DE68905269T2 - MOS-Transistor und Anwendung bei einer Freilaufdiode. - Google Patents

MOS-Transistor und Anwendung bei einer Freilaufdiode.

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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf den Bereich und insbesondere im Bereich von Halbleitern und speziell von MOS- Transistoren. Sie findet Anwendung insbesondere im Bereich von MOS-Leistungstransistoren
  • Speziell betrifft die vorliegende Erfindung eine MOS- Transistoranordnung, deren Substrat automatisch mit dem niedrigsten der an die beiden Hauptelektroden (Source und Drain) angelegten Potentiale verbunden wird.
  • Des weiteren betrifft die Erfindung eine Anwendung der Anordnung gemaß der Erfindung auf eine Freilaufdiode vom aktiven Diodentyp, die monolithisch in einen Schaltungschip integriert werden kann, der ebenfalls einen MOS- Leistungstransistor vom Typ eines MOS- Vertikaldiffusionstransistors (VDMOS) oder dgl. enthalt.
  • Vor der Beschreibung der vorliegenden Erfindung sollen die Probleme behandelt werden, die sich bei der Realisierung einer Freilaufdiode bei Technologien stellen, die MOS- Vertikaldiffusionstransistoren und logische MOS- Lateraltransistoren auf einem integrierten Schaltungschip einschließen.
  • Zunachst zeigt die Fig. 1 die Verbindung eines Leistungsschalters 1 und einer Last 2, die an eine Gleichstromquelle 3 angeschlossen ist. Falls die Last 2 eine induktive Last ist, sieht man in Serie mit dem Leistungsschalter und parallel zu der Last eine Diode 4, eine sog. Freilaufdiode vor, die dazu bestimmt ist, den induktiven Strom der Last weiterfließen zu lassen, wenn der Schalter sich öffnet, wobei diese Diode invers im Hinblick auf den Stromfluß gepolt ist, wenn der Hauptschalter 1 geschlossen ist. Die Freilaufdiode soll wesentliche Überspannungen vermeiden, die ohne sie erzeugt würden, wenn der in Serie mit der Last liegende Hauptschalter plötzlich geöffnet wird.
  • Anwender von Leistungsschaltern wünschen generell, daß die Freilaufdiode 4 in den gleichen Halbleiterchip wie der Leistungsschalter integriert wird.
  • Die Fig. 4 zeigt sehr schematisch eine Schnittansicht einer Realisierung einer solchen Freilaufdiode in einer Technologie, die auf dem gleichen Chip MOS-Diffusionsleistungstransistoren und Transistoren umfaßt, die eine Steuerschaltung bilden.
  • Wie Fig. 2 zeigt, wird bei dieser Technologie ein Substrat mit einer unteren N&spplus;-Schicht 10 und einer N-Schicht 11 verwendet. In der Schicht 11 vom Leitungstyp N sind zahlreiche Zellen von MOS-Leistungstransistoren gebildet, von denen eine schematisch dargestellt und mit dem Bezugszeichen 12 gekennzeichnet ist. Jede Zelle eines Leistungstransistors umfaßt P-Diffusionszonen 13, in die N-Zonen 14 eindiffundiert sind. Eine Metallisierbng 15 für die Source kontaktiert die Zonen 14 und die P-Zone 13, welche diese trennt. Eine Metallisierung 16 (polykristallines Silicium) für das isolierte Gitter erlaubt es, Kanäle in den seitlichen Teilen der P-Zonen derart zu öffnen, daß sich eine Leitung zwischen der Source-Elektrode 15 und einer Drain-Metallisierung 17 ergibt, die auf der rückwärtigen Seite des Bauteiles ausgebildet ist.
  • In dieser Struktur befinden sich ferner ein oder mehrere Gräben 20 vom Leitungstyp P, in denen MOS-Transistoren 21 gebildet sind, wodurch eine Steuerschaltung realisiert werden kann.
  • Ein klassisches Verfahren, um in monolithischer Art eine Freilaufdiode herzustellen, besteht darin, in einem Graben 30 vom Leitungstyp P, analog den Gräben 20, die die Steuerschaltungen enthalten, eine N&spplus;-Diffusionszone 31 und einen P&spplus;-Kontakt 32 einzurichten, die mit Metallisierungen 33 bzw. 34 versehen sind. Die Metallisierung 33 ist an die Source- Metallisierung 15 und den ersten Anschluß der Last angeschlossen, die Metallisierung 34 ist an den anderen Anschluß der Last und an den negativen Anschluß der Versorgungsquelle 3 angeschlossen, deren positiver Anschluß an Drain D angeschlossen ist.
  • Das zur Fig. 2 äquivalente Schaltungsdiagramm ist in Fig. 3 dargestellt, in der wiederum die Last 2, die Versorgungsquelle 3 und der Leistungstransistor 12 gezeigt sind. Der N&spplus;P-Übergang zwischen den Zonen 31 und 32 entspricht dem Emitter-BasisÜbergang eines parasitären bipolaren Transistors 35 vom Typ NPN, dessen Kollektor den Schichten 11 und 10 der Fig. 2 entspricht und dementsprechend mit der Drain-Elektrode D des Leistungstransistors 12 verbunden ist. Während des Betriebes der Freilaufdiode resultieren hieraus ein erheblicher Leistungsverlust in diesem parasitären Transistor 35 und parasitäre Ströme, die die Steuerschaltungen stören können. Die klassischen Verfahren zur Reduzierung des Gewinns dieses parasitären bipolaren Transistors sind aus Gründen des hohen Stromes, der in der Last fließen kann, ungenügend.
  • Um diesen Nachteil zu vermeiden, hat man im Stand der Technik vorgeschlagen, Strukturen vom Typ "aktive Diode" zu realisieren, d. h. angesteuerte Strukturen, die je nach Polung der Spannung an ihren Anschlüssen selektiv durchschalten oder sperren.
  • Eine derartige aktive Diodenstruktur ist in Fig. 4 dargestellt. Sie enthält die gleichen Elemente, die mit den gleichen Bezugszeichen wie in Fig. 3 gekennzeichnet sind, wobei ein MOS- Transistor 40 hinzugefügt ist, der in Gegenphase in Bezug zu dem Leistungstransistor 12 und parallel zur Last 2 geschaltet ist. Somit sperrt dieser Transistor 40, wenn der Transistor 12 leitet, und leitet, wenn der Transistor 12 gesperrt ist.
  • Diese Lösung scheint a priori zufriedenstellend, jedoch verbleibt in den Strukturen vom gerade beschriebenen Typ ein parasitärer bipolarer Transistor 35. Der Transistor 40 ist z. B. nach der in Fig. 5 dargestellten Art hergestellt: Er wird in einem Graben 41 analog dem Graben 30 in Fig. 2 ausgebildet und enthält eine Drain-Zone 42 und eine Source-Zone 43, die über eine Metallisierung mit einer hochdotierten Zone 44 vom Typ P&spplus; verbunden ist, die einen Kontakt mit dem Graben 41 bildet. Zwischen den Zonen von Drain und Source ist ein Gitter vorgesehen. Die Last 2 wird zwischen den Meta1lisierungen von Drain 45 und Source 46 angeschlossen. Ebenso wie in Fig. 2 wird die Metallisierung 45 der Drain-Elektrode an die Source-Elektrode 15 des Leistungstransistors angeschlossen. Jedoch findet man hier wieder den parasitären Transistor 45, wie in Fig. 4 dargestellt, dessen Emitter dem Bereich 42, dessen Basis dem Graben 41 und dessen Kollektor der Drain-Elektrode des Leistungstransistors entsprechen. Normalerweise ist dieser parasitäre bipolare Transistor nicht aktiv, wenn der MOS- Transistor leitet (während des Betriebes im Freilauf) . Damit er jedoch gesperrt bleibt, ist es notwendig, daß der Spannungsabfall an den Anschlüssen des Transistors 40 kleiner als die Emitter/Basis-Spannung eines bipolaren Transistors ist, d. h. ungefähr 0,7 V. Dies macht es notwendig, daß der Widerstand im leitenden Zustand des MOS-Transistors 40 klein ist und daß demnach seine Oberfläche entscheidend wird, was man bei der Herstellung eines Bauteiles jedoch zu vermeiden sucht.
  • Die beiden Lösungen gemäß dem Stand der Technik, die in den Fig. 2 bzw. 5 dargestellt sind, haben somit das Auftreten eines parasitären bipolaren Transistors zur Folge, dessen Effekte nachteilig sind, es sei denn, im Falle der Fig. 4 und 5, daß man den Verlust einer bedeutenden Silicium-Oberfläche in Kauf nimmt.
  • Zudem ist es in beiden Fällen gemäß dem obigen Stand der Technik während des Betriebes im Freilauf nicht möglich, den Strom rasch zu verringern, der nur durch den internen Widerstand der Last begrenzt ist, welcher häufig sehr niedrig ist. Wenn man, selbst im Fall der Fig. 4 und 5, tatsächlich den Widerstand des MOS-Transistors 40 erhöhen würde, zöge das den Übergang der Basis/Emitter-Diode des bipolaren Transistors 35 in den leitenden Zustand nach sich und damit das Schalten des Transistors in den leidenden Zustand.
  • Schließlich ist ein weiterer Nachteil der Anordnungen gemäß dem Stand der Technik, daß in dem Falle, in dem zufällig eine Umpolung der Versorgungsquelle erzeugt wird, dieses ein nicht vernachlässigbares Risiko ist, z. B. im Falle einer Schaltung, die mit einer Automobilbatterie verbunden ist; dann begrenzt nichts den Strom, der durch die Freilaufdiode und durch die Diode fließen kann, die inhärent parallel zum Leistungstransistor 12 vorhanden ist (die Diode, die zwischen der Metallisierung der Drain-Elektrode 17 und der Metallisierung der Source-Elektrode 15 gebildet ist, die ebenfalls in Kontakt mit dem T-Bereich 13 (Fig. 2) ist)
  • Die vorliegende Erfindung schlägt eine MOS-Transistoranordnung mit einer Schaltverbindung zum Substrat vor.
  • Diese MOS-Transistoranordnung, die in einem Substrat eines ersten Leitungstyps realisiert wird, umfaßt eine Gitterelektrode, eine erste Hauptelektrode, eine zweite Hauptelektrode und eine Substratzone sowie Mittel, um mit der Substratzone diejenige der ersten bzw. zweiten Hauptelektrode zu verbinden, welche auf einem niedrigeren Potential ist.
  • In einer Ausführungsform der Erfindung ist die erste bzw. zweite Hauptelektrode jeweils mit einem ersten Hauptanschluß eines ersten bzw. eines zweiten MOS-Hilfstransistors verbunden, dessen zweite Hauptanschlüsse an das Substrat angeschlossen sind; die Steuerelektroden des ersten und zweiten Hilfstransistors werden in komplementärer Art über den Ausgang eines Spannungskomparators angesteuert, dessen Eingänge mit den Hauptelektroden der Transistoranordnung verbunden sind, woraus resultiert, daß die Hauptelektrode der Transistoranordnung, die auf dem niedrigeren Potential ist, automatisch mit dem Substrat verbunden wird.
  • Der Durchschnittsfachmann kann einen solchen Transistor für viele Anwendungen heranziehen. Eine dieser Anwendungen ist die Anwendung einer aktiven Diode als Ersatz für den MOS-Transistor 40, der in Verbindung mit den Fig. 4 und 5 beschrieben wurde. Man vermeidet damit die drei Nachteile der oben dargestellten Ausführungsformen gemäß dem Stand der Technik.
  • Aufgabe, kennzeichnende Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden neben anderen in der folgenden Beschreibung spezieller Ausführungsbeispiele anhand der Zeichnung näher erläutert, in der
  • die Fig. 1 bis 5, die zur Erläuterung des Standes der Technik dienten, bereits oben beschreiben wurden;
  • die Fig. 6 als Schaltungsdiagramm eine generelle Ansicht der MOS-Transistoranordnung gemäß der Erfindung darstellt;
  • die Fig. 7A und 7B detailliertere Schaltungsdiagramme einer MOS-Transistoranordnung gemäß der vorliegenden Erfindung darstellen;
  • die Fig. 8 eine geschnittene Darstellung eines Halbleiterplättchens zur Erläuterung einer schematischen Herstellungsart einer MOS- Transistoranordnung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • die Fig. 9 und 10 Schnittansichten zeigen, die äquivalent und vereinfacht gegenüber der Schnittansicht in Fig. 8 sind, mit entsprechender Polung der MOS- Transistoranordnung gemäß der vorliegenden Erfindung; und in der
  • die Fig. 11 und 12 schematische Schaltungsdiagramme sind, die die Verwendung einer MOS-Transistoranordnung gemäß der Erfindung in einer Anwendung als Freilaufdiode darstellen.
  • Wie üblich bei der Darstellung von integrierten Schaltungen sind auch hier die verschiedenen Schnittansichten nicht im Maßstab dargestellt, und zwar weder von Figur zu Figur noch innerhalb einer einzigen Figur, und entsprechend sind auch die Schichtdicken gewählt, um das Lesen der Figuren zu erleichtern.
  • Wie in Fig. 6 gezeigt, betrifft die vorliegende Erfindung eine MOS-Transistoranordnung mit Hauptanschlüssen A1 und A2 (die wechselweise die Funktion der Source und die Funktion der Drain haben) und einem Gitter G1. Die MOS-Transistoranordnung umf aßt einen MOS-Haupttransistor 50 und Schaltmittel 51, um dessen Substrat (d. h. die Schicht, in der die Source- und die Drain-Elektrode ausgebildet sind und in der sich teilweise unter Einfluß des Gitters eine Kanalzone ausbildet) mit einem seiner beiden Anschlüsse A1 und A2 zu verbinden und präziser mit demjenigen Anschluß, der auf niedrigerem Potential ist.
  • Fig. 7A zeigt eine Ausführungsform der Schalteinrichtung 51. Der Substratanschluß des MOS-Haupttransistors 50 ist mit den Substratanschlüssen und den ersten Hauptanschlüssen der MOS- Hilfstransitoren 52 und 53 verbunden, deren zweite Hauptanschlüsse jeweils mit den Anschlüssen A1 bzw. A2 verbunden sind. Die Gitter der Hilfstransistoren 52 und 53 werden durch das Ausgangssignal eines Komparators 54 angesteuert, und zwar direkt, soweit der MOS-Transistor 53 betroffen ist, bzw. über einen Inverter I, soweit der Transistor 52 betroffen ist. Der Komparator 54 vergleicht die Spannungen an den Anschlüssen A1 und A2. Auf diese Weise wird somit der Substratanschluß des Transistors 50 automatisch mit demjenigen Anschluß A1 oder A2 verbunden, der auf niedrigerem Potential ist.
  • Die Fig. 7B zeigt ein Ausführungsbeispiel der Inverter- und Komparatoranordnung, die in Fig. 7A in Form von Blöcken dargestellt ist. In dieser Fig. 7B sind der Haupttransistor 50 und die Hilfstransistoren 52 und 53 zu erkennen. Das Gitter des Transistors 52 ist mit der Drain-Elektrode eines Transistors T2 verbunden, dessen Source-Elektrode an den Anschluß A2 angeschlossen ist. Ähnlich ist das Gitter des Transistors 53 an die Drain-Elektrode eines Transistors T1 angeschlossen, dessen Source-Elektrode an den Anschluß A1 angeschlossen ist. Im übrigen ist das Gitter des Transistors T2 mit dem Gitter eines Transistors T'2 verbunden, dessen Source-Elektrode mit dem Anschluß Al und dessen Drain-Elektrode mit seiner Gitterelektrode und mit dem Versorgungsanschluß Vcc (z. B. 10 V) über einen Widerstand R'2 verbunden ist. Ferner ist das Gitter des Transistors T1 an das Gitter eines Transistors T'1 angeschlossen, dessen Source-Elektrode mit dem Anschluß A2 und dessen Drain-Elektrode mit seinem Gitter und dem Versorgungsanschluß Vcc über einen Widerstand R'1 verbunden ist. Schließlich sind der Gitteranschluß des Transistors 52 und der Drain-Anschluß des Transistors T2 mit dem Versorgungsanschluß Vcc über einen Widerstand R2 und der gemeinsame Verbindungspunkt des Gitters des Transistors 53 und der Drain-Elektrode des Transistors T1 mit dem Versorgungsanschluß Vcc über einen Widerstand R1 verbunden. Alle Transistoren T1, T'1, T2, T'2, 52, 53 und 50 haben dasselbe Substrat.
  • Die Funktion dieser Schaltung ist folgende.
  • Der Widerstand R'1 injiziert einen Strom (Vcc - VT)/R'1 in den Transistor T'1. Die Spannung an der Drain-Elektrode des Transistors T'1 wird demnach auf +VT gepolt (das ist die Schwellenspannung eines MOS-Transistors). Die Spannung an dem Gitter des Transistors T1 ist somit ebenfalls auf +VT gepolt.
  • Wenn die Spannung an dem Anschluß A1 positiv in Bezug zu der Spannung am Anschluß A2 ist, wird auch die Source-Elektrode des Transistors T1 positiv. Die Spannung Gitter/Source des Transistors T1 ist somit niedriger als VT, und dieser Transistor T1 ist gesperrt. Das Gitter des Transistors 53 ist dann mit dem Anschluß Vcc über den Widerstand R1 verbunden, wodurch dieser Transistor 53 leitend geschaltet wird. Der Widerstand R'2 injiziert einen Strom (Vcc - VT)/R'2 in den Transistor T'2, dessen Gitter auf eine Schwellenspannung VT oberhalb der Spannung des Anschlusses A1 angehoben wird, die positiv in Bezug auf den Anschluß A2 ist; die Spannung Gitter/Source des Transistors T2 ist somit größer als VT; daher leitet der Transistor T2 und der Transistor 52 sperrt. Hieraus resultiert, daß das Substrat des Transistors 50 an den Anschluß A2 angeschlossen ist, was der gewünschte Effekt ist.
  • Wenn die Spannung an dem Anschluß A1 kleiner als die Spannung an dem Anschluß A2 ist, ist die Source des Transistors T1 negativ. Die Spannung Gitter/Source dieses Transistors T1 ist demnach höher als die Schwellenspannung (VT) des MOS- Transistors, und dieser Transistor T1 leitet. Das Gitter des Transistors 53 wird somit mit dem Anschluß A1 über den Transistor T1 verbunden, und dieser Transistor sperrt. Das Substrat des Transistors 50 ist somit nicht mehr mit Masse, sondern mit dem Anschluß A1 verbunden, so daß in diesem Fall es der Transistor 52 ist, der leitet, was wiederum der gewünschte Effekt ist.
  • Die Fig. 8 zeigt eine schematische Schnittansicht eines Ausführungsbeispiels der Struktur, die in Form des Schaltungsschemas in Fig. 7A gezeigt ist. Diese Schnittansicht zeigt einen P-Graben 60, der das Substrat des MOS-Transistors 50 bildet. Nach klassischer Art weist dieser Transistor 50 in dem Graben 60 zwei Zonen 61 und 62 vom N-Typ auf, die mit den Elektroden A1 und A2 korrespondieren und unter Wirkung eines Gitters G1 leitend geschaltet werden. Der erste Hauptbereich 61 bildet auch den ersten Hauptbereich des ersten Hilfstransistors 52, dessen zweiter Hauptbereich 63 über eine Metallisierung 64 an eine hochdotierte Zone 65 vom Typ P angeschlossen ist, die einen Kurzschluß mit dem Substrat herstellt. In gleicher Weise hat der zweite Hilfstransistor 53 einen ersten Hauptbereich entsprechend der Diffusionszone 62, und sein zweiter Hauptbereich 66 ist über eine Metallisierung 67 mit einem Substratkontakt 68 verbunden.
  • Die Gitter g1 und g2 der MOS-Hilfstransistoren 52 und 53 sind an Inverter- und Verstärkerelemente angeschlossen, so wie sie in Fig. 7B gezeigt sind und die in dem gleichen Graben 60 wie die übrige Struktur realisiert werden können.
  • Wenn somit das Potential am Anschluß A1 höher als das Potential am Anschluß A2 ist, wird die in Fig. 8 gezeigte Schnittansicht äquivalent derjenigen in Fig. 9, wobei das Gitter g3 eine Leitung zwischen den Zonen 62 und 66 einrichtet, während die Zonen 61 und 63 isoliert sind. In dieser Konfiguration ist es der Anschluß A2, der an das Potential des Grabens (Substrat) angeschlossen ist.
  • Die Fig. 10 zeigt den inversen Fall, wo das Potential am Anschluß A1 niedriger als das Potential A2 ist, d. h. daß der Anschluß A1 auf Grabenpotential ist.
  • Die Fig. 11 und 12 zeigen eine Anwendung der Transistoranordnung gemäß der vorliegenden Erfindung als aktive Freilaufdiode als Ersatz für den MOS-Transistor 40, der gemäß Fig. 4 als aktive Freilaufdiode verwendet wurde. Gemeinsame Komponenten in den Fig. 11 und 12 sind durch gleiche Bezugszeichen gekennzeichnet.
  • Die Fig. 11 zeigt den Fall, wo der MOS-Leistungstransistor 12 leitend und der MOS-Transistor 50 gesperrt ist. In diesem Falle, wie durch die gepunkteten Linienzüge angedeutet, fließt der Strom von der Versorgungsquelle über den MOS- Leistungstransistor 12 in die Last 2. Das Potential an dem Anschluß A1 ist höher als das Potential am Anschluß A2, d. h. daß der Anschluß A2 an das Substrat (Graben) angeschlossen ist. In dieser Konfiguration existiert, wie im Fall der Fig. 4, ein parasitärer Transistor 35. Der Emitter des parasitären Transistors entspricht dem Bereich 61 (Anschluß A1), seine Basis dem Graben 60 und sein Kollektor der Drain-Elektrode des Leistungstransistors. In diesem Funktionsstatus hat dieser Transistor 35, wie im Fall der Fig. 4 und 5, keinen nachteiligen Effekt, da sein Basis/Emitter-Übergang invers gepolt ist.
