DE2058064C3 - Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz - Google Patents

Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz

Info

Publication number
DE2058064C3
DE2058064C3 DE2058064A DE2058064A DE2058064C3 DE 2058064 C3 DE2058064 C3 DE 2058064C3 DE 2058064 A DE2058064 A DE 2058064A DE 2058064 A DE2058064 A DE 2058064A DE 2058064 C3 DE2058064 C3 DE 2058064C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substance
laser
partial beams
partial
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2058064A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2058064A1 (de
DE2058064B2 (de
Inventor
Nils Dr.Med. 8035 Gauting Kaiser
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19702039382 external-priority patent/DE2039382C3/de
Priority to DE19702039382 priority Critical patent/DE2039382C3/de
Priority to DE2045386A priority patent/DE2045386C3/de
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE2058064A priority patent/DE2058064C3/de
Priority to LU63678D priority patent/LU63678A1/xx
Priority to NL7110896A priority patent/NL7110896A/xx
Priority to BE771030A priority patent/BE771030A/xx
Priority to FR7129056A priority patent/FR2104115A5/fr
Priority to US00170207A priority patent/US3825347A/en
Priority to GB3733871A priority patent/GB1365121A/en
Publication of DE2058064A1 publication Critical patent/DE2058064A1/de
Publication of DE2058064B2 publication Critical patent/DE2058064B2/de
Publication of DE2058064C3 publication Critical patent/DE2058064C3/de
Application granted granted Critical
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/255Details, e.g. use of specially adapted sources, lighting or optical systems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)

Description

40
Die Erfindung betrifft ein Gerät gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein Gerät mit diesen Merkmalen ist aus der DE-PS 99 545 bekannt. Es enthält eine nicht näher spezifizier- ^5 te Lichtquelle und ein Interferometer mit zwei teildurchlässigen und zwei vollständig reflektierenden Spiegeln, in dem der eine Teilstrahl zwischen seinem Entstehungsort an dem als Bündelteiler wirkenden einen teildurchlässigen Spiegel und dem Ort der Wiedervereinigung mit dem anderen Teilstrahl dreimal reflektiert wird, während der andere Teilstrahl zwischen Entstehungsort und Wiedervereinigungsort zwei teildurchlässige Spiegel durchsetzt und einmal reflektiert wird.
Aus der Zeitschrift »Internationale Elektronische Rundschau« 1969, Nr. 1, Seite 24, ist außerdem ein durchstimmbarer Laser bekannt.
Es ist ferner in der deutschen Patentanmeldung entsprechend DE-OS 20 45 386 ein Gerät zur Bestimmung des CXVGehaltes einer biologischen Substanz vorgeschlagen worden, das einen CO2-Laser, ein Interferometer und eine Detektorbrücke mit zwei photoelektrischen Einrichtungen enthält. Das Interferometer ist so ausgebildet, daß ein erster Teilstrahl mit zwei in Phasenquadratur stehenden Versionen eines zweiten Teilstrahles, der durch die Probe beeinflußt wurde, zur Interferenz gebracht wird.
Bei der Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz mit optischer Strahlung ist es oft erwünscht, mit verschiedenen Meßwellenlängen arbeiten zu können. Besonders zweckmäßig wäre es, wenn man ähnlich wie bei Frequenzgangsmessungen eines elektrischen Vierpols mit einer kontinuierlich variablen Meßwellen länge arbeiten könnte. Im durchstimmbaren Laser steht zwar eine optische Strahlungsquelle mit kontinuierlich veränderbarer Wellenlänge zur Verfugung, die Durchführung einer Messung bei unterschiedlichen Wellenlängen ist jedoch bei Verwendung des oben erwähnten bekannten Gerätes mühsam, da das Gerät bei jeder neuen Meßwellenlänge neu abgeglichen werden muß. Ein kontinuierliches Durchfahren eines ganzen Wellenlängenbereiches unter gleichzeitiger Gewinnung eines entsprechenden Ausgangssignales ist mit dem bekannten Gerät überhaupt nich; möglich.
Der vorliegenden Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, ein Gerät der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß ein Obergang auf andere Meßwellenlängen ohne Neujustierung möglich ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Maßnahmen gelöst.
Eine Weiterbildung der Erfindung ist Gegenstand des Anspruchs 2.
Durch die vorliegende Erfindung werden sowohl die Anwendungsmöglichkeiten als auch die Genauigkeit und der Informationsinhalt der Messungen eines Gerätes der eingangs genannten Art dadurch wesentlich vergrößert, daß der Laser durchstimmbar ist und daß die optischen Längen des Meß- und Vergleichskanales zwischen der Eintrittsseite des Bündelteilers und der Austrittsseite der die Bündel vereinigenden Vorrichtung gleich sind.
Durch diese Maßnahmen wird das vorgeschlagene Gerät »breitbandig« gemacht, so daß einwandfreie Meßergebnisse auch bei Veränderung der Schwingungsfrequenz des Lasers in einem weiten Bereich erhalten werden. Das Meßergebnis ist nämlich abgesehen von den Einflüssen der Substanz unabhängig von der Frequenz bzw. Wellenlänge des vom Laser erzeugten Strahlungsbündels.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt.
Das in der Zeichnung schematisch dargestellte Gerät enthält einen durchstimmbaren Laser 10, für den irgend ein bekannter Laser verwendet werden kann, dessen Schwingungsfrequenz in einem verhältnismäßig großen Bereich veränderbar ist.
Die Frequenz des Lasers ist durch einen Modulator 11 steuerbar, der z. B. eine zeitlich lineare Frequenzänderung bewirkt. Wenn die Darstellung der Ausgangssignale durch ein registrierendes Meßgerät, z. B. einen Schreiber, erfolgt, verläuft die Frequenzänderung so langsam, daß das Ergebnis einwandfrei aufgezeichnet werden kann. Bei Darstellung der Meßergebnisse durch einen Oszillographen, was im folgenden angenommen werden soll, erfolgt die Frequenzänderung vorzugsweise verhältnismäßig rasch und periodisch, z. B. entsprechend einer Sägezahnschwingung von 50 Hz.
Der Laser 10 liefert ein Strahlungsbündel 12, das durch einen Bündelteller 14 in zwei Teilstrahlen, nämlich ein Referenzbündel 12a und ein Meßbündel 126, a ifgeteilt wird. Das Referenzbündel 12a fällt durch eine Vergleichsküvette 16 auf einen Umlenkspiegel 18, dessen Lage vorzugsweise elektrisch justierbar ist,
worauf noch näher eingegangen wird. Das Meßbündel 120 fällt auf einen Umlenkspiegel 20, anschließend Jurch die Meßküvette 22 und gelangt schließlich zu einem halbdurchlässigen Spiegel 24, vor dem ein wesentlicher Teil der einfallenden Strahlung zu einer photoelektrischen Wandlereinrichtung 26 reflektiert wird. Das vom Spiegel 18 reflektierte Referenzbündel durchsetzt zu einem wesentlichen Teil den halbdurchlässigen Spiegel 24 und die auf diese Weise vereinigten Bünde! treten am Ort der photoelektrischen Wandlereinrichtung 2i» in Interferenz.
Gemäß der vorliegenden Erfindung sind die optischen Längen des vom Referenzbündel 12a durchlaufenen Vergleichskanals und des vom Meßbündel 12£> durchlaufenen Meßkanals, gemessen von der Eintrittsseite des Bündelteilers 14 bis zur Austrittsseite des halbdurchlässigen Spiegels 24, gleich, so daß sich an der Interferenz am Ort der photoelektrischen Wandlereinrichtung 26 nichts ändert, wenn die Wellenlänge des Strahlungsbündels 12 geändert wird, die Verhältnisse aber sonst konstant und frequenzabhängig sind.
Das Ausgangssignal photoelektrischen Wandlungseinrichtung 26 gibt also die Dämpfung und Phasenverschiebung durch die in der Küvette 22 enthaltene Substanz in Abhängigkeit von der Wellenlänge wieder.
Zur Anzeige der Dämpfung und Phasenverschiebung wird das Ausgangssignal der photoelektrischen Wandlungseinrichtung vorzugsweise über einen Regelverstärker 28 einer Vorrichtung 30 zugeführt, die ein Stellsignal für eine Stellvorrichtung 32 liefert, welche den Spiegel 18 in seiner Lage zu verstellen gestattet. Di«. Stellvorrichtung 32 enthält vorzugsweise ein piezoelektrisches Element, an dem der Spiegel 18 angebracht ist. Die die Bauelemente 26, 28, 30, 32 und 18 enthaltende Regelanordnung ist vorzugsweise so ausgebildet, daß am Ort der photoelektrischen Wandlereinrichtung 26 ein Interferenzmaximum aufrechterhalten wird. Die Strahlungsintensität im Interferenzmaximum ist dann umgekehrt proportional zur Dämpfung der Strahlung durch die Substanz in der Küvette 22, während die Verstellung des Spiegels 18 und damit das Stellsignal ein Maß für die Phasenverschiebung der Strahlung durch die Substanz darstellt. Dämpfung und Phasenverschiebung können durch einen Zweistrahl-Oszillographen 33 dargestellt werden, dessen Zeitablenkung durch den Modulator 11 gesteuert wird, indem eine Ausgangsklemme Λ des Modulators 11 mit einer entsprechenden A-Ablenk- oder Synchronisationsklemme des Oszillographen 33 verbunden wird.
Um das der Dämpfung entsprechende Signal unabhängig von etwaigen Schwankungen der Intensität des Sirahlungsbündels 12 zu machen, kann man mit einer Vergleichsmessung arbeiten. Hierzu kann man z. B. den Umlenkspiegel 20 als teildurchlässigen Spiegel ausbilden und die Intensität des durchfallenden Teiles 12c des Strahlungsbündels \2b mittels einer weiteren photoelektrischen Wandlereinrichtung 34 messen. Das Ausgangssignal dieser photoelektrischen Wandlereinrichtung 34 wird mit dem Ausgangssignal der photoelektrischen Wandlereinrichtung 26, die wie beschrieben das Interferenzmaximum mißt, in einer Vergleichsschall ang 36 verglichen, die ein von Amplitudenschwankungen der Eingangsstrahlung unabhängiges Quotientensignal an den Oszillographen 33 liefert. Die direkte Verbindung 38 zwischen der strahlungsempfindlichen Vorrichtung 26 und dem Oszillographen 33 entfällt in diesem Falle.
Bei entsprechend langsamer Änderung der Schwingungsfrequenz der vom Laser 10 erzeugten Strahlung kann an die Stelle des Oszillographen 33 selbstverständlieh ein X Y-Schreiber oder dgl. treten.
Bei der Inbetriebnahme des vorliegenden Gerätes werden zuerst die Spiegel 14,18,20 und 24 so einjustiert, daß die optische Länge des Meßkanals und des Referenzkanales gleich sind. Dies kann z. B. nach ίο anfänglicher mechanischer Grobjustierung durch Verschiebung des Spiegels 18 geschehen, indem an die Stellvorrichtung 32 eine entsprechende Vorspannung gelegt wird. Alternativ oder zusätzlich kann auch der Spiegel 20 mit einer Verstellvorrichtung, z. B. einem piezoelektrischen Kristall und der entsprechenden Erregungsschaltung versehen sein. Anschließend wird die Regelschaltung so einjustiert, daß am Ort der strahlungsempfindlichen Vorrichtung 26 ein Interferenzmaximum herrscht, was bedeutet, daß der Gangunterschied des Referenzbündels und des Meßbündels gleich Null ist. Dieser Gangunterschied bleibt auch bei der Änderung der Frequenz des Lasers null, auch wenn der Regelkreis unterbrochen ist. Mit In-Betrieb befindlicher Regelschaltung und moduliertem Laser werden dann die gewünschten Messungen durchgeführt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz mit einer optischen Strahlungsquelle in Form eines Lasers, mit einem den Laserstrahl in zwei Teilstrahlen aufspaltenden Bündelteiler, mit einer von dem einen Teilstrahl durchsetzten, die zu untersuchende Substanz enthaltenden Meßküvette und einer von dem anderen Teilstrahl durchsetzten Vergleichsküvette, mit einem optischen Element zur <o Wiedervereinigung der beiden Teilstrahlen nach Durchgang durch die Meß- bzw. Vergleichsküvette, und mit einer auf die beiden wiedervereinigten, miteinander interferierenden Teilstrahlen ansprechenden photoelektrischen Wandiereinrichtung zur Erzeugung eines der von der Substanz bewirkten Absorption und/oder der von der Substanz bewirkten Phasenverschiebung der Laserstrahlung entsprechenden Ausgangssignals, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle aus einem durchstinimbaren Laser (10) besteht, und daß die optischen Weglängen der beiden Teilstrahlen (12a, Inzwischen ihrem Entstehungsort im Bündelteiler (14) und dem Ort der Wiedervereinigung in dem optischen Element (24) gleich sind.
2. Gerät nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Unterschiede zwischen den Weglängen der beiden Teilstrahlen (12a, \2b) kompensierende Regeleinrichtung (28, 30), die eingangsseitig vom Ausgangssignal der photoelektrischen Wandlereinrichtung (26) beaufschlagt ist und ausgangsseitig mit einer Justiereinrichtung (32) für ein die optische Weglänge eines der Teilstrahlen beeinflussendes Element (18) verbunden isi, und durch eine Einrichtung (33) zur Anzeige eines dem Eingangssignal der Justiereinrichtung (32) entsprechenden Signals.
DE2058064A 1970-08-07 1970-11-25 Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz Expired DE2058064C3 (de)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19702039382 DE2039382C3 (de) 1970-08-07 Verwendung eines CO2 Lasers
DE2045386A DE2045386C3 (de) 1970-08-07 1970-09-14 Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz
DE2058064A DE2058064C3 (de) 1970-08-07 1970-11-25 Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz
LU63678D LU63678A1 (de) 1970-08-07 1971-08-06
NL7110896A NL7110896A (de) 1970-08-07 1971-08-06
BE771030A BE771030A (fr) 1970-08-07 1971-08-06 Appareil pour determiner la teneur en une substance predonnee d'une matiere
FR7129056A FR2104115A5 (de) 1970-08-07 1971-08-09
US00170207A US3825347A (en) 1970-08-07 1971-08-09 Apparatus for determining a substance by an optical radiation
GB3733871A GB1365121A (en) 1970-08-07 1971-08-09 Apparatus for determining the content of given substance in a material

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19702039382 DE2039382C3 (de) 1970-08-07 Verwendung eines CO2 Lasers
DE2045386A DE2045386C3 (de) 1970-08-07 1970-09-14 Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz
DE2058064A DE2058064C3 (de) 1970-08-07 1970-11-25 Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2058064A1 DE2058064A1 (de) 1972-05-31
DE2058064B2 DE2058064B2 (de) 1979-03-08
DE2058064C3 true DE2058064C3 (de) 1979-10-31

Family

ID=27182800

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2045386A Expired DE2045386C3 (de) 1970-08-07 1970-09-14 Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz
DE2058064A Expired DE2058064C3 (de) 1970-08-07 1970-11-25 Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2045386A Expired DE2045386C3 (de) 1970-08-07 1970-09-14 Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz

Country Status (7)

Country Link
US (1) US3825347A (de)
BE (1) BE771030A (de)
DE (2) DE2045386C3 (de)
FR (1) FR2104115A5 (de)
GB (1) GB1365121A (de)
LU (1) LU63678A1 (de)
NL (1) NL7110896A (de)

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2751365B2 (de) * 1977-11-17 1979-12-06 Diamant Test Gesellschaft Fuer Edelsteinpruefungen Mbh, 5000 Koeln Vorrichtung zur Messung der Absorption einer Probe
US4183670A (en) * 1977-11-30 1980-01-15 Russell Robert B Interferometer
US4509522A (en) * 1981-12-15 1985-04-09 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Infrared optical measurement of blood gas concentrations and fiber optic catheter
FR2531535B1 (fr) * 1982-08-03 1985-08-30 Onera (Off Nat Aerospatiale) Procede et dispositif de dosage de faible teneur de composants gazeux
JPH0789083B2 (ja) * 1984-04-27 1995-09-27 名古屋大学長 山形ミラーを用いた新ホモダイン法による非対称スペクトル分布測定装置
US5168325A (en) * 1990-02-28 1992-12-01 Board Of Control Of Michigan Technological University Interferometric measurement of glucose by refractive index determination
DE4320036C2 (de) * 1993-06-17 1997-02-13 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Anordnung zur Driftkorrektur zeitdiskreter Meßsignale bezogen auf ein Referenzsignal, insbesondere in der absorptionsspektroskopischen Spurengasanalytik
US8564780B2 (en) * 2003-01-16 2013-10-22 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Method and system for using reflectometry below deep ultra-violet (DUV) wavelengths for measuring properties of diffracting or scattering structures on substrate work pieces
US20080246951A1 (en) * 2007-04-09 2008-10-09 Phillip Walsh Method and system for using reflectometry below deep ultra-violet (DUV) wavelengths for measuring properties of diffracting or scattering structures on substrate work-pieces
US7067818B2 (en) * 2003-01-16 2006-06-27 Metrosol, Inc. Vacuum ultraviolet reflectometer system and method
US7126131B2 (en) * 2003-01-16 2006-10-24 Metrosol, Inc. Broad band referencing reflectometer
US7394551B2 (en) * 2003-01-16 2008-07-01 Metrosol, Inc. Vacuum ultraviolet referencing reflectometer
US7026626B2 (en) * 2003-01-16 2006-04-11 Metrosol, Inc. Semiconductor processing techniques utilizing vacuum ultraviolet reflectometer
CN1856702B (zh) * 2003-09-23 2010-05-26 迈特罗索尔公司 真空紫外参考反射计及其应用方法
US7804059B2 (en) * 2004-08-11 2010-09-28 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Method and apparatus for accurate calibration of VUV reflectometer
US7282703B2 (en) * 2004-08-11 2007-10-16 Metrosol, Inc. Method and apparatus for accurate calibration of a reflectometer by using a relative reflectance measurement
US7663097B2 (en) * 2004-08-11 2010-02-16 Metrosol, Inc. Method and apparatus for accurate calibration of a reflectometer by using a relative reflectance measurement
US7399975B2 (en) * 2004-08-11 2008-07-15 Metrosol, Inc. Method and apparatus for performing highly accurate thin film measurements
US7511265B2 (en) * 2004-08-11 2009-03-31 Metrosol, Inc. Method and apparatus for accurate calibration of a reflectometer by using a relative reflectance measurement
US20080129986A1 (en) * 2006-11-30 2008-06-05 Phillip Walsh Method and apparatus for optically measuring periodic structures using orthogonal azimuthal sample orientations
US20090219537A1 (en) 2008-02-28 2009-09-03 Phillip Walsh Method and apparatus for using multiple relative reflectance measurements to determine properties of a sample using vacuum ultra violet wavelengths
US8153987B2 (en) * 2009-05-22 2012-04-10 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Automated calibration methodology for VUV metrology system
US8867041B2 (en) 2011-01-18 2014-10-21 Jordan Valley Semiconductor Ltd Optical vacuum ultra-violet wavelength nanoimprint metrology
US8565379B2 (en) 2011-03-14 2013-10-22 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Combining X-ray and VUV analysis of thin film layers
US9091523B2 (en) * 2013-07-19 2015-07-28 Quality Vision International, Inc. Profilometer with partial coherence interferometer adapted for avoiding measurements straddling a null position
GB201603051D0 (en) * 2016-02-23 2016-04-06 Ge Healthcare Bio Sciences Ab A method and a measuring device for measuring the absorbance of a substance in at least one solution
AT520258B1 (de) * 2017-07-26 2022-02-15 Univ Wien Tech Verfahren zur spektroskopischen bzw. spektrometrischen Untersuchung einer Probe
US10794819B2 (en) * 2018-10-05 2020-10-06 Massachusetts Institute Of Technology Wide field of view narrowband imaging filter technology
CN109975233B (zh) * 2019-03-13 2020-06-19 浙江大学 一种基于激光衰减的不凝气层测量装置及方法
EP3889580A1 (de) * 2020-04-05 2021-10-06 TGTW Group B.V. System und verfahren zur messung von verunreinigungen in einem im wesentlichen lichtdurchlässigen material, wie etwa wasser

Also Published As

Publication number Publication date
DE2045386C3 (de) 1980-04-03
NL7110896A (de) 1972-02-09
DE2058064A1 (de) 1972-05-31
US3825347A (en) 1974-07-23
LU63678A1 (de) 1971-12-14
DE2039382B2 (de) 1977-02-03
GB1365121A (en) 1974-08-29
FR2104115A5 (de) 1972-04-14
DE2045386B2 (de) 1979-07-26
DE2058064B2 (de) 1979-03-08
DE2045386A1 (de) 1972-03-23
BE771030A (fr) 1971-12-16
DE2039382A1 (de) 1972-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2058064C3 (de) Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz
DE4223337C2 (de) Verfahren und Anordnung zur photothermischen Spektroskopie
DE60100064T2 (de) Bestimmung der Eigenschaften eines optischen Gerätes
DE69409601T2 (de) Interferometrisches Entfernungsmessgerät
DE4230345A1 (de) Optisches niederkohaerenz-reflektometer mit optischer verstaerkung
DE2240968A1 (de) Optisches verfahren zur messung der relativen verschiebung eines beugungsgitters sowie einrichtungen zu seiner durchfuehrung
DE2814006A1 (de) Abtastinterferometer
DE1447253B2 (de) Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen interferometriscverfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen interferometrisc
DE4035266C2 (de) Verfahren und Anordnung zur Thermowellenanalyse
DE2710638C2 (de) Vorrichtung zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung
DE2512771A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen messung der breite von laenglichen elementen
DE2320166A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der konzentration von gasen
DE2709571A1 (de) Auf die intensitaet von ultraschallstrahlung ansprechende einrichtung
DE3029776C2 (de) Verfahren zum berührungslosen Empfang von Ultraschallwellen
DE69317874T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur differentiellen messung von brechungsindizes und deren anwendung
DE4129085A1 (de) Optischer sensor fuer rotationsbewegungen
DE3528259A1 (de) Verfahren und anordnung zur interferometrischen laengenmessung mit halbleiterlasern als lichtquelle
DE68905384T2 (de) Vorrichtung zur korrelation von lichtintensitaet.
DE69000564T2 (de) Optisches system zum messen von linear- oder winkelaenderungen.
DE3542161C2 (de)
DE69206297T2 (de) Optischer Spannungsdetektor.
DE102010021476B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur absoluten Längen- und Abstandsmessung mit kontinuierlicher, durchstimmbarer THz-Strahlung
DE3820170A1 (de) Messgeber zur messung physikalischer groessen
DE3816755C3 (de) Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen der durch Ultraschallwellen verursachten Oberflächenauslenkung eines Prüflings
DE102006048849A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Konzentration zumindest eines Stoffes aus einer Gruppe von n sich in einem Probenmaterial befindenden und die Dispersion des Probenmaterials beeinflussenden Stoffen

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
OI Miscellaneous see part 1
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee