JPH061564A - 昇降装置 - Google Patents
昇降装置Info
- Publication number
- JPH061564A JPH061564A JP18184392A JP18184392A JPH061564A JP H061564 A JPH061564 A JP H061564A JP 18184392 A JP18184392 A JP 18184392A JP 18184392 A JP18184392 A JP 18184392A JP H061564 A JPH061564 A JP H061564A
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- Japan
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- shock absorber
- ball
- lifting
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 横振動，上下振動等の振動を低減する。
【構成】 並べて配置されたガイドシャフト４，４に案
内される昇降体２と、該ガイドシャフト４，４の間に配
置され，同じリード及び逆ねじ向きで逆方向に回転され
るボールねじ１０，１１により昇降される駆動部１３と
を，合成ゴム，ウレタンゴム等のゴム硬度８０度以上の
弾性力に富む弾性体２９，集中荷重を分散する受板３０
及びバネ定数の大きなコイルばね３１よりなる緩衝装置
２８で連繋する。
内される昇降体２と、該ガイドシャフト４，４の間に配
置され，同じリード及び逆ねじ向きで逆方向に回転され
るボールねじ１０，１１により昇降される駆動部１３と
を，合成ゴム，ウレタンゴム等のゴム硬度８０度以上の
弾性力に富む弾性体２９，集中荷重を分散する受板３０
及びバネ定数の大きなコイルばね３１よりなる緩衝装置
２８で連繋する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送物を昇降搬送する昇
降装置であって、特に振動の発生を防止した昇降装置に
関する。
降装置であって、特に振動の発生を防止した昇降装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の昇降装置は、昇降に供する昇降体
の、中央部分に昇降の駆動を司るボールねじを貫通して
配し、これに螺合するボールナットを昇降体に堅着し、
上記ボールねじの両側所定位置に、平行してガイドシャ
フトをボールブッシュベアリングを介し昇降体を貫通し
て配置し、且つその上端部及び下端部をそれぞれ上，下
部支持板に固着すると共に、上記ボールねじに所要方向
の回動を付与し、昇降体の昇降を行う構成となってい
る。
の、中央部分に昇降の駆動を司るボールねじを貫通して
配し、これに螺合するボールナットを昇降体に堅着し、
上記ボールねじの両側所定位置に、平行してガイドシャ
フトをボールブッシュベアリングを介し昇降体を貫通し
て配置し、且つその上端部及び下端部をそれぞれ上，下
部支持板に固着すると共に、上記ボールねじに所要方向
の回動を付与し、昇降体の昇降を行う構成となってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来装置において
は昇降体に移載装置を載置する関係上、重量も増し且つ
ボールねじのリードが大きくなると、横振れの振動が発
生するばかりでなく駆動源である、サーボモータの特性
から発生する僅かな間欠回転に依る上下方向の振動が発
生するという課題がある。
は昇降体に移載装置を載置する関係上、重量も増し且つ
ボールねじのリードが大きくなると、横振れの振動が発
生するばかりでなく駆動源である、サーボモータの特性
から発生する僅かな間欠回転に依る上下方向の振動が発
生するという課題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明装置は、上記の課
題を解決するため、並べて配置されたガイドシャフト
４，４に案内される受動側の昇降体２と、該ガイドシャ
フト４，４の間に配置され，同じリード及び逆ねじ向き
で逆方向に回転される昇降用のボールねじ１０，１１に
より昇降される受動側の駆動部１３とを緩衝装置２８で
連繋してなる。
題を解決するため、並べて配置されたガイドシャフト
４，４に案内される受動側の昇降体２と、該ガイドシャ
フト４，４の間に配置され，同じリード及び逆ねじ向き
で逆方向に回転される昇降用のボールねじ１０，１１に
より昇降される受動側の駆動部１３とを緩衝装置２８で
連繋してなる。
【０００５】
【作 用】同じリードで逆ねじ向きのボールねじ１０，
１１をそれぞれ逆方向に回転すると駆動部１３が昇降
し、昇降体２が駆動部１３の昇降により緩衝装置２８を
介して昇降することになり、この時発生するモーメント
は常に打ち消す方向に作用するので、横振れの振動が殆
んど発生することはない。又、ボールねじ１０，１１か
ら直接昇降を受ける駆動部１３と、ガイドシャフト４，
４により案内される昇降体２との間に挿設された緩衝装
置２８によりボールねじ１０，１１側の振動が平滑化さ
れ振動成分の減衰した昇降力が昇降体２に伝達すること
になり上下振動が大幅に低減することになる。
１１をそれぞれ逆方向に回転すると駆動部１３が昇降
し、昇降体２が駆動部１３の昇降により緩衝装置２８を
介して昇降することになり、この時発生するモーメント
は常に打ち消す方向に作用するので、横振れの振動が殆
んど発生することはない。又、ボールねじ１０，１１か
ら直接昇降を受ける駆動部１３と、ガイドシャフト４，
４により案内される昇降体２との間に挿設された緩衝装
置２８によりボールねじ１０，１１側の振動が平滑化さ
れ振動成分の減衰した昇降力が昇降体２に伝達すること
になり上下振動が大幅に低減することになる。
【０００６】
【実施例】図１は本発明装置の１実施例の要部を示す正
面図、図２は同じくその平面図、図３は本発明実施例の
全体構成を示す説明用斜視図である。まず、本実施例の
構成を説明する。図３において横方向に並べて配置され
たガイドシャフト４，４に、昇降体２がボールブッシュ
ベアリング３，３を介して貫通されそれらの両端部が
上，下部支持板７，６にメカロック機構５により堅着さ
れている。天秤部８の中央部両側に設けられた支持軸
９，９がそれぞれ上部支持板７に固着された支持台２
５，２５に回動自在に承持されている。
面図、図２は同じくその平面図、図３は本発明実施例の
全体構成を示す説明用斜視図である。まず、本実施例の
構成を説明する。図３において横方向に並べて配置され
たガイドシャフト４，４に、昇降体２がボールブッシュ
ベアリング３，３を介して貫通されそれらの両端部が
上，下部支持板７，６にメカロック機構５により堅着さ
れている。天秤部８の中央部両側に設けられた支持軸
９，９がそれぞれ上部支持板７に固着された支持台２
５，２５に回動自在に承持されている。
【０００７】ガイドシャフト４，４の間に配置されたボ
ールねじ１０，１１は昇降体２の貫通孔１２，１２に遊
挿され、昇降体２の下方に位置する駆動部１３に設けら
れたボールナット１４，１５（図２参照）に螺合されて
いる。これらのボールねじ１０，１１の下端先端部軸は
下部支持板６にボールベアリング１６，１６により適度
な緩さで嵌合承持されている。ボールねじ１０，１１の
上方部分はそれぞれ天秤部８の球面ジョイントを介した
支持部１７，１７に懸垂状に支持されている。
ールねじ１０，１１は昇降体２の貫通孔１２，１２に遊
挿され、昇降体２の下方に位置する駆動部１３に設けら
れたボールナット１４，１５（図２参照）に螺合されて
いる。これらのボールねじ１０，１１の下端先端部軸は
下部支持板６にボールベアリング１６，１６により適度
な緩さで嵌合承持されている。ボールねじ１０，１１の
上方部分はそれぞれ天秤部８の球面ジョイントを介した
支持部１７，１７に懸垂状に支持されている。
【０００８】各ボールねじ１０，１１の上端部には同一
歯数のギヤ１８，１８が堅着され、互に噛合されてい
る。上部支持板７の下面上にはサーボモータ１９が取付
けられ、その出力軸２０と無励磁ブレーキ２３のブレー
キ軸２１とはギヤ２２のボス内で連結され、ギヤ２２は
ギヤ１８と噛合されている。無励磁ブレーキ２３は上部
支持板７に固定されたブレーキ台２４に堅着され、停止
時に昇降部２の落下を防止すべく無励磁状態で制動を行
う役目を果す。又昇降体２の載置部２６上には移載装置
２７が設置される。
歯数のギヤ１８，１８が堅着され、互に噛合されてい
る。上部支持板７の下面上にはサーボモータ１９が取付
けられ、その出力軸２０と無励磁ブレーキ２３のブレー
キ軸２１とはギヤ２２のボス内で連結され、ギヤ２２は
ギヤ１８と噛合されている。無励磁ブレーキ２３は上部
支持板７に固定されたブレーキ台２４に堅着され、停止
時に昇降部２の落下を防止すべく無励磁状態で制動を行
う役目を果す。又昇降体２の載置部２６上には移載装置
２７が設置される。
【０００９】昇降体２と駆動部１３とは緩衝装置２８で
連繋されている。緩衝装置２８は、図１〜図３に示すよ
うに、駆動部１３上に載置され所要形状，例えば直方体
形状の合成ゴム，ウレタンゴム等の所要硬度を有する弾
性体２９と、その上に配設され所要形状例えば長方形状
の受板３０と、この受板３０上に配した所要個、例えば
４個のコイルばね３１を重合してなる。弾性体２９とし
ては移載装置２７が載置された昇降体２の荷重を担って
も永久変形をきたさぬゴム硬度が８０度以上で弾性力に
富んでいる所謂防振用弾性体が望ましい。受板３０は集
中荷重を分散する役目を果す。又、コイルばね３１とし
ては、充分荷重に耐え且つばね定数の大きなばねを使用
することが望ましく、従って荷重の変動があっても圧縮
長の変化が少いばねである。
連繋されている。緩衝装置２８は、図１〜図３に示すよ
うに、駆動部１３上に載置され所要形状，例えば直方体
形状の合成ゴム，ウレタンゴム等の所要硬度を有する弾
性体２９と、その上に配設され所要形状例えば長方形状
の受板３０と、この受板３０上に配した所要個、例えば
４個のコイルばね３１を重合してなる。弾性体２９とし
ては移載装置２７が載置された昇降体２の荷重を担って
も永久変形をきたさぬゴム硬度が８０度以上で弾性力に
富んでいる所謂防振用弾性体が望ましい。受板３０は集
中荷重を分散する役目を果す。又、コイルばね３１とし
ては、充分荷重に耐え且つばね定数の大きなばねを使用
することが望ましく、従って荷重の変動があっても圧縮
長の変化が少いばねである。
【００１０】次に本実施例の作用を緩衝装置２８の作用
を主体に説明する。弾性体２９と、コイルばね３１の動
作を比較すると、弾性体２９への加圧において、弾性体
２９は圧力の減圧に対する追随速度が遅く、コイルばね
３１のそれは極めて速やかである。従って両者を重合し
て使用する場合において、ボールねじ１０，１１が図
１，図２の実線３３，３２方向に回転され、駆動部１３
が図１の矢印３４方向に上昇すると、昇降体２の荷重３
５，３５に打ち勝って弾性体２９，受板３０、及びコイ
ルばね３１を介した押し上げの伝達力に依り昇降体２は
矢印３６方向に上昇する。
を主体に説明する。弾性体２９と、コイルばね３１の動
作を比較すると、弾性体２９への加圧において、弾性体
２９は圧力の減圧に対する追随速度が遅く、コイルばね
３１のそれは極めて速やかである。従って両者を重合し
て使用する場合において、ボールねじ１０，１１が図
１，図２の実線３３，３２方向に回転され、駆動部１３
が図１の矢印３４方向に上昇すると、昇降体２の荷重３
５，３５に打ち勝って弾性体２９，受板３０、及びコイ
ルばね３１を介した押し上げの伝達力に依り昇降体２は
矢印３６方向に上昇する。
【００１１】此の上昇時に駆動源であるサーボモータ１
９の回転中に於ける僅かな間欠分が存在すると、ボール
ねじ１０，１１も回転中にも間欠の成分に依り、ボール
ナット１４，１５と共に駆動部１３が上下方向に振動し
ながら上昇する。昇降体２は重量が重く慣性があるた
め、振動に動じ難いので緩衝装置２８を構成する弾性体
２９は低い振動周波数に対し振幅の大きな部分では圧縮
され、縮み、振幅の少い部分では縮み分が元に戻る、即
ち振動成分のエネルギーの吸収及び放出を行い振動成分
の平滑化を行うのである。
９の回転中に於ける僅かな間欠分が存在すると、ボール
ねじ１０，１１も回転中にも間欠の成分に依り、ボール
ナット１４，１５と共に駆動部１３が上下方向に振動し
ながら上昇する。昇降体２は重量が重く慣性があるた
め、振動に動じ難いので緩衝装置２８を構成する弾性体
２９は低い振動周波数に対し振幅の大きな部分では圧縮
され、縮み、振幅の少い部分では縮み分が元に戻る、即
ち振動成分のエネルギーの吸収及び放出を行い振動成分
の平滑化を行うのである。
【００１２】またコイルばね３１は高い振動周波数に対
し効果を発揮し、振幅の大きい部分では縮み、振幅の少
い部分では元に戻り、これも振動の平滑化を行い、振動
分の昇降体２への伝達の減衰を行っている。例えば加速
度メータにて、駆動部１３の加速度が０．２Ｇに対し、
昇降体２の加速度は０．０６Ｇである。
し効果を発揮し、振幅の大きい部分では縮み、振幅の少
い部分では元に戻り、これも振動の平滑化を行い、振動
分の昇降体２への伝達の減衰を行っている。例えば加速
度メータにて、駆動部１３の加速度が０．２Ｇに対し、
昇降体２の加速度は０．０６Ｇである。
【００１３】ボールねじ１０，１１を点線矢印３８，３
７方向に回転し、駆動部１３を矢印３９方向に下降する
と、これに追随して昇降体２が矢印４０方向に重量に依
り、下降するが、緩衝装置２８の平滑作用に依り、振動
成分力の減衰した駆動力を昇降体２に伝達する。
７方向に回転し、駆動部１３を矢印３９方向に下降する
と、これに追随して昇降体２が矢印４０方向に重量に依
り、下降するが、緩衝装置２８の平滑作用に依り、振動
成分力の減衰した駆動力を昇降体２に伝達する。
【００１４】以上述べたようにコイルばね３１及び弾性
体２９を重ねて使用する場合、周波数の高い緩衝波に対
しては、コイルばね３１が作用し、周波数の低い振動分
に対しては、弾性体２９が作用するのである。なお発生
する振動帯によっては弾性体２９か，コイルばね３１の
何れか１つを用いてよい。
体２９を重ねて使用する場合、周波数の高い緩衝波に対
しては、コイルばね３１が作用し、周波数の低い振動分
に対しては、弾性体２９が作用するのである。なお発生
する振動帯によっては弾性体２９か，コイルばね３１の
何れか１つを用いてよい。
【００１５】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、並べて配
置されたガイドシャフト４，４に案内される受動側の昇
降体２と、該ガイドシャフト４，４の間に配置され，同
じリード及び逆ねじ向きで逆方向に回転される昇降用の
ボールねじ１０，１１により昇降される受動側の駆動部
１３とを緩衝装置２８で連繋してなるので、昇降体２の
横振動，上下振動等の振動を少なくでき、これに載置す
る移載装置の振動も少なくできるので集積回路形成用半
導体ウェハーの搬送装置として、最適な昇降装置を提供
することができる。
置されたガイドシャフト４，４に案内される受動側の昇
降体２と、該ガイドシャフト４，４の間に配置され，同
じリード及び逆ねじ向きで逆方向に回転される昇降用の
ボールねじ１０，１１により昇降される受動側の駆動部
１３とを緩衝装置２８で連繋してなるので、昇降体２の
横振動，上下振動等の振動を少なくでき、これに載置す
る移載装置の振動も少なくできるので集積回路形成用半
導体ウェハーの搬送装置として、最適な昇降装置を提供
することができる。
【図１】本発明装置の１実施例の要部を示す正面図であ
る。
る。
【図２】同じくその平面図である。
【図３】本発明実施例の全体構成を示す説明用斜視図で
ある。
ある。
２ 昇降体 ４ ガイドシャフト １０ ボールねじ １１ ボールねじ １３ 駆動部 １４ ボールナット １５ ボールナット ２８ 緩衝装置 ２９ 弾性体 ３０ 受板 ３１ コイルばね
Claims (5)
- 【請求項１】 並べて配置されたガイドシャフト（４，
４）に案内される受動側の昇降体（２）と、該ガイドシ
ャフト（４，４）の間に配置され，同じリード及び逆ね
じ向きで逆方向に回転される昇降用のボールねじ（１
０，１１）により昇降される受動側の駆動部（１３）と
を緩衝装置（２８）で連繋してなる昇降装置。 - 【請求項２】 ボールねじ（１０，１１）の両側におい
て昇降体（２）と駆動部（１３）とを緩衝装置（２８，
２８）で連繋してなる請求項１の昇降装置。 - 【請求項３】 緩衝装置（２８）は弾性体（２９）から
なることを特徴とする請求項１の昇降装置。 - 【請求項４】 緩衝装置（２８）はコイルばね（３１）
からなることを特徴とする請求項１の昇降装置。 - 【請求項５】 緩衝装置（２８）は弾性体（２９）と受
板（３０）を介しコイルばね（３１）とを重合してなる
請求項１の昇降装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18184392A JPH061564A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 昇降装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18184392A JPH061564A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 昇降装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH061564A true JPH061564A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=16107790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18184392A Pending JPH061564A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 昇降装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061564A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0708442A3 (en) * | 1994-10-20 | 1996-10-09 | Sony Electronics Inc | Disk storage and retrieval |
| WO2001031690A1 (de) * | 1999-10-22 | 2001-05-03 | Ortner Cls Gmbh Cleanroom Logistic System | Transportvorrichtung |
| AT412373B (de) * | 2001-06-13 | 2005-01-25 | Thallner Erich | Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann |
| CN103868687A (zh) * | 2014-03-31 | 2014-06-18 | 东南大学 | 滚珠丝杠副故障测试实验台 |
| CN105485284A (zh) * | 2014-10-13 | 2016-04-13 | 百大科技股份有限公司 | 多段式螺旋传动装置 |
| US10329123B2 (en) | 2015-07-09 | 2019-06-25 | Otis Elevator Company | Vibration damper for elevator linear propulsion system |
| CN110439253A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-12 | 李鸣鹏 | 一种建筑工程用吊篮 |
-
1992
- 1992-06-15 JP JP18184392A patent/JPH061564A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0708442A3 (en) * | 1994-10-20 | 1996-10-09 | Sony Electronics Inc | Disk storage and retrieval |
| EP0987701A1 (en) * | 1994-10-20 | 2000-03-22 | Sony Electronics Inc. | Disk storage and retrieval |
| WO2001031690A1 (de) * | 1999-10-22 | 2001-05-03 | Ortner Cls Gmbh Cleanroom Logistic System | Transportvorrichtung |
| AT412373B (de) * | 2001-06-13 | 2005-01-25 | Thallner Erich | Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann |
| CN103868687A (zh) * | 2014-03-31 | 2014-06-18 | 东南大学 | 滚珠丝杠副故障测试实验台 |
| CN105485284A (zh) * | 2014-10-13 | 2016-04-13 | 百大科技股份有限公司 | 多段式螺旋传动装置 |
| US10329123B2 (en) | 2015-07-09 | 2019-06-25 | Otis Elevator Company | Vibration damper for elevator linear propulsion system |
| CN110439253A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-12 | 李鸣鹏 | 一种建筑工程用吊篮 |
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