DE19919990A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke einer Metallschicht - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke einer Metallschicht

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Dicke D einer aus einem ersten Metall M gebildeten Schicht, die auf einem aus einem zweiten Metall M2 hergestellten Substrat aufgebracht ist, mit folgenden Schritten: DOLLAR A a) Einstrahlen primärer Photonen P1 mit einer Energie von mehr als 23 keV auf die Schicht S, DOLLAR A b) Messen einer ersten Intensität I1 sekundärer von der Schicht S zurückgestrahlter Photonen P2 und DOLLAR A c) Ermittlung der Dicke D der Schicht S, indem eine vorbekannte zweite Intensität I2 sekundärer vom zweiten Metall M2 zurückgestreuter Photonen in Beziehung gesetzt wird mit der gemessenen ersten Intensität I1.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung der Dicke einer aus einem ersten Metall gebildeten Schicht, die auf einem aus einem zweiten Metall hergestellten Substrat aufgebracht ist.
Aus der EP 0 465 797 B1 ist eine Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten und/oder der Stärke einer Zinkschicht von verzinktem Stahlblech mittels Röntgenfluores­ zenz bekannt. Der Meßbereich der bekannten Vorrichtung reicht bis zu einer Zinkauftragung von höchstens 300 g/m2.
Die bekannte Vorrichtung kommt insbesondere zur Messung der Dicke der Zinkschichten bei sogenannten Bandverzinkungsanla­ gen zum Einsatz. Solche Bandverzinkungsanlagen dienen zur Herstellung von korrosionsbeständigem Stahlblech für die Au­ toindustrie mit einer Zinkauftragung von höchstens 300 g/m2.
In jüngerer Zeit ist es gelungen, im Bandverzinkungsverfahren nicht nur relativ dünne Stahlbleche für die Automobilindu­ strie zu verzinken, sondern auch dickere Stahlbleche mit ei­ ner Zinkauftragung von mehr als 350 g/m2 zu versehen. Solche dickeren Stahlbleche werden insbesondere für die Herstellung von Leitplanken oder beim Bau von Lastkraftwagen eingesetzt.
Aus der US 5,579,362 ist ein Verfahren zur Messung der Dicke mehrerer auf ein metallisches Bauteil aufgebrachter Lack­ schichten bekannt. Dabei wird gleichzeitig die Intensität der Compton-Streuung und die Intensität der Röntgenfluoreszenz gemessen und daraus die Dicke der Lackschicht ermittelt. Das Verfahren beruht auf einer Ausnutzung des erheblichen Inten­ sitätsunterschieds zwischen der Rückstreuung am Metall und an der organischen Lackschicht. Es eignet sich also nur für die Messung organischer Lackschichten auf Metall.
Die WO 96/07077 beschreibt ebenfalls ein Verfahren zur Be­ stimmung der Dicke einer auf ein metallisches Substrat aufge­ brachten Lackschicht. Als Strahlungsquelle wird hier eine ra­ dioaktive Quelle benutzt. Zur Bestimmung der Dicke der Lack­ schicht wird die Intensität der Compton-Streuung gemessen. Die Benutzung einer radioaktiven Strahlungsquelle erfordert aus Sicherheitsgründen einen erheblichen Aufwand. Sie ist in der Praxis unerwünscht.
Aus der US 5,125,017 ist ein Verfahren zur zerstörungsfreien Materialprüfung bekannt. Dabei wird die Compton-Streuung un­ ter bestimmten vorgegebenen Rückstreuungswinkeln erfaßt. Die Messung beruht hier auf geometrischen Effekten.
Die US 5,579,362 betrifft ein weiteres Verfahren zur Messung der Dicke einer auf ein metallisches Bauteil aufgebrachten Lackschicht. Dabei werden gleichzeitig die Intensitäten der Compton-Streuung und der Röntgenfluoreszenz erfaßt. Aus den erfaßten Intensitäten wird die Dicke der Lackschicht be­ stimmt.
