgl· *
in dünner Schicht von gleichmäßiger Dicke erfolgen» Je nach
der gewünschten Dicke des endgültigen Überzuges können ein oder mehrere Epoxylaeküberzüge aufgebracht v/erden*
In den beigefügten Ablaufdiagrammbogen sind als Beispiele
von Arbeitsprozessen nach der Erfindung verschiedene Yerfahrensscfirittekoisbin^tionen
dargestellt» Bei der weiteren Erörtexuuig der Erfindung .vird demzufolge auf die Zeichnungen M
Beaug genomiEen·
Pig» 1 Ms einschließlich 6 zeigen Ablaufblockdiagramme
der Yerfahrensscfaritte» die mehrere unterschiedliche Arbeitsprozesse
sur Herstellung von Schaltplatten nach der Erfindung umfassen»
Die Erörterung einiger der au befolgenden Arbeitsprozesse ist einem weiteren Verständnis der Erfindung dienlich·
!Beispiel I
Anhand von ?igr 1 der beigefügten Zeichnungen sind die ver- q
schiedenen Zaiiptachriöte bei der Herstellung einer fertigen
ge drucke es. I iiuirplatxe in Porn eines AbI :uf diagramms angegebene
Ss ieu-Ctitet ein, daß übliche Yerfahrenssohritte wie
beispielsweise d-aa Abspülen mit V/asser, sofern erforderlich,
aus dem AblaufdiagΓεπωι fortgelassen ,vorden sind, wobei jedoch
ihre Verwendung falls nötig für den Pachmann selbstverständlich
ist*
Beginnend aiit dem Verfahrensschritt 1 wird eine unbedeckte
Schichttragerplatte, in die bereits dui ^gehende Löcher ge-
-12-
109835/U73
stanzt sind, sofern diese bei der fertigen Leiterplatte benutzt
werden sollen, von jeglichem Oberflächenschmutz gesäubert ο Wie vorstehend erwähnt, ist im allgemeinen wärmegehärtetes
Formharz auf G-las-Epoxy- (G-1O-) oder Phenolbasis
erwünscht» und zwar wegen seiner dielektrischen Eigenschaften
sowie seiner Beständigkeit gegenüber struktureller Verformung oder Verziehen infolge von Temperatur- und Feuchtigkeit
SYeränderungenβ
Im Verfahrensschritt 2 wird die saubere unbedeckte Harzplatte
in eine Lösungsmittellösung eingetaucht oder sonstwie mit
ihr in Berührung gebracht» damit die Lösung in die Oberfläche
der Platte eindringt und ihren chemischen und/oder physikalischen Zustand verändert zwecks Förderung einer wirksameren
Bindung mit dem später aufgebrachten Leitermetall? wie es nachstehend noch näher erörtert wird·
Die Lösungsmittel, die sich für den vorgehenden Yerfahrensschritt als am meisten geeignet erwiesen haben, sind Ii,N-Dime%\hy
!formamid, Formamid, N-Methylpyrrolidon, N, Ii - Dim et hy I-acetamid
und Diaiethy !sulfoxide Sine erhebliche Anzahl sonstiger
organischer Flüssigkeiten der nachstehend näher bezeichneten Klassen sind in gleicher Weise brauchbar* Diese
Lösungsmittel können bei voller Intensität benutzt oder beispielsweise mit Wasser verdünnt werdeno Entsprechend dem in
Frage kommenden besonderen Schichtträgerharz, der Konzentration des Lösungsmittels, der Temperatur des Lösungsmittelbades
und der Kontakt- oder Eintauchzeit des Schichtträgers im Bad ist hier ein ziemlich weiter Bereich von Parametern
anwendbar» Das die Auswahl der besonderen Lösungsmitte!konzentration,
der BaQtemperatur und der Sintauchseit bestimmende
Kriterium ist die Sicherstellung einer zufriedenstellenden Haftung zwischen dem später aufgebrachten Leitermetall
und dem Schichtträgere Als Mindestwert für eine zufrledenete11ende
Haftung werden 890 g/cm Schäl- oder Haftfe31igkeit
anges eh en·
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Eine "besonders wünschenswerte Gruppe von Bedingungen, die
sich wirksam erwiesen Haben, besteht in der Verwendung von 50 fa mit V/asser verdünntem Dimethylformamid in einem Bad
