DE19951200C2 - Transportvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Transportvorrichtung, die insbesondere zum Transport von Wafer-Losen (Kassetten) geeignet ist.

Bei der Herstellung von Halbleitern werden sogenannte Wafer (Siliciumscheiben) verwendet. Zum innerbetrieblichen Transport dieser Scheiben werden diese meist zu mehreren in einer Kassette zu einem Wafer-Los zusammengestellt. In einem solchen Wafer-Los zusammengestellt, können die Wafer einer nachgeordneten Verfahrensstufe, etwa einer Anlage zur Behandlung der Wafer oder einer Entnahmestelle, zugeführt werden.

Der horizontale Transport der Wafer-Lose erfolgt üblicherweise mit Hilfe von angetriebenen Transportwagen. Diese werden in der Regel auf einer horizontalen Förderanlage, die meist unterhalb oder oberhalb der Decke angeordnet ist, geführt. Oberhalb der Stelle, an der das Wafer-Los einer weiteren Verfahrensstufe zugeführt werden soll, wird der Transportwagen zur Zuführung des Loses an diese Verfahrensstufe angehalten.

Zum vertikalen Transport zwischen der Verfahrensstufe und der horizontalen Förderanlage ist es bekannt, das Los durch ein freies Abseilen vertikal zu fördern. Da das Los dabei jedoch keine seitliche Führung erfährt hängt es während des Abseilvorgangs quasi frei im Raum. Entsprechend ist die Lage des Loses während dieses Vorgangs labil und es besteht die Möglichkeit, daß das Los zu schwingen beginnt. Dies birgt unter anderem die Gefahr einer Beschädigung des Loses. Weiterhin ist ein sicherer vertikaler Transport des Loses und damit eine zuverlässige Beförderung zwischen der horizontalen Förderanlage und der Verfahrensstufe nicht gewährleistet.

Der DE 195 42 646 A1 lässt sich eine Be- und Entladestation für Anlagen zur Halbleiterbearbeitung entnehmen. Ein Transportbe­ hälter wird über einen Fahrstuhl vor eine Wandöffnung geführt. Von dort werden die Teile in einen Reinraum übernommen. Diesem Zweck dient auch die aus der US 5,664,925 bekannte Vorrichtung. Bei der US 5,931,631 A werden Wafer aus einer Art Fahrstuhl zu einer Behandlungsmaschine transportiert. In allen drei Fällen bestehen die Transportvorrichtungen für die Wafer(kassetten) aus Kolben-/Zylinder-Anordnungen, die viel Platz benötigen.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die vorgenannten Nachteile bei der vertikalen Förderung von Produktionsmaterial zwischen einer horizontalen Förderanlage und einer Verfahrensstufe zu beseitigen. Insbesondere ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Transportvorrichtung zum vertikalen Transport von Wafern zwischen einer horizontalen Förderanlage und einer darunter angeordneten Verfahrensstufe zur Verfügung zu stellen, bei dem die Wafer vertikal sicher geführt werden können und die Vorrichtung so wenig wie möglich Raum beansprucht.

In ihrer allgemeinsten Ausführungsform schlägt die Erfindung eine Transportvorrichtung mit den Merkmalen von Anspruch 1 vor.

Die Hub-Senk-Vorrichtung dient zum vertikalen Anheben und Absenken der Laufvorrichtung, die durch die Aufnahmeeinrichtung Transportgut, also beispielsweise Wafer, aufnehmen kann.

Durch die Führungselemente wird eine sichere vertikale Führung der Wafer-Lose sichergestellt, während durch die, im Gegensatz zur Laufvorrichtung, nach außerhalb der Laufvorrichtung verlagerte Hub-Senk-Vorrichtung der konstruktive Aufwand der Führungselemente minimiert und gleichzeitig eine hohe optische Transparenz der Vorrichtung hervorgerufen wird.

Die Hub-Senk-Vorrichtung weist eine ortsfeste, elektrisch antreibbare Antriebsvorrichtung mit einem Übertragungselement auf.

Die Antriebsvorrichtung kann beispielsweise eine Seilrolle sein, die über einen Elektromotor angetrieben, also in eine Drehbewegung versetzt wird. Das Übertragungselement ist ein Tragseil, etwa ein Stahlseil, das durch die Rotation der Seilrolle auf diese auf- und von dieser abgewickelt werden kann. An das freie Ende des Tragseils wird die Laufvorrichtung gehängt. Durch ein Abwickeln des Seils kann die Laufvorrichtung abgesenkt beziehungsweise durch ein Aufwickeln angehoben werden.

Im einfachsten Fall kann die Rotationsachse der Seilrolle horizontal und über der Laufvorrichtung angeordnet sein, so daß die Laufvorrichtung quasi unmittelbar unter der Seilrolle am Tragseil hängt. Die Seilrolle kann jedoch beliebig angeordnet und das Tragseil dann etwa über Umlenkrollen mit der Laufvorrichtung verbunden sein.

Grundsätzlich ist die Gestaltung der Antriebsvorrichtung keinerlei Beschränkungen unterworfen und es kann jede aus dem Stand der Technik in Frage kommende Vorrichtung, durch die die Laufvorrichtung in eine vertikale Bewegung versetzt werden kann, Anwendung finden.

Die Laufvorrichtung dient dazu, die Wafer-Lose aufzunehmen und zwischen einer horizontalen Förderanlage und der Verfahrensstufe, der die Lose zugeführt oder entnommen werden sollen, vertikal zu transportieren.

Zur Aufnahme der Lose weist sie eine Aufnahmeeinrichtung auf. Diese kann zum Beispiel eine Greifvorrichtung sein. Die Greifvorrichtung greift das Wafer-Los und hält es während des vertikalen Transports. Die Greifvorrichtung kann elektrisch betätigbar sein, wodurch das Los aktiv gegriffen, gehalten und wieder losgelassen werden kann. Sie kann optisch z. B. über entsprechende Infrarot- oder Laser-Sensoren gesteuert oder geregelt werden.

Das Zusammenspiel von Hub-Senk-Vorrichtung und Laufvorrichtung unter Verwendung einer Greifvorrichtung läßt sich insoweit ähnlich der Arbeitsweise mittels eines Krans beschreiben. Die Greifvorrichtung wirkt dabei wie der Haken eines Krans, an den das Los gehängt wird.

Die Aufnahmevorrichtung kann jedoch beliebig gestaltet werden, beispielsweise auch regalartig mit einer oder mehreren Ebenen, in denen eines oder auch gleichzeitig mehrerer Lose aufgenommen werden können.

Zur vertikalen Führung in oder entlang mindestens eines Führungselementes weist die Laufvorrichtung mindestens ein Führungsmittel auf.

Die Führung zwischen Führungsmittel(n) und Führungselement(en) kann schienenartig erfolgen, indem das oder die Führungsmittel, z. B. Rollen oder Zahnräder, an dem oder den Führungselement(en), z. B. Zahnschienen oder geschlitzten Schienen, entlang einer bestimmten Bahn geführt werden.

Dabei können die Führungselemente den Führungsmitteln zugewandte, vertikal verlaufende Vertiefungen oder Erhebungen aufweisen, in die die Führungsmittel mit korrespondierenden Erhebungen beziehungsweise Vertiefungen eingreifen.

Führungsmittel können beispielsweise um eine horizontale Achse drehbare Rollen sein. Diese können eine auf ihrem Außenumfang achsial umlaufende, rotationssymmetrische Vertiefung oder Erhebung aufweisen. Diese können mit sich vertikal erstreckenden Vertiefungen beziehungsweise Erhebungen der Führungselemente korrespondieren.

Führungselement kann beispielsweise ein vertikal gespanntes Seil, beispielsweise ein Stahlseil, sein. Mit diesem kann ein Führungsmittel in Form einer Rolle korrespondieren, die auf ihrem Außenumfang eine achsial umlaufende, rotationssymmetrische Vertiefung aufweist. Die Erhebung des Führungselementes stellt dabei die dem Führungsmittel zugewandte Wölbung des Seils dar. Die Rolle kann dann auf dem Stahlseil wie auf einer Schiene abrollen.

Führungselement kann beispielsweise auch eine vertikal geführte Stange sein.

Zur sichereren vertikalen Führung der Laufvorrichtung kann insbesondere vorgesehen sein, wenigstens zwei horizontal versetzte Führungsmittel an der Laufvorrichtung anzuordnen. Dadurch kann ein Verdrehen der Laufvorrichtung in einer horizontalen Ebene vermieden werden. Die Führungsmittel können auf zwei sich horizontal gegenüberliegenden Seiten der Laufvorrichtung angeordnet sein. Die Laufvorrichtung ist dann praktisch zwischen den sich beidseitig von ihr vertikal erstreckenden Führungselementen angeordnet.

Um die vertikal sichere Führung der Laufvorrichtung zu vergrößern, können entlang der Richtung, in der die Laufvorrichtung vertikal führbar ist, also entlang der Führungselemente, mehrere Führungsmittel übereinander angeordnet sein.

Nach einer alternativen Ausführungsform können beispielsweise auch Führungsmittel in Form von Ösen vorgesehen sein, die die Führungselemente umschließen.

Die konstruktive Gestaltung der Laufvorrichtung ist keinerlei Beschränkungen unterworfen.

Sie kann beispielsweise mit im wesentlichen rautenförmigen horizontalen Querschnitt gebildet sein. An den sich dann horizontal gegenüberliegenden, spitzer zulaufenden Seiten können die Führungsmittel vorgesehen sein, während im mittleren Abschnitt das Übertragungselement befestigt und die Aufnahmeeinrichtung angeordnet ist.

Oberhalb einer unteren Position, also etwa im Bereich der horizontalen Förderanlage, in die die Laufeinrichtung vertikal führbar ist, kann ein Gehäuse vorgesehen sein, in das die Laufeinrichtung führbar ist.

Das Gehäuse kann derart dimensioniert sein, daß es sowohl die Hub-Senk-Vorrichtung als auch die mit Wafer-Losen bestückte Laufvorrichtung allseitig umschließt.

In Richtung der unteren Position, also etwa einer Verfahrensstufe, kann das Gehäuse eine verschließbare, untere Öffnung aufweisen.

In einer horizontalen Ebene, also beispielsweise der Ebene einer horizontalen Förderanlage, können ebenfalls eine oder mehrere verschließbare Seitenöffnungen am Gehäuse angeordnet sein.

Die Vorrichtungen zum Verschließen der Öffnungen können von außen elektrisch betätigbar sein und beispielsweise nach Art einer Klapptür oder einer Schiebetür gestaltet sein.

Zur vertikalen Führung der Laufvorrichtung innerhalb des Gehäuses können sich bis in das Gehäuse erstreckende Führungselemente vorgesehen sein, so daß die Laufvorrichtung auch innerhalb des Gehäuses stets in den Führungselementen geführt ist.

Die Seitenöffnungen können derart gestaltet sein, daß durch sie Wafer-Lose, beispielsweise mittels eines auf einer in der Ebene der Seitenöffnung auf einer horizontalen Förderanlage geführten Transportwagens, hindurch und zur Aufnahmeeinrichtung transportiert werden können.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert.

Dabei zeigen, jeweils in schematisierter Darstellung,

Fig. 1 eine Ansicht einer erfindungsgemäßen Transportvorrichtung auf eine erste vertikale Schnittebene,

Fig. 2 eine Ansicht der Transportvorrichtung auf eine zweite, senkrecht zur ersten Schnittebene stehende vertikale Schnittebene entlang der Schnittlinie A-A nach Fig. 1 von rechts und

Fig. 3 eine, in Hinblick auf Fig. 1 nicht maßstabsgleiche, Aufsicht von oben auf die Transportvorrichtung nach Fig. 1 entlang der horizontalen Schnittebene B-B.

Gleiche beziehungsweise gleichwirkende Mittel sind mit den jeweils gleichen Bezugszeichen versehen.

Die Transportvorrichtung in Fig. 1 ist mit dem Bezugszeichen 2 gekennzeichnet. Sie erstreckt sich im wesentlichen vertikal oberhalb und unterhalb einer Decke 4. Der oberhalb der Decke 4 angeordnete Teil der Transportvorrichtung 2 ist von einem kastenförmigen Gehäuse 6 umschlossen.

Im oberen Bereich des Gehäuses 6 ist eine Hub-Senk-Vorrichtung 8 angeordnet, die aus einer Antriebsvorrichtung 10 und einem Übertragungselement 12 aufgebaut ist. Die Antriebsvorrichtung 10 ist in Form einer Seilrolle gestaltet, die ortsfest um eine senkrecht zur Zeichenebene stehende Achse 14 drehbar und mittels eines Motors 16 (siehe Fig. 2) antreibbar ist.

Übertragungselement 12 ist ein Tragseil in Form eines Stahlseils.

Das untere freie Ende 12a des Tragseils 12 ist mit einer Laufvorrichtung 18 verbunden. Bei der hier dargestellten Ausführungsform hängt die Laufvorrichtung 18 an dem unmittelbar mit der Seilrolle 10 verbundenen Tragseil 12. Der obere Bereich des Gehäuses 6, in dem die Seilrolle 10 angeordnet ist, ist nach unten durch Wände 11 abgeschlossen, die eine Aussparung 13 aufweisen, durch die das Tragseil 12 geführt ist.

In dieser Ansicht weist die Laufvorrichtung 18 eine im wesentlichen rechteckige äußere Kontur, mit einer Einbuchtung 18o auf der Oberseite, einer Einbuchtung 18l auf der linken sowie einer Einbuchtung 18r auf der rechten Seite auf. Oberhalb und unterhalb der linken Einbuchtung 18l ist jeweils ein linkes Führungsmittel 20l beziehungsweise oberhalb und unterhalb der rechten Einbuchtung 18r jeweils ein rechtes Führungsmittel 20r an der Laufvorrichtung 18 angeordnet, wobei das jeweils oberhalb der Einbuchtungen 18l, 18r angeordnete Führungsmittel 20l, 20r jeweils exakt über dem jeweils unterhalb der Einbuchtungen 18l, 18r angeordneten Führungsmittel positioniert ist. Die Führungsmittel 20l, 20r sind jeweils als Rollen gestaltet, die um eine senkrecht zur Zeichenebene stehende Achse drehbar sind. Die linken Führungsmittel 20l überragen den Außenumfang der Laufvorrichtung 18 nach links beziehungsweise die rechten Führungsmittel 20r nach rechts.

An seinem unteren Ende weist die Laufvorrichtung 18 eine Aufnahmevorrichtung 22 in Form einer elektrisch betätigbaren Greifvorrichtung auf. Die Greifvorrichtung 22 weist zwei Greifarme 22l, 22r auf, die horizontal aufeinander zu- be­ ziehungsweise voneinander wegführbar sind.

In Fig. 1 sind die Greifarme 22l, 22r aufeinander zugeführt und halten einen mit den Armen 22l, 22r korrespondierenden, plattenförmigen Abschnitt 24a, der über ein Verbindungsstück 24b am oberen Ende einer Kassette 24 zur Aufnahme von Wafern 26 befestigt ist.

Mehrere Wafer 26 sind in der Kassette 24 zu einem Wafer-Los zusammengestellt.

Hub-Senk-Vorrichtung 8, Laufvorrichtung 18 und Kassette 24 sind vom Gehäuse 6 umschlossen.

Das Gehäuse 6 weist an seiner Unterseite eine verschließbare Öffnung auf, die in Fig. 1 von zwei Klappen 6u verschlossen ist (siehe Fig. 2). Die Lage der Klappen 6u in geöffnetem Zustand ist durch die Punktlinie 6u' angedeutet.

Eine Seitenöffnung an der rechten Seite des Gehäuses 6 ist in Fig. 1 durch eine Schiebetür 6s verschlossen. Die Schiebetür 6s ist durch eine elektrische Schiebevorrichtung 28 vertikal verschiebbar, was durch den Pfeil P1 angedeutet ist.

Von einer Grundplatte 30 erstrecken sich ein linkes Führungselement 32l und ein rechtes Führungselement 32r vertikal nach oben. Die Führungselemente 32l, 32r sind durch die Unterseite des Gehäuses 6 hindurchgeführt und enden im Inneren des Gehäuses 6 an den Wänden 11, an denen sie befestigt sind. Die Führungsmittel 32l, 32r sind als Stahlseile gestaltet, die durch Spannvorrichtungen 34l, 34r, mit denen sie an der Grundplatte 30 befestigt sind, vertikal gespannt sind.

Die linken Führungsmittel 20l der Laufvorrichtung sind gegen das linke Führungselement 32l beziehungsweise die rechten Führungsmittel 20r gegen das rechte Führungselement 32r geführt.

In Fig. 2 ist der Motor 16 zum Antreiben der Seilrolle 10 dargestellt.

In der Ansicht nach Fig. 2 weist die Laufvorrichtung 18 eine obere, rechteckige Form auf, deren unteres Ende sich nach außen erweitert. Am unteren Ende der Laufvorrichtung 18 erkennt man den rechten Greifarm 22r der Greifvorrichtung 22.

Die übereinander angeordneten rechten Führungsmittel 20r sind mit ihrer Nut (siehe Fig. 3) gegen das rechte Führungselement 32r geführt.

Der Umfang der Schiebetür 6s ist durch die Punktlinie 6s' und die Lage der Klappen 6u in geöffnetem Zustand durch die Punktlinien 6u' angedeutet. Um die Klappen 6u in die geöffnete Lage zu bewegen, sind sie jeweils um Scharniere 36 in Pfeilrichtung P2 schwenkbar.

Fig. 3 zeigt eine Ansicht der Laufvorrichtung 18 im Bereich ihres erweiterten unteren Endes. Die Laufvorrichtung 18 weist einen rechteckigen Zentralteil 18z auf, an den sich links und rechts nach außen zusammenlaufende Abschnitte 18l, 18r anschließen. In einer am Ende dieser Abschnitte 18l, 18r jeweils vorgesehenen Aussparung 38l, 38r ist jeweils die Rolle 20l, 20r angeordnet, deren Welle jeweils in den Wänden der Aussparung gelagert ist. Die unterhalb des Zentralteils 18z angeordneten Greifarme 22l, 22r sind durch ihre Umrißlinien angedeutet.

Die Rollen 20l, 20r weisen auf ihrem Außenumfang jeweils eine umlaufende Vertiefung 40 auf, die mit den Führungselementen 32l, 32r korrespondiert.

Die Funktion der Vorrichtung ist wie folgt.

Die Laufvorrichtung 18 befindet sich zunächst im Inneren des Gehäuses 6, wie in Fig. 1 dargestellt, jedoch ohne die an der Greifvorrichtung 22 hängende Kassette 24. Wie in Fig. 1 sind die beiden Klappen 6u sowie die Seitentür 6s geschlossen.

Zur Bestückung der Transportvorrichtung 2 mit einem Wafer-Los wird ein in einer Kassette 24 befindliches Los mittels einer - nicht dargestellten - oberhalb der Decke 4 horizontal fahrbaren Transporteinrichtung vor die Seitentür 6s transportiert. Nunmehr wird die Seitentür 6s durch die Schiebevorrichtung 28 elektrisch nach oben gefahren. Die horizontale Transporteinrichtung führt die Kassette 24 in das Gehäuse hinein und stellt sie auf den Klappen 6u ab. Nachdem die horizontale Transporteinrichtung wieder aus dem Gehäuse herausgefahren ist, wird die Seitentür 6s geschlossen.

Zur Aufnahme der Kassette 24 durch die Laufvorrichtung 18 wird diese mittels der Hub-Senk-Vorrichtung 8 auf die Kassette 24 zubewegt. Dazu wird die Seilrolle 10 - in der Darstellung gemäß Fig. 1 - im Uhrzeigersinn gemäß Pfeil P3 gedreht, wodurch das Seil 12 abgewickelt wird und sich die daran hängende Laufvorrichtung 18 - gemäß Pfeil P4 - nach unten bewegt.

Kommen die auseinandergefahrenen Greifarme 22l, 22r beidseitig der Platte 24a der Kassette 24 zu liegen, wird die Abwärtsbewegung gestoppt und die Laufvorrichtung 18 in dieser Lage gehalten. Die Greifarme 22l, 22r werden nunmehr gegeneinander bewegt, bis sie die Platte 24a greifen. Mittels einer Drehbewegung der Seilrolle 10 - entgegen dem Uhrzeigersinn gemäß Pfeil P3 - wird die Laufvorrichtung 18 anschließend ein Stück angehoben.

Sodann wird die untere Öffnung des Gehäuses mittels eines Verschwenkens der Klappen 6u geöffnet. Die Laufvorrichtung 18 wird danach durch die untere Öffnung hindurch nach unten in Richtung auf die Grundplatte 30 bewegt. Sobald die Laufvorrichtung 18 ihre untere Position zwischen Decke 4 und Grundplatte 30 erreicht hat, wird sie angehalten. In dieser unteren Position kann das Wafer-Los einem Verfahrensschritt unterworfen werden. Die Kassette 24 kann dazu zwischenzeitlich von der Laufvorrichtung 18 gelöst werden.

Nachdem das Wafer-Los fertig behandelt worden ist, wird die Kassette 24 durch die Laufvorrichtung 18 nach oben in das Gehäuse 6 in die in Fig. 1 dargestellte Position transportiert.

Während des Auf- und Abrollens des Seils 12 wird die Laufvorrichtung 18 sicher zwischen den Führungsmitteln 32l, 32r gehalten, indem die Rollen 20l, 20r mit ihren Vertiefungen 40 in jeder Position der Laufvorrichtung 18 in den Führungsmitteln 32l, 32r geführt werden.

Die untere Öffnung des Gehäuses wird mittels der Klappen 6u geschlossen, die Transportvorrichtung abwärts bewegt, bis die Kassette 24 auf den Klappen 6u zu liegen kommt, die Greifarme 22l, 22r auseinandergefahren und die Laufvorrichtung 18 ohne Kassette 24 nach oben gefahren.

Zur Übergabe des Loses an die horizontale Transporteinrichtung wird anschließend die Seitentür 6s hochgefahren, wodurch die horizontale Laufeinrichtung in das Gehäuse geführt werden und die auf den Klappen 6u abgestellte Kassette 24 mit dem fertig behandelten Wafer-Los übernehmen kann.

Claims (14)

1. Transportvorrichtung (2), insbesondere zum Transport von Wafer-Losen (26), mit

• a) einer Hub-Senk-Vorrichtung (8) mit
  • 1. einer ortsfesten,
  • 2. elektrisch antreibbaren Antriebsvorrichtung (10), die
  • 3. über ein Tragseil als Übertragungselement (12) verbunden ist mit
• b) einer Laufvorrichtung (18), die
  • 1. eine Aufnahmeeinrichtung (22) zur Aufnahme von Transportgut (26) und
  • 2. mindestens ein Führungsmittel (20l, 20r) aufweist zur vertikalen Führung in
• c) mindestens einem Führungselement (32l, 32r), das
  • 1. ortsfest und
  • 2. vertikal angeordnet ist.

2. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 mit einer Seilrolle als Antriebsvorrichtung (10).

3. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 mit einer Greifvorrichtung als Aufnahmeeinrichtung (22).

4. Transportvorrichtung nach Anspruch 3 mit einer elektrisch betätigbaren Greifvorrichtung (22).

5. Transportvorrichtung nach Anspruch 1, bei der das oder die Führungsmittel aus mindestens einer drehbaren Rolle (20l, 20r) besteht (bestehen).

6. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 mit wenigstens zwei an der Laufvorrichtung (18) horizontal versetzt angeordneten Führungsmitteln (20l, 20r).

7. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 mit mehreren übereinander angeordneten Führungsmitteln (20l, 20r).

8. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 mit auf zwei horizontal gegenüberliegenden Seiten (18l, 18r) der Laufvorrichtung (18) angeordneten Führungsmitteln (20l, 20r).

9. Transportvorrichtung nach Anspruch 5 mit einer auf dem Außenumfang der Rollen (20l, 20r) umlaufenden Vertiefung (40) oder Erhebung.

10. Transportvorrichtung nach Anspruch 1, bei der das oder die Führungselement(e) aus mindestens einem vertikal gespannten Seil (32l, 32r) oder mindestens einer vertikal geführten Stange besteht (bestehen).

11. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 mit sich vertikal erstreckenden und mit den Führungsmitteln (20l, 20r) korrespondierenden Vertiefungen oder Erhebungen der Führungselemente (32l, 32r).

12. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 mit einem oberhalb einer unteren Position, in die die Laufeinrichtung (18) vertikal führbar ist, angeordneten Gehäuse (6), in dem die Laufeinrichtung (18) führbar ist.

13. Transportvorrichtung nach Anspruch 12 mit einer in Richtung der unteren Position angeordneten, verschließbaren unteren Öffnung des Gehäuses (6).

14. Transportvorrichtung nach Anspruch 12 mit wenigstens einer, in Richtung einer horizontalen Ebene angeordneten, verschließbaren Seitenöffnung des Gehäuses (6).