  • Die Fig. 12 zeigt die Struktur in dem Falle, wo der Leistungstransistor 12 gesperrt und der Transistor 51 leitend ist. In diesem Falle ist das Potential an dem Anschluß A1 niedriger als das Potential an dem Anschluß A2. Es ist demnach der Anschluß A1, der an das Substrat 60 des Transistors 50 angeschlossen ist (siehe Fig. 10) . Als Konsequenz hiervon ist der Emitter des parasitären Transistors 35 mit dessen Basis verbunden, d. h. daß er nicht mehr die Wirkung eines Transistors hat und äquivalent einer einfachen leitenden Diode zwischen dem Anschluß A1 und dem positiven Versorgungsanschluß ist, d. h. einer Diode parallel zu der normalen inversen Diode des Leistungstransistors.
  • Selbst wenn der Potentialabfall an den Anschlüssen des MOS- Transistors 50 nicht vernachlässigbar ist, können sich dank der Erfindung keine parasitären Effekte ausbilden. Dies kann einen Vorteil bilden, da es möglich ist, rasch den Freilaufstrom zu vermindern, indem der Widerstand des Transistors 51 durch Ansteuern seines Gitters erhöht wird oder indem mit dem Transistor ein Widerstand in Serie geschaltet wird, was im Fall der Konfigurationen in den Fig. 3 und 5 nicht möglich wäre, da dann der parasitäre bipolare Transistor 35 leitend und die Funktion des Systemes stören würde. Man kann ferner einen Transistor 50 mit sehr kleiner Oberfläche verwenden, der einen relativ hohen Widerstandswert im leitenden Zustand aufweist.
  • Ein weiterer Vorteil der aktiven Diode gemäß der Erfindung ist: Wenn in den in den Fig. 3 und 4 dargestellten Fällen die Polarität der Versorgungsquelle 3 invertiert wird, wird ein sehr erheblicher inverser Strom durch die aktive Diode und die parallele Diode der Source/Drain des MOS-Leistungstransistors und/oder den parasitären bipolaren Transistor fließen. Es ist nicht möglich, diesen inversen Strom zu blockieren, da unvermeidlich der parasitäre bipolare Transistor in Funktion treten würde. Hieraus könnte eine Zerstörung des Bauteiles resultieren. Im Gegensatz hierzu ist es gemäß der Erfindung möglich, im Falle einer Umpolung der Transistor 50 zu sperren, und kein parasitärer bipolarer Transistor würde schalten.
  • Selbstverständlich kann die vorliegende Erfindung vielfältig variiert und modifiziert werden. Insbesondere wurde eine spezielle Steuerschaltung des Transistors 50 im Rahmen der MOS- Transistoranordnung gemäß der Erfindung beschrieben. Ein Durchschnittsfacbmann wird jedoch erkennen, daß auch andere Komponenten als der Komparator oder ein Inverter verwendet werden können.
  • Im Falle, daß man den Transistor 50 gemäß der vorliegenden Erfindung sperren möchte, um den Freilaufstrom abzuschalten, kann man ebenso, wenn der Transistor 50 im Schaltbetrieb arbeitet, parallel zu diesem Transistor eine Schwellendiode vorsehen.
  • Ebenso wird man bemerken, daß die Existenz eines parasitären bipolaren Transistors, so wie des oben beschriebenen Transistors 35, nicht spezifisch für die Herstellungstechnologie eines MOS-Leistungstransistors ist, welche in Verbindung mit den Fig. 2 erläutert wurde, z. B. einer Technologie für MOS-Vertikaldiffusionstransistoren. Das gleiche Problem erscheint auch in anderen Strukturen, z. B. in Strukturen von semi-vertikalen MOS-Leistungstransistoren, in denen die N&spplus;-Zone, anstatt die Rückseite eines Bauteiles zu bilden, einen Graben bildet, der die Zone des Leistungstransistors einschließt, wobei dieser Graben selbst in einer Zone vom Typ P gebildet ist.
  • Schließlich könnte man im Vorhergehenden an den Fall denken, daß sämtliche MOS-Transistoren MOS-Transistoren vom Anreicherungstyp mit einem N-Kanal sind. Die vorliegende Erfindung kann auch für den Fall angewendet werden, in dem einige oder alle MOS-Transistoren von unterschiedlichen Arten sind, indem die angewandten Polungen geeignet modifiziert werden.

Claims (4)

1. MOS-Transistoranordnung (50) , die auf einem Substrat eines ersten Leitungtyps realisiert ist, mit einer Steuerelektrode (G1), einer ersten HauPtelektrode (A1), einer zweiten Hauptelektrode (A2), einer Substratzone (60) und mit Mitteln (51), um mit der Substratzone diejenige der ersten und zweiten Hauptelektrode zu verbinden, welche auf einem niedrigeren Potential ist.
2. MOS-Transistoranordnung nach Anspruch 1, die auf einem Substrat eines ersten Leitungstyps realisiert ist, dadurch gekennzeichnet, daß:
die erste (A1) und zweite (A2) Hauptelektrode jeweils mit einem ersten Hauptanschluß eines ersten (52) bzw. eines zweiten (53) MOS-Hilfstransistors verbunden ist, deren zweite Hauptanschlüsse mit dem Substrat verbunden sind,
die Steuerelektroden (G2, G3) des ersten und zweiten Hilfstransistors in komplementärer Art über den Ausgang eines Spannungskomparators (54) angesteuert werden, dessen Eingänge mit den Hauptelektroden der Transistoranordnung (50) verbunden sind,
woraus resultiert, daß die HauPtelektrode der Transistoranordnung, die auf dem niedrigeren Potential ist, automatisch mit dem Substrat verbunden ist.
3. MOS-Transistor nach Anspruch 1, bei dem die Hauptelektroden Diffusionszonen des zweiten Leitungstyps (61, 62) in einem Graben (60) des ersten Leitungstyps entsprechen, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Hauptanschlüsse (63, 66) der Hilfstransistoren mit Diffusionszonen (65, 68) des ersten Leitungstyps verbunden und mit einem hohen Dotierungsniveau in dem Substrat (60) gebildet sind.
4. Freilaufdiode, die nach monolithischer Art in einem Substrat gebildet ist, welches einen vertikalen Leistungstransistor (12) und eine Transistoranordnung nach einem der AnsPrüche 1 bis 3 aufweist, die in einem Graben (60) eines dem Substrat entgegengesetzten Leitungstyps ausgebildet ist, wobei die erste Hauptelektrode (A1) des Transistors (50) mit dem Source-Anschluß des Leistungstransistors (12) verbunden ist, mit dem normalerweise der erste Anschluß einer externen Last (2) verbunden ist, wobei die zweite HauPtelektrode (A2) des Transistors (50) mit einem Zugriffsanschluß verbunden ist, der vorgesehen ist, um mit dem zweiten Anschluß der Last verbunden zu werden, und wobei die Steuerelektrode (G1) des Transistors (50) in Gegenphase mit der Steuerelektrode des Leistungstransistors angesteuert wird.
DE89420316T 1988-08-31 1989-08-28 MOS-Transistor und Anwendung bei einer Freilaufdiode. Expired - Fee Related DE68905269T2 (de)

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FR8811659A FR2636778B1 (fr) 1988-08-31 1988-08-31 Transistor mos composite et application a une diode roue libre

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Publication Number Publication Date
DE68905269D1 DE68905269D1 (de) 1993-04-15
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DE89420316T Expired - Fee Related DE68905269T2 (de) 1988-08-31 1989-08-28 MOS-Transistor und Anwendung bei einer Freilaufdiode.

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19512911C1 (de) * 1995-04-06 1996-05-09 Bosch Gmbh Robert Schaltungsanordnung zum Schalten einer elektrischen Last

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0520125B1 (de) * 1991-06-27 1997-08-20 Consorzio per la Ricerca sulla Microelettronica nel Mezzogiorno - CoRiMMe Schaltkreis zum Verbinden eines ersten Knotens mit einem zweiten oder dritten Knoten in Abhängigkeit vom Potential des letzteren, zum Steuern des Potentials eines Isolationsbereiches in einer integrierten Schaltung in Abhängigkeit der Substratspannung
DE69433808T2 (de) * 1993-11-30 2005-06-09 Siliconix Inc., Santa Clara Vielfach-Spannungsversorgung und Verfahren zur Auswahl einer Spannungsquelle aus einer Vielzahl von Spannungsquellen
US5536977A (en) * 1993-11-30 1996-07-16 Siliconix Incorporated Bidirectional current blocking MOSFET for battery disconnect switching
US5510747A (en) * 1993-11-30 1996-04-23 Siliconix Incorporated Gate drive technique for a bidirectional blocking lateral MOSFET
US5373434A (en) * 1994-03-21 1994-12-13 International Business Machines Corporation Pulse width modulated power supply
US5594381A (en) * 1994-04-29 1997-01-14 Maxim Integrated Products Reverse current prevention method and apparatus and reverse current guarded low dropout circuits
US5689209A (en) 1994-12-30 1997-11-18 Siliconix Incorporated Low-side bidirectional battery disconnect switch
FR2738424B1 (fr) * 1995-09-05 1997-11-21 Sgs Thomson Microelectronics Interrupteur analogique basse tension
EP0887932A1 (de) * 1997-06-24 1998-12-30 STMicroelectronics S.r.l. Steuerung der Körperspannung eines Hochspannungs-LDMOS-Transistors
US6421262B1 (en) * 2000-02-08 2002-07-16 Vlt Corporation Active rectifier
DE50115341D1 (de) 2000-04-13 2010-03-25 Infineon Technologies Ag Spannungswandler
US7667849B2 (en) * 2003-09-30 2010-02-23 British Telecommunications Public Limited Company Optical sensor with interferometer for sensing external physical disturbance of optical communications link
GB0322859D0 (en) * 2003-09-30 2003-10-29 British Telecomm Communication
GB0407386D0 (en) * 2004-03-31 2004-05-05 British Telecomm Monitoring a communications link
WO2006035198A1 (en) * 2004-09-30 2006-04-06 British Telecommunications Public Limited Company Identifying or locating waveguides
GB0421747D0 (en) * 2004-09-30 2004-11-03 British Telecomm Distributed backscattering
GB0427733D0 (en) * 2004-12-17 2005-01-19 British Telecomm Optical system
DE602005026439D1 (de) 2004-12-17 2011-03-31 British Telecomm Public Ltd Co Netzwerkbeurteilung
GB0504579D0 (en) * 2005-03-04 2005-04-13 British Telecomm Communications system
EP1853964B1 (de) * 2005-03-04 2009-06-24 British Telecommunications Public Limited Company Akustooptische modulatoranordnung
US7385433B2 (en) 2005-03-18 2008-06-10 Stmicroelectronics, Inc. Analog switch with reduced parasitic bipolar transistor injection
EP1708388A1 (de) 2005-03-31 2006-10-04 British Telecommunications Public Limited Company Verfahren zum Mitteilen von Informationen
WO2006109693A1 (ja) * 2005-04-08 2006-10-19 Eisai R & D Management Co., Ltd. 粘性試料のサンプリング器具、喀痰の均質化処理方法及び微生物の検出方法
EP1713301A1 (de) * 2005-04-14 2006-10-18 BRITISH TELECOMMUNICATIONS public limited company Verfahren und Gerät zur Schallübertragung über eine optische Verbindung
EP1729096A1 (de) * 2005-06-02 2006-12-06 BRITISH TELECOMMUNICATIONS public limited company Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Stelle einer Störung in einer optischen Faser
WO2007096579A1 (en) * 2006-02-24 2007-08-30 British Telecommunications Public Limited Company Sensing a disturbance
EP1826924A1 (de) * 2006-02-24 2007-08-29 BRITISH TELECOMMUNICATIONS public limited company Abtastung einer Störung
US8027584B2 (en) * 2006-02-24 2011-09-27 British Telecommunications Public Limited Company Sensing a disturbance
US8670662B2 (en) * 2006-04-03 2014-03-11 British Telecommunications Public Limited Company Evaluating the position of an optical fiber disturbance
JP4924032B2 (ja) * 2006-12-28 2012-04-25 富士通セミコンダクター株式会社 ラッチ回路及びそれを備えたフリップフロップ回路並びに論理回路
JP4939335B2 (ja) * 2007-08-07 2012-05-23 ルネサスエレクトロニクス株式会社 双方向スイッチ回路
US8415747B2 (en) * 2010-12-28 2013-04-09 Infineon Technologies Austria Ag Semiconductor device including diode
US8947156B2 (en) * 2012-11-09 2015-02-03 Fairchild Semiconductor Corporation High-voltage bulk driver using bypass circuit

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3366617D1 (en) * 1982-10-12 1986-11-06 Nissan Motor A semiconductor switching circuit with an overcurrent protection

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19512911C1 (de) * 1995-04-06 1996-05-09 Bosch Gmbh Robert Schaltungsanordnung zum Schalten einer elektrischen Last

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Publication number Publication date
DE68905269D1 (de) 1993-04-15
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