Auch bei dem aus der EP 0 380 226 A1 bekannten Verfahren wird die Dicke einer Lackschicht durch gleichzeitige Messung der Intensität der Röntgenfluoreszenz und der Compton-Streuung ermittelt. Dabei dient die gemessene Intensität der Compton-Streuung lediglich als Korrekturgröße für die Abstandsabhän­ gigkeit der Messung der Dicke der Zinkschicht mittels Rönt­ genfluoreszenz.
Aufgabe der Erfindung ist es, die Nachteile nach dem Stand der Technik zu beseitigen. Es sollen insbesondere ein Verfah­ ren und eine Vorrichtung zur Messung der Dicke einer auf ei­ ner metallischen Oberfläche aufgebrachten weiteren metalli­ schen Schicht angegeben werden, die eine hohe Eindringtiefe aufweisen. Weiteres Ziel der Erfindung ist es, insbesondere die Dicke von auf Eisen bzw. Stahl aufgebrachten Zinkschich­ ten mit einer Dicke von mehr als 300 g/m2 zu bestimmen.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der Ansprüche 1 und 22 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 2 bis 21 und 23 bis 38.
Nach Maßgabe der Erfindung ist ein Verfahren zur Messung der Dicke einer aus einem ersten Metall gebildeten Schicht, die auf einem aus einem zweiten Metall hergestellten Substrat aufgebracht ist, mit folgenden Schritten vorgesehen:
  • a) Einstrahlen primärer Photonen mit einer Energie von mehr als 23 keV auf die Schicht,
  • b) Messen einer ersten Intensität sekundärer von der Schicht zurückgestreuter Photonen und
  • c) Ermittlung der Dicke der Schicht, indem eine zweite In­ tensität sekundärer vom zweiten Metall zurückgestreuter Pho­ tonen gemessen und zur Kalibrierung in Beziehung gesetzt wird mit der gemessenen ersten Intensität.
Die Benutzung von ersten Photonen mit einer Energie von mehr als 23 keV eignen sich besonders gut als Meßsonde für die Un­ tersuchung dickerer Schichten. Die bei solchen Energien ein­ gestrahlten primären Photonen werden nach dem Compton- und Rayleigh-Effekt zurückgestreut. Eine erste Intensität dieser zurückgestreuten sekundären Photonen ermöglicht überraschen­ derweise eine Aussage über die Dicke bzw. Halbwertsdicke der auf dem ersten Metall aufgebrachten aus dem zweiten Metall hergestellten Schicht. Das Prinzip der Ermittlung der Dicke beruht im wesentlichen auf der Erkenntnis, dass die erste In­ tensität von der Dicke der Schicht abhängig ist. Sie sinkt mit zunehmender Dicke der Schicht. Als Vergleichswert dient eine vorgegebene zweite Intensität sekundärer Photonen, die durch Eintrahlen primärer Photonen vergleichbarer Energie auf das unbeschichtete zweite Metall bestimmt wird.
Die Ermittlung der Dicke erfolgt zweckmäßigerweise auf der Grundlage der folgenden Beziehung:
Die vorgenannte Beziehung setzt sich zusammen aus den folgen­ den Exponentialfunktionen, wobei mit dx die Abschwächung der Rückstreuung aus der Schicht und mit σ die Umsetzungswahr­ scheinlichkeit im betrachteten Raumwinkel der Schicht dx be­ zeichnet sind. Für Sehr dicke Schichten aus dem reinen Metall M1, M2 ergibt sich:
Unter der Schicht dx wird hier die Dicke im Sinne einer Flä­ chenmasse verstanden, d. h. die Dicke der Schicht multipli­ ziert mit deren Dichte.
In erster Näherung kann angenommen werden, dass die Umset­ zungswahrscheinlichkeit im ersten (= M1) und im zweiten Metall (= M2) gleich ist, wenn z. B. Zink und Eisen betrachtet werden. In diesem Fall werden aus Zink niedrigere Intensitäten als aus Eisen zurückgestreut. Die vorgenannte Beziehung liefert eine monotone Kurve, die gut für die Meßtechnik geeignet ist.
Nach einem Ausgestaltungsmerkmal werden die primären Photonen aus einer Röntgenquelle eingestrahlt. Beim Schritt lit. b können sekundäre Photonen mit einer Energie von mindestens 20 keV, vorzugsweise von 30 bis 50 keV, gemessen werden. Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, die primären Photonen unter einem ersten Winkel α von 30 bis 150° auf die Schicht einzu­ strahlen.
Beim ersten Metall kann es sich um Zink (= Zn), beim zweiten Metall zweckmäßigerweise um Eisen (= Fe) oder Stahl handeln.
Als besonders vorteilhaft hat es sich erwiesen, dass eine Röntgenquelle mit einer Anode verwendet wird, deren K-Alpha-Linie oberhalb 23 keV liegt. Eine solche Anode kann bei­ spielsweise aus Samarium, Neodym, Gadolinium, Tantal oder Wolfram hergestellt sein. Die vorgenannten Merkmale tragen dazu bei, eine die Messung störende Röntgenfluoreszenz zu vermeiden.
Als Mittel zur Messung kommt vorzugsweise eine mit Krypton- oder Xenon-Gas gefüllte Ionisationskammer zum Einsatz. Das Mittel zur Messung kann aber auch einen Szintillationskri­ stall mit einem nachgeschalteten Photomultiplier oder einer nachgeschalteten Photodiode aufweisen.
Zu diesem Zweck kann auch das Mittel zur Erzeugung mit einem Filtermittel zum Zurückhalten primärer Photonen mit einer Energie kleiner oder gleich 23 keV versehen sein.
Ferner weist das Mittel zur Messung zweckmäßigerweise ein weiteres Filtermittel zum Zurückhalten sekundärer Photonen mit einer Energie im Bereich der M1-K-Alpha-Linie auf. Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, dass die Intensität dieser se­ kundären Photonen um mindestens den Faktor 100 geschwächt wird. Die vorgenannten Filtermittel tragen weiter zu einer Unterdrückung störender Röntgenfluoreszenz bei.
Nach einer weiteren Ausgestaltung weist das Mittel zur Mes­ sung zwei, vorzugsweise symmetrisch zur Röntgenquelle ange­ ordnete, Detektoren auf. Zur Untergrundkorrektur der ersten Intensität ist es zweckmäßig, die Intensität der Röntgenfluo­ reszenzstrahlung zu messen. Dabei können ein erster Detektor zur Erfassung der Compton-Streuung und ein zweiter Detektor zur Erfassung der Röntgenfluoreszenzstrahlung vorgesehen sein. Das Mittel zur Messung bzw. die Detektoren können in einem Winkel β von 30 bis 150° zur Schicht angeordnet sein. Die vorgeschlagene Anordnung ermöglicht eine besonders effek­ tive Messung.
Nach weiterer Maßgabe der Erfindung ist eine Vorrichtung zur Messung der Dicke einer aus einem ersten Metall gebildeten Schicht, die auf einen aus einem zweiten Metall hergestellten Substrat aufgebracht ist, vorgesehen, wobei ein Mittel zur Erzeugung primärer Photonen mit einer Energie von mehr als 23 kev und mindestens ein Mittel zum Messen einer ersten Inten­ sität sekundärer von der Schicht zurückgestreuter Photonen vorgesehen sind, und wobei zur Ermittlung der Dicke der Schicht ein Mittel zum Speichern einer gemessenen zweiten In­ tensität sekundärer vom zweiten Metall zurückgestreuter Pho­ tonen und zur Kalibrierung ein Mittel zum Inbeziehungsetzen der zweiten Intensität mit der gemessenen ersten Intensität vorgesehen sind.
Die vorgeschlagene Vorrichtung ermöglicht eine Messung von Schichtdicken von mehr als 300 g/m2.
Weitere Ausgestaltungsmerkmale sind aus den Unteransprüchen ersichtlich.
Nachfolgend wird die Erfindung an der Zeichnung näher erläu­ tert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Ansicht einer Vorrichtung und
Fig. 2 die Abhängigkeit der Röntgenfluoreszenz von Eisen von der Dicke der Zinkschicht und
Fig. 3 die Abhängigkeit der Compton-Streuung von der Dicke der Zinkschicht.
In Fig. 1 trifft ein aus einer Röntgenröhre 1 austretender Röntgenstrahl 2 unter einem Winkel von etwa 90° auf die Probe 3. Dabei handelt es sich z. B. um ein mit einer Zinkschicht S versehenes Stahlblech. Die Dicke der Zinkschicht S ist mit D bezeichnet. Die Anode der Röntgenröhre 1 besteht zweckmäßi­ gerweise aus einem Material, dessen K-Alpha-Linie oberhalb von etwa 23 keV liegt. In Frage kommen Materialien mit einer Ordnungszahl von mehr als 47, z. B. Samarium. Ein in einem Kollimator 1a angeordnetes Filter 4 besteht vorteilhafterwei­ se aus demselben Material wie die Schicht, deren Dicke zu be­ stimmen ist. Falls die Schicht aus Zink besteht, besteht auch das Filter 4 aus Zink. In diesem Fall wird durch das Filter 4 die die Messung störende Röntgenfluoreszenz besonders wirksam unterdrückt.
Symmetrisch zur Röntgenquelle 1 sind ein erster 5 und ein zweiter Detektor 6 angeordnet. Dabei handelt es sich zweckmä­ ßigerweise um mit einer Krypton- oder Xenon-Gas-Füllung ver­ sehene Ionisationskammern. Die Detektoren 5, 6 messen die zu­ rückgestreuten Photonen unter einem Winkel von 55 bzw. 125° bezogen auf die Oberfläche der Probe 3. Jeder der Detektoren kann mit einem weiteren Filter 7 versehen sein. Das weitere Filter 7 ist zweckmäßigerweise aus Materialien, wie Aluminium oder Stahl hergestellt. Die weiteren Filter 7 haben vorteil­ hafterweise die Eigenschaft, für den Untergrund aus der Zink- K-Alpha-Linie die Fluoreszenz um mindestens den Faktor 100 zu schwächen. Ein solches weiteres Filter 7 kann aus einem 0,5 mm dicken Aluminiumblech oder einer 25 µm dicken Eisen­ schicht bestehen.
Die von den Detektoren 5, 6 erfaßten Signale werden üblicher­ weise mit einer geeigneten Auswertelektronik verstärkt und über einen Analog-Digitalwandler einem Computer zugeführt. Dort wird aus den Meßwerten eine erste Intensität ermittelt. Die erste Intensität wird zur Ermittlung der Dicke der Schicht mit einer zweiten - gespeicherten - Intensität ver­ glichen bzw. rechnerisch in Beziehung gesetzt.
In Fig. 2 ist die nach dem Stand der Technik bekannte Messung der Dicke bzw. Halbwertsdicke in g/mm2 einer auf einem Stahl­ blech aufgebrachten Zinkschicht gezeigt. Sie beruht auf der Messung der Intensität der Röntgenfluoreszenz von Eisen bzw. Stahl. Diese nimmt mit zunehmender Halbwertsdicke der aufge­ brachten Schicht exponentiell ab.
Es ist klar erkennbar, dass oberhalb einer Schicht- bzw. Halbwertsdicke von 300 g/m2 eine Messung infolge eines zu schwachen Signals nicht möglich oder zumindest stark fehler­ behaftet ist.
Fig. 3 zeigt die Intensität der Compton-Streuung in Abhängig­ keit der Dicke einer auf einem Stahlblech aufgebrachten Zink­ schicht. Die Kurve verläuft monoton fallend und nahezu line­ ar. Je dicker die Zinkschicht ist, desto geringer ist die be­ obachtbare Intensität der Compton-Streuung. Sofern die Inten­ sität der Compton-Streuung des Stahlblechs, d. h. ohne darü­ berliegender Zinkschicht, bekannt ist, kann aus einer gemes­ senen Intensität zurückgestreuter sekundärer Photonen die Dicke einer auflagernden Zinkschicht bestimmt werden. Mit dem vorgeschlagenen Verfahren ist es möglich, Dicken von Zink­ schichten bis zu einer Dicke von mehr als 1000 g/m2 zu be­ stimmen.
Bezugszeichenliste
1
Röntgenröhre
1
a Kollimator
2
Röntgenstrahl
3
Probe
4
Filter
5
erster Detektor
6
zweiter Detektor
7
weiteres Filter
S Zinkschicht
D Dicke
α Winkel der Röntgenquelle
β Winkel des Detektors

Claims (38)

1. Verfahren zur Messung der Dicke (D) einer aus einem er­ sten Metall (M1) gebildeten Schicht (S), die auf einem aus einem zweiten Metall (M2) hergestellten Substrat aufgebracht ist (S), mit folgenden Schritten:
  • a) Einstahlen primärer Photonen (P1) mit einer Energie von mehr als 23 keV auf die Schicht (S),
  • b) Messen einer ersten Intensität (I1) sekundärer von der Schicht (S) und dem Substrat zurückgestreuter Pho­ tonen (P2) und
  • c) Ermittlung der Dicke (D) der Schicht (S), indem ei­ ne zweite Intensität (I2) sekundärer vom zweiten Metall (M2) zurückgestreuter Photonen (P2) gemessen und zur Kalibrierung in Beziehung gesetzt wird mit der gemesse­ nen ersten Intensität (I1)
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die sekundären Photo­ nen beim Schritt lit. b nach dem Compton-Effekt sowie dem Raleighstreuung zurückgestreut werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Ermittlung der Dicke (D) auf der Grundlage der folgenden Beziehung erfolgt:
wobei mit dx die Abschwächung der Rückstreuung aus der Schicht und mit σ die Umsetzungswahrscheinlichkeit im betrachteten Raumwinkel der Schicht dx bezeichnet sind.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei die primären Photonen (P1) aus einer Röntgenquelle (1) eingestrahlt werden,
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei beim Schritt lit. b sekundäre Photonen mit einer Energie von mindestens 20 keV, vorzugsweise von 30 bis 50 keV, gemessen werden.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei die primären Photonen (P1) unter einem ersten Win­ kel α von 30 bis 150° auf die Schicht (S) eingestrahlt werden.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei das erste Metall (M1) Zink (Zn) ist.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei das zweite Metall (M2) Eisen (Fe) oder Stahl ist.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei eine Röntgenquelle (1) mit einer Anode verwendet wird, deren K-Alpha-Linie oberhalb 23 keV liegt.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei die Anode aus einem Material der folgenden Gruppe hergestellt ist: Samarium, Neodym, Gadolinium, Tantal, Wolfram.
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei das Mittel zur Messung aus einer mit Krypton- oder Xenon-Gas gefüllten Ionisationskammer (5, 6) gebildet ist.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei das Mittel zur Messung einen Szintillationskristall mit nachgeschaltetem Photomutiplier oder Photodiode aufweist.
13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei das Mittel zur Erzeugung (1) mit einem Filtermittel (4) zum Zurückhalten primärer Photonen (P1) mit einer Energie kleiner oder gleich 23 keV versehen ist.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei das Mittel zur Messung ein weiteres Filtermittel (7) zum Zurückhalten sekundärer Photonen (P1) mit einer Energie im Bereich der M1-K-Alpha-Linie aufweist.
15. Verfahren nach Anspruch 14, wobei durch das weitere Filtermittel (7) die Intensität der sekundären Photonen (P1) um mindestens den Faktor 100 geschwächt wird.
16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei das Mittel zur Messung zwei, vorzugsweise symme­ trisch zur Röntgenquelle (1) angeordnete, Detektoren (5, 6) aufweist.
17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei zur Untergrundkorrektur der ersten Intensität (I1) die Intensität der Röntgenfluoreszenzstrahlung gemessen wird.
18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei die Intensität der Röntgenfluoreszenzstrahlung zur Bestimmung der Dicke (D) der Schicht (S) gemessen wird.
19. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei das Mittel zur Messung einen ersten Detektor (5) zur Erfassung der Compton-Streuung und einen zweiten Detektor zur Erfassung der Röntgenfluoreszenzstrahlung aufweist.
20. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei das Mittel zur Messung bzw. die Detektoren (5, 6) in einem Winkel β von 30 bis 150° zur Schicht (S) an­ geordnet ist/sind.
21. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wo­ bei zur Kalibrierung eine dritte Intensität (I3) sekun­ därer vom ersten Metall (M1) zurückgestreuter Photonen (P2) gemessen und mit der gemessenen ersten Intensität (I1) in Beziehung gesetzt wird.
22. Vorrichtung zur Messung der Dicke (D) einer aus einem ersten Metall (M1) gebildeten Schicht (S), die auf ei­ nem aus einem zweiten Metall (M2) hergestellten Substrat (S) aufgebracht ist, wobei ein Mittel zum Er­ zeugung primärer Photonen (P1) mit einer Energie von mehr als 23 keV und mindestens ein Mittel zum Messen (5, 6) einer ersten Intensität (I1) sekundärer von der Schicht (S) zurückgestreuter Photonen (P2) vorgesehen sind, und wobei zur Ermittlung der Dicke (D) der Schicht (S) ein Mittel zum Speichern einer gemessenen zweiten Intensität (I2) sekundärer vom zweiten Metall (M2) zurückgestreuter Photonen (P2) und zur Kalibrie­ rung ein Mittel zum Inbeziehungsetzen der zweiten In­ tensität (I2) mit der gemessenen ersten Intensität (I1) vorgesehen sind.
23. Vorrichtung nach Anspruch 22, wobei die sekundären Pho­ tonen (P2) nach dem Compton-Effekt und Raleighstreuung zurückgestreut sind.
24. Vorrichtung nach Anspruch 22 oder 23, wobei das Mittel zur Erzeugung eine Röntgenquelle (1) ist.
25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 24, wobei das Mittel zum Messen (5, 6) zur Detektion von sekundä­ ren Photonen mit einer Energie von mindestens 20 keV, vorzugsweise von 30 bis 50 keV, geeignet ist.
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 25, wobei das Mittel zur Erzeugung unter einem ersten Winkel α von 30 bis 150° in bezug zur Schicht (S) angeordnet ist.
27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 26, wobei das erste Metall (M1) Zink (Zn) ist.
28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 27, wobei das zweite Metall (M2) Eisen (Fe) oder Stahl ist.
29. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 28, wobei die Röntgenquelle (1) ein Anode aufweist, deren K-Alpha-Linie oberhalb 23 keV liegt.
30. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 29, wobei die Anode aus einem Element mit der Ordnungszahl 47 bis 75 hergestellt ist.
31. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 30, wobei die Anode im wesentlichen aus Samarium hergestellt ist.
32. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 31, wobei das Mittel zur Messung (5, 6) eine mit Krypton- oder Xenon-Gas gefüllte Ionisationskammer ist.
33. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 32, wobei das Mittel zur Messung (5, 6) einen Szintillationskri­ stall mit nachgeschaltetem Photomutiplier oder Photodi­ ode aufweist.
34. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 33, wobei das Mittel zur Erzeugung (1) mit einem Filtermittel (1a) zum Zurückhalten primärer Photonen (P1) mit einer Energie kleiner oder gleich 23 keV versehen ist.
35. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 34, wobei das Mittel zur Messung (5, 6) ein weiteres Filtermittel (7) zum Zurückhalten sekundärer Photonen im Bereich der M1-K-Alpha-Linie aufweist.
36. Vorrichtung nach Anspruch 35, wobei durch das weitere Filtermittel (7) eine Schwächung der Intensität der se­ kundären Photonen um mindestens den Faktor 100 bewirk­ bar ist.
37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 36, wobei das Mittel zur Messung (5, 6) einen ersten Detektor zur Erfassung der Compton-Streuung und einen zweiten Detek­ tor zur Erfassung der Röntgenfluoreszenzstrahlung auf­ weist.
38. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 37, wobei das Mittel zur Messung bzw. die Detektoren (5, 6) in ei­ nem Winkel β von 30 bis 150° zur Schicht (S) angeordnet ist/sind.
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