DE2710638C2 - Vorrichtung zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung - Google Patents
Vorrichtung zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreien WerkstoffprüfungInfo
- Publication number
- DE2710638C2 DE2710638C2 DE2710638A DE2710638A DE2710638C2 DE 2710638 C2 DE2710638 C2 DE 2710638C2 DE 2710638 A DE2710638 A DE 2710638A DE 2710638 A DE2710638 A DE 2710638A DE 2710638 C2 DE2710638 C2 DE 2710638C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- laser
- absorption filter
- frequency
- absorption
- photodetector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2418—Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/042—Wave modes
- G01N2291/0423—Surface waves, e.g. Rayleigh waves, Love waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen in
der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Zum berührungslosen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung bedient
man sich vorzugsweise der optischen Überlagerungsverfahren unter Einsatz von Interferometern; geeignet
hierfür ist ein Laufzeit-Interferometer nach DT-OS 57 253. Zu weiteren optischen Empfangsverfahren
vgl. das Buch »Werkstoffprüfung mit Ultraschall« von J. und H. Krautkrämer, Springer Verlag, Berlin und Heidelberg,
3. Auflage, Seiten 162 und folgende.
Diesem Verfahren liegt folgendes Prinzip zugrunde:
Man mißt mit optischen Mitteln den Einfluß, den ein Lichtstrahl an der von einer eingeschallten Ultraschallwelle
beeinflußten Oberfläche eines Prüfobjektes erfährt. Hierbei schwingt die Oberfläche in einer durch die
ggf. an einem Werkstoffehler reflektierte Ultraschallwelle und die elastischen Eigenschaften des Prüfobjektes
gegebenen Form. Das Schwingen der Oberflächenelemente um ihre Ruhelage ist im folgenden als Auslenkung
der Oberfläche bzw. der Oberflächenteile bezeichnet.
Es ist ebenfalls bekannt, die Oberfläche mit einem Laserstrahl zu beleuchten.
Diese Verfahren haben bei einer Empfangsfläche, deren Ausdehnung größer als die Ultraschallwellenlänge
ist, den Nachteil, daß für die Lichtwellen eine räumliche
to Kohärenz erforderlich ist, und man nur mit parallelen
Lichtstrahlen arbeiten kann.
Unter »Empfangsfläche« ist der Oberflächenanteil des Prüfobjektes zu verstehen, von dem Ultraschall
empfangen werden soll. Die »räumliche Kohärenz« bedeutet eine konstante Phasenwinkeldifferenz der sich
überlagernden Lichtweilen für jeden Ort des Lichtbündelquerschnittes. An der vom Ultraschall ausgelenkten
Prüfobjektoberftäche wird das Licht diffus gestreut, und
es ist erforderlich, paralleles Licht auszufiltern, was zu einem großen Lichtverlust führt
] /3 Zwar ist ebenfalls ein Verfahren eingangs genannter
jArt bekannt, bei welchem die Oberfläche eines. Prüfob-
. ijektes durch schräg eingeschallte Ultraschallwellen
iüber einen Winkelprüfkopf erregt und Oberflächenteile
•25 sausgelenki werden. Gleichzeitig wird diese Oberfläche
"des Prüfobjektes durch einen Laserstrahl beleuchtet. Der Laserstrahl muß allerdings eine zwischen Laserresonator
und Prüfobjektoberfläche angeordnete nahe an der Oberfläche befindliche Linse durchsetzen, die das
Laserlicht bündeln soll. Das Laserlicht gelangt also nicht \ iin diffuser Form auf die Oberfläche, so daß stets nur ein
' !kleiner Oberflächenbereich bestrahlt bzv/. nur punktförmig
bestrahlt wird. Hierdurch ist die Laserlichtausbeute verringert. Dann wird das reflektierte Laserlicht
'über einen Blendenrand selektiert und erfährt eine Winkelmodulation
sowie eine Intensitätsänderung des reflektierten Laserstrahles, und der auch amplitudenmodulierte
Laserstrahl gelangt danach in einen Fotodetektor und wird nach Verstärkung einem Anzeigegerät zugeführt.
Hier ist ein Absorptionsfilter nicht erforderlich (US-PS 35 85 848), eine Laserfrequenzstabilisierung ist
nicht vorgesehen. Ferner ist eine Laserstabilisierungsschaltung bekannt, die einen geschlossenen Regelkreis
mit einem /2-AbsorptionsfiIter, einem nachgeschalteten
Pie7oelement, einem Fotodetektor und nachgeschaltetem Verstärkerk'eis aufweist. Für die Laserwellenlängenstabilisierung
wird als Refererawellenlänge eine Hyperfeinstrukturkomponente verwendet, und mit Hilfe
der Neigung des intern in die Apparatur eingeschlossenen Etalons erfaßt Allerdings muß hie» für die Reproduzierung
der Hyperfeinstrukturkomponente ein zweiter Versuchslaser zur Verfügung stehen. Die bekannte
Schaltanordnung dient aber vorrangig zur spektralanalytischen
Erfassung und zum Vergleich von unterschiedliehen
Laserabsorptionslinien, die miteinander zwecks Laserstabilisierung verglichen werden. Die bekannte
Schaltanordnung gibt keinen Hinweis darauf, v/ie sie abzuändern ist, wenn in einem Verfahren zur zerstörungsfreien
Werkstoffprüfung, und zwar in der U!traschalltechnik, auf Ultraschallwellen zurückgehende
Auslenkungen eines Prüfobjektes zu erfassen und ein zugehöriger Laserresonator geeignet zu stabilisieren
sind (Metrologia 12, S. 43-46 (1976)).
Aus der allgemeinen Hochfrequenztechnik ist es zwar bekannt, die Amplitudenmodulation an der Flanke eines
Filters durchzuführen, jedoch für sehr unterschiedliche Zwecke der Steuerungs- und Regeltechnik.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer
3 4
Vorrichtjng zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung Für den hier als Beispiel angegebenen Argon-Ionenla-
mit Ultraschall eingangs genannter Art den Laser in ser mit einer Emission bei 514 nm eignet sich ein Filter,
seiner Frequenz so zu stabilisieren, daß diese immer auf das aus einer lichtdurchlässigen Kammer besteht, die
dem steilsten Teil der Absorptionsflanke sines ersten mit dem Dampf des Jod-Isotops mh gefüllt ist. Dieser
A bsorptionsfiltcrs zu liegen kommt, unter Verwendung 5 Stoff besitzt im Abstimmbereich des Lasers genügend
einer noch einfachen Schaltung. schmale und steile Absorptionslinien. Der Resonator
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dur;h die im des Lasers J wird mit piezoelektrischen Stellelementen
Kennzeichen des Patentanspruches 1 angegebenen so abgestimmt, daß seine Ausgangsfrequenz einem geMaßnahmen
gelöst. Eine vorteilhafte Ausgestaltung ist eigneten Punkt auf der Jod-Absorptionslinie entspricht
im Unteranspruch dargestellt. io (vgl. Punkt A, F i g. 3).
Durch diese Maßnahmen erreicht man bei der zerstö- Dieser Punkt wird vorteilhaft durch einen Regelkreis
rungsfreien Werkstoffprüfung unter Anwendung des entsprechend der F ig. 2 konstant gehalten. Vom Laserberührungslosen
optischen Empfanges von Ultraschall- resonator 9 des Lasers 1 tritt Laserlicht zum Beleuchten
wellen eine genauere Erfassung der auf Ultraschallwel- der Oberfläche 3 aus. Ein geringer Anteil des Laserlichlen
zurückgehenden an der Oberfläche stattfindenden 15 tes wird mit einem Spiegel 10 ausgespiegelt, durch ein
Auslenkung von Teilen des Prüfobjektes, wie Werkstük- zweites Absorptionsfilter 11, das genau dem ersten Abken,
Formkörpern und Blechen, bei dem gleichzeitig sorptionsfilter 7 entspricht (hier also ein l29/2-Filter), auf
diese Oberfläche durch den Laserstrahl diffus beleuch- einen zweiten Fotodetektor 12 geleitet. Der zweite Fotet
und eine relativ größere Lichtausbeute erreicht wer- todetektor 12 gibt an einen Differenzverstärker 13 eine
den kann. 20 dem Laserlicht hinter dem Jodfilter proportionale Span-
Eine Ausführungsform der Erfindung ist in der Zeich- nung U\ ab. An diesem Differenzverstärker liegt gleich-
{hung dargestellt und wird im folgenden näher jrläutert. -zeitig eine den Sollwert bestimmende Spannung U2 an. ■
!Es zeigt !Durch ein Ausgangssignal t/3 des Differenzverstärkers,
F i g. 1 schematisch eine optische Laseranordnung in das nun der Differenz beider Eingangsspannungen proSeitenansicht,
25 portional ist, wird ein piezoelektrisches Element 14 zur . ·
F i g. 2 eine Schaltungsanordnung in Blockdarstellung Veränderung der Resonatorlänge eingestellt. Jede Fre- ',-,
zur Frequenzstabilisierung des verwendeten Lasers und quenzänderung des amplitudenkonstanten Lasers 16 '■■''
Fig.3 eine graphische Darstellung der frequenzab- bzw. 9 bewirkt durch das zweite Absorptionsfilter 11
;hängigen Sperrcharakteristik eines Laserabsorptionsfil- eine Änderung der Laseramplitude, demzufolge eine :?
ters. 30 entsprechende Änderung der Ausgangsspannung des ' '
Von einem frequenzstabilisierten Einmodenlaser 1 zweiten Fotodetektors 12, die mit der Sollspannung un-
^ (nachfolgend Laser 1), vgl. Fig. 1, wird der von der UI- ter Differenzbildung verglichen und verstärkt über das
traschallwelle 2 ausgelenkte Anteil der Oberfläche 3 iPiezoelement 14 die Resonatorlänge (bei 9) derart nach- ;
eines Prüfobjektes 4, der übertrieben groß dargestellt führt, daß die Frequenzabweichung korrigiert wird. Die J
zwischen den Amplituden 3a und 3b schwingt, bestrahlt. 35 Sollspannung am Eingang des Differenzverstärkers 13
Durch die schallbedingte Geschwindigkeit, mit der sich bestimmt den. Arbeitspunkt A auf der Flanke der Jodde»·
Oberflächenanteil bewegt, wird der Laserstrahl Absorptionslinie des Absorptionsfilters. Da das zweite
durch den an sich bekannten Dopplereffekt frequenz- Absorptionsfilter 11 genau dem ersten Absorptionsfilter
moduliert, so daß das reflektierte Laserlicht 5 die Laser- 7 entspricht, bleibt auch der Arbeitspunkt auf dem erfrequenzen
4 - Δ f bis 4 + Δ / enthält, wobei 4 die 40 sten Absorptionsfilter 7 ständig erhalten. In der F i g. 3
Frequenz des Laserstrahles ist und Δ f die durch den wird die Erzeugung der Amplitudenmodulation an der
Dopplereffekt bedingten Frequenzänderungen nach Sperrflanke des Absorptionsfilters verdeutlicht. Die für
oben und unten. Das Laserlicht 5 wird mit einer Sam- das Verfahren benutzte Absorptionslinie des 129J2 hat
mellinse 6 als Linsensystem gebündelt und in einem er- den hier dargestellten Kurvenverlauf und zeigt das Lasten
Absorptionsfilter 7 gesammelt. Die Absorptionsli- 45 serabsorptionsverhalten des Absorptionsfilters in Abnie,
d. h. die Sperrcharakteristik des Absorptionsfilters, hängigkeit von der Laserfrequenz. Die Frequenz 4 des
muß so liegen, daß die Frequenz des Laserlichtes auf Lasers ist durch den Arbeitspunkt A gegeben und wird *
idem steilsten Teil der Absorptionsfilterflanke zu liegen durch die Sollspannung am Differenzverstärker des Sta-Jkommt,
wie in F i g. 3 angedeutet An der Flanke der bilisierungskreises der F i g. 2 konstant gehalten.
|AbsorptionsIinie dieses Absorptionsfilters 7 tritt ent- 50 Die Frequenz 4 verändert sich entsprechend der Ulisprechend den Ober- und Unterwerten von Δ /eine traschallwelle durch den Dopplereffekt um ± Δ /und Amplitudenmodulation Δ A auf. Das aus dem ersten ergibt auf der Flanke der Jodlinie eine Amplitudenmo-Absorptionsfilter 7 austretende Laserlicht ist demzufol- dulation ± Δ A des durchgehenden Laserlichtes. Bei der ge sowohl frequenz- als auch amplitudenmoduliert. In höheren Laserfrequenz 4 + Δ /tritt höchste Laserabeinern nachgeordneten ersten Fotodetektor 8 erzeugt 55 sorption, bei fL- Δ /die geringste Laserabsorption auf. die Amplitudenmodulation des Laserlichtes eine ent- Dieses amplitudenmodulierte Laserlicht wird von dem sprechende Modulation eines elektrischen Wertes. ersten Fotodetektor 8, vgl. Fig. 1, in elektrische und
|AbsorptionsIinie dieses Absorptionsfilters 7 tritt ent- 50 Die Frequenz 4 verändert sich entsprechend der Ulisprechend den Ober- und Unterwerten von Δ /eine traschallwelle durch den Dopplereffekt um ± Δ /und Amplitudenmodulation Δ A auf. Das aus dem ersten ergibt auf der Flanke der Jodlinie eine Amplitudenmo-Absorptionsfilter 7 austretende Laserlicht ist demzufol- dulation ± Δ A des durchgehenden Laserlichtes. Bei der ge sowohl frequenz- als auch amplitudenmoduliert. In höheren Laserfrequenz 4 + Δ /tritt höchste Laserabeinern nachgeordneten ersten Fotodetektor 8 erzeugt 55 sorption, bei fL- Δ /die geringste Laserabsorption auf. die Amplitudenmodulation des Laserlichtes eine ent- Dieses amplitudenmodulierte Laserlicht wird von dem sprechende Modulation eines elektrischen Wertes. ersten Fotodetektor 8, vgl. Fig. 1, in elektrische und
Bei diesem Verfahren ist es wichtig, den Laser so in weiterverarbeitbare Signale umgewandelt. Die Ände- $.
seiner Frequenz zu stabilisieren, daß diese immer auf rung des elektrischen Ausgangssignals des ersten Foto-
dem steilsten Teil der Absorptionsflanke des Absorp- 60 detektors 8 ist funktionell mit der Frequenzänderung
tionsfilters 7 zu liegen kommt, was besonders bei sehr des Laserlichtes verknüpft und damit ein Maß für die
stellen Filtern kritisch ist durch die Ultraschallwelle erzeugte Amplitude der V
Ein derartiges Filter kann ausgehend von einer Ab- Prüfobjektoberfläche.
sprptionslinie eines bestimmten Stoffes aufgebaut wer- Gemäß einer Abwandlung können statt der Ausnut-
den, vgl. »Single Frequency Operation of lon Lasers«, 65 zung einer Absorptionslinie von Gasen auch ein durch
M. W. Dowley, Coherent Radiation, 1971, Nr. 106. Einfärbung entstandenes Absorptionslichtfilter bzw. in-
Bekanntlich haben Gase unter geringem Druck (Grö- terferometrische Anordnungen, wie z. B. nach Fabry-
ßenordnung 1 Millibar) sehr schmale Absorptionslinien. Perot, benutzt werden.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
- Patentansprüche:1, Vorrichtung zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreier* Werkstoffprüfung mit einem Laser zur Beleuchtung der im Takt der Utraschallwelle ausgelenkten Oberfläche des Prüfobjektes, mit einem nahe der Oberfläche angeordneten optischen Sammellinsensystem zur Abbildung des an der Oberfläche reflektierten frequenzmodulierten Laserstrahls auf einen ersten Fotodetektor, der die empfangenen optischen Signale in entsprechende elektrische Signale umformt, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem ersten Fotodetektor (8) und dem Linsensystem (6) im Strahlengang des reflektierten Laserlichts ein erstes Absorptionsfilter (7) zur zusätzlichen Amplitudenmodulation des frequenzmodulierten Laserstrahls an einer Flanke der Absorptionskurve des Absorptionsfilters angeordnet ist, daß zur Frequenzstabilisierung des Lasers (t) im Strahlengang des Laserstrahls zwischen dem Laserresonator (9) und der Oberfläche (3) des Prüfobjektes (4) ein Spiegel (10) zur Auslenkung eines Laserstrahlenanteils auf ein zweites, mit dem ersten identisches Absorptionsfilter (11) und auf einen diesem Absorptionsfilter (11) im Strahlengang des ausgelenkten Laserlichts nachgeordneten zweiten Fotodetektors (12) vorgesehen ist, daß der zweite Fotodetektor (12) mit dem ersten Eingang eines Differenzverstärkers (13) und dessen zweiter Eingang mit einer Soll-Wert bestimmenden Spannungsquelle verbunden ist und daß der Ausgang des Differenzverstärkers (13) mit einem die Resonatorlänge verändernden Piezoelement (14) des Laserresonators (9) zur Stabilisierung der Laserfrequenz auf dem steilsten Teil der Flanke des ersten Absorptionsfilters (7) verbunden ist
- 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Absorptionsfilter eine lichtdurchlässige, mit dem Dampf des diskrete Absorptionslinien aufweisenden Jodisotops '29J2 gefüllte Kammer und der Laser ein Argon-Ionenlaser mit einer Emissionswellenlänge von 514 nm ist.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2710638A DE2710638C2 (de) | 1977-03-11 | 1977-03-11 | Vorrichtung zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung |
US05/844,459 US4129041A (en) | 1977-03-11 | 1977-10-21 | Method and apparatus for receiving ultrasonic waves by optical means |
JP232178A JPS53113592A (en) | 1977-03-11 | 1978-01-12 | Receiving method and apparatus for supersonic waves from surfaces of processed articles by optical means |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2710638A DE2710638C2 (de) | 1977-03-11 | 1977-03-11 | Vorrichtung zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2710638A1 DE2710638A1 (de) | 1978-09-14 |
DE2710638C2 true DE2710638C2 (de) | 1984-10-11 |
Family
ID=6003365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2710638A Expired DE2710638C2 (de) | 1977-03-11 | 1977-03-11 | Vorrichtung zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4129041A (de) |
JP (1) | JPS53113592A (de) |
DE (1) | DE2710638C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106225909A (zh) * | 2016-08-18 | 2016-12-14 | 福建福晶科技股份有限公司 | 一种紧凑型的激光测频仪 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4338822A (en) * | 1978-06-20 | 1982-07-13 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Method and apparatus for non-contact ultrasonic flaw detection |
DE3002620C2 (de) * | 1980-01-25 | 1984-09-20 | Krautkrämer GmbH, 5000 Köln | Verfahren zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen |
DE3016879C2 (de) * | 1980-05-02 | 1982-12-30 | Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln | Verfahren und Vorrichtung zur zerstörungsfreien Ultraschall-Werkstoffprüfung |
DE3016878C2 (de) * | 1980-05-02 | 1983-01-20 | Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln | Verfahren zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen |
JPS58171662A (ja) * | 1982-04-02 | 1983-10-08 | Hitachi Ltd | 非接触超音波送受信装置 |
JPS606860A (ja) * | 1983-06-15 | 1985-01-14 | Hitachi Ltd | 非接触式超音波探傷方法およびその装置 |
CA1224935A (en) * | 1984-11-28 | 1987-08-04 | Her Majesty The Queen, In Right Of Canada, As Represented By The Ministe R Of The National Research Council And The Minister Of Energy, Mines And Resources | Optical interferometric reception of ultrasonic energy |
US4817016A (en) * | 1986-05-21 | 1989-03-28 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Non-destructive evaluation means and method of flaw reconstruction utilizing an ultrasonic multi-viewing transducer data acquistion system |
CA1287388C (en) * | 1988-04-29 | 1991-08-06 | Jean-Pierre Monchalin | Broadband optical detection of transient motion from a scattering surface |
US5287291A (en) * | 1991-09-03 | 1994-02-15 | Krautkramer-Branson, Incorporated | Quiet bus for the busing of analog and digital data |
US5535006A (en) * | 1992-07-16 | 1996-07-09 | Lockheed Idaho Technologies Company | Method and system for evaluating integrity of adherence of a conductor bond to a mating surface of a substrate |
DE19626879A1 (de) * | 1996-07-04 | 1998-01-08 | Hoefler Maschbau | Verfahren zur Vermeidung von Überbeanspruchung des Werkstücks oder der Schleifscheibe beim Schleifen |
DE19654053A1 (de) * | 1996-12-23 | 1998-06-25 | Schweiger Gustav Prof Dr Techn | Bestimmung der lokalen optischen Eigenschaften in stark streuenden Medien |
US6628408B1 (en) | 1999-04-15 | 2003-09-30 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Amplitude measurement for an ultrasonic horn |
CN1185485C (zh) * | 2000-05-02 | 2005-01-19 | 富士胶片株式会社 | 超声波探头 |
US8210044B1 (en) * | 2007-10-12 | 2012-07-03 | California Institute Of Technology | Covert laser remote sensing and vibrometry |
US8705028B2 (en) | 2010-08-06 | 2014-04-22 | Par Systems, Inc. | Containerized systems |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3355934A (en) * | 1967-04-24 | 1967-12-05 | John V Foster | Vibration measurment with coherent light |
US3585848A (en) * | 1968-09-30 | 1971-06-22 | Zenith Radio Corp | Method and apparatus for recording acoustic images and holograms |
DE2457253C2 (de) * | 1974-12-04 | 1982-09-02 | Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln | Optisches interferometrisches Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Messung der durch Ultraschallwellen verursachten Oberflächenauslenkung eines Prüflings |
US3952583A (en) * | 1975-01-02 | 1976-04-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Apparatus and method for the remote detection of vibrations of diffuse surfaces |
-
1977
- 1977-03-11 DE DE2710638A patent/DE2710638C2/de not_active Expired
- 1977-10-21 US US05/844,459 patent/US4129041A/en not_active Expired - Lifetime
-
1978
- 1978-01-12 JP JP232178A patent/JPS53113592A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106225909A (zh) * | 2016-08-18 | 2016-12-14 | 福建福晶科技股份有限公司 | 一种紧凑型的激光测频仪 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4129041A (en) | 1978-12-12 |
JPS53113592A (en) | 1978-10-04 |
DE2710638A1 (de) | 1978-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2710638C2 (de) | Vorrichtung zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung | |
DE4223337C2 (de) | Verfahren und Anordnung zur photothermischen Spektroskopie | |
DE2058064C3 (de) | Interferometrisches Gerät zur Bestimmung der Zusammensetzung einer Substanz | |
DE2128533A1 (de) | Verfahren Und Einrichtung zur Ermittlung der Topographie von reflektierenden Flächen | |
DE69912969T2 (de) | Optischer phasendetektor | |
EP0168351B1 (de) | Laser-Pattern-Generator und Verfahren zu dessen Betrieb | |
WO1995003531A1 (de) | Akustisches mikroskop | |
DE3003533A1 (de) | Vorrichtung zur bestimmung der gegenseitigen lagenbeziehung zwischen zwei prueflingen o.dgl. elementen | |
DE2806777C2 (de) | ||
EP0152916A2 (de) | Laser-Doppler-Anemometer | |
EP2985592A1 (de) | Absorptionsspektrometer und Verfahren zur Messung der Konzentration einer interessierenden Gaskomponente eines Messgases | |
WO1988006711A1 (fr) | Interferometre a laser pour la mesure des longueurs par interferometrie | |
DE3500633C2 (de) | ||
EP2172817B1 (de) | Detektion von Veränderungen eines Zeitabstands optischer oder elektrischer Signale | |
DE2833831C2 (de) | Optoakustischer Analysator | |
DE3002620C2 (de) | Verfahren zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen | |
WO1993005364A1 (de) | Optischer sensor für rotationsbewegungen | |
DE2658399A1 (de) | Interferometrisches verfahren | |
DE102011083750A1 (de) | Verfahren und Anordnung zum Einstellen eines Laserspektrometers | |
DE4002920A1 (de) | Ringlaser-kreisel | |
EP0474128B1 (de) | Verfahren zur Ermittlung eines Dopplersignals bei der Laser-Doppler-Anemometrie, sowie Laser-Doppler-Anemometer zur Durchführung dieses Verfahrens | |
EP0342337A2 (de) | Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen, der durch Ultraschallwellen verursachten Oberflächenauslenkung eines Prüflings | |
DE4034237C2 (de) | ||
DE3728704A1 (de) | Vorrichtung zur bestimmung der dicke von schichttraegern | |
DE3914666A1 (de) | Verfahren zur messung der optischen verluste von optischen bauelementen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OD | Request for examination | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: KRAUTKRAEMER GMBH, 5030 HUERTH, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |