DE2028357C - - Google Patents

Description

Filterspalt 5 befindet.

a5 Ein solches System weist auf seiner Achse zwei

Die Erfindung betrifft ein Elektronenmikroskop Paare von stigmatischen Punkten auf, wobei das eine

mit einem Objektiv, einem Magnetprisma mit zur dieser Paare Al-A'l reell und das andere, A2-A'2,

Objektivachse senkrechter Halbierungsebene, einem virtuell ist.

zur Prismenbasis parallelen und den Elektronenstrahl Die oben beschriebene Einrichtung gestattet, wie reflektierenden elektrostatischen Spiegel und einem 30 man aus der Zeichnung ohne weiteres sieht, nur

Geschwindigkeitsfilter mit einem Filterspalt. eine Filterung an der Stelle des Bildes A'2.

Es sind bereits Elektronenmikroskope bekannt, Die Darstellung in Fig. 2 gibt eine Einrichtung

die ein Dispersionssystem aufweisen, das eine Filte- wieder, die außerdem eine Filterung des Beugungs-

rung der Elektronenbilder gestattet. Eine derartige diagramms ermöglicht.

Einrichtung ist von R. Castaing und L. Henry 35 Das Objektiv 1 von Fig. 1 ist durch drei Elckin einem Bericht über die Sitzung vom 2. 7. 1962 der tronenlinsen Ll, L2 und L3 ersetzt, die eine Verfranzösischen Akademie der Wissenschaften im tauschung der Lage des Bildes und des Beugungs-Band 255 auf den Seiten 76 und 78 der Akademie- diagramms des Objekts 2 ermöglichen, die also an berichte beschrieben worden. Bei einem solchen der Stelle Bl ein verkleinertes Bild und an der Dispersiorissystem erfährt der von dem Objektiv 40 Stelle B 2 ein vergrößertes Beugungsdiagramm erzeudes Elektronenmikroskops ausgehende Elektronen- gen können. Die Filterung erfolgt an der Stelle des strahl eine erste Ablenkung in einem Magnetprisma, reellen Punktes B'l, d.h. an der Stelle des Bildes, sodann eine Reflexion an einem elektrostatischen und es ist dann möglich, die Beugungsdiagramme Spiegel und schließlich eine zweite Ablenkung in zu filtern.

dem Magnetprisma, welche die Bündelachse in die 45 Die Einrichtung von F i g. 2 enthält selbstverständ-Verlängerung der Achse des einfallenden Strahles lieh wie die Einrichtung von Fig. 1 ein Magnetbringt, prisma 3 und einen elektrostatischen Spiegel 4.

Nachteilig ist bei einer solchen Einrichtung, daß In der Einrichtung von F i g. 2 besitzt die erste

sie zwar eine Filterung der Elektronenbilder, nicht Linse L1 eine kleine Brennweite und wirkt ähnlich

aber eine Filterung der Beugungsdiagramme ermög- 50 wie ein übliches Objektiv. Sie liefert an der Stelle Cl

licht. Damit nämlich die Einrichtung die Bildqualität ein Beugungsdiagramm und an der Stelle /1 ein

nicht beeinträchtigt, dürfen das Beugungsdiagramm reelles Bild. Die zweite Linse L2 weist eine Brenn-

und das von dem Objektiv entworfene Bild sich weite auf, die zur Erzeugung eines virtuellen Bildes

nur an zwei ausgezeichneten siigmatischen Punkten an der Stelle/2 für das reelle Bild an der Stelleil

befinden, und eine Filterung mit Hilfe zweier einen 55 und eines reellen Bildes an der Stelle C 2 für das

Filterspalt bildender beweglicher Lamellen kann nur Beugungsdiagramm an der Stelle Cl ausreicht. Die

am Ort des von dem Dispersionssystem gelieferten Linse L 2 kehrt daher die relative Lage von Bild

reiten Bildes des Beugungsdiagramms erfolgen, d. h., und Beugungsdiagramm um.

die Filterung kann sich nur auf die Bilder beziehen. Die dritte Linse L3 bringt das endgültige Bad

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, 60 an die Stelle/3, wo auch der stigmatische Punkt Bl

eine Einrichtung zu schaffen, die zusätzlich zur des Prismas 3 liegt, und das Beugungsdiagramm an

Filterung der Bilder auch eine Filterung der Beu- die Stelle des stigmatischen Punktes B 2 des Prismas 3.

gungsdiagramme ermöglicht. Die in Fig. 2 dargestellten stigmatischen Punkte

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch B' 2 und B' 1 entsprechen den stigmatischen Punkten

gelöst, daß das Objektiv, das aus drei Elektronen- 65 A'2 bzw. A'l in Fig. 1.

linsen besteht, in Fortpflanzungsrichtung des Elek- Bei einem speziellen Ausführungsbeispiel der Ein-

tronenstrahls hinter der letzten Linse ein Bild und richtung hatte die erste Linse Ll eine Brennweite/1

ein Beugungsdiagramm liefert und der Filterspalt an von 2,72 mm. Sie lieferte von dem Objektiv 2 ein

2,78 mm von seinem Mittelpunkt entfernt gelegenes Beugungsdiagranun bei Cl und ein 105,5 mm von dem gleichen Zentrum entfernt gelegenes Bild bei /1. Die zweite Linse L 2 befand sich 126 mm von der ersten Linse Ll entfernt und besaß eine Brennweite/2 von 40 mm. Die zweite Linse L 2 verlegte das Beugungsdiagramm 49 mm jenseits seines Zentrums an die Stelle C 2 und erzeugte gleichzeitig ein virtuelles Bild an der zwischen den Linsen L1 und L 2 42 mm von dem Zentrum der Linse L 2 entfernten Stelle 12.

Die dritte LinseL3 besaß eine Brennweite von 17 4 mm und war 80 mm von der Linse L 2 entfernt angeordnet. Sie verlegte das Beugungsdiagramm 95 mm entfernt von seinem Zentrum nach B 2 und das endgültige Bild 20 nun von seinem Zentrum ^en^erien für die einzelnen Abmessungen ergab sich für die gesamte Verkleinerung des von der Linse Ll entworfenen Bildes em Wert von 3 und für die Vergrößerung des Beugungsdiaramms ein Wert von 2,15.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

ι y 2 der Stelle des vom Prisma entworfenen Bildes nach Patentansprüche: Reflexion am Spiegel angeordnet ist.

1. Elektronenmikroskop mit einem Objektiv, Zur weiteren Erläuterung der Erfindung und ihrer einem Magnetprisma mit zur Objektivachse senk- Vorteile soll im folgenden ein mögliches Ausfuhrechter Halbierungsebene, einem zur Prismen- 5 rungsbeispiel für ein Elektronenmikroskop naher basis parallelen und den Elektronenstrahl reflek- beschrieben werden, das in der Zeichnung dargestellt tierenderi elektrostatischen Spiegel und einem ist. Dabei zeigt .
Geschwindigkeitsfilter mit einem Filterspalt, da- F i g. 1 den schematischen Aufbau einer bekannten durch gekennzeichnet, daß das Objektiv, Einrichtung zum Filtern von Bildern und

das aus drei Elektronenlinsen besteht, in Fort- io Fig. 2 eine entsprechende Darstellung einer, hin-

pflanzungsrichtung des Elektronenstrahls hinter richtung, die eine Filterung nicht nur der Bilder,

der letzten Linse ein reelles Bild und ein Beu- sondern auch der Beugungsdiagrarnme ermöglicht

gungsdiagramm des Objekts liefert und der Filter- Die in Fig. 1 veranschaulichte bekannte fcinncn-

spalt an der Stelle des vom Prisma entworfenen tung besitzt ein Elektronenobjektiv 1, hinter demsicn

Bildes nach Reflexion am Spiegel angeordnet ist. 15 ein Objekt 2 befindet.

2. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, da- Auf dem Wege des Elektronenstrahls ist ein durch gekennzeichnet, daß das Objektiv eine Masjnetprisma 3 angeordnet.

erste Linse mit einer Brennweite von 2,72 mm, Der Elektronenstrahl bildet bei A 1 ein Beugungseine 120 mm von der ersten Linse entfernte diagramm, erfährt eine erste Ablenkung in dem zweite Linse mit einer Brennweite von 40 rom ao Prisma 3. wird anschließend an einem elektrostnn- und eine 80 mm von der zweiten Linse entfernte sehen Spiegel 4 reflektiert, erfährt sodann eine zweite dritte Linse mit einer Brennweite von 17,4 mm Ablenkung an dem Prisma 3 und liefert schließlich aufweist. ein reelles Bild/Tl an der Stelle, an der sich ein