DE20305226U1 - Vorrichtung zum Durchführen einer Mehrfachtor-Durchgangelement-, Reflexionselement-, Leitungselement-Kalibrierung und -Messung - Google Patents

Vorrichtung zum Durchführen einer Mehrfachtor-Durchgangelement-, Reflexionselement-, Leitungselement-Kalibrierung und -Messung

Info

Publication number
DE20305226U1
DE20305226U1 DE20305226U DE20305226U DE20305226U1 DE 20305226 U1 DE20305226 U1 DE 20305226U1 DE 20305226 U DE20305226 U DE 20305226U DE 20305226 U DE20305226 U DE 20305226U DE 20305226 U1 DE20305226 U1 DE 20305226U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measurement
reflection
measuring
port
ports
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE20305226U
Other languages
German (de)
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Agilent Technologies Inc
Original Assignee
Agilent Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agilent Technologies Inc filed Critical Agilent Technologies Inc
Publication of DE20305226U1 publication Critical patent/DE20305226U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/28—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
DE20305226U 2002-11-14 2003-04-01 Vorrichtung zum Durchführen einer Mehrfachtor-Durchgangelement-, Reflexionselement-, Leitungselement-Kalibrierung und -Messung Expired - Lifetime DE20305226U1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/294,317 US6853198B2 (en) 2002-11-14 2002-11-14 Method and apparatus for performing multiport through-reflect-line calibration and measurement

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE20305226U1 true DE20305226U1 (de) 2003-05-28

Family

ID=23132879

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE20305226U Expired - Lifetime DE20305226U1 (de) 2002-11-14 2003-04-01 Vorrichtung zum Durchführen einer Mehrfachtor-Durchgangelement-, Reflexionselement-, Leitungselement-Kalibrierung und -Messung
DE10314811A Expired - Lifetime DE10314811B4 (de) 2002-11-14 2003-04-01 Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Netzwerkanalysators

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10314811A Expired - Lifetime DE10314811B4 (de) 2002-11-14 2003-04-01 Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Netzwerkanalysators

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6853198B2 (enExample)
JP (1) JP2004163395A (enExample)
DE (2) DE20305226U1 (enExample)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004034879B4 (de) * 2003-08-05 2006-09-28 Agilent Technologies, Inc. (n.d.Ges.d.Staates Delaware), Palo Alto Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer zu testenden Vorrichtung unter Verwendung einer verbesserten Durchgangs-Reflexions-Leitungs-Messkalibrierung
WO2007147511A3 (de) * 2006-06-21 2008-02-28 Rohde & Schwarz Verfahren und vorrichtung zur kalibrierung eines netzwerkanalysators für messungen an differentiellen anschlüssen
CN103076589A (zh) * 2013-01-29 2013-05-01 绍兴电力局 一种数字万用表自动检定装置及其检定方法

Families Citing this family (65)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5345170A (en) 1992-06-11 1994-09-06 Cascade Microtech, Inc. Wafer probe station having integrated guarding, Kelvin connection and shielding systems
US6380751B2 (en) 1992-06-11 2002-04-30 Cascade Microtech, Inc. Wafer probe station having environment control enclosure
US5561377A (en) 1995-04-14 1996-10-01 Cascade Microtech, Inc. System for evaluating probing networks
US6232789B1 (en) 1997-05-28 2001-05-15 Cascade Microtech, Inc. Probe holder for low current measurements
US5914613A (en) 1996-08-08 1999-06-22 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system with local contact scrub
US6002263A (en) 1997-06-06 1999-12-14 Cascade Microtech, Inc. Probe station having inner and outer shielding
US6256882B1 (en) 1998-07-14 2001-07-10 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system
US6578264B1 (en) 1999-06-04 2003-06-17 Cascade Microtech, Inc. Method for constructing a membrane probe using a depression
US6445202B1 (en) 1999-06-30 2002-09-03 Cascade Microtech, Inc. Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current
US6838890B2 (en) 2000-02-25 2005-01-04 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system
US6965226B2 (en) 2000-09-05 2005-11-15 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US6914423B2 (en) 2000-09-05 2005-07-05 Cascade Microtech, Inc. Probe station
DE20114544U1 (de) 2000-12-04 2002-02-21 Cascade Microtech, Inc., Beaverton, Oreg. Wafersonde
WO2003052435A1 (en) 2001-08-21 2003-06-26 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system
EP1432546A4 (en) 2001-08-31 2006-06-07 Cascade Microtech Inc OPTICAL TESTING APPARATUS
US6777964B2 (en) 2002-01-25 2004-08-17 Cascade Microtech, Inc. Probe station
WO2003100445A2 (en) 2002-05-23 2003-12-04 Cascade Microtech, Inc. Probe for testing a device under test
US7019535B2 (en) * 2002-09-16 2006-03-28 Agilent Technologies, Inc. Method and system for calibrating a measurement device path and for measuring a device under test in the calibrated measurement device path
US6847219B1 (en) 2002-11-08 2005-01-25 Cascade Microtech, Inc. Probe station with low noise characteristics
US6724205B1 (en) 2002-11-13 2004-04-20 Cascade Microtech, Inc. Probe for combined signals
US7250779B2 (en) 2002-11-25 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe station with low inductance path
US6861856B2 (en) 2002-12-13 2005-03-01 Cascade Microtech, Inc. Guarded tub enclosure
JP3992715B2 (ja) * 2003-02-24 2007-10-17 富士通株式会社 ケーブルアセンブリの電気特性測定装置、ケーブルアセンブリの電気特性測定プログラムおよびケーブルアセンブリの電気特性測定方法
US7130756B2 (en) * 2003-03-28 2006-10-31 Suss Microtec Test System Gmbh Calibration method for carrying out multiport measurements on semiconductor wafers
US7221172B2 (en) 2003-05-06 2007-05-22 Cascade Microtech, Inc. Switched suspended conductor and connection
US7492172B2 (en) 2003-05-23 2009-02-17 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US7057404B2 (en) 2003-05-23 2006-06-06 Sharp Laboratories Of America, Inc. Shielded probe for testing a device under test
JP4274462B2 (ja) * 2003-09-18 2009-06-10 株式会社アドバンテスト 誤差要因取得用装置、方法、プログラムおよび記録媒体
US7250626B2 (en) 2003-10-22 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe testing structure
US7013229B2 (en) * 2003-11-13 2006-03-14 Agilent Technologies, Inc. Obtaining calibration parameters for a three-port device under test
US7187188B2 (en) 2003-12-24 2007-03-06 Cascade Microtech, Inc. Chuck with integrated wafer support
US7427868B2 (en) 2003-12-24 2008-09-23 Cascade Microtech, Inc. Active wafer probe
DE202005021434U1 (de) 2004-06-07 2008-03-20 Cascade Microtech, Inc., Beaverton Thermooptische Einspannvorrichtung
US7330041B2 (en) 2004-06-14 2008-02-12 Cascade Microtech, Inc. Localizing a temperature of a device for testing
DE202005021386U1 (de) 2004-07-07 2007-11-29 Cascade Microtech, Inc., Beaverton Prüfkopf mit einem Messfühler mit Membranaufhängung
DE102005005056B4 (de) * 2004-09-01 2014-03-20 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg Verfahren zum Kalibrieren eines Netzwerkanalysators
EP1789812A2 (en) 2004-09-13 2007-05-30 Cascade Microtech, Inc. Double sided probing structures
US7068046B2 (en) * 2004-11-18 2006-06-27 Anritsu Company Calibration techniques for simplified high-frequency multiport differential measurements
US7030625B1 (en) * 2005-01-18 2006-04-18 Agilent Technologies, Inc. Method and apparatus for performing a minimum connection multiport through-reflect-line calibration and measurement
US7535247B2 (en) 2005-01-31 2009-05-19 Cascade Microtech, Inc. Interface for testing semiconductors
US7656172B2 (en) 2005-01-31 2010-02-02 Cascade Microtech, Inc. System for testing semiconductors
US7449899B2 (en) 2005-06-08 2008-11-11 Cascade Microtech, Inc. Probe for high frequency signals
EP1932003A2 (en) 2005-06-13 2008-06-18 Cascade Microtech, Inc. Wideband active-passive differential signal probe
US7609077B2 (en) 2006-06-09 2009-10-27 Cascade Microtech, Inc. Differential signal probe with integral balun
US7443186B2 (en) 2006-06-12 2008-10-28 Cascade Microtech, Inc. On-wafer test structures for differential signals
US7723999B2 (en) 2006-06-12 2010-05-25 Cascade Microtech, Inc. Calibration structures for differential signal probing
US7764072B2 (en) 2006-06-12 2010-07-27 Cascade Microtech, Inc. Differential signal probing system
US7403028B2 (en) 2006-06-12 2008-07-22 Cascade Microtech, Inc. Test structure and probe for differential signals
DE102007028725A1 (de) * 2007-06-21 2008-12-24 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung von Netzwerkanalysatoren mit einem Kammgenerator
US7876114B2 (en) 2007-08-08 2011-01-25 Cascade Microtech, Inc. Differential waveguide probe
US7888957B2 (en) 2008-10-06 2011-02-15 Cascade Microtech, Inc. Probing apparatus with impedance optimized interface
WO2010059247A2 (en) 2008-11-21 2010-05-27 Cascade Microtech, Inc. Replaceable coupon for a probing apparatus
US8319503B2 (en) 2008-11-24 2012-11-27 Cascade Microtech, Inc. Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test
US8706438B2 (en) * 2010-02-01 2014-04-22 Teledyne Lecroy, Inc. Time domain network analyzer
EP2363719A1 (en) * 2010-02-12 2011-09-07 ATE Systems, Inc Method and apparatus for calibrating a test system for measuring a device under test
JP6055215B2 (ja) * 2012-06-29 2016-12-27 キーサイト テクノロジーズ， インク． インピーダンス測定方法及び測定装置
CN104569885B (zh) * 2013-10-21 2017-07-25 哈尔滨飞机工业集团有限责任公司 一种实现同步发送器/解析器现场校准的方法
US10794837B2 (en) 2017-07-12 2020-10-06 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg On-wafer calibration device
US10938490B1 (en) * 2018-10-31 2021-03-02 Christos Tsironis Calibration method for coupler-tuner assembly
CN111983431B (zh) * 2020-08-31 2022-11-15 中电科思仪科技股份有限公司 一种提高矢量网络分析仪端口反射系数模拟精度的方法
CN112051534B (zh) * 2020-08-31 2023-08-25 中电科思仪科技股份有限公司 一种提高微波网络测量与校准精度的外置式装置及方法
JP2022160356A (ja) * 2021-04-06 2022-10-19 ローム株式会社 周波数特性測定装置
CN112986888B (zh) * 2021-04-25 2021-08-06 武汉磐电科技股份有限公司 一种变压器短路阻抗测试仪的检定方法及检定装置
WO2023104314A1 (en) * 2021-12-09 2023-06-15 Advantest Corporation Electronic circuit, automated test equipment, method and computer program for mitigating an influence of a mismatch loss in a measurement setup
CN118625241B (zh) * 2024-08-12 2024-12-10 深圳市鼎阳科技股份有限公司 一种电子校准件和一种矢量网络分析仪的端口校准方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19736897A1 (de) 1996-09-30 1998-04-02 Rohde & Schwarz Verfahren zur Kalibrierung eines vektoriellen Netzwerkanalysators
DE19755659A1 (de) 1997-12-15 1999-06-17 Rohde & Schwarz Anordnung zum Kalibrieren eines Netzwerkanalysators zur industriellen Serienmessung von n-Tor-Netzwerken

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5467021A (en) * 1993-05-24 1995-11-14 Atn Microwave, Inc. Calibration method and apparatus
US5434511A (en) * 1993-05-24 1995-07-18 Atn Microwave, Inc. Electronic microwave calibration device
US5793213A (en) * 1996-08-01 1998-08-11 Motorola, Inc. Method and apparatus for calibrating a network analyzer
US5825669A (en) * 1996-12-17 1998-10-20 Wiltron Company Method of updating automatic calibration to provide a perceived perfect through connection
US6188968B1 (en) * 1998-05-18 2001-02-13 Agilent Technologies Inc. Removing effects of adapters present during vector network analyzer calibration
US6300775B1 (en) * 1999-02-02 2001-10-09 Com Dev Limited Scattering parameter calibration system and method
US6421624B1 (en) * 1999-02-05 2002-07-16 Advantest Corp. Multi-port device analysis apparatus and method and calibration method thereof
JP2004512504A (ja) * 2000-09-18 2004-04-22 アジレント・テクノロジーズ・インク 複数端子不平衡又は平衡装置の線形同定方法及び装置
US6744262B2 (en) * 2002-03-14 2004-06-01 Agilent Technologies, Inc. Method, apparatus, and article of manufacture for characterizing a device and predicting electrical behavior of the device in a circuit
US6757625B2 (en) * 2002-04-22 2004-06-29 Agilent Technologies, Inc. Method, apparatus, and article of manufacture for predicting electrical behavior of a multiport device having balanced device ports

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19736897A1 (de) 1996-09-30 1998-04-02 Rohde & Schwarz Verfahren zur Kalibrierung eines vektoriellen Netzwerkanalysators
DE19755659A1 (de) 1997-12-15 1999-06-17 Rohde & Schwarz Anordnung zum Kalibrieren eines Netzwerkanalysators zur industriellen Serienmessung von n-Tor-Netzwerken

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004034879B4 (de) * 2003-08-05 2006-09-28 Agilent Technologies, Inc. (n.d.Ges.d.Staates Delaware), Palo Alto Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer zu testenden Vorrichtung unter Verwendung einer verbesserten Durchgangs-Reflexions-Leitungs-Messkalibrierung
WO2007147511A3 (de) * 2006-06-21 2008-02-28 Rohde & Schwarz Verfahren und vorrichtung zur kalibrierung eines netzwerkanalysators für messungen an differentiellen anschlüssen
US8126670B2 (en) 2006-06-21 2012-02-28 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg Method and device for calibrating a network analyzer for measuring at differential connections
CN103076589A (zh) * 2013-01-29 2013-05-01 绍兴电力局 一种数字万用表自动检定装置及其检定方法
CN103076589B (zh) * 2013-01-29 2015-08-05 绍兴电力局 一种数字万用表自动检定装置及其检定方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE10314811A1 (de) 2004-06-03
US6853198B2 (en) 2005-02-08
US20040095145A1 (en) 2004-05-20
JP2004163395A (ja) 2004-06-10
DE10314811B4 (de) 2005-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE20305226U1 (de) Vorrichtung zum Durchführen einer Mehrfachtor-Durchgangelement-, Reflexionselement-, Leitungselement-Kalibrierung und -Messung
DE102004034879B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer zu testenden Vorrichtung unter Verwendung einer verbesserten Durchgangs-Reflexions-Leitungs-Messkalibrierung
DE102004020037B4 (de) Kalibrierverfahren zur Durchführung von Mehrtormessungen auf Halbleiterscheiben
EP2156202B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur kalibrierung von netzwerkanalysatoren mit einem kammgenerator
DE10338072B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Meßvorrichtungswegs und zum Messen der S-Parameter einer Testvorrichtung in dem kalibrierten Meßvorrichtungsweg
EP3039443B1 (de) Verfahren zur kalibrierung eines messaufbaus
DE10004628B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Analyse von Mehrkanalbauteilen sowie zugehöriges Kalibrierungsverfahren
DE19828682B4 (de) Automatische Kalibrierung eines Netzwerkanalysators
DE102005025144A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Durchführen einer Minimalverbindungs-Mehrfachtor-Durchgangs-Reflexions-Leitungs-Kalibrierung und -messung
DE102007027142B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung eines Netzwerkanalysators für Messungen an differentiellen Anschlüssen
DE10311046A1 (de) Verfahren, Apparatur und Herstellungsartikel zum Charakterisieren einer Vorrichtung und zum Vorhersagen eines elektrischen Verhaltens der Vorrichtung in einer Schaltung
DE4435559A1 (de) Verfahren zur Durchführung elektrischer Präzisionsmessungen mit Selbstkontrolle
DE10037926A1 (de) Netzwerkanalysator, Netzwerk-Analyseverfahren und Speichermedium
DE112011104803T5 (de) Messfehlerkorrekturverfahren und Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung
WO2008003398A1 (de) Verfahren zur direkten messung der mixed-mode-streumatrix mit einem vektoriellen netzwerkanalysator
DE102005020090A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen eines digitalen Geräts
DE102007057394A1 (de) Verfahren zum Kalibrieren eines vektoriellen Netzwerkanalysators mit mehr als zwei Toren
DE4433375C2 (de) Verfahren zum Kalibrieren eines Netzwerkanalysators
DE19918960B4 (de) Verfahren zur Kalibrierung eines n Meßtore und mindestens 2n Meßstellen aufweisenden vektoriellen Netzwerkanalysators
DE102024106583A1 (de) Echtzeit-äquivalenzbasiertes oszilloskop und breitband-echtzeitspektral-analysator
DE102014019008B4 (de) Verfahren zum Kalibrieren einer Messadaptierung mit zwei differentiellen Schnittstellen
DE102014200517B4 (de) Verfahren, Kalibriereinheit und System zur Ermittlung von Systemfehlern und Leistungswerten für die Kalibrierung eines Netzwerkanalysators
DE102023127146A1 (de) Kalibrierungsvorrichtung für ein messgerät, entsprechendes system und verfahren
DE102005013583B4 (de) Verfahren zur Messung der Streuparameter von Mehrtoren mit 2-Tor-Netzwerkanalysatoren und entsprechende Messvorrichtung
DE19757675A1 (de) Verfahren zur Kalibrierung eines vektoriellen Netzwerkkanalysators

Legal Events

Date Code Title Description
R207 Utility model specification

Effective date: 20030703

R163 Identified publications notified

Effective date: 20030929

R150 Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years

Effective date: 20060619

R157 Lapse of ip right after 6 years

Effective date: 20091103