DE2027983A1 - Verfahren zur Fehlerkompensation - Google Patents

Verfahren zur Fehlerkompensation

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DE2027983A1
DE2027983A1 DE19702027983 DE2027983A DE2027983A1 DE 2027983 A1 DE2027983 A1 DE 2027983A1 DE 19702027983 DE19702027983 DE 19702027983 DE 2027983 A DE2027983 A DE 2027983A DE 2027983 A1 DE2027983 A1 DE 2027983A1
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DE19702027983
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Kurt Schedewie Franz J Dr 7030 Bobhngen GOIb 7 12 Kosanke
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IBM Deutschland GmbH
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    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
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    • G01B9/02055Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
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    • GPHYSICS
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2929945A1 (de) * 1978-09-28 1980-04-17 Farrand Ind Inc Interferometer
DE3029716A1 (de) * 1980-08-06 1982-02-18 Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zur automatishen aufrechterhaltung einer justage der deckung und der relativen phasenlage von lichtstrahlen in einem fuer den ultraschallempfang benutzten optischen interferometer
DE3401900A1 (de) * 1984-01-20 1985-08-01 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Interferometer zur laengen- oder winkelmessung

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2929945A1 (de) * 1978-09-28 1980-04-17 Farrand Ind Inc Interferometer
DE3029716A1 (de) * 1980-08-06 1982-02-18 Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zur automatishen aufrechterhaltung einer justage der deckung und der relativen phasenlage von lichtstrahlen in einem fuer den ultraschallempfang benutzten optischen interferometer
DE3401900A1 (de) * 1984-01-20 1985-08-01 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Interferometer zur laengen- oder winkelmessung

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