DE1005743B - Verfahren zur Messung der Dicke von Auflagen aus Metall oder anderen Werkstoffen mittels einer Betastrahlenquelle - Google Patents

Verfahren zur Messung der Dicke von Auflagen aus Metall oder anderen Werkstoffen mittels einer Betastrahlenquelle

Info

Publication number
DE1005743B
DE1005743B DEF20003A DEF0020003A DE1005743B DE 1005743 B DE1005743 B DE 1005743B DE F20003 A DEF20003 A DE F20003A DE F0020003 A DEF0020003 A DE F0020003A DE 1005743 B DE1005743 B DE 1005743B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
radiation
thickness
beta
ray
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEF20003A
Other languages
English (en)
Inventor
Pierre Martinelli
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Publication of DE1005743B publication Critical patent/DE1005743B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/02Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
    • G01B15/025Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness by measuring absorption
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/203Measuring back scattering
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076X-ray fluorescence

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

DEUTSCHES
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Dicke von Auflagen aus Metall oder anderen Werkstoffen mittels einer Quelle von Betastrahlen, d. h. von Elektronen mit großer Geschwindigkeit.
Sie bezweckt inisbesondere die Ermöglichung der Benutzung einer sehr vereinfachten Apparatur für die Messung derartiger Dicken.
Die zerstörungsfreie Messung von. Schichtdicken ist insbesondere für Metallauflagen sehr wichtig. Sie ist im allgemeinen für Auflagen von nicht ferromagnetischen Metallen auf ebenfalls nicht ferromagnetischen Grundstoffen schwierig.
Es sind bereits zahlreiche Verfahren zur Messung der Dicke dieser Auflagen bekannt, und 'es sind bereits magnetische., chemische, mechanische, optische, mikroskopische, spektroskopische und radioaktive (mit Röntgenstrahlen oder radioaktiven Elementen) Verfahren beschrieben worden. Jedes dieser Verfahren besitzt ein sehr beschränktes Anwendungsgebiet, wodurch ihr Interesse stark vermindert wird. Außerdem erfordern die Messungen mit Röntgenstrahlen eine kostspielige Apparatur. Schließlich sind die Messungen mit Betastrahlen nur anwendbar, wenn ein erheblicher Unterschied zwischen der Atomnummer des Grundelements und der des die Auflage bildenden Metalls vorhanden ist.
Es ist bereits ein Verfahren zur Schichtdickenmessung bekannt, bei dem die zu messende Schicht einer Strahlung ausgesetzt wird, die beispielsweise einem radioaktiven Isotop entstammen kann. Anschließend wird die in die Meßkammer einfallende, von der Schicht zurückgeworfene Röntgenstrahlung bezügliah ihres gesamten Frequenzbereiches gemessen und durch Bestimmung der Rückstrahlintensität auf die Dicke der Schicht geschlossen.
Gegenstand der Anmeldung ist ein Verfahren zur Messung der Dicke von Auflagen aus Metall oder anderen Werkstoffen, bei dem ebenfalls die Auflage, deren Dicke gemessen werden soll, mit Elektronen großer Energie, z. B. mit einem radioaktiven Isotop entstammender Betastrahlung, bestrahlt wird. Gemäß der Erfindung wird nach Filterung durch einen die von der Auflage zurückgestreuten Betastrahlen absorbierenden Schirm eine für den die Auflage bildenden Werkstoff charakteristische Röntgenlinie festgestellt, und dann werden die dieser Röntgenlinie und den in einem schmalen Band um diese Linie herum liegenden Strahlungen entsprechendenEnergien (oder Frequenzen) ausgewählt. Aus der Stärke dieser Röntgenlinie wird die Dicke der Auflage bestimmt.
Die Dicke der zu messenden Schicht muß kleiner als der größte Weg sein, welchen die Betastrahlen in dem diese Schicht bildenden Werkstoff durchlaufen können. Für große Dicken wird dieser mögliche
Verfahren zur Messung der Dicke
von Auflagen aus Metall
oder anderen Werkstoffen
mittels einer Betastrahlenquelle
Anmelder:
Commissariat ä l'Energie Atomique
Administration d'Etat frangaise, Paris
Vertreter: Dr. phil. W. P. Radt, Patentanwalt,
Bochum, Heinrich-König-Str. 12
Beanspruchte Priorität:
Frankreich vom 12. April 1955
Pierre Martinelli, Paris,
ist als Erfinder genannt worden
längste Weg durch Benutzung von sehr harten Betastrahlen vergrößert, während für geringe Dicken eine weniger kräftige Strahlung benutzt wird, was außerdem die Vergrößerung der Empfindlichkeit der Vorrichtung ermöglicht.
Die Erfindung ist nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnung beispielshalber erläutert.
Fig. 1 zeigt das Prinzipschema einer Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Messung der Dicke von Metallauflagen;
Fig. 2 zeigt das Spektrum der Röntgenstrahlung, welche einerseits von dem Grundmetall und andererseits von dem mit seiner Auflage versehenen Grundmetall ausgesandt wird;
Fig. 3 zeigt ein Beispiel der Kurve, welche für eine gegebene Metallauflage die von dem Apparat in Abhängigkeit von der Dicke ■ der Auflage gemessene Aktivität angibt.
In dem Schema der Fig. 1 wird das Muster mit einer Metallauflage, deren Dicke zu messen ist, durch eine Grundplatte 1 mit einer Metallauflage 2 gebildet. Die Anordnung liegt auf einem Halter 3.
Erfindungsgemäß wird eine Quelle 4 von Betastrahlen auf der die Metallauflage 2 tragenden Seite der Probe in die Nähe derselben gebracht.
In dem bevorzugten Fall, ·ϊη welchem als Strahlenquelle 4 ein radioaktives Isotop benutzt wird, wird dieses in einen Zylinder 5 aus einem leichten Werk-
609 867/188

Claims (7)

  1. 3 4
    stoff, ζ. B. Aluminium oder einem die Strahlung Diese Aktivität ist erheblich stärker als die ent-
    aushaltenden plastischen Werkstoff, eingeschlossen, sprechende Aktivität der Unterlage allein und hängt
    welcher seinerseits in einem Schutzbehälter 6 unter- von der Dicke der Auflage ab.
    gebracht wird. Da die Art der Auflage häufig bekannt ist, ist auch : Man kann natürlich auch eine andere Quelle von 5 die Energie (oder Frequenz) einer charakteristischen Betastrahlen als ein radioaktives Isotop benutzen, Röntgenlinie derselben bekannt, was die Auswahl z. B. eine Glühkathode. erleichtert. Der Wähler kann auch auf eine bestimmte Die - durch- die Pfeile 7 dargestellte, von der Linie fest eingestellt werden, wenn eine Meßreihe an Quelle 4 ausgesandte Betastrahlung bestrahlt die gleichartigen Auflagen ausgeführt wird. Metallauflage 2, welche eine durch die welligen io Fig. 3 zeigt die Form der Kurve, welche für eine Pfeile 8 dargestellte Röntgenstrahlung aussendet. gegebene Unterlage mit einer gegebenen Metallauflage Die -Röntgenstrahlung 8 wird erfindungsgemäß von die von dem Gerät in Abhängigkeit von der Dicke der einem Photomultiplikator 9 aufgefangen und ver- Auflage gemessene Aktivität angibt. Diese Kurve stärkt, welcher durch eine stabilisierte Hoch- wurde dadurch erhalten, daß als Ordinaten die Spannungsquelle 12 gespeist wird und insbesondere 15 Aktivität der Röntgenstrahlung und als Abszissen die mit einem Kristall 10 aus mit Thallium aktiviertem Dicke der Auflage aufgetragen wurden. Natriumjodid versehen ist. Die Kurve der Fig. 3 wurde z. B. durch Versuche In den .Weg der Röntgenstrahlen ist vor dem erhalten, bei welchen eine Kupferplatte mit einer Photomultiplikator 9 ein Schirm 11 aus einem Goldauflage veränderlicher Dicke benutzt wurde. Die leichten Werkstoff (z. B. einem plastischen Werkstoff, 20 Betastrahlenquelle wurde durch Strontium 90 gebildet, Aluminium, Beryllium) eingeschaltet, welcher die dessen Halbwertzeit 25 Jahre beträgt. Es befand sich Betastörstrahlen zurückhält, welche von der Bremsung in einem Aluminiumzylinder, welcher seinerseits in der die einfallenden Betastrahlen bildenden Elek- einem Wismutbehälter untergebracht war. Als Antronen und der Rückstreuung derselben an der Metall- zeigegerät wurde ein Photomultiplikator mit einem auflage 2 und den umgebenden Gegenständen her- 25 durch Thallium aktivierten Natriumjodidkristall berühren, nutzt. Das Eingangsfilter bestand aus einem plasti-An dem Ausgang des Photomultiplikators 9 ge- sehen Werkstoff. Der Kanal des Wählers hatte eine statten ein Verstärker 13, ein Einkanalwähler 14 und Breite von 10 Kiloelektron-Volt. Das Gerät enthielt Zählmittel 15 die Verstärkung der der Strahlung des noch einen Integrator und ein elektronisches Redie Auflage 2 bildenden Metalls entsprechenden 30 gistrierpotentiotneter.
    Intensitäten bzw. die Trennung der Energien und die Die Kurve der Fig. 3 betrifft gerade dieses letztere Ermittlung der Dicke der Auflage aus der Intensität Beispiel. Die als Ordinate aufgetragene Aktivität derselben. wurde in Impulsen je Minute gezählt. Die als Abszisse Die Mittel 15 zur Zählung der Intensitäten oder aufgetragene Dicke der Auflage ist in Mikron anAktivitäten- (d. h. der in der Zeiteinheit empfangenen 35 gegeben.
    Zahl von Impulsen oder Stoßen) können z. B. durch Natürlich hat das obige Verfahren zur Messung ein Zählgerät oder auch durch einen Integrator ge- der Dicke von Metallauflagen mit Hilfe von Betabildet werden, welcher die Summierung der ver- strahlen ganz allgemeine Bedeutung. Es kann für eine schiedenen dem von dem Wähler 14 ausgewählten beliebige Metallauflage, eine beliebige Betastrahlen-Band entsprechenden Aktivitäten vornimmt. Es wird 40 quelle und beliebige Mittel zur Feststellung der zweckmäßig ein Gerät vorgesehen, welches eine un- charakteristischen Röntgenlinie dieses Metalls und mittelbare Ablesung der Dicke der Auflage 2 ge- zur Trennung der entsprechenden Energien (oder stattet. Frequenzen) benutzt werden.
    Der Vergleich mit einem Normal gestattet die Das erfindungsgemäße Verfahren gestattet die Beperiodische Prüfung der Einstellung des Meßgeräts +5 nutzung einer bemerkenswert vereinfachten Apparatur und erforderlichenfalls seine Nachstellung. und von radioaktiven Strahlungsquellen mit langer Auf Fig. 2 ist das Spektrum der aufgefangenen Halbwerteeit. Es gestattet ferner die praktisch voll-Röntgenstrahlung dargestellt, wobei als Ordinaten die ständige Unterdrückung der Störstrahlung, welche Aktivitäten in dem durch den Wähler 14 bestimmten von der Bremsung der die Betastrahlung bildenden Kanal (oder Band) aufgetragen sind, wenn dieser den 50 Elektronen und ihrer Rückstreuung in dem Versuohsganzen Energiebereich (oder Frequenzbereich) der stück und den umgebenden Gegenständen herrührt. Röntgenstrahlen abtastet, während die Energien
    (oder Frequenzen) als Abszissen aufgetragen sind. Patentansprüche:
    Die Kurve yi betrifft die von der Unterlage allein
    reflektierte oder gebremste Strahlung, während die 55 1. Verfahren zur Messung der Dicke einer
    Kurve B sich auf die gleiche Strahlung bei Vor- Auflage aus Metall oder einem anderen Werkstoff,
    handensein einer Metallauflage auf der Unterlage bei dem die Auflage, deren Dicke gemessen werden
    bezieht. soll, mit Hilfe von Elektronen bestrahlt wird,
    Zur Zeichnung dieser Kurven werden zunächst mit welche eine Betastrahlung mit einer für die
    dem Kanal des Wählers 14 nacheinander alle Energien 60 Durchdringung dieser Dicke genügenden Energie
    (oder Frequenzen) der aufgefangenen Röntgenstrahlen bilden und vorzugsweise von einem radioaktiven
    abgetastet, wobei eine oder mehrere charakteristische Isotop herstammