DE2058064C3 - Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz - Google Patents
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- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Description
40
Die Erfindung betrifft ein Gerät gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein Gerät mit diesen Merkmalen ist aus der DE-PS 99 545 bekannt. Es enthält eine nicht näher spezifizier- ^5
te Lichtquelle und ein Interferometer mit zwei teildurchlässigen und zwei vollständig reflektierenden
Spiegeln, in dem der eine Teilstrahl zwischen seinem Entstehungsort an dem als Bündelteiler wirkenden
einen teildurchlässigen Spiegel und dem Ort der Wiedervereinigung mit dem anderen Teilstrahl dreimal
reflektiert wird, während der andere Teilstrahl zwischen Entstehungsort und Wiedervereinigungsort zwei teildurchlässige
Spiegel durchsetzt und einmal reflektiert wird.
Aus der Zeitschrift »Internationale Elektronische Rundschau« 1969, Nr. 1, Seite 24, ist außerdem ein
durchstimmbarer Laser bekannt.
Es ist ferner in der deutschen Patentanmeldung entsprechend DE-OS 20 45 386 ein Gerät zur Bestimmung
des CXVGehaltes einer biologischen Substanz vorgeschlagen worden, das einen CO2-Laser, ein
Interferometer und eine Detektorbrücke mit zwei photoelektrischen Einrichtungen enthält. Das Interferometer
ist so ausgebildet, daß ein erster Teilstrahl mit zwei in Phasenquadratur stehenden Versionen eines
zweiten Teilstrahles, der durch die Probe beeinflußt wurde, zur Interferenz gebracht wird.
Bei der Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz mit optischer Strahlung ist es oft erwünscht,
mit verschiedenen Meßwellenlängen arbeiten zu können. Besonders zweckmäßig wäre es, wenn man ähnlich
wie bei Frequenzgangsmessungen eines elektrischen Vierpols mit einer kontinuierlich variablen Meßwellen
länge arbeiten könnte. Im durchstimmbaren Laser steht
zwar eine optische Strahlungsquelle mit kontinuierlich veränderbarer Wellenlänge zur Verfugung, die Durchführung
einer Messung bei unterschiedlichen Wellenlängen ist jedoch bei Verwendung des oben erwähnten
bekannten Gerätes mühsam, da das Gerät bei jeder neuen Meßwellenlänge neu abgeglichen werden muß.
Ein kontinuierliches Durchfahren eines ganzen Wellenlängenbereiches unter gleichzeitiger Gewinnung eines
entsprechenden Ausgangssignales ist mit dem bekannten Gerät überhaupt nich; möglich.
Der vorliegenden Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, ein Gerät der eingangs
genannten Art so zu verbessern, daß ein Obergang auf andere Meßwellenlängen ohne Neujustierung möglich
ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Maßnahmen
gelöst.
Eine Weiterbildung der Erfindung ist Gegenstand des Anspruchs 2.
Durch die vorliegende Erfindung werden sowohl die Anwendungsmöglichkeiten als auch die Genauigkeit
und der Informationsinhalt der Messungen eines Gerätes der eingangs genannten Art dadurch wesentlich
vergrößert, daß der Laser durchstimmbar ist und daß die optischen Längen des Meß- und Vergleichskanales
zwischen der Eintrittsseite des Bündelteilers und der Austrittsseite der die Bündel vereinigenden
Vorrichtung gleich sind.
Durch diese Maßnahmen wird das vorgeschlagene Gerät »breitbandig« gemacht, so daß einwandfreie
Meßergebnisse auch bei Veränderung der Schwingungsfrequenz des Lasers in einem weiten Bereich
erhalten werden. Das Meßergebnis ist nämlich abgesehen von den Einflüssen der Substanz unabhängig von
der Frequenz bzw. Wellenlänge des vom Laser erzeugten Strahlungsbündels.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt.
Das in der Zeichnung schematisch dargestellte Gerät enthält einen durchstimmbaren Laser 10, für den irgend
ein bekannter Laser verwendet werden kann, dessen Schwingungsfrequenz in einem verhältnismäßig großen
Bereich veränderbar ist.
Die Frequenz des Lasers ist durch einen Modulator 11
steuerbar, der z. B. eine zeitlich lineare Frequenzänderung bewirkt. Wenn die Darstellung der Ausgangssignale
durch ein registrierendes Meßgerät, z. B. einen Schreiber, erfolgt, verläuft die Frequenzänderung so
langsam, daß das Ergebnis einwandfrei aufgezeichnet werden kann. Bei Darstellung der Meßergebnisse durch
einen Oszillographen, was im folgenden angenommen werden soll, erfolgt die Frequenzänderung vorzugsweise
verhältnismäßig rasch und periodisch, z. B. entsprechend einer Sägezahnschwingung von 50 Hz.
Der Laser 10 liefert ein Strahlungsbündel 12, das durch einen Bündelteller 14 in zwei Teilstrahlen, nämlich
ein Referenzbündel 12a und ein Meßbündel 126, a ifgeteilt wird. Das Referenzbündel 12a fällt durch eine
Vergleichsküvette 16 auf einen Umlenkspiegel 18, dessen Lage vorzugsweise elektrisch justierbar ist,
worauf noch näher eingegangen wird. Das Meßbündel
120 fällt auf einen Umlenkspiegel 20, anschließend
Jurch die Meßküvette 22 und gelangt schließlich zu
einem halbdurchlässigen Spiegel 24, vor dem ein wesentlicher Teil der einfallenden Strahlung zu einer
photoelektrischen Wandlereinrichtung 26 reflektiert wird. Das vom Spiegel 18 reflektierte Referenzbündel
durchsetzt zu einem wesentlichen Teil den halbdurchlässigen Spiegel 24 und die auf diese Weise vereinigten
Bünde! treten am Ort der photoelektrischen Wandlereinrichtung
2i» in Interferenz.
Gemäß der vorliegenden Erfindung sind die optischen Längen des vom Referenzbündel 12a durchlaufenen
Vergleichskanals und des vom Meßbündel 12£> durchlaufenen Meßkanals, gemessen von der Eintrittsseite des Bündelteilers 14 bis zur Austrittsseite des
halbdurchlässigen Spiegels 24, gleich, so daß sich an der Interferenz am Ort der photoelektrischen Wandlereinrichtung
26 nichts ändert, wenn die Wellenlänge des Strahlungsbündels 12 geändert wird, die Verhältnisse
aber sonst konstant und frequenzabhängig sind.
Das Ausgangssignal photoelektrischen Wandlungseinrichtung 26 gibt also die Dämpfung und Phasenverschiebung
durch die in der Küvette 22 enthaltene Substanz in Abhängigkeit von der Wellenlänge wieder.
Zur Anzeige der Dämpfung und Phasenverschiebung wird das Ausgangssignal der photoelektrischen Wandlungseinrichtung
vorzugsweise über einen Regelverstärker 28 einer Vorrichtung 30 zugeführt, die ein
Stellsignal für eine Stellvorrichtung 32 liefert, welche den Spiegel 18 in seiner Lage zu verstellen gestattet. Di«.
Stellvorrichtung 32 enthält vorzugsweise ein piezoelektrisches Element, an dem der Spiegel 18 angebracht ist.
Die die Bauelemente 26, 28, 30, 32 und 18 enthaltende Regelanordnung ist vorzugsweise so ausgebildet, daß
am Ort der photoelektrischen Wandlereinrichtung 26 ein Interferenzmaximum aufrechterhalten wird. Die
Strahlungsintensität im Interferenzmaximum ist dann umgekehrt proportional zur Dämpfung der Strahlung
durch die Substanz in der Küvette 22, während die Verstellung des Spiegels 18 und damit das Stellsignal ein
Maß für die Phasenverschiebung der Strahlung durch die Substanz darstellt. Dämpfung und Phasenverschiebung
können durch einen Zweistrahl-Oszillographen 33 dargestellt werden, dessen Zeitablenkung durch den
Modulator 11 gesteuert wird, indem eine Ausgangsklemme Λ des Modulators 11 mit einer entsprechenden
A-Ablenk- oder Synchronisationsklemme des Oszillographen
33 verbunden wird.
Um das der Dämpfung entsprechende Signal unabhängig von etwaigen Schwankungen der Intensität
des Sirahlungsbündels 12 zu machen, kann man mit einer Vergleichsmessung arbeiten. Hierzu kann man
z. B. den Umlenkspiegel 20 als teildurchlässigen Spiegel ausbilden und die Intensität des durchfallenden Teiles
12c des Strahlungsbündels \2b mittels einer weiteren photoelektrischen Wandlereinrichtung 34 messen. Das
Ausgangssignal dieser photoelektrischen Wandlereinrichtung 34 wird mit dem Ausgangssignal der photoelektrischen
Wandlereinrichtung 26, die wie beschrieben das Interferenzmaximum mißt, in einer Vergleichsschall ang 36 verglichen, die ein von Amplitudenschwankungen
der Eingangsstrahlung unabhängiges Quotientensignal an den Oszillographen 33 liefert. Die direkte
Verbindung 38 zwischen der strahlungsempfindlichen Vorrichtung 26 und dem Oszillographen 33 entfällt in
diesem Falle.
Bei entsprechend langsamer Änderung der Schwingungsfrequenz der vom Laser 10 erzeugten Strahlung
kann an die Stelle des Oszillographen 33 selbstverständlieh ein X Y-Schreiber oder dgl. treten.
Bei der Inbetriebnahme des vorliegenden Gerätes werden zuerst die Spiegel 14,18,20 und 24 so einjustiert,
daß die optische Länge des Meßkanals und des Referenzkanales gleich sind. Dies kann z. B. nach
ίο anfänglicher mechanischer Grobjustierung durch Verschiebung
des Spiegels 18 geschehen, indem an die Stellvorrichtung 32 eine entsprechende Vorspannung
gelegt wird. Alternativ oder zusätzlich kann auch der Spiegel 20 mit einer Verstellvorrichtung, z. B. einem
piezoelektrischen Kristall und der entsprechenden Erregungsschaltung versehen sein. Anschließend wird
die Regelschaltung so einjustiert, daß am Ort der strahlungsempfindlichen Vorrichtung 26 ein Interferenzmaximum
herrscht, was bedeutet, daß der Gangunterschied des Referenzbündels und des Meßbündels
gleich Null ist. Dieser Gangunterschied bleibt auch bei der Änderung der Frequenz des Lasers null, auch wenn
der Regelkreis unterbrochen ist. Mit In-Betrieb befindlicher Regelschaltung und moduliertem Laser
werden dann die gewünschten Messungen durchgeführt.
Claims (2)
1. Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz mit einer optischen Strahlungsquelle
in Form eines Lasers, mit einem den Laserstrahl in zwei Teilstrahlen aufspaltenden Bündelteiler, mit
einer von dem einen Teilstrahl durchsetzten, die zu untersuchende Substanz enthaltenden Meßküvette
und einer von dem anderen Teilstrahl durchsetzten Vergleichsküvette, mit einem optischen Element zur
<o Wiedervereinigung der beiden Teilstrahlen nach Durchgang durch die Meß- bzw. Vergleichsküvette,
und mit einer auf die beiden wiedervereinigten, miteinander interferierenden Teilstrahlen ansprechenden
photoelektrischen Wandiereinrichtung zur Erzeugung eines der von der Substanz bewirkten
Absorption und/oder der von der Substanz bewirkten Phasenverschiebung der Laserstrahlung entsprechenden
Ausgangssignals, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle aus einem
durchstinimbaren Laser (10) besteht, und daß die optischen Weglängen der beiden Teilstrahlen (12a,
Inzwischen ihrem Entstehungsort im Bündelteiler (14) und dem Ort der Wiedervereinigung in dem
optischen Element (24) gleich sind.
2. Gerät nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Unterschiede zwischen den Weglängen der
beiden Teilstrahlen (12a, \2b) kompensierende Regeleinrichtung (28, 30), die eingangsseitig vom
Ausgangssignal der photoelektrischen Wandlereinrichtung (26) beaufschlagt ist und ausgangsseitig mit
einer Justiereinrichtung (32) für ein die optische Weglänge eines der Teilstrahlen beeinflussendes
Element (18) verbunden isi, und durch eine Einrichtung (33) zur Anzeige eines dem Eingangssignal
der Justiereinrichtung (32) entsprechenden Signals.
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19702039382 DE2039382C3 (de) | 1970-08-07 | Verwendung eines CO2 Lasers | |
DE2045386A DE2045386C3 (de) | 1970-08-07 | 1970-09-14 | Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz |
DE2058064A DE2058064C3 (de) | 1970-08-07 | 1970-11-25 | Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz |
LU63678D LU63678A1 (de) | 1970-08-07 | 1971-08-06 | |
NL7110896A NL7110896A (de) | 1970-08-07 | 1971-08-06 | |
BE771030A BE771030A (fr) | 1970-08-07 | 1971-08-06 | Appareil pour determiner la teneur en une substance predonnee d'une matiere |
FR7129056A FR2104115A5 (de) | 1970-08-07 | 1971-08-09 | |
US00170207A US3825347A (en) | 1970-08-07 | 1971-08-09 | Apparatus for determining a substance by an optical radiation |
GB3733871A GB1365121A (en) | 1970-08-07 | 1971-08-09 | Apparatus for determining the content of given substance in a material |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19702039382 DE2039382C3 (de) | 1970-08-07 | Verwendung eines CO2 Lasers | |
DE2045386A DE2045386C3 (de) | 1970-08-07 | 1970-09-14 | Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz |
DE2058064A DE2058064C3 (de) | 1970-08-07 | 1970-11-25 | Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2058064A1 DE2058064A1 (de) | 1972-05-31 |
DE2058064B2 DE2058064B2 (de) | 1979-03-08 |
DE2058064C3 true DE2058064C3 (de) | 1979-10-31 |
Family
ID=27182800
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2045386A Expired DE2045386C3 (de) | 1970-08-07 | 1970-09-14 | Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz |
DE2058064A Expired DE2058064C3 (de) | 1970-08-07 | 1970-11-25 | Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2045386A Expired DE2045386C3 (de) | 1970-08-07 | 1970-09-14 | Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3825347A (de) |
BE (1) | BE771030A (de) |
DE (2) | DE2045386C3 (de) |
FR (1) | FR2104115A5 (de) |
GB (1) | GB1365121A (de) |
LU (1) | LU63678A1 (de) |
NL (1) | NL7110896A (de) |
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- 1971-08-09 GB GB3733871A patent/GB1365121A/en not_active Expired
- 1971-08-09 FR FR7129056A patent/FR2104115A5/fr not_active Expired
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