DE2028357B2 - Elektronenmikroskop - Google Patents

Description

FilterspaltS befindet.

as Ein solches Systt-m weist auf seiner Achse zwei

Die Erfindung betrifft ein Elektronenmikroskop Paare von stigmatischen Punkten auf, wobei das eine mit einem Objektiv, einem Magnetprisma mit zur dieser Paare A \-A'\ reell und d&s andere, Al-A 2. Objektivachse senkrechter Halbierungsebene, einem virtuell ist.

zur Prismenbasis parallelen und den Elektronenstrahl Die oben beschriebene Einrichtung gestattet, wie

reflektierenden elektrostatischen Spiegel und einem 30 man aus der Zeichnung ohne weiteres sieht, nur Geschwindigkeitsfilter mit ejnem Filterspalt. eine Filterung an der Stelle des Bildes/4'2.

Es sind bereits Elektronenmikr «skope bekannt. Die Darstellung in F i g. 2 gibt eine Einrichtung

die ein Dispersionssystem aufweisen, das eine Filte- wieder, die außerdem eine Filterung des Beugungsrung der Elektronenbilder gestattet. Eine derartige diagramms ermöglicht.

Einrichtung ist von R. Castaing und L. Henry 35 Das Objektiv I von Fig. 1 ist durch dre' Elekin einem Bericht über die Sitzung vom 2. 7. 1962 der tronenlinsen Ll, Ll und L3 ersetzt, die eine Verfranzösischen Akademie der Wissenschaften irr. tauschung der Lage des Bildes i'vd des Beugungs-Band 255 auf den Seiten 76 und 78 der Akademie- diagramms des Objekts 2 ermöglichen, die also an berichte beschrieben worden. Bei einem solchen der Stelle B1 ein verkleinertes Bild und an der Dispersionssystem erfähri der von dem Objektiv 40 Stelle B 2 ein vergrößertes Beugungsdiagramm erzeudes Elektronenmikroskops ausgehende Elektronen- gen können. Die Filterung erfolgt an der Stelle des strahl eine erste Ablenkung in einem Magnetprisma, reellen Punktes B'l, d.h. an der Stelle des Bildes, sodann eine Reflexion an einem elektrostatischen und es ist dann möglich, die Bcugungsdiagramnie Spiegel und schließlich eine zweite Ablenkung in zu filtern.

dem Magnetprisma, welche die BUndelachse in die 45 Die Einrichtung von F i g. 2 enthält selbstverständ-Verlängerung der Achse des einfallenden Strahles Hch wie die Einrichtung von Fig. 1 ein Magnetbringt, prisma 3 und einen elektrostatischen Spiegel 4.

Nachteilig ist bei siner solchen Einrichtung, daß In der Einrichtung von Fig. 2 besitzt die erste

sie zwar eine Filterung der Elektronenbilder, nicht Linse L1 eine kleine Brennweite und wirkt ähnlich aber eine Filterung der Beugungsdiagramme ermög- 50 wie ein übliches Objfktiv. Sie liefert an der Stelle Cl licht. Damit nämlich die Einrichtung die Bildqualität ein Beugungsdiagramm und an der Stelle /1 ein nicht beeinträchtigt, dürfen das Beugungsdiagramm reelles Bild. Die zweite Linse 1.2 weist eine Brenn- und das von dem Objektiv entworfene Bild sich weite auf. die /ur Erzeugung eines virtuellen Bildes nur an zwei ausgezeichneten stigmatischen Punkten an der Stelle/2 für das reelle Bild an der Stelle/1 befinden, und eine Filterung mit Hilfe zweier einen 55 und eines reellen Bildes an der Stelle C 2 für das Filterspalt bildender beweglicher Lamellen kann nur Beu^ungsdiagramm an der Stelle C 1 ausr icht. Die am Ort des von dem Dispersionssystem gelieferten Linse L 2 kehrt daher die relative Lagt .m Bild reiten Bildes des Beugungsdiagramms erfolgen, d. h., und Beugungsdiagramm um. die Filterung kann sich mir auf die Bilder beziehen. Die dritte Linse L3 bringt das endgültige Bild Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, 6° an die Steife /3, wo auch der stigmatische Punkt Bl eine Einrichtung zu schaffen, die zusätzlich zur des Prismas 3 liegt, und das Beugungsdiagramm an Filterung der Bilder auch eine Filterung der Beu· die Stelle des stigmatischen Punktes B1 des Prismas 3. gungsdiagramme ermöglicht. Die in F i g. 2 dargestellten stigmatischen Punkte

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch B'2 und B'l entsprechen den stigmatischen Punkten gelöst, daß das Objektiv, das aus drei Elektronen- 65 A'2 bzw. A'\ in Fig. 1.

linsen besteht, in Fortpflanzungsrichtung des Elek- Bei einem speziellen Ausführungsbeispiel der Ein* tronenstrahts hinter der letzten Linse ein Bild und richtung hatte die erste Linse Ll eine Brennweite/1 ein Beugungsdiagramm liefert und der Filterspalt an von 2,72 mm. Sie lieferte von dem Objektiv 2 ein

2,78 mm von seinem Mittelpunkt entfernt gelegenes Beugungsdiagramm bei Cl und ein 105,5 mm von dem gleichen Zentrum entfernt gelegenes Bild bei /1. Die zweite Linse Z, 2 befand sich 126 mm von der ersten Linse Ll entfernt und besaß eine Brennweite/2 von 40 mm. Die zweite Linse L2 verlegte das Beugungsdiagramm 49 mm jenseits seines Zentrums an ciit! Stelle C 2 und erzeugte gleichzeitig ein virtuelles Bild an der zwischen den Linsen Ll und Ll 42 mm von dem Zentrum der Linse L 2 entfernten Stelle/2.

n_iP dritte linse7,3 besaß eine Brennweite von

17 4 mm und war 80 mm von de, Linse Ll enifcmt 17,4 mm una war _{das Bei)gungsdiagrumm}

Ji ,er von seinen, Zentrum nach B 2 und das endgültige Bild 20 mm von semem Zentrum

nWe!ien für die einzelnen Abmessen u c S für die gesamte Verkleinerung des vun d?r LAS enwirfene» Bildes ein Wert von 3 und für die Vergrößerung des Beugungsd.aramms

ein Wert von 2,15.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

n ... der Stelle des vom Prisma entworfenen Bildes nach Patentansprüche: Reflexion am Spiegel angeordnet ist.

1. Elektronenmikroskop mit einem Objektiv, Zur weiteren Erläuterung der Erfindung und ihrer einem Magnetprisma mit zur Objektivachse senk- Vorteile soll im folgenden ein mögliches Ausfuhrechter Halbierungsebene, einem zur Prismen- 5 rungsbeispiel für ein Elektronenmikroskop näher basis parallelen und den Elektronenstrahl reflek- beschrieben werden, das in der Zeichnung dargestellt tierenden elektrostatischen Spiegel und einem ist. Dabei zt,^;gt

Geschwindigkeitsfilter mit einem Filterspalt, da- F i g. 1 den schematischen Aufbau einer bekannten

durch gekennzeichnet, daß das Objektiv, Einrichtung zum Filtern von Bildern und
das aus drei Elektronenlinsen besteht, in Fort- io Fig. 2 eine entsprechende Darstellung einer Einpflanzungsrichtung des Elektronenstrahls hinter richtung, die eine Filterung nicht nur der Bilder, der letzten Linse ein reelles Bild und ein Beu- sondern auch der Beugungsdiagramme ermöglicht,
gungsdiagramm des Objekts liefert und der Filter- Die in Fig. 1 veranschaulichte bekannte Einrich-

spalt an der Stelle des vom Prisma entworfenen tu.ig besitzt ein Elektronenobjektiv 1, hinter dem sich Bildes nach Reflexion am Spiegel angeordnet ist. 15 ein Objekt 2 befindet.

2. elektronenmikroskop nach Anspruch 1, da- Auf dem Wege des Elektronenstrahls ist ein durch gekennzeichnet, daß das Objektiv eine Magnetprisma 3 angeordnet.

erste Linse α-;* einer Brennweite von 2,72 mm. Der Elektronenstrahl bildet bei A 1 ein Beugung

eine 120 mm von der ersten Linse entfernte diagramm, erfahrt eine erste Ablenkung in dem zweite Linse mit einer Brennweite von 40 mm ao Prisma 3, wird anschließend an einem elektrostati- und eine 80 mm von der zweiten Linse entfernte sehen Spiegel 4 reflektiert, erfährt sodann eine zweite dritte Linse mit einer Brennweite von 17,4 mm Ablenkung an dem Prisma 3 und liefert schließlich aufweist. ein reelles Bild A' I an der Stelle, an der sich ein