DE2030933A1 - Leistungsausgangsstufe in Gegentakt schaltung fur eine integrierte Schaltung - Google Patents

Leistungsausgangsstufe in Gegentakt schaltung fur eine integrierte Schaltung

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DE2030933A1
DE2030933A1 DE19702030933 DE2030933A DE2030933A1 DE 2030933 A1 DE2030933 A1 DE 2030933A1 DE 19702030933 DE19702030933 DE 19702030933 DE 2030933 A DE2030933 A DE 2030933A DE 2030933 A1 DE2030933 A1 DE 2030933A1
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mos transistor
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Donald James Worstelljun Earl Morris Houston Tex Redwine (V St A )
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Texas Instruments Inc
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Description

TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
13 500 North Central Expressway,
Dallas, Texas, V.St.A.
Leistungsausgangsstufe in Gegentaktschaltung für eine integrierte Schaltung
Die Erfindung bezieht sich allgemein auf eine integrierte Metall-Isolator-Halbleiterschaltung und insbesondere auf eine in Gegentaktschaltung aufgebaute Leistungsausgangsstufe für eine integrierte logische Schaltung. . '
Der Metall-Isolator-Halbleiter-Transistor (MOS-Transistor), bei dem der Isolator aus Siliziuraoxid besteht, ist derzeit die brauchbarste und daher am weitesten verbreitete Form des Feldeffekttransistors.' Der MOS-Transistor ist typischer Weise ein Bauelement für hohe Spannungen und niedrige Ströme. Diese Eigenschaften beruhen in erster Linie auf den Vierten der Löcher- und Elektronenbeweglichkeit an der Halbleiteroberfläche. Der MOS-Transistor muss infolge dieser Eigenschaften Lasten mit hoher Impedanz ansteuern, damit die in einer Schaltung erforderlichen Spannungspegel entwickelt werden. Diese Bauelemente finden ihre nützliche Anwendung vielfach in Form von integrierten Schaltungen, die gewöhnlich als- integrierte MOS-Schaltungen (KOSIO')-bezeichnet werden· In einem typischen Anwendungsfall steuert
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eine integrierte MOS-Schaltung eine oder mehrere andere MOS-Schaltungen an. Die Ausgangsla3t ist auf diese Weise für alle praktischen Zwecke kapazitiv. Allgemein war das beim Entwurf solcher Schaltungen am schwierigsten zu überwindende Problem," ein logisches Signal von einer integrierten MOS-Schaltung auf eine andere integrierte Müs-bchaltüng zu übertragen, im' Inneren kann eine integrierte MOS-Schaltung zwar sehr kompliziert und scaneil sein, doch war diese Eigenschaft bisher praktisch nutzlos, weil die Geschwindigkeit der Schaltung durch die Leistungsausgangsstufen be- w grenzt war. · .
Die Ausgangsimpedanz und damit das Einschwingzeitverhalten einer ausschliesslich aus MOS-Bauelementen aufgebauten Leistungsausgangsstufe wird durch Einstellen des Verhältnisses von Breite zu Länge der MOS-Transistoren gesteuert. In herkömmlichen Leistungsausgangsstufen werden sehr grosse MOS-Transistoren verwendet, um: sogar kleine äussere Kapazitäten, beispielsweise 20 Picofarad, bei verhältnismässig niedrigen Frequenzen, etwa bei 1 MHz, zu betreiben. Die grossen MOS-Ausgangstransistoren müssen ihrerseits wieder von grossen MOS-Transistoren angesteuert werden, so dass jede der letzten wenigen Stufen einer Schaltung.eine fortschreitend grössere Ansteuerfähigkeit besitzen muss. Dies führt zu dem, was allgemein als ein abgestufter Ausgang ( tapered output) bezeichnet wird. Die grösserenMOS-TsEasistoren haben eine grössere Verlustleistung, und sie nehmen auf dem integrierten Schaltungsplättchen eine grössere Fläche ein.
Eine ausschliesslich aus MOb-Bauelementen in Gegentaktschaltung aufgebaute Leistungsausgangsstuf.e ist vielleicht die beste bisher verwendete Leistungsausgangsstufe. In dieser Leistungsausgangsstufe sind -zwei MOS-Transistoren
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am Ausgang in Gegentaktschaltung angeordnet. Die MOS-Transistoren müssen sehr gross sein, um auch eine kleine kapazitive Last anzusteuern. Dies führt zu einer hohen, typischer Weise in der Grössenordnung von 1,6 Picofarad liegenden Eingangskapazität, die eine Abstufung (tapering) erfordert; die Ausgangsmpedanz ist dabei immer noch unerwünscht hoch. Ausserdem benötigen ausschliesslich aus MQS-Baueleraenten aufgebaute Leistungsausgangsstufen in Gegentaktschaltung eine grosse Torelektrodenspannung in der Grössenordnung von -20,0 Volt, und sie besetzen eine beträchtliche Fläche des integrierten Schaltungsplättchens*
Integrierte MQS-Schaltungenlweräen typischer Weise auf einem η-leitenden Substrat dadurch hergestellt, dass eine Gruppe von p-leitenden Diffusionszonen erzeugt wird ., die die Quellen- und Abflusszonen der MOS-Transistoren, eine Platte eines jeden Kondensators, Widerstände oder in einer zweiten Ebene liegende Verbindungen bilden. Die Igolatorschicht, die typischer Weise aus Siliziuraoxid besteht, obwohl auch andere Isolatoren wie Slliziumnitrid verwendet werden können, ist dort dünn ausgebildet, wo die Kanäle von MOS-Transistoren erzeugt werden sollen, und sie ist dort geöffnet, wo ein Kontakt mit den Diffusionszonen benötigt wird. Auf der Isolatorschicht werden dann Metalleiter angebracht, die die Torelektroden der MOS-Transistoren, die anderen Platten der Kondensatoren und Schaltungsverbindungsleiter bilden. Die Metalleitsr und die Diffusionszonen bilden zwar ein in zwei Ebenen liegendes Verbindungssystem, doch wird auf der integrierten Schaltung eine beträchtliche Oberfläche von den verschiedenen Leitern, wie den Leitungen für die Abflussversorgungsspannung, die Torversorgungsspannung, die Taktspannung und die Quellenversorgungsspannung, die typischer Weise Masse ist, besetzt, die sich zu einem Hauptteil der logischen Funktionsblöcke auf der Schaltung
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- 4 "" . 203Q933
erstrecken müssen. Der Masseleiter ist trotz der üblichen Verbindung des Substrats mit Masse erforderlich, weil die Quellendiffusionszonen mit dem Substrat einen pn-übergang bilden.
Die Erfindung betrifft eine Leistungsausgangsstufe» die eine sehr niedrige Eingangs kapazität, eine sehr niedrige Ausgangsimpedanz und eine grössere Schaltgeschwindigkeit als die innerhalb der integrierten Schaltung erzielbare Schaltgeschwindigkeit aufweist, so dass die Schaltgeschwindigkeit der integrierten MOS-Schaltung nicht mehr durch die Schaltgeschwindigkeit der Leistungsausgangsstufe begrenzt wird. Die Leistungsausgangsstufe nach der Erfindung hat keine Gleichstromverbindung mit Masse, so dass sie eine niedrigere Leistung benötigt. Durch die niedrige Ausgangsimpedanz entsteht eine hohe Lade- und Entladefähigkeit für kapazitive Lasten. Durch die niedrige Eingangskapazität wird keine Abstufung mehr benötigt, so dass die für die Leistungsausgangsstufe benötigte Fläche verkleinert wird. In der Schaltung wird eine Boot strap-Schaltung verwendet, die die Torversorgungsspannung V herabsetzt, die zur Aufrechterhaltung des Ausg^ngspegels im Ruhezustand auf einer logischen "1" erforderlich ist. Die Leistungsausgangsstufe ist ausreichend schnell, so dass keine merkliche Signalverzögerung entsteht. In der integrierten MOS-Schaltung wird auch eine ohmsche Verbindung zum Substrat verwendet, durch die sich ein durch die Schaltung erstreckender Masseleiter erübrigt*
Die Leistungsausgangsstufe besteht aus einem MOS-Transistor und einem bipolaren Transistor, die auf dem gleichen Halbr leiterplättehen gebildet und in Gegentaktschaltung miteinander verbunden sind. Eine Invertierstufe vor der Leistungsausgangsstufe steuert den MOS-Transistor und hält
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den bipolaren Transistor gesperrt, wenn der MOS-Transistor eingeschaltet ist, damit am Ausgang das logischen Zeichen ■"1" erzeugt wird, wenn am Eingang ein logisches Zeichen "O" liegt. In der--Invertierstufe wird zum Schalten ein kapazitives Anheben verwendet, und zum Aufrechterhalten des völlig eingeschalteten Zustande des MQS-Ausgangstransistors im Ruhezustand wird ein hochohmiger Stromweg verwendet, während eine niedrige Torversorgungsspannung anliegt. Der bipolare Transistor wird einschaltet, wenn ein dem logischen Zeichen "1" entsprechendes Signal an der Torelektrode eines MQS-Smsistois liegt, der die Basis des bipolaren.Transistors mit Masse verbindet.
Gemäss der Erfindung soll auch eine Diffusionszone vom gleichen. Leitungstyp wie das Substrat verwendet werden, damit zwischen einem Metalleiter und dem Substrat ein ohmscher Kontakt gebildet wird, so dass das Substrat als Masserückleiter verwendet werden kann. Auf diese Weise erübrigt sich ein sich über das Plättchen erstreckender Masseleiter. Diese Diffusionszone kann während des gleichen Diffusionsschritts erzeugt werden, mit dem auch der Emitter des bipolaren Transistors gebildet wird.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. Darin zeigen:
'Pig·! ein schematisches Schaltbild einer erfindungsgemässen Leistungsausgangsstufe,
Pig.2 eine vergrösserte, schematische Draufsicht auf die einen Teil einer integrierten Schaltung bildenden Leistungsausgangsstufe von Pig.1,
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.3 eine Schnittansieht im wesentlichen Kngs der Linie 3-3 von Fig.2 und
Fig.4 eine Schnittansicht im wesentlichen längs der Linie 4-4 von Fig.2. .
In der in Fig.1 als Beispiel ausgewählten Ausführungsform der Leis.tungsausgangsstufe 10.werden p-Kanal-MOS-Transistoren und ein bipolarer npn-Transistor verwendet. Die Erfindung kann in gleicherweise auf n-Kanal-MOS-Transistoren und einen bipolaren pnp-Transistor angewendet werden. Die Leistungsausgangsstufe 10 besitzt eine aus einem bipolaren Transistor Q1 und einem· MOS-Ausgangstränsistor Qp bestehende Ausgangsstufe. Die Emitterelektrode des bipolaren Transistors Q. und die" Quellenelektrode des MOS-Transistors Qg si,nd miteinander verbunden; die beiden Elektroden bilden dabei den logischen Ausgang 12, der gemäss der Darstellung, eine externe kapazitive Last 14 ansteuert.
Der Transistor Q« wird von einer Eingangs invertierstufe gesteuert, die die MOS-Transistoren Q*, Qi, Qc ■
und Qc sowie den Kondensator C enthält. Die Kanäle
ο <?
"der Transistoren Q, und Q. sind in Serie die durch das Massesymbol dargestellte Quellenversorgungsspannung und die Torversorgungsspannung -V geschaltet. Die Tor·*· elektrode des MOS-Transistors Q, ist an den logischen Eingang 16 angeschlossen. Der Kanal des MOs-Transistors Qc verbindet die Torelektrode des MOS-Transistors Q. mit der Torversorgungsspannung -V . An der Torelektrode des MOS-Transistors Qc liegt die Torversorgungsspannung -V0-* · Die Torelektrode des MOS-Transistors QA ist über einen Kondensator C mit der Quellenelektrode des MOS- Transistors Qj verbunden. Der von der Torelektrode des 4 ·
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Transistors Q-, von der Quellenelektrode des Transistors Qc und von einer Seite des Kondensators G gebildete Verbindungspunkt K~ ist über den Kondensator C an den Ausgangsverbindungspunkt H. der Eingangs invertierstufe angekoppelt. Ber Ausgangsverbindungspunkt H1 ist mit der Torelektrode des am Ausgang liegenden MOS-Transistors Qg verbunden. Der Kanal des Transistors Qg liegt parallel zum Kanal des Transistors Q., und die Torelektrode des Transistors Qg ist mit der Torversorgungsspannung -V verbunden.
Das Verhältnis von Breite zu Länge des Transistors Q~ ist viel grosser als das Verhältnis Breite zu Länge des MOS-Transistors Q. f das seinerseits wiederum viel grosser als das Verhältnis von Breite zu Lt*nge des Transistors Qg ist. So kann beispielsweise das Verhältnis von Breite zu Länge 'des Kanals des Transistors Qu fünfmal so gross wie das des Transistors Q, und hundertmal so gross wie das des Transistors Qg sein. Als Folge davon wird der Spannungswert am Ausgangsverbindungspunkt Ή. vom Zustand des Transistors Q^ gesteuert. Das Verhältnis von Breite zu Länge des Transistors Q,- kann etwa ebenso gross wie das des Transistors Q. sein.
Die Basis des bipolaren Transistors Q.. ist über den Kanal eines MOS-Transistors Q- mit seinea Kollektor und über den Kanal des MOS-Transistors QQ mit der Abflussversorgungsspannung -V,, verbunden. Die Torelektrode des MOS-Transistors Q7 steht auch mit dem logischen Eingang 16 der Schaltung in Verbindung. Die Torelektrode des MOS-Transistors Q8 ist an den Ausgangsverbindungspunkt IL der Invertierstufe verbunden. Die Verhältnisse von Länge zu Breite der Transistoren Q7 und Qg sind typischer Weise gleich und von massiger Grosse. Das Verhältnis von Länge
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zu Breite des am Ausgang liegenden MOS-Transistors Qp kann im Vergleich zu den anderen Transistoren in der Schaltung gross sein; typischer Weise ist es etwa fünfmal so gross wie das Verhältnis von Breite zu Länge des MOS-Eingangstransistors Q,.
Zum Verständnis der Wirkungsweise der Leistungsausgangsstufe 10 sei angenommen,, dass der dem logischen Zeichen "1" % entsprechende Spannungswert eine negative Spannung ist, die der Abflussversorgungsspannung - V^ von etwa - 6,0 Volt angenähert ist, und dass der dem bgischen Zeichen "O" entsprechende Spannungswert eine nahe bei Masse, typischer Weise bei - 1,0 Volt , liegende Spannung ist. Inn nun der logische Eingang 16 anfänglich auf dem Wert des logischen Zeichens "1" von -6,0 Volt liegt, ist der p-Kanal-MOS-Transistor Q, eingeschaltet, so dass der Ausgangsverbindungspunkt N1 der Invertier stufe bei einem Spannungswert von etwa -1,0 Volt liegt, der den MOS-Ausgangstransistor Qg sperrt. Der Transistor Qy wäre dabei ebenfalls durch das am Eingang liegende logische Zeichen "1" eingeschaltet, der MOS-Transistor QQ wäre durch das am Ausgangsverbindungspunkt N1 liegende logische Zeichen "0" gesperrt, und der bipolare Transistor Q1 wäre daher ein-
" geschaltet. Der Ausgang 12 würde dabei auf etwa - 1,0 Volt
liegen, und der Transistor Q1- würde die kapazitive Last H entladen. Es sei bemerkt, dass das dem logischen Zeichen "1" entsprechende Signal am Eingang 16 in ein dem logischen Zeichen "Q"entsprechendes Signal am Ausgang,,12 invertiert wird. Ebenso sei bemerkt, dass infolge des Sperrzustands der Transistoren Q« und Qg keine Gleichstroraverbindung von der Abflussversorgungsspannung -V,-, in der Ausgangsstufe nach Masse führt, so dass jeder unnötige Leistungsverbrauch verhindert wird.
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Wenn der Transistor Q, als Έο Ige des logischen Zeichens "1" am Eingang 16 eingeschaltet wird, lädt sich der Konden- · sator C über den MOS-Transistor Q1- auf einen Spannungswert auf, der gleich dem uadiß Schwellenspannung des Transistors Qc verminderten Torversorgungsspannung -V ist. Sa die Torversorgungsspannung -V typischer Weise -14,0 Volt
beträgt, wird der Kondensator C bezüglich der normalerweise auf einen Spannungswert von -1,0Volt liegenden Ausgangsverbindungspunkt N1 auf etwa -12,0 Volt aufgeladen. Wenn der am logischen Eingang 16 liegende Spannungswert von
dem dem logischen Zeichen "1" entsprechenden Pegel auf den dem logischen Zeichen'O" entsprechenden Pegel umwechselt, beginnt der Ausgangsverbindungspunkt N1 negativer zu werden, da der Transistor Q1 gesperrt wird. Infolge
der Ladung auf dem Kondensator C folgt der Verbindungspunkt N« dem Ausgangsverbindungspunkt IL nach und wird
ebenso negativer, wodurch der MO°-Transistor Qc augenblickr ' lieh gesperrt wird. Dadurch kann der Verbindungspunkt lig. .-dem Ausgangsverbindungspunkt Sf1 auf einem Spannungswert nachfolgen, der um etwa -12,0 Volt der Spannung am Kondensator C, negativer als der Spannungswert am Ausgangsverbindungspunkt N1 ist, und er übersteigt schliesslich sogar
die Torversorgungsspannung ~V__.. Dadurch wird die Tor-Sa .
elektrode des Transistors Qi genügend negativ gehalten, damit der Ausgangsverbindungspunkt N1 bis zur Torversorgungsspannung -V6. aufgeladen wird, so dass der MOS-Ausgangstransistor Qp eingeschaltet wird. Wenn der
Ausgangsverbindungspunkt N1 negativ wird, wird auch
der Transistor Qq eingeschaltet, wodurch auch die Basis des Transistors Q1 ungefähr auf das gleiche '
Potential wie der Emitter eingestellt wird. Da der
Transistor Q™ beim Umschalten des logischen Eingangs 16 auf den dem logischen Zeichen "O" entsprechenden Spannungs-
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wert gesperrt war, wird der Transistor Q. gesperrt
gehalten. Die Kombination des gesperrten bipolaren
Transistors Q1 und dea Mtenden MOS-Transistors Q2
lädt die kapazitive Last 14 auf den Pegel des logischen Zeichens "1" von etwa »β,Ο YoIt aufo
Wenn die ladung des Verbindungspunktes Np ausströmt,
wird der Ausgangsverbindungspunkt N1 positiver, und
er würde ohne den MOS-Transistor Qg sohliesslich einen
Spannungswert von -V + 2νφ erreichen, wobei Vn, der
go ■*■ . -»-
. Schwellenspannungsabfall der MOS-Transistoren Q4 und Q5 " ist. Da die Entladezeit typischer Weise etwa 1 Minute
beträgt, wird der Eingang 16 wieder auf einen dem
logischen Zeichen "1" entsprechenden Pegel gebracht,
ehe die Ladung am Verbindungspunkt Np soweit abgesunken ist, dass der Ausgangsspannungspegel nachteilig beeinflusst wird. Zur Erzielung einerzuverlässigen Wirkungsweise ist es jedoch notwendig, dass die Torversorgungsspannung -V einen ausreiehend negativen Wert besitzt,
OO '
damit der Ausgangsverbindungspunkt N. stets so negativ
gehalten wird, dass der MOS-Ausgangstransistor Qp völlig eingeschaltet bleibt«, Der sehr kleine MOS-Transistor Qg hindert den Ausg'angsverbindungspunkt N. daran, während
) des Anlegens eines logischen Zeichens "O" am Eingang 16
positiver als -V_„ + Vn, zu werden, so dass auf diese Weise
gg ·*· ■ ■
die Verwendung einer niedrigeren Torversorgungsspannung
in der Schaltung ermöglicht wird.
Die Leistungsausgangsstufe 10 -vcnFig.i ist auch in Pige2 in einer Draufsicht dargestellt, in der gleiche Teile
mit gleichen Bezugszeichen versehen sind. Die Leistungsausgangsstufe 10 ist ein Teil einer integrierten Schaltung, die auf. einem η-leitende Siliziumsubstrat 20 angebracht ist. P-leitende Düfusionszonen, die durch leicht· gepunktete Bereiche dargestellt sind,, bilden die Quellen- und Abfluss-
' 0 0-9-882/13 84 ·■ .
zonen der verschiedenen MOS-Transistoren, wie noch erläutert wird. Durch die stärker dotierten reiche werden n-leitende Diffusionszonen dargestellt. Über einer Oxydschicht werden in herkömmlicher Weise Metalleiter gebildet, die mit ausgezogenen Linien wiedergegeben sind. Die gestrichelten Linien geben die Bereiche an, in denen die Oxydschicht unter den Metalleitern dünn ausgebildet ist, damit aktive MOS-Transistoren etitstehen. nie Bereiche, in denen die Metallleiter durch Öffnungen in der Oxydschicht in Kontatt mit den darunterliegenden Diffusionszonen stehen, sind durch die Vertiefungen in den Metalleitern dargestellt.
Der logische Eingang 16 ist auf diese Weise ein Metalleiter, der zu den Srelektroden der Transistoren Q, und Q« führt, die er in den von den gestrichelten Linien umgebenen Bereichen auch bildet. Die p-leitende Diffusionszone 26 ist die Quellenzone der Transistoren Q~ und Q~. Der Kollektor des bipolaren Transistors Q^ wird vom Substrat 20 gebildet. Die p-leitende Diffus ionsζone 24 bildet die Basis und die (n+)-leitende Diffusionszone 22 bildet den Emitter des bipolaren Transistors.
Die Quellenzone 26 ist über den sich durch die Öffnung 30 in der Oxydschicht erstreckenden Leiter 28 mit Masse verbunden, der durch die Öffnung 32 in der Oxydschicht in Kontakt mit der (n+)-leitendenZone 31 in Kontakt steht, wie in Fig.4 am besten zu erkennen ist. Die (n+)-leitende Zone 31 bildet einen ohmsehen Kontakt mit dem an Masse liegenden Substrat, das zugleich den Kollektor des bipolaren Transistors Q^ darstellt.
p-leitende Zone 24 bildet .auch die Abflusselektrode des MOS-Transistors Q7. Die Abflusselektrode desMOS-Transistfers Q-, die Quellenelektrode des MOS-Transistors Q^ und eine Platte des Kondensators C werden von der Diffusionszone 34 geformt. Der Metalleiter 36 liegt an der
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Quellenversorgungsspannung -Vg, und erjbildet die Torelektroden der MOS-Transistoren Qg und Qc. Von der durch die Öffnung 40 in der Oxydschicht an den Leiter 36 angeschlossenen Diffusion&zone 38 werden die Abfluss^ zonen der MOS-Transistoren Q6, Qc und Q^ gebildet. Die Diffusionszone 42 stellt die Quellenzone des Transistors Qc und den Verbindungspunkt N2 dar. Äer Metalleiter 46 ist durch die Öffnung 48 mit der Diffusionszone 42 verbunden, und er stellt die andere Platte des * . Kondensators C und die Torelektrode des Transistors Q, dar. An die Diffusionszone 34 ist über die Öffnung 50
" in der Oxydschicht der Metalleiter 49 angeschlossen, der
die Torelektrode des MOS-Ausgangstransistors Qg und die Torelektrode des MOS-Transistors Qg bildet. Die U-förraige ■ Diffusionszone 52 ist die Abflusszone des MOS-Ausgangstransistors Qg und des MOS-Transistors QQ. Der Leiter 54 ist an die Abflussversorgungsspannung -Väd und über die Öffnung 56 an die Diffusionszone 52 angeschlossen. Der Metalleiter 58 steht mit der Diffusionszone über die Öffnung 60 in Kontakt, damit der Innenwiderstand der Diffusionszone 52 herabgesetzt wird. Die Diffustonszone 62 bildet die Quellenelektrode des MOS-Ausgangstransistors Q2 · Der den logischen Ausgang 12
t bildende Leiter 64 ist über die Öffnung 56 in der Oxyd-
schicht mit der Diffusionszone 62 und durch die Öffnung 68 mit der Emitterzone 22 des bipolaren Transistors Q-verbunden.
Fig.3 zeigt einen Schnitt längs der Linie 3-3 von Pig.2; entsprechende Bauteile sind auch hier mit gleichen Bezugszeichen versehen.Aus Fig.3 geht hervor, dass die Oxydschicht 70 im Bereich 72 zur Bildung des aktiven MOS-Transistors Q« dünn ausgebildet ist. Ausserdem kann man erkennen, dass in der .Oxydschicht Öffnungen1. 30 unl 68.angebracht sind,damit eine Verbindung zwischen dem Leiter 28 und der Diffusionszone 26 bzw. zwischen dem Leiter 64
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und der Diffusionszone 22 hergestellt werden kann.'
Zusammenfassend sei bemerkt,, dass die Leistungsaus- · · . gangsstufe 10 infolge der niedrigen Eingangs kapazität der MOS-Transistoren Q, und'Q7 eiie niedrige Eingängskapazität besitzt und dabei jedoch auch wegen der Verstärkung des bipolaren Transistors Q1 und der Grosse, des MOS-Ausgangstransistors Qg eine niedrige Ausgangsimpedanz aufweist. Durch die niedrige Ausgangsimpedanz entstehen eine hohe Ansteuer- und Entladefähigkeit und die damit'verbundene hohe SchaItgeschwindigkeit bein Ankoppeln an eine kapazitive Last. Der Aufbau der Ausgangsstufe in Gegentaktschaltung hat zur Folge, dass keine Gleichstromverbindung nach Masse vorliegt, da entweder der bipolare Transistor Q-.. oder der MOS-Transistor Qp stets gesperrt ist, wie es auch für einen derMOS-Transistoren Q7 oder Qg gilt. Die Bootstrap-Schaltung erfordert eine relativ niedrige Betriebsleistung. Durch die Verwendung des Transistors Qg wird der zur Erzielung einer zuverlässigen Wirkung erforderliche negative Spannungswert herabgesetzt. Es tritt keine merkliche Signalverzögerung durch die Leistungsausgangsstufe auf, so dass der Betriebsgeschwindigkeit der gesamten integrierten MOS-Schaltung keine Einschränkungen auferlegt werden.
In der hier beschriebenen Ausführungsform werden zwar p-Kapal-MOS-Iransistoren und ein bipolarer npn-Transistor verwendet, doch können auch n-Kanal-MOS-Transistoren und ein bipolarer pnp-Transiator verwendet werden. Ausserdem sei bemerkt, dass mit dem Ausdruck "MOS-Transistor" irgendein Metall-Isolator-Halbleiter oder ähnliche Feldeffektbauelemente zu verstehen sind.
Patentansprüche 0098 82/ 19

Claims (1)

  1. Paten ta η st) r ü eh e
    Leistungsausgangsstufe für eine logische integrierte Halbleitersahaltang, gekennzeichnet durch eine in Gegentaktschaltung ausgeführte Ausgangsstufe aus einem Feldeffekt-Ausgangstransistor und einem bipolaren' Ausgangstransistor und eine .Steueranordnung zum Einschalten des Feldeffekt-Ausgangstransistors und Sperren des bipolaren Ausgangstransistors in Abhängigkeit von . einem Zustand eines logischen Eingangssignals und zum
    " Sperren des Feldeffekt-Transistorä und Einschalten des
    bipolaren Ausgangstransistors in Abhängigkeit von einem anderen Zustand des logischen Eingangssignals.
    2. Leistungsausgangsstufe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Steueranordnung aus einer mit Metall-Isolator-Halbleiter-Bauelementen (MOS-Bauelemente) zum Empfang eines logischen Signals besteht, deren Ausgang an die Torelektrode des Ausgangstransistors angeschlossen ist, dass ein dritter Feldeffekt-Transistor die Basis des bipolaren Ausgangstransistors mit seinem Kollektor verbindet, und dass die Torelektrode des dritten'1PeId- . effekttransistors so angeschlossen ist, dass sie das logische Signal empfängt. . .
    3. Leistungsausgangsstufe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Steueranordnung zweite, dritte, vierte und fünfte MOS-Transistoren enthalt, dass der Kanal des zweiten MOS-Transistors die Basis des bipolaren Ausgangstransistors mit dessen Kollektor verbindet, dass die Torelektrode mit dem logischen Eingang verbunden ist, dass die Torelektrode des dritten Feldeffekttransistors an den logischen Eingang angeschlossen ist, dass die Kanäle des dritten und vierten Transistors in
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    Serie zwischen die Quellenversorgungsspannung und die Torversorgungsspannung geschaltet sind, wobei der Verbindungspunkt zwischen der Quellenelektrode und der Abflusselektrod« an die Torelektrode des MOS-Ausgangstransistors angeschlossen ist, dass der Kanal des fünften MOS-Transistors die Torelektrode des vierten MOS-Transistors mit der Torversorgungsspanhung verbindet, dass die Torelektrode des fünften MOS-Transistors an die Törversorgungsspannung angeschlossen ist, dass ein Kondensator die Torelektrode des vierten MOS-Transistors mit dem gemeinsamen Funkt zwischen der Quellenelektrode und der Abflusselektrode des zweiten und dritten MOS-Transistors verbindet, und dass die Sattigungsimpedanz des dritten MOS-Transistors wesentlich kleiner als die des zweiten MOS-Transistors ist.
    4· Leistungsausgangsstufe nach Anspruch 3, dadurch gekenn-" zeichnet, dass der Kanal eines sechsten MOS-Transistors parallel zum Kanal des vierten MuS-Transistors geschaltet ist, und dass die Sättigungsimpedanz des sechsten MOS-Transistors wesentlich grosser als die des vierten MOS-Transistors ist·
    5. Leistungsausgangsstufe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein siebter MOS-Transistor die .Basis des bipolaren Ausgangatransistors mit dem Abflussversorgungsanschluss des MOS-Ausgangstransistors verbindet, und dass die Torelektrode des siebten MOS-Transistors mit dem Verbindungspunkt zwischen der Quellenelektrode und der Abflusselektrode des zweiten und dritten MOS-Transistors • verbunden ist.
    6. Leistungsausgangsstufe nach Anspruch 1 zum Schalten eines ersten MOS-Transistors in den Ein- und Aus-Zustand in Abhängigkeit von einem logischen Steuersignal, dadurch gekennzeichnet, dass zweite, dritte, vierte und fünfte
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    INSPEGTEO
    MOS-Transistoren vorgesehen sind, dass die Kanäle des zweiten und dritten MOS-Transistors in Serie zwischen eine Quellenversorgungsspannung und eine Torversorgungsspannunggeschaltet sind, wobei der gemeinsame ■Verbindungspunkt zwischen der Abfluss- und der Quellenelektrode an die Torelektrode des ersten MÖS-Transistors angeschlossen ist, dass die Torelektrode des dritten MOS-Transistors über den Kanal des vierten MOS-Transistors an die Torversorgungsspannung angeschlossen ist, dass die Torelektrode des vierten MOS-Transistors an die Torversorgungsspannung angeschlossen ist, dass der Kanal des fünften MOS-Transistors parallel zum Kanal des dritten MOS-Transistors geschaltet ist, dass die Torelektrode des fünften MOS-Transistors an die Torversorgungsspannung angeschlossen ist, und dass.ein Kondensator die Torelektrode des dritten MOS-Transistors mit dem gemeinsamen Verbindungspunkt zwischen der Abflusselektrode und der Quellenelektrode des zweiten und drittenMOS-Transistors verbindet.
    Leistungsausgangsstufe nach Anspruch 1 in Form einer integrierten Halbleiterschaltung, dadurch gekennzeichnet, dass ein Substrat von einem Leitungstyp vorgesehen ist, dass eine erste Gruppe von Diffusionszonen den anderen Leitungstyp aufweist, dass eine zweite Gruppe von Diffusions· zonen den einen Leitungstyp aufweist, dass wenigstens eine der Diffusionszonen der zweiten Gruppe innerhalb einer Diffusionszone der ersten Gruppe zur Bildung eines bipolaren Transistors angeordnet ist, dass eine,Einrichtung wenigstens einen Feldeffektkanal zwischen zwei Diffusionszonen der ersten Gruppe bildet, und dass die Kollektor-Emitter-Strecke des bipolaren Transistors und der Feldeffektkanal in Serie derart zwischen zwei Potentiale eingeschaltet sind; dass
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    eine Stufe entsteht, in der der Emitter des Transistors den Stufenausgang bildet.
    8. Leistungsausgangsstufe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass eine Steuerschaltung vorgesehen ist, die abhängig von- einem Zustand eines logischen Eingangssignals den PeIdeffektkanal einschaltet und den · bipolaren Transistor ausschaltet und in Abhängigkeit von einem anderen Zustand des logischen Eingangssignale den Peldeffektkanal ausschaltet und den bipolaren Transistor einschaltet. ·
    9. Leisbungsausgangsstufe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerschaltung wenigstens eine Diffusionszone eines Leitungstyps besitzt, die direkt mit dem Substrat verbunden ist, und dass mit dieser Diffusionszone ein Metalleiter in Zontakt steht.
    10. Leistungsausgangsstufe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass einSubstrat.eines Leitungstyps vorgesehen ist, das3eine Gruppe von DIffusionszoneη den anderen Leitungstyps aufweist, dass eine ■Vorrichtung wenigstens einen Feldeffektkanal zwischen zwei Diffusionszonen der ersten Gruppe bildet, dass wenigstens eine Diffasionszone vom einen Leitungstyp im Substrat angebracht ist, und dass eine Einrichtung einen Teil "der Schaltung mit wenigstens einer Diffusionszone zur Bildung eines ohraschen Kontakts zwischen der Schaltung"und dem Substrat verbindet.
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