bei Umgebungsraumtemperatur mit einer Stand- oder Verweilzeit für entweder Glas-Epoxy- oder Phenol-Aldehyd-Harzschichtträger
von 1 bis 5 Minuten» Unter diesen Bedingungen sind Schälfestigkeiten von erheblich mehr als 890 g/cm
gleichbleibend erzielbar«. Der niedrigstmögliche Rauhungsgrad
des Schichtträgers, der noch zum Erzielen der festgesetzten
Mindesthaftkraft führt? wird bevorzugte Offenbar erhöhen
längere Eintauchzeiten, höhere Arbeitstemperaturen und
höhere Lösungsmittelkonzentrationen den Rauhungsgrad antei- · lig und verbessern im allgemeinen die Haftung· Jedoch gibt "
es ein Gleichgewicht, das für jede besondere Situation zwischen dem tolerierbaren Rauhungsgrad und dem verlangten
Haftbetrag herbeigeführt werden mußo
!fach einem Abspülen mit Wasser kann die Platte im Verfahrensschritt
3 in geeigneter Weise geätzt werden, indem sie in eine wässrige Schwefel-Chrom-Säurelösung eingetaucht wird·
Eine dazu geeignete Zusammensetzung besteht aus 30 bis 60
Gewo^ Schwefelsäure (66° Be), 5 bis 10 Gew*# Ghromsäure
und 30 bis 65 Gewicht steil en t/asser, Bas Belassen der Platte
in dieser Lösung für die Dauer von 3 bis 5 Minuten bei
Umgebungsraumtemperatur erzeugt normalerweise ein angemessenes
Ätzen* I
Nach einem erneuten geeigneten Abspülen mit Wasser wird die
Platte im Verfahrensschritt 4 katalysiert entweder durch
den zwei Schritte umfassenden Aktivierungsarbeitsprozeß unter Verwendung von Stannochlorid in Salzsäure zur Sensibilisierung
und von Palladiumchlorid in Salzsäure zur Kernbildung, einen bekannten Arbeitsprozeß, wie er in dem vorerwähnten
Artikel beschrieben ist; oder die Katalyse kann mit Hilfe des nur einen Schritt umfassenden Arbeitsprozesses
unter Verwendung eines Zinn-Palladium-Hydrosols durchgeführt
werden, wie er in der USA-Patentanmeldung Sere Nr, 654 307
109835/1473
-14-
vom 28o Juli 1967 von D'Ottavio beschrieben ist ο
Gewöhnlich ist es außerdem erwünscht, die katalysierte
Platte einer Beschi eunigungslösung auszusetzen, beispielsweise,
einer verdünnten Lösung aus FLuorborsäure, obwohl diese nicht immer wesentlich ist»
Nach dem Abspulen wird die Platte dann beim Yerfahrensschritt
5 in einem nichtelektrischen lietallisierbad aus Kupfer oder
flicke1 metallisiert» Ein beliebiges der im Handel erhältlichen
nichtelektrischen Kupfer- oder Nickelbäder ist brauchbar
Typische Zusammensetzungen solcher Bäder sind in den
USA-Patentschriften 2 874 072, 3 075 855 und 3 095 309 für Kupfer und 2 532 283, 2 990 296 und 3 062 666 für nickel
angegebene Der hier verlangte Metallniederschlag ist nur
eine sehr dünne, jedoch durchgehende zusammenhängende Schicht mit einer Dicke in der Größenordnung von 0,000254 bis 0,000762
mm sowohl über die gesamte Oberfläche der Platte als auch an den Wandflächen aller durchgehenden Löcher, die vorhanden
sein könnten» Sie hat lediglich den Zweck, eine vorübergehende
leitfähige Oberfläche zu bilden, die sämtliche auf die Platte zu druckenden Schaltungsbereiche miteinander verbindet,
um den elektrischen niederschlag dieser Schaltungsbereiche in den späteren Verfahrensschritten zu erleichtern»
Nach erneutem angemessenem Abspülen wird die platte im Verfahrensschritt
6 zu einer Arbeitsstation vorbewegt, an welcher auf die Oberfläche oder Oberflächen, auf welchen die
leitfähigen Schaltungen gebildet werden sollen, ein Deckmittelüberzug aufgebracht wird» Hier kann wieder die tfahl
zwischen mehreren Verfahren bei der Auswahl und beim Auftragen des Deckmittelüberzuges getroffen werden, die dem Fachmann
alle bekannt und üblich sind» Gemäß einem Verfahren kann das Schaltungsbild mit Hilfe eines chemischen Deckmittels
aufgezeichnet werden, indem man es durch ein geeignetes Seidensieb hindurchquetscht, das so ausgebildet ist»
daß es die Bedeckung der nicht zur Schaltung geii ο runden iöe-
109835/1473 -15-
reiche der Platte herbeiführt, während die zur Schaltung gehörenden Flächen selbst von Deckmittelmaterial freibleibend
Gemäß dem anderen Verfahren zum Aufbringen des Deokmittels
wird eine lichtempfindliche Deckmittelzusammensetzung auf die gesamte Oberfläche der Platte aufgebracht
und dann durch ein positives Transparent oder einen Film der verlangten Schaltung hindurch belichtet, worauf das
lichtempfindliche Deckmittelmaterial mit Hilfe eines geeigneten Lösungsmittels entwickelt wird, um das auf der Platte
vorhandene unbelichtete lichtempfindliche Deckmittelmaterial (Schaltungsbereich) abzulösen. In jedem Falle wird dann die
Platte im Verfahrens schritt 7 getrocknet, um zu bewirken, f
daß der Deckmittelüberzug fest an der Oberfläche haftet»
Während Erwärmen notwendig ist, um die Deckmittelzusammensetzung
auszuhärten, so daß sie gegenüber den späteren an der Platte ausgeführten Arbeitsgängen beständig ist, kann es
auch zu dem vorerwähnten Hitzebehandlungsvorgang als fester Bestandteil der Erfindung dienen* In diesem Falle wird die
Platte vorzugsweise für eine Zeitspanne von etwa 30 Minuten auf eine Temperatur von etwa 105° C erwärmt· Hinsichtlich
der Temperatur und der Zeit ist ein erheblicher Spielraum
möglich, wobei im allgemeinen niedrigere Temperaturen längere Zeiträume erforderlich machen und umgekeu·;.* Praktische
Arbeitsbedingungen schreiben die Benutzung von erheblich über Umgebungstemperatur liegenden Hitz ebeliandlungs temp era- l
türen vors die vorzugsweise bei oder über dem Siedepunkt
von Wasser bsi Aufrecht erhaltung von atmosphärischem Druck
liegen» Offensichtlich darf die benutzte Temperatur nicht so hoch seinj, daß sie ein Verkohlen oder Schmelzen des Harzschichtträgers
bewirkt*
Im Beispiel I ist die Platte nunmehr im Verfahrensschritt 8
fertig zum Metallisieren der freigelegten SοhaItungsflächen,
um in diesen Bereichen eine verlangte Leitermetalldicke aufzubauen»
Infolge Aufbringens des anfär? eichen, durchgehenden
dünnen Metallniederschlages wird do: übliche elektrische
109835/U73
-16-
Niederschlag von zusätzlichem Leitermetall oder -metallen auf den Schaltungsflächen weitgehend erleichtert, da eine
einzige Verbindung an einer beliebigen Stelle der leitfähigen Oberflächen der Platte an allen freiliegenden gchsltungsflachen
einen elektrischen Metallniederschlag bewirkt, wenn bei einem üblichen elektrolytischen Lletallisierungsbad die
Platte zur Kathode gemacht wird» Als Leitermetall wird üblicherweise Kupfer oder Wickel verwendet, wobei der Metallisiervorgang
fortgesetzt wird zum Aufbauen eines ausreichend dicken Niederschlages solchen Metalls, um den Anforderungen
der elektronischen Schaltung zu genügen, in welcher die Platte verwendet wirdo
Das im Yerfahrensschritt 9 anschließende Metallisieren der
öchaltungsbereiche mit einem ochutzmetall wie ;-rold, bilber
oder mit Lot als Abdeckmittel oder zum Srleicntern des späteren Anbringens zusätzlicher elektroniscner Bestandteile an
der Platte kann ebenfalls durch elektrochemischen Kiederschlag
aus passenden Metallisierungslösungen erfolgen, Nachdem
die Leiterschaltung vollständig aufgebaut worden ist,
wird die Platte beim Verfuhrenssehritt 10 einer Abhebelösung
ausgesetzt, um das chemische oder photochemische Deckmittel von den nicht zur Schaltung ,rehörenden Bereichen
zu entfernen© Dabei bleibt die Oberfläche der Platte über ihre gesamte Ausdehnung noch mit dem ursprünglichen dünnen
Leiternietallniederschlag bedeckto Dieser überzug wird dann
im Verfahrensschritt 11 durch Eintauchen der Platte in eine
geeignete Säure, äoh. eine das metallische Deckmittel nicht angreifende Säure, beseitigt, um die nicht zur Schaltung gehörenden
Bereiche von jeglichem leitfähigen Metall zu befreien»
Die fertige Platte wird darin im Verfahrensschritt 12 abgespült,
getrocknet und riitzebehsndelt* Sofern der befolgte
Arbeitsprozeß eine Hitzebehandlung der Platte bei etwa
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105° 0 für die Dauer von 30 Minuten in einem der früheren
Verfahrens schritte nicht eingeschlossen hat, kann sie an dieser Stelle des Verfahrens stattfinden,,
In dem Ablaufdiagramm nach Figo 2 ist ein geänderter Arbeitsprozeß
dargestellto In diesem Beispiel ist die benutzte Schichtträgerplatte ein wärmegehärtetes Formharz auf Epoxybasis,
das mit G-lasgewebe verstärkt ist, welches einem Epoxy-Oberflächenüberzug
mit einer Dicke von etwa 0,05842 mm über dem Glasgewebe aufweiste Auch hier wird die anfängliche ä
Lösungsmittelbehandlung des Schichtträgers benutzt, und die Platte wird in einer Ghroai-Schwefel-Lösung geätzt sowie für
nichtelektrischen Metallniederschlag katalysiert, ganz wie
in den vier ersten Verfahrensschritten nach Beispiel I. Im Beispiel II wird die Platte dann im Verfahrensschritt 5 mit
einem lichtempfindlichen Deckmittel beschichtet, worauf das gewünschte Schaltbild durch ein transparent hindurch
belichtet und die lichtempfindliche Deckmitxelzusammensetzung entwickelt wird, um wie vorher ein Bild der gewünschten
gedruckten Schaltung hervorzurufen«. Im Verfahrensschritt 6 wird die Platte getrocknet und hitzebehandelt und
vorzugsweise im Verfahrensschritt 7 einer verdünnten Sehwefelsäurelösung
ausgesetzt, um die belichtete katalysierte | Harzoberfläche in den Schaltungsbereichen au reaktivieren»
Dann wird im Verfahrensschritt 8 in den belichteten Schaltungsbereichen
nichtelektrisches Nickel oder Kupfer bis auf die gewünschte Gesamtdicke aufgebracht, und die Platte im
Verfahrensschritt 9 erneut getrocknet und hitzebehandelto Im Verfahrensschritt 10 wird auf den belichteten Leiter- oder
Schaltungsbereich ein Tauchüberzug aus Zinn, Zinnlegierung oür sonstigem geeigneten Schutzüberzugsmaterial aufgebracht,
und das lichtempfindliche Deckmittel (im Verfahrenaschritt 11)
unter Verwendung eines geeigneten Lösungamitteis für das
-18-109835/ 1 473
*■*· 18 —
verwendete besondere Deckmittelmaterial von dem nicht zur
Schaltung gehörenden Bereich abgelöst» Dies führt zu einer fertigen Platte, sofern nicht weitere Kontaktstreifenoereiche,wie
sie gewöhnlich in eine typische Leiterplatte eingebaut sind9 mit Edelmetall wie G-old oder Silber metallisiert
werden sollen, um die Kontaktfläche zu verbessern» In diesem Falle wird im Verfahrensschritt 12 das Zinndeckmittel
von den Kontaktstreifenbereichen abgelöst, und die Platte im Verfahrensachritt 13 in einem nichtelektrischen Goldoder
Silber-Metallisierbad einem weiteren, nichtelektrischen
Metallisierungsvorgang unterworfen» Hier können dazwischenliegende
Heaktivierungsschritte notwendig sein, sofern das vorher aufgebrachte, darunterliegende Leitermetall für die
nichtelektrischen Edelmetallbäder nicht genügend reaktionsfähig
ist, um einen Selbstniederschlag zu bewirken· Im Verfahr
ens schritt 14 wird die Platte erneut getrocknet und hitzebehandelt und, sofern sie nicht vorher einem Arbeitsgang
einer gesteigerten Hitzebehandlung der vorstehend beschriebenen
Art unterworfen worden ist, kann dieser Verfahrensschritt
an dieser Stelle eingeschaltet werden=
Der in Figo 3 veranschaulichte Arbeitsprozeß ist im wesentlichen
dem nach Figo 2 gleich, wobei jedoch in jedem Falle
der Deckmittelüberzug im Verfabrensschritt 5 vor der Selichtung
und Entwicklung hitzebehandelt wird· Mach dem Sntwikkeln
des Deckmittels (Schritt 6) wird anfänglich aus einem nichtelektrischen Metallisierbad aus Leitermetall (Schritt 7)
nur ein sehr dünner (0,000508 bis 0,000762 mm) Niederschlag dieses Metalls aufgebracht, und die Platte dann getrocknet
und bei etwa 105° 0 für die Dauer von 30 Minuten hitzebehandelt (Schritt 8)ο Die Platte wird nunmehr in verdünnter
iO?biger Schwefelsäurelösung (Schritt 9) gebeizt, um den ursprünglichen
Leitermetallniederschlag zu reaktivieren zum
-19-109835/ 1 473
anschließenden nichtelektrischen Metallisieren mit Kupfer*
Nickel und Gold in dieser Reihenfolge (Schritte 10, 11, 12),
worauf das Ablösen der Deckmittelzusammensetzung (Schritt 13) und ein weiteres Trocknen und Hitzebehandeln der fertigen
Platte folgt*
In diesem Beispiel wird eine Leiterschaltung aus reinem
fiickel hergestellt, wie in Pi ge 4 schematisch veranschaulichte
Ansonsten wird die gleiche allgemeine Schrittfolge benutzt mit dem Unterschied gegenüber Beispiel III, daß d
das Verfahren durch Portlassen eines Hitzebehandlungsschrittes und des Säurebeizvorgangs verkürzt wird, der gewöhnlich
nicht notwendig ist, wo das aufgebrachte Leitermetall Nickel isto
Bin weiteres Beispiel einer gedruckten Schaltung aus reinem llickel ist mit Hilfe der Schrittfolge nach PIg0 5 veranschaulichte
Ansonsten ist der Arbeitsprozeß im v/es ent liehen der
gleiche wie dtr ^emäß Beispiel I»
Beispiel Vl ä
Dieses Beispiel veranschaulicht eine Arbeitsfolge, bei welcher zum Aufbau der gewünsehten bc haltung nur eine nichtelektrische
Metallisierungstechnik und eine andere Deckmitoelart
verwendet werden*
In den vorstehenden Beispielen sind Lösungsmittel angegeben, wie sie gegenwärtig bei der Behandlung der Oberfläche der
Schichtträgerplatte im Sehritt 2 des Verfahrens aus Gründen der Wirtschaftlichkeit und der Verfügbarkeit bevorzugt wer-
-20-
109835/U73
-20- 21053^5
"ien.» Im allgemeinen gen or en. .^edocn zu denjenigen Lb'sung3-mittein,
die zur Verwendung cei dem T er fahr en. nacr. is? Erfindung
geeignet sind, dipolare aero ti scr. 8 organische Flüssigkeiten mit 5»0 übersteigenden dielektrischen Konstanten,
2PJ. einer der drei H3.uptkie.33en -/cn Zusammensetzungen, nämlioh
den Zusammensetzungen 1, II und III genoren, von weicien
die Zusammensetzungen I die mit der formel:
R. -S=O
sind, v/orin R1 aus- der Vasserstcff und Alkyl aus 1 eis einschließlich
5 Kohlenstoffatomen umfassenden 'ir up pe ausgewählt
und Rp Alkyl aus 1 eis einschließlich 5 Kohlenstoffatomen
ist; die Zusammensetzungen II die mit der Formel:
R3-C-K-R5
II
O R4
sind, worin R, aus der Wasserstoff und Alkyl aus 1 eis einschließlich
3 Kohlenstoffatomen umfassenden G-ruppe, R^, aus
der Wasserstoff und Alkyl aus 1 bis einschließlich 5 Kohlenstoffatomen,
umfassenden G-ruppe und Rc- aus der ',/asserstoff
und Alkyl aus 1 tis einschließlich 5 Kohlenstoffatomen umfassenden
Gruppe on3gewählt ist; und die Zusammensetzungen
III die mit der Formel:
in
H0C ^ C=O
CH.
-21-
109835/ 1 Λ 7 3
BAD ORIGINAL
sind, worin Hg Alkyl aus 1 bis einschließlich 5 Kohlenstoffatomen
ist«·
Spezifische Lösungsmittel innerhalb der vorstehenden allgemeinen
Definitionen der drei Klassen von Zusammensetzungen
sind nacnstenend aufgeführt:
Methylsulfoxid DimethyLsuifoxid
Diät hy 1.SUIf oxid n-Propylsulfoxid
Diisopropylsulfoxid "
Methyläthylsulfoxid
Methyl n-amylsulfoxid Isopropyl n-amylsulfoxid
Di-n-amyIsulfoxid
II
Po rmami d
E-iithylformamid
E ,S-lJimethylf ormamid
1\ ,]i-Dimethylacet amid
H-Ät hylpr opionamid
K-n-Propyl-H-amylaaetamid *
H,n-di-n-3utylpropionamid
E-ilthyl n-Butyramid
Κ,Ιί-Diisopropyl n-Butyramid
III
1 -ifeb hylpyr r ο Ί i d on
E-Ät hyIpyrr οIi d on
K-Isopropylpyrrolidon
M-n-SutyIpyrrοlid on
Jü-Isoamylpyrrolicion
MB/'Ef - 22 544 ' -22-
109835/1L13
Claims (1)
- Pat e η τ a η s ρ r ü c η e :/TV) Verfahren zur Behandlung eines polymeriuierten i".rnr..-rz schichttriigers zwecks Yercesserung der Haftung zwir^cr-en dem Schichtträger und einem nichtelektrisch %.af ir.η auf gebrachten Met&ilnieöerrscr.leg, dadurch ge-icer-nze rennet, a) die Ocerfläche des unmetallisierte-n üiCf.icr.^'c;r-".".;-;fi.":i mit einem dipolaren fe;.rotisor.er-i organisor-en fluüfci^tr. Lösungsmitxel der die Zus&2iUi.ensetzv.r:Pen I, Ii v.nd 111 -anfassenden Gruppe in Berührung gebracht virc, vor. «.'e_ cher cie Zusejnmensetzungen I die mit der !Formel:Γ'sind, worin ä^ aus der Wasserstoff und >_ik.yl aus 1 eis einschließlich 5 Kohlenstoffatomen umfassenden Gruppe ausgewählt und H^ Alkyl aus 1 bis einscralieiilich 5 Kohlenstoffatomen ist; die Zusammensetzungen II die mit der Formel:sind, worin E5 aus der Wasserstoff und Alkyl aus 1 bis einschließlich 3 Kohlenstoffatomen umfassenden Gruppe> R. aus der Wasserstoff und Alkyl aus 1 bis einschließlich 5 Kohlenstoffatomen umfassenden G-ruppe und R1- aus der Wasserstoff und Alkyl aus 1 bis einschließlich 5 Kohlenstoffatomen umfassenden ü-ruppe ausgewählt ist; und die Zusammensetzungen III die mit der Formel:109835/ 1 £73BAD ORIGINALIII G=O■sind, ,vorin R. Alkyl η:ο/λ ί oin eir^cnließlicn 5 Kohlen-3 t ο *" fat o:n en i a *, ;b) 'jie Iö3ung3mit',elber.iir.'jel4',e .'jchior.ttirä^oroberfleiche m:'. *; oinor vagrari^en fj^ahswerti/^ir. 'Jr.roiasäurelöaur.g in Ti« r ^ r. ru υ,» ί'. e br q ο h t ,vi r '3;c) der 3chiohttr?if7/jr z^.r. Katalysieren eier Oberfläche mit oin'ir wän:5ri;"iri li'ln'idg νλν, ^ in em Ξ de Im et all in 3erühr^n^ ^«brecht v/ird; undfj; '3or k'italyniort'j oonicr.ttr-dr'/ir ο ig auf eine Temperatur ;iber die 1Jm;- ebun^u temp er at "ir, ,jedoch wesentlich i.inter riie '-temperatur erv/armt ,vird, bei v/elcher ein Verkohlen 'Jos Hi-jrznohichttrii^errj eintritt«»2» Verf--ihren ngch Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß d'T H-'irzachicntträger aus der Harze auf Epoxy- und ?heis umfriv^aenden Gruppe aU3;-'.ewL:hlt v/irdo5· Verfahren ng eh Anspruch 1, dadurch i/okennzeichnet, daß der Hrirz3ch5 chttrrißor üus der mit 'ilaafasergewebe versti'rkte Harze fiuf Epoxy- und Pnenoj.basia umfassenden "rup-.R nua^.fi'vShlt v/ird und über dem rila3gev/ebe einen Oberflnchenüberzug au.3 dem -,viir.T.er,ehärteten Harz mit einer Lioke von et.va 0,0254 bis etv/a 0,1^7 mm aufweist«4· Verfahren nnch Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Harzschicntträger ein Epoxyharz ist«»5· Verfahren nach Ansoruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der iiarz3Chichttrager ein Harz auf Phenolbasxs ist*-24-109835/ U73BAD~ 24 -Verfahren, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das organische Lösungsmittel aus der Formamid, h ,E-Dimethylf ormamid, N-Methylpyrrolidon, I\i ,JM-Dimethylacetamid und Dimethylsulfoxid umfassenden Gruppe ausgewählt wird ο7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Berührung zwischen dem Schichtträger und der Lösungsmittellösung bei Umgebungsraumtemperatur für 1 bis 5 Minuten aufrechterhalten wirdoVerfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schichtträger für 30 Minuten bis 1 Stunde auf 95° bis 150° 0 erwärmt wirdoVerfahren nach Anspruch 1 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die katalysierte Oberfläche des Schichtträgers mit einer nichtelektrischen Metall-Metallisierungslösung in Berührung gebracht wird, um auf sie einen aus diesem Metall aufzubringen»10e Verfahren nach Anspruch 9» dadurch gekennzeichnet, daß der Schichtträger sowohl nach dem Katalyiserungs- als auch nach dem nichtelektrischen Metallisierungsschritt erwärmt wirdo12β Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte gemäß dem Verfahren nach Ansprach 9> dadurch gekennzeichnet, daß in der Reihenfolge unmittelbar auf den Katalysierungsvorgang folgender Verfahrensschritte über die gesamte Oberfläche der Schaltplatte chemisch ein anfänglicher dünner Kupferniederschlag mit einer Dicke von etwa 0,000508 bis 0,000762 mm aufgebracht, zum Erzielen der gewünschten Form der gedruckten Schaltung ein Abdeckmittel aufgebracht, der Schichtträger getrocknet und-25-109835/ U73hitzebehandelt und dann zum Aufbauen einer gewünschten Gesamtdicke im Bereich des gewünschten Schaltbildes mit zusätzlichem Leitermetall galvanisiert, auf das freiliegende Leitermetall ein metallisches Deckmittel aus einer Lösung dieses Metalldeckmittels aufgebracht, das Abdeckmittel von den nicht zur Schaltung gehörenden Teilen der Oberfläche abgelöst, der gesamte anfängliche dünne nichtelektrische Niederschlag weggeätzt, das metallische Deckmittel von ausgewählten Teilen der Leiterschaltung abgelöst, auf ausgewählte Teile der Leiterschaltung nichtelektrisch oder elektrolytisch ein Schutzmetall der Gruppe Gold, Nickel und Silber aufgebracht und I die fertige Leiterplatte hitzebehandelt wird»12o Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte gemäß dem Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß in der Reihenfolge unmittelbar auf den Katalysierungsvorgang folgender Verfahrens schritte auf die Platte zum Erzielen der gewünschten Form der zu druckenden leitfähigen Schaltung ein Abdeckmittelmuster aufgebracht, die Platte getrocknet und hitzebehandelt, der freiliegende Schaltungsbereich nichtelektrisch mit mindestens einem leitfähigen Metall bis auf eine gewünschte Dicke metallisiert, die metallisierte Schaltplatte ge- *trocknet und hitzebehandelt, das Abdeckmittel von dem nicht zur Schaltung gehörenden Bereich der Plattenoberfläche abgelöst und die fertige Schaltplatte hitzebehandelt wird οMB/Hf - 22 544109835/U73
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