JPH061564A - 昇降装置 - Google Patents
昇降装置Info
- Publication number
- JPH061564A JPH061564A JP18184392A JP18184392A JPH061564A JP H061564 A JPH061564 A JP H061564A JP 18184392 A JP18184392 A JP 18184392A JP 18184392 A JP18184392 A JP 18184392A JP H061564 A JPH061564 A JP H061564A
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- lifting body
- shock absorber
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- lifting
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 横振動,上下振動等の振動を低減する。
【構成】 並べて配置されたガイドシャフト4,4に案
内される昇降体2と、該ガイドシャフト4,4の間に配
置され,同じリード及び逆ねじ向きで逆方向に回転され
るボールねじ10,11により昇降される駆動部13と
を,合成ゴム,ウレタンゴム等のゴム硬度80度以上の
弾性力に富む弾性体29,集中荷重を分散する受板30
及びバネ定数の大きなコイルばね31よりなる緩衝装置
28で連繋する。
内される昇降体2と、該ガイドシャフト4,4の間に配
置され,同じリード及び逆ねじ向きで逆方向に回転され
るボールねじ10,11により昇降される駆動部13と
を,合成ゴム,ウレタンゴム等のゴム硬度80度以上の
弾性力に富む弾性体29,集中荷重を分散する受板30
及びバネ定数の大きなコイルばね31よりなる緩衝装置
28で連繋する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は搬送物を昇降搬送する昇
降装置であって、特に振動の発生を防止した昇降装置に
関する。
降装置であって、特に振動の発生を防止した昇降装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来の昇降装置は、昇降に供する昇降体
の、中央部分に昇降の駆動を司るボールねじを貫通して
配し、これに螺合するボールナットを昇降体に堅着し、
上記ボールねじの両側所定位置に、平行してガイドシャ
フトをボールブッシュベアリングを介し昇降体を貫通し
て配置し、且つその上端部及び下端部をそれぞれ上,下
部支持板に固着すると共に、上記ボールねじに所要方向
の回動を付与し、昇降体の昇降を行う構成となってい
る。
の、中央部分に昇降の駆動を司るボールねじを貫通して
配し、これに螺合するボールナットを昇降体に堅着し、
上記ボールねじの両側所定位置に、平行してガイドシャ
フトをボールブッシュベアリングを介し昇降体を貫通し
て配置し、且つその上端部及び下端部をそれぞれ上,下
部支持板に固着すると共に、上記ボールねじに所要方向
の回動を付与し、昇降体の昇降を行う構成となってい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来装置において
は昇降体に移載装置を載置する関係上、重量も増し且つ
ボールねじのリードが大きくなると、横振れの振動が発
生するばかりでなく駆動源である、サーボモータの特性
から発生する僅かな間欠回転に依る上下方向の振動が発
生するという課題がある。
は昇降体に移載装置を載置する関係上、重量も増し且つ
ボールねじのリードが大きくなると、横振れの振動が発
生するばかりでなく駆動源である、サーボモータの特性
から発生する僅かな間欠回転に依る上下方向の振動が発
生するという課題がある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明装置は、上記の課
題を解決するため、並べて配置されたガイドシャフト
4,4に案内される受動側の昇降体2と、該ガイドシャ
フト4,4の間に配置され,同じリード及び逆ねじ向き
で逆方向に回転される昇降用のボールねじ10,11に
より昇降される受動側の駆動部13とを緩衝装置28で
連繋してなる。
題を解決するため、並べて配置されたガイドシャフト
4,4に案内される受動側の昇降体2と、該ガイドシャ
フト4,4の間に配置され,同じリード及び逆ねじ向き
で逆方向に回転される昇降用のボールねじ10,11に
より昇降される受動側の駆動部13とを緩衝装置28で
連繋してなる。
【0005】
【作 用】同じリードで逆ねじ向きのボールねじ10,
11をそれぞれ逆方向に回転すると駆動部13が昇降
し、昇降体2が駆動部13の昇降により緩衝装置28を
介して昇降することになり、この時発生するモーメント
は常に打ち消す方向に作用するので、横振れの振動が殆
んど発生することはない。又、ボールねじ10,11か
ら直接昇降を受ける駆動部13と、ガイドシャフト4,
4により案内される昇降体2との間に挿設された緩衝装
置28によりボールねじ10,11側の振動が平滑化さ
れ振動成分の減衰した昇降力が昇降体2に伝達すること
になり上下振動が大幅に低減することになる。
11をそれぞれ逆方向に回転すると駆動部13が昇降
し、昇降体2が駆動部13の昇降により緩衝装置28を
介して昇降することになり、この時発生するモーメント
は常に打ち消す方向に作用するので、横振れの振動が殆
んど発生することはない。又、ボールねじ10,11か
ら直接昇降を受ける駆動部13と、ガイドシャフト4,
4により案内される昇降体2との間に挿設された緩衝装
置28によりボールねじ10,11側の振動が平滑化さ
れ振動成分の減衰した昇降力が昇降体2に伝達すること
になり上下振動が大幅に低減することになる。
【0006】
【実施例】図1は本発明装置の1実施例の要部を示す正
面図、図2は同じくその平面図、図3は本発明実施例の
全体構成を示す説明用斜視図である。まず、本実施例の
構成を説明する。図3において横方向に並べて配置され
たガイドシャフト4,4に、昇降体2がボールブッシュ
ベアリング3,3を介して貫通されそれらの両端部が
上,下部支持板7,6にメカロック機構5により堅着さ
れている。天秤部8の中央部両側に設けられた支持軸
9,9がそれぞれ上部支持板7に固着された支持台2
5,25に回動自在に承持されている。
面図、図2は同じくその平面図、図3は本発明実施例の
全体構成を示す説明用斜視図である。まず、本実施例の
構成を説明する。図3において横方向に並べて配置され
たガイドシャフト4,4に、昇降体2がボールブッシュ
ベアリング3,3を介して貫通されそれらの両端部が
上,下部支持板7,6にメカロック機構5により堅着さ
れている。天秤部8の中央部両側に設けられた支持軸
9,9がそれぞれ上部支持板7に固着された支持台2
5,25に回動自在に承持されている。
【0007】ガイドシャフト4,4の間に配置されたボ
ールねじ10,11は昇降体2の貫通孔12,12に遊
挿され、昇降体2の下方に位置する駆動部13に設けら
れたボールナット14,15(図2参照)に螺合されて
いる。これらのボールねじ10,11の下端先端部軸は
下部支持板6にボールベアリング16,16により適度
な緩さで嵌合承持されている。ボールねじ10,11の
上方部分はそれぞれ天秤部8の球面ジョイントを介した
支持部17,17に懸垂状に支持されている。
ールねじ10,11は昇降体2の貫通孔12,12に遊
挿され、昇降体2の下方に位置する駆動部13に設けら
れたボールナット14,15(図2参照)に螺合されて
いる。これらのボールねじ10,11の下端先端部軸は
下部支持板6にボールベアリング16,16により適度
な緩さで嵌合承持されている。ボールねじ10,11の
上方部分はそれぞれ天秤部8の球面ジョイントを介した
支持部17,17に懸垂状に支持されている。
【0008】各ボールねじ10,11の上端部には同一
歯数のギヤ18,18が堅着され、互に噛合されてい
る。上部支持板7の下面上にはサーボモータ19が取付
けられ、その出力軸20と無励磁ブレーキ23のブレー
キ軸21とはギヤ22のボス内で連結され、ギヤ22は
ギヤ18と噛合されている。無励磁ブレーキ23は上部
支持板7に固定されたブレーキ台24に堅着され、停止
時に昇降部2の落下を防止すべく無励磁状態で制動を行
う役目を果す。又昇降体2の載置部26上には移載装置
27が設置される。
歯数のギヤ18,18が堅着され、互に噛合されてい
る。上部支持板7の下面上にはサーボモータ19が取付
けられ、その出力軸20と無励磁ブレーキ23のブレー
キ軸21とはギヤ22のボス内で連結され、ギヤ22は
ギヤ18と噛合されている。無励磁ブレーキ23は上部
支持板7に固定されたブレーキ台24に堅着され、停止
時に昇降部2の落下を防止すべく無励磁状態で制動を行
う役目を果す。又昇降体2の載置部26上には移載装置
27が設置される。
【0009】昇降体2と駆動部13とは緩衝装置28で
連繋されている。緩衝装置28は、図1〜図3に示すよ
うに、駆動部13上に載置され所要形状,例えば直方体
形状の合成ゴム,ウレタンゴム等の所要硬度を有する弾
性体29と、その上に配設され所要形状例えば長方形状
の受板30と、この受板30上に配した所要個、例えば
4個のコイルばね31を重合してなる。弾性体29とし
ては移載装置27が載置された昇降体2の荷重を担って
も永久変形をきたさぬゴム硬度が80度以上で弾性力に
富んでいる所謂防振用弾性体が望ましい。受板30は集
中荷重を分散する役目を果す。又、コイルばね31とし
ては、充分荷重に耐え且つばね定数の大きなばねを使用
することが望ましく、従って荷重の変動があっても圧縮
長の変化が少いばねである。
連繋されている。緩衝装置28は、図1〜図3に示すよ
うに、駆動部13上に載置され所要形状,例えば直方体
形状の合成ゴム,ウレタンゴム等の所要硬度を有する弾
性体29と、その上に配設され所要形状例えば長方形状
の受板30と、この受板30上に配した所要個、例えば
4個のコイルばね31を重合してなる。弾性体29とし
ては移載装置27が載置された昇降体2の荷重を担って
も永久変形をきたさぬゴム硬度が80度以上で弾性力に
富んでいる所謂防振用弾性体が望ましい。受板30は集
中荷重を分散する役目を果す。又、コイルばね31とし
ては、充分荷重に耐え且つばね定数の大きなばねを使用
することが望ましく、従って荷重の変動があっても圧縮
長の変化が少いばねである。
【0010】次に本実施例の作用を緩衝装置28の作用
を主体に説明する。弾性体29と、コイルばね31の動
作を比較すると、弾性体29への加圧において、弾性体
29は圧力の減圧に対する追随速度が遅く、コイルばね
31のそれは極めて速やかである。従って両者を重合し
て使用する場合において、ボールねじ10,11が図
1,図2の実線33,32方向に回転され、駆動部13
が図1の矢印34方向に上昇すると、昇降体2の荷重3
5,35に打ち勝って弾性体29,受板30、及びコイ
ルばね31を介した押し上げの伝達力に依り昇降体2は
矢印36方向に上昇する。
を主体に説明する。弾性体29と、コイルばね31の動
作を比較すると、弾性体29への加圧において、弾性体
29は圧力の減圧に対する追随速度が遅く、コイルばね
31のそれは極めて速やかである。従って両者を重合し
て使用する場合において、ボールねじ10,11が図
1,図2の実線33,32方向に回転され、駆動部13
が図1の矢印34方向に上昇すると、昇降体2の荷重3
5,35に打ち勝って弾性体29,受板30、及びコイ
ルばね31を介した押し上げの伝達力に依り昇降体2は
矢印36方向に上昇する。
【0011】此の上昇時に駆動源であるサーボモータ1
9の回転中に於ける僅かな間欠分が存在すると、ボール
ねじ10,11も回転中にも間欠の成分に依り、ボール
ナット14,15と共に駆動部13が上下方向に振動し
ながら上昇する。昇降体2は重量が重く慣性があるた
め、振動に動じ難いので緩衝装置28を構成する弾性体
29は低い振動周波数に対し振幅の大きな部分では圧縮
され、縮み、振幅の少い部分では縮み分が元に戻る、即
ち振動成分のエネルギーの吸収及び放出を行い振動成分
の平滑化を行うのである。
9の回転中に於ける僅かな間欠分が存在すると、ボール
ねじ10,11も回転中にも間欠の成分に依り、ボール
ナット14,15と共に駆動部13が上下方向に振動し
ながら上昇する。昇降体2は重量が重く慣性があるた
め、振動に動じ難いので緩衝装置28を構成する弾性体
29は低い振動周波数に対し振幅の大きな部分では圧縮
され、縮み、振幅の少い部分では縮み分が元に戻る、即
ち振動成分のエネルギーの吸収及び放出を行い振動成分
の平滑化を行うのである。
【0012】またコイルばね31は高い振動周波数に対
し効果を発揮し、振幅の大きい部分では縮み、振幅の少
い部分では元に戻り、これも振動の平滑化を行い、振動
分の昇降体2への伝達の減衰を行っている。例えば加速
度メータにて、駆動部13の加速度が0.2Gに対し、
昇降体2の加速度は0.06Gである。
し効果を発揮し、振幅の大きい部分では縮み、振幅の少
い部分では元に戻り、これも振動の平滑化を行い、振動
分の昇降体2への伝達の減衰を行っている。例えば加速
度メータにて、駆動部13の加速度が0.2Gに対し、
昇降体2の加速度は0.06Gである。
【0013】ボールねじ10,11を点線矢印38,3
7方向に回転し、駆動部13を矢印39方向に下降する
と、これに追随して昇降体2が矢印40方向に重量に依
り、下降するが、緩衝装置28の平滑作用に依り、振動
成分力の減衰した駆動力を昇降体2に伝達する。
7方向に回転し、駆動部13を矢印39方向に下降する
と、これに追随して昇降体2が矢印40方向に重量に依
り、下降するが、緩衝装置28の平滑作用に依り、振動
成分力の減衰した駆動力を昇降体2に伝達する。
【0014】以上述べたようにコイルばね31及び弾性
体29を重ねて使用する場合、周波数の高い緩衝波に対
しては、コイルばね31が作用し、周波数の低い振動分
に対しては、弾性体29が作用するのである。なお発生
する振動帯によっては弾性体29か,コイルばね31の
何れか1つを用いてよい。
体29を重ねて使用する場合、周波数の高い緩衝波に対
しては、コイルばね31が作用し、周波数の低い振動分
に対しては、弾性体29が作用するのである。なお発生
する振動帯によっては弾性体29か,コイルばね31の
何れか1つを用いてよい。
【0015】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、並べて配
置されたガイドシャフト4,4に案内される受動側の昇
降体2と、該ガイドシャフト4,4の間に配置され,同
じリード及び逆ねじ向きで逆方向に回転される昇降用の
ボールねじ10,11により昇降される受動側の駆動部
13とを緩衝装置28で連繋してなるので、昇降体2の
横振動,上下振動等の振動を少なくでき、これに載置す
る移載装置の振動も少なくできるので集積回路形成用半
導体ウェハーの搬送装置として、最適な昇降装置を提供
することができる。
置されたガイドシャフト4,4に案内される受動側の昇
降体2と、該ガイドシャフト4,4の間に配置され,同
じリード及び逆ねじ向きで逆方向に回転される昇降用の
ボールねじ10,11により昇降される受動側の駆動部
13とを緩衝装置28で連繋してなるので、昇降体2の
横振動,上下振動等の振動を少なくでき、これに載置す
る移載装置の振動も少なくできるので集積回路形成用半
導体ウェハーの搬送装置として、最適な昇降装置を提供
することができる。
【図1】本発明装置の1実施例の要部を示す正面図であ
る。
る。
【図2】同じくその平面図である。
【図3】本発明実施例の全体構成を示す説明用斜視図で
ある。
ある。
2 昇降体 4 ガイドシャフト 10 ボールねじ 11 ボールねじ 13 駆動部 14 ボールナット 15 ボールナット 28 緩衝装置 29 弾性体 30 受板 31 コイルばね
Claims (5)
- 【請求項1】 並べて配置されたガイドシャフト(4,
4)に案内される受動側の昇降体(2)と、該ガイドシ
ャフト(4,4)の間に配置され,同じリード及び逆ね
じ向きで逆方向に回転される昇降用のボールねじ(1
0,11)により昇降される受動側の駆動部(13)と
を緩衝装置(28)で連繋してなる昇降装置。 - 【請求項2】 ボールねじ(10,11)の両側におい
て昇降体(2)と駆動部(13)とを緩衝装置(28,
28)で連繋してなる請求項1の昇降装置。 - 【請求項3】 緩衝装置(28)は弾性体(29)から
なることを特徴とする請求項1の昇降装置。 - 【請求項4】 緩衝装置(28)はコイルばね(31)
からなることを特徴とする請求項1の昇降装置。 - 【請求項5】 緩衝装置(28)は弾性体(29)と受
板(30)を介しコイルばね(31)とを重合してなる
請求項1の昇降装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18184392A JPH061564A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 昇降装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18184392A JPH061564A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 昇降装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH061564A true JPH061564A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=16107790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18184392A Pending JPH061564A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 昇降装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH061564A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0708442A3 (en) * | 1994-10-20 | 1996-10-09 | Sony Electronics Inc | Disk storage and retrieval |
WO2001031690A1 (de) * | 1999-10-22 | 2001-05-03 | Ortner Cls Gmbh Cleanroom Logistic System | Transportvorrichtung |
AT412373B (de) * | 2001-06-13 | 2005-01-25 | Thallner Erich | Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann |
CN103868687A (zh) * | 2014-03-31 | 2014-06-18 | 东南大学 | 滚珠丝杠副故障测试实验台 |
CN105485284A (zh) * | 2014-10-13 | 2016-04-13 | 百大科技股份有限公司 | 多段式螺旋传动装置 |
US10329123B2 (en) | 2015-07-09 | 2019-06-25 | Otis Elevator Company | Vibration damper for elevator linear propulsion system |
CN110439253A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-12 | 李鸣鹏 | 一种建筑工程用吊篮 |
-
1992
- 1992-06-15 JP JP18184392A patent/JPH061564A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0708442A3 (en) * | 1994-10-20 | 1996-10-09 | Sony Electronics Inc | Disk storage and retrieval |
EP0987701A1 (en) * | 1994-10-20 | 2000-03-22 | Sony Electronics Inc. | Disk storage and retrieval |
WO2001031690A1 (de) * | 1999-10-22 | 2001-05-03 | Ortner Cls Gmbh Cleanroom Logistic System | Transportvorrichtung |
AT412373B (de) * | 2001-06-13 | 2005-01-25 | Thallner Erich | Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann |
CN103868687A (zh) * | 2014-03-31 | 2014-06-18 | 东南大学 | 滚珠丝杠副故障测试实验台 |
CN105485284A (zh) * | 2014-10-13 | 2016-04-13 | 百大科技股份有限公司 | 多段式螺旋传动装置 |
US10329123B2 (en) | 2015-07-09 | 2019-06-25 | Otis Elevator Company | Vibration damper for elevator linear propulsion system |
CN110439253A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-12 | 李鸣鹏 | 一种建筑工程用吊篮 |
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