DE2105041A1

DE2105041A1 - Verbessertes Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen

Info

Publication number: DE2105041A1
Application number: DE19712105041
Authority: DE
Inventors: Masamichi; Honjo Satoru; Hayakawa Yoshihide; Asaka Saitama Sato (Japan). P G03c 11-10
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1970-02-03
Filing date: 1971-02-03
Publication date: 1971-10-14
Also published as: FR2078154A5; BE762419A; GB1340403A

Description

Erfindungsgemäß wird ein verbessertes Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen erhalten, indem im Vakuum ein dünner Metallfilm auf einen Schutzüberzug aufgedampft wird, der auf einer Silberhalogenid-Emulsionsschicht auf einem Träger aufgezogen ist.

Die Erfindung befaßt sich mit verbesserten Aufzeichnungsmaterialien für Elektronenstrahlen, Die Aufzeichnung mit Elektronenstrahlen wird beispielsweise durchgeführt, indem eine auf einem Träger vorliegende Silberhalogenid-Emulsionsschicht mit einem modulierten Elektronenstrahl unter Bildung eines latenten Bildes bestrahlt wird und anschließend das latente Bild mit einem Entwickler in der Atmosphäre chemisch entwickelt wird. Die Aufzeichnung durch Elektronenstrahlen hat den Vorteil, daß sie ein hohes Rasterausmaß oder eine hohe Rastergeschwindigkeit und eine hohe Aufzeich-

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nungsdiehte ergibt, zeigt 3edoch hingegen den Sachteil, daß ein nachfolgendes Elektron des Strahles durch, ein Elektron, das vorhergehend auf der Emulsionsschicht angekommen ist, abgewiesen und abgebeugt wird, so daß die Auflösungsstärke des erhaltenen Bildes erniedrigt wird.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht in einem verbesserten Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen, bei dem die ungünstige Abbeugung des Strahles vermieden wird. Die Merkmale der Erfindung bestehen darin, daß (l) ein Schutzüberzug auf der Oberfläche der auf einem Träger angebrachten Silberhalogenid-Emulsionsschicht angebracht wird,

(2) ein dünner Metallfilm auf dem Schutzüberzug durch das Verfahren der Vakuumaufdämpfung ausgebildet wird,

(3) bei der Ausbildung des dünnen Metallfilmes die Temperatur der Abdampfungsquelle auf einem solchen Wert gehalten wird, daß kein Licht ausgesandt wird, gegenüber dem das Silberhalogenid empfindlich ist, so daß es nicht einer Strahlung von der Abdampfungsquelle ausgesetzt wird,

(4) der dünne Metallfilm und der Schutzüberzug für den Elektronenstrahl durchlässig sintf und

(5) der dünne Metallfilm elektroleitend ist (weniger als IXrSL cm als spezifischer Widerstand).

Die üblichen Silberhalogenid-Emulsionssohichten, die nachfolgend einfach als Emulsionsschichten bezeichnet werden, sind im Vakuum stark isolierend. Wenn deshalb ein Elektronenstrahl mit der Emulsionsschicht im Vakuum zusammenstößt, werden die Elektronen innerhalb der Emulsionsschicht und an deren Oberfläche angesammelt, wodurch der lauf der nachfolgenden Elektronen abgebeugt wird.

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In der Figur ist ein Querschnitt eines Aufzeichnungsmaterials gemäß der Erfindung gezeigt.

Gemäß der Figur stellt die Bezugsziffer 10 einen Träger, der aus Triacetylcellulose, Polyestern, Polyäthylen, Polyvinylchlorid, Polyvinylidenchlorid, Polycarbonaten und"dergleichen besteht, 11 eine Sirberhalogenidemulsionsschicht, die aus einem Gemisch von Silberhalogenidteilchen und einem Binder oder einem aufgedampften Silberhalogenid besteht, dar.

Als Binder können Gelatine, Kasein, Leim, Eialbumin, Poly- ( vinylalkohol und ähnliche Materialien verwendet werden/ Mit 12 ist eine Schutzschicht bezeichnet und hierfür können Gelatine, Kasein, Leim, Eialbumin, Polyvinylalkohol, Nitrocellulose, Äthylcellulose, Polyamid, Polyvinylchlorid, Polyvinylacetat, Acrylharz, Polystyrol, Polyurethan und ähnliche Materialie verwendet werden. Mit 13 ist ein dünner Metallfilm bezeichnet und Metalle, die im Rahmen der Erfindung geeignet sind, umfassen Kadmium, Zink, Selen, Magnesium, Indium, Silber, Aluminium, Kupfer, Gold, Germanium, Titan, Antimon, Wismuth, Blei, Mangan, Gallium, Beryllium, Zinn und ähnliche Metalle.

Die Wirkung des Schutzüberzuges 12 besteht in der Verhinderung einer Wechselwirkung zwischen der Emulsionsschicht 11 J und dem dünnen Metallfilm 13. Der Schutzüberzug 12 hat somit ' die Wirkung, daß, falls der dünne Metallfilm 13 aus einem Metall aufgedampft wird, das chemisch stärker basisch als Silber ist, der dünne Metallfilm 13 die Ausbildung von Hebel aufgrund des reduzierten Silbers verhindert, das bei der Kontaktierung des Metalles mit dem Silberhalogenid gebildet würde.

Wenn die Stärke des Schutzüberzuges zu gering ist, v/erden keine ausreichenden Wirkungen erzielt, während durch eine zu große Überzugsstärke der Durchgang des Elektronenstrahles blockiert wird. Vorzugsweise ist deshalb der Schutzüberzug

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0,1 "bis 5 /U, insbesondere 0,2 Ms 2 /u dick.

Es ist erforderlich, daß der dünne Metallfilm elektrisch leitend ist und er ist einige 10 i "bis zu einigen /u, vorzugsweise 100 Ä bis zu 1 /u dick. Ein dünner Metallfilm von zu geringer Stärke hat eine zu niedrige Leitfähigkeit, um seine Aufgabe zu erfüllen. Der dünne Metallfilm gemäß der Erfindung hat eine Leitfähigkeit von höher als 10~"⁹.n cm, vor-

zugsweise 10 jxcra. Falls er eine zu starke Stärke besitzt, wird das Eindringungsverhältnis des Elektronenstrahles in nachteiliger Weise erniedrigt.

Die vorstehend angegebenen im Rahmen der Erfindung verwendbaren Metalle können im Vakuum bei relativ niedrigen Temperaturen (unterhalb 1000⁰C) aufgedampft werden.

Da Gold, Silber und Kupfer bei hohen Temperaturen im Vergleich zu anderen Metallen aufgedampft werden, ist es günstig, ein Hochvakuum aufrechtzuerhalten, so daß die Verdampfungstemperatur nicht zu hoch wird. In diesem Gesichtspunkt werden Gold, Silber und Kupfer bei 10 ^J bis 10 mm Hg aufgedampft

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und die anderen Metalle werden bei 10 bis 10 ^ mm Hg aufgedampft. Dadurch kann die Aufdampfungstemperatur unterhalb 1000⁰C gehalten werden und es bildet sich kein Hebel in der Silberhalogenidemulsion. Da auf der Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gemäß der Erfindung ein leitender dünner Metallfilm ausgebildet ist, werden die Linien der elektrischen Kraft gegenüber den im Inneren oder an der Oberfläche der Emulsionsschicht angesammelten Elektronen nicht nach außen abgewiesen.

Der Metallfilm 13 kann nach dem Auftreffen des Elektronenstrahles auf die Emulsionsschicht unter Bildung eines latenten Bildes gelöst und entfernt werden, bevor eine Entwick-· lungs- und Pixierungsbehandlung erfolgt oder während dieser

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Behandlung. Wenn so gearbeitet wird, wird ein Bild von Silberteilchen auf einem durchsichtigen schwarzen Hintergrund erhalten. Falls das entwickelte Silberbild optisch wiedergegeben werden soll, ist es vorteilhaft, den dünnen Metallfilm 13 zu entfernen.

Der Schutzüberzug kann wasserlöslich, alkalilöslich, in organischen Lösungsmitteln löslich oder wasserunlöslich jedoch wasserdurchlässig sein.

Obwohl als Material für den Schutzüberzug Gelatine am stärksten von dem Gesichtspunkt bevorzugt wird, daß eine Behandlungsflüssigkeit, beispielsweise ein Entwickler, eine Fixierlösung und Waschwasser,hindurchgehen kann, können auch hydrophile hochmolekulare Verbindungen mit ähnlichen Eigenschaften oder Gemische von Gelatine mit diesen angewandt werden. Derartige Verbindungen von hohem Molekulargewicht umfassen beispielsweise Polyvinylalkohol, Polyvinylpyrrolidon, Polyacrylamid, Acrylsäure-Acrylamid-2-Methyl-H-vinylimidazol-öopolymere, Carboxymethylcellulose, Methylcellulose, Hydroxyäthylcellulose, Dextran, Kasein und dergleichen . Im Fall der Anwendung einer Verbindung von hohem Molekulargewicht, die in kaltem Wasser löslich ist, als Schutzüberzug ist eine Vernetzung mit Formalin und dergleichen erforderlich.

Synthetische Verbindungen von hohem Molekulargewicht, wie Polyvinylalkohol, Polyvinylpyrrolidon, Polyacrylamid, Natriumpolymethacrylat, ETatriumpolyacrylat, Kaliumpolystyxolsulfonat und dergleichen und natürlich vorkommende hochmolekulare Verbindungen wie Carboxymethylcellulose, Hydroxyäthylcellulose, Dextran, Kasein und dergleichen können leicht durch Wäsche mit Wasser entfernt werden, wenn sie als Schutzschicht verwendet werden, da sie wasserlöslich sind.

Weiterhin kann bei Anwendung von hochmolekularen Verbin-

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düngen wie Schellack, Nitrocellulose, Äthylcellulose, Polyvinylchlorid, Polyvinylacetat, Polymethylmethacrylat, PoIyäthylacryiat, Polystyrol, Polyamid, Polyurethan, Polycarbonat und dergleichen, die filmbildend und in organischen Lösungsmitteln löslich sind, als Bindemittel der Schutzüberzug durch ein organisches !lösungsmittel entfernt werden, bevor die Behandlung der Entwicklung oder Fixierung und dergleichen erfolgt. Falls alkalilösliche Harze, beispielsweise Styrol-Maleinsäureanhydrid-Copolymere, Methylvinyläther-Maleinsäureanhydrid-Copolymere, Mischester aus Acetylcellulose und Phthalylcellulose verwendet werden, kann der Schutzüberzug während der Entwicklung entfernt werden.

Falls der Schutzüberzug in der vorstehend angegebenen Weise entfernt wird, wird gleichzeitig der Metallfilm entfernt. Selbstverständlich kann ein Material,- das eine Schutzschicht trägt, behandelt werden. In diesem Fall ist es erforderlich, daß die Schutzschicht für Wasser oder die Behandlungsflüssigkeit durchlässig ist.

Weiterhin ergibt sich als Ausführungsform zur Herstellung des Aufzeichnungsmaterials gemäß der Erfindung ein Verfahren, wobei ein Metall auf ein empfindliches Material, das durch Aufziehen einer Silberhalogenid-Emulsion auf einen Träger hergestellt wurde, aufgedampft wird und anschließend hierauf die Aufzeichnung vorgenommen wird. Im allgemeinen ist das elektrisch leitende Material, welches bei niedriger Temperatur aufgedampft wird, basischer als Silber, so daß, wenn es mit der Silberhalogenid-Emulsionsschicht in Berührung kommt, Nebelbildung der Emulsionsschicht verursachen kann und diese Erscheinung ist, je langer die Berührungszeit ist, um so bemerkenswerter. Deshalb wird nach dem vorstehend beschriebenen Verfahren die Berührungszeit abgekürzt, so daß die Nebelbildung

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verringert werden kann und dadurch, die Stärke der Schutzschicht gesenkt werden kann.

Bei dem Aufzeichnungsmaterialgemäß der Erfindung kann das Silberhalogenid auch auf den Träger anstelle der Silberhalogenid-Emulsion aufgedampft werden.

Beispiel 1

Eine Emulsion aus Gelatine und fein zerteiltem Silberha- , logenid wurde auf einen Triacetylcellulosefilm von 75 /u Stärke " aufgezogen. Diese Emulsion enthielt Silberchlorbromid (Chlorid 30 M0I-9S, Bromid 70 Mol-#). Die Stärke im trockenen Zustand betrug 4 /u. und die Silbermenge betrug 55 mg je 100 cm . Anschließend wurde Gelatine darauf in einer Stärke von 1 /u im trockenen Zustand aufgezogen und zur Härtung getrocknet. Anschließend wurde Zink hierauf aufgedampft. Die Aufdampfung3bedingungen bestanden in einer Aufdampfungstemperatur von 34O⁰C, 10- mm Hg Vakuum, wobei die Stärke der abgeschiedenen Schicht etwa 500 & betrug.

Unter Anwendung,dieses Aufzeichnungsmaterials wurde ein latentes Bild mit einer Elektronenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung gebildet. Die Bedingungen bei der Elektronenstrahl-Auf- J zeichnung waren folgende:

Strahlspannung 20 KV
Strahldurchmesser 10 /u
Strahlstärke 5 /uA

Strahlunterbrechungs- .
zeit 10~⁴ Sek.

Vakuum 10 mm Hg

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Nach. Ausbildung des latenten Bildes wurde das Aufzeichnungsmaterial in die Atmosphäre gebracht und auf folgende Weise behandelt:

Auflösung des dünnen Metallfilmes:

l)äs"Aufzeichnungsmaterial wurde in eine 50 $ige wässerige Essigsäurelösung während etwa 1 Minute zur Auflösung des dünnen Zinkfilmes eingetaucht.

Nach der Wäsche mit Wasser während 2 Minuten wurde das Material der Entwicklung zugeführt.

Entwicklung:

Das Material wurde in einen Entwickler eingetaucht, der durch Auflösung von Entwicklermassen aus Papitol (Bezeichnung eines Produktes der Fuji Photo Film Co., Ltd.) in Wasser entsprechend den Anweisungen hergestellt worden war, während 2 Minuten. Anschließend wurde nach der Eintauchung in eine 1 $ige wässerige Essigsäurelösung während 1 Minute die folgende Fixierbehandlung ausgeführt:
Fixierbehandlung:

Das Material wurde in eine Fixierlösung, die durch Auflösen der Fixiermasse Fuji Fix (Bezeichnung eines Produktes der Fuji Photo Film Co., Ltd.) in Wasser entsprechend den Anweisungen hergestellt worden war, während 3> Minuten eingetaucht und anschließend mit Wasser während 10 Minuten gewaschen und getrocknet.

Das dabei erhaltene Bild war klar. Gleiche Ergebnisse wurden im Falle der Verwendung von Polyvinylalkohol, Polyvinylpyrrolidon, Polyacrylamid, Carboxymethylcellulose, Methylcellulose, Hydroxyäthylcellulose, Dextran, Kasein oder Copolymerem aus Acrylsäure, Acrylamid und 2-Methyl-lT-vinylimidazol mit einer Trockenstärke von 1 /u als Schutzüberzug anstelle der Gelatine erhalten.

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Beispiel 2

Wasserlöslicher Polyvinylalkohol wurde als Schutzüberzug verwendet. Er wurde zu einer Trockenstärke von etwa 1 /u in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 aufgezogen und Kadmium im Vakuum darauf aufgedampft.

Die Aufdampfungsbedingungen waren folgende:

Aufdampfungstemperatur 260⁰C . J

Vakuum 10"^ mm Hg

Stärke des abgeschiedenen Filmes 400 A

Unter Verwendung des vorstehenden Aufzeichnungsmaterials wurde ein latentes Bild in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 ausgebildet.

Vor der Entwicklung wurde durch Eintauchung in eine 1 $ige wässerige Essigsäurelösung von 20⁰C während 1 Minute der dünne Kadmiumfilm und der Schutzüberzug gelöst.

Fach der Wäsche mit Wasser während 1 Minute wurden die Entwicklungs- und Fixierbehandlungen in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 durchgeführt und ein klares Bild erhalten. _s

Im Falle der Anwendung eines wasserlöslichen Polymeren, * wie Polyvinylpyrrolidon, Polyacrylamid,- Natriumpolyacrylat, Natriumpolymethacrylat, Kaliumpolystyrolsulfonat, Carboxymethylcellulose, Hydroxyäthylcellulose, Dextrin, Kasein und dergleichen in einer Trockenstärke von 0,5 bis 2 /u anstelle von Polyvinylalkohol wurden gleiche Ergebnisse erhalten.

Beispiel 3

Polyvinylacetat wurde anstelle des Schutzüberzuges gemäß Beispiel 1 verwendet. Weiterhin wurde ein Polyäthylenterephtha-

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latfilm als Träger verwendet. In der gleichen Weise wie in Beispiel 1 wurde eine Schutzschicht darauf in einer Trockenstarke von etwa 1 /U unter Anwendung von Methanol als Überzugsmittel aufgezogen. Magnesium wurde im Vakuum darauf aufgedampft. Die Verdampfungstemperatur betrug 440°C, das Vakuum "betrug 10~⁴ mm Hg und die Stärke der abgeschiedenen Schicht betrug 600 Ä.

Unter Anwendung dieses Aufzeichnungsmaterials wurde ein latentes Bild in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 ausgebildet. Vor der Entwicklung wurde der Schutzüberzug durch Eintauchung in Methylalkohol während etwa 2 Minuten abgelöst. Gleichzeitig wurde der dünne Metallfilm zusammen mit dem Schutzüberzug entfernt.

ITach der Wäsche mit Wasser wurde die Entwicklung und die Eixierbehandlung in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 ausgeführt und ein klares Bild erhalten.

Wenn Schellack, Nitrocellulose, Äthylcellulose, Polyvinylchlorid, Polymethylmethacrylat, Polyäthylacrylat, Polystyrol, Polyamid, Polyurethan, Polycarbonat und ähnliche Materialien anstelle von Polyvinylacetat eingesetzt wurden, wurden gleiche Ergebnisse, erhalten. Jedoch erfolgte die Entfernung des Schutzüberzuges selbstverständlich unter Anwendung geeigneter Lösungsmittel für das spezifische Polymere. Es wurde dabei darauf geachtet, daß die Pilmgrundlage durch diese Lösungsmittel nicht angegriffen wurde.

Beispiel 4

Ein Copolymeres aus Styrol und Maleinsäureanhydrid wurde zu einer Trockenstärke von etwa 1 /u anstelle des Schutzüberzuges gemäß Beispiel 1 aufgezogen. Zink wurde im Vakuum darauf in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 aufgedampft.

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Mit dem vorstehenden Aufzeichnungsmaterial wurde ein latentes Bild in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 ausgebildet.

Das Aufzeichnungsmaterial, worauf das latente Bild ausgebildet war, wurde in Luft abgenommen und in den Entwickler gemäß Beispiel 1 eingetaucht. Während der Entwicklung während etwa 2 Minuten wurde die Schutzschicht in dem Entwickler zusammen mit dem dünnen Metallfilm gelöst. Dann wurde mit Wasser gewaschen, fixiert, mit Wasser gewaschen und die Trocknungsbe- ^ handlung durchgeführt und ein klares Bild erhalten. f

Bei Anwendung eines Copolymeren aus Methylvinyläther und Maleinsäureanhydrid als Schutzüberzug wurden gleiche Ergebnisse erhalten.

Beispiel 5

Die Silberhalogenid-Emulsionsschicht nach Beispiel 1 wurde auf einem Polyäthylenterephthalatfilm aufgezogen, so daß die Trockenstärke 5 /U betrug und die Silbermenge 60 mg/100 cm betrug und als Schutzschicht wurde eine Gelatinelösung mit einem Härtungsmittel zu einer Trockenstärke von etwa 0,7 /u aufgezogen. j

Weiterhin wurde eine Schicht aus einem Styrol-Maleinsäureanhydrid-Copolymeren gemäß Beispiel 4 auf diese Schutzschicht unter Anwendung eines Gemisches aus Aceton und Methanol zu einer Trockenstärke von 0,7 /U aufgezogen und nach der Trocknung wurde Zink hierauf in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 aufgedampft.

Von dem auf diese Weise erhaltenen Material wurde die Copolymerschicht und die Zinkschicht während der Behandlung entfernt und günstige Ergebnisse erhalten.

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Beispiel 6

Das Verfahren nach Beispiel 3 wurde wiederholt, jedoch nitrocellulose als Schutzschicht und Titan als dünner Metallfilm verwendet.

Die Nitrocellulose wurde auf die lichtempfindliche Schicht unter Anwendung von Butylacetat als tTberzugslösungsniittel zu einer !rockenstärke von 0,8 /u aufgezogen. Dann wurde die Vakuumaufdampfung mit einer Verdampfungstemperatur von 55O⁰C und einem Vakuum von 10 mm Hg durchgeführt und ein Film mit einer Stärke von 1000 Ä erhalten. Dieses Aufzeichnungsmaterial konnte in der gleichen Weise wie das Material nach Beispiel 3 verwendet werden.

Beispiel 7

Anstelle des Silberchlorbromids nach Beispiel 1 wurde Silberchlorid auf eine Triacetylcellulose-Grundlage von einer 'Stärke von 75 /Vl aufgezogen, so daß eine Menge an Silber von

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55 mg je 100 cm erhalten wurde. Polyvinylacetat wurde darauf unter Anwendung von Methanol als Fberzugslösungsmittel zu einer Trockenstärke von 1 m in der gleichen Weise wie in Beispiel 3 aufgezogen. Aluminium wurde im Vakuum hierauf bei einer Ver-

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dampfungstemperatur von 900 C und einem Vakuum von 10 mm Hg aufgedampft und ein Film von 600 Ä Stärke erhalten.

Dieses Aufzeichnungsmaterial konnte in der gleichen Weise wie das Aufzeichnungsmaterial nach Beispiel 3 verwendet werden.

Beispiel 8

Gemäß Beispiel 3 wurde als Schutzschicht Nitrocellulose unter Anwendung von Butylacetat als Überzugslösungsraittel zu

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einer Trockenstärke von 0,4 /U aufgezogen. Dann wurde Silber im Vakuum "bei einer Verdampfungstemperatur von 800⁰C und

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einem Vakuum von 2 χ 10 mm Hg aufgedampft und ein !Film von 5OO £ Stärke erhalten.

Dieses Aufzeichnungsmaterial konnte in der gleichen Weise wie das Material nach Beispiel 3 verwendet werden.

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Claims

Patentansprüche

1. Verbessertes Aufzeichnungsmaterial für Elektronen-Strahlen, bestehend aus einem Träger (10) mit einer darauf befindlichen lichtempfindlichen Silberhaiogenidschicht (ll), einer Schutzschicht (12) und einem aufgedampften Metallfilm (13) von einer Stärke von 10 bis 10 Ä in dieser Reihenfolge.

2. Verfahren zur Herstellung eines verbesserten Aufzeichnungsmaterials für Eletronenstrahlen, dadurch gekennzeichnet, daß auf einen Träger eine lichtempfindliche Silberhalogenidschicht und eine Schuteschicht aufgetragen wird und im Vakuum ein Metall auf diese Schutzschicht bei einer Temperatur von weniger als 1000⁰C aufgetragen wird und darauf ein Metallfilm von 10² bis 10⁴ Ä Stärke ausgebildet wird.

3. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht aus einem wasserunlöslichen und wasserdurchlässigen Material besteht.

4. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht aus einem wasserlöslichen Material besteht.

5. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht aus einem alkalilöslichen Material besteht.

6. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht aus einem wasserunlöslichen und einem in organischen Lösungsmitteln löslichen Material besteht.

7. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht eine Stärke von 0,1 bis 5 /U besitzt.

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8. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 Ms 7» dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht eine Stärke von 0,2 bis 2 /U besitzt.

9. Verbessertes Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen, "bestehend aus einem Träger mit einer darauf befindlichen lichtempfindlichen Silberhaiogenidschicht, einer ersten Schutzschicht, die wasserdurchlässig und in organischen Lösungsmitteln unlöslich ist, einer zweiten Schicht, die wasserunlöslich und in organischen Lösungsmitteln löslich ist, und einem aufgedampften Metallfilm von IO bis 1O^ 1 Stärke in dieser Reihenfolge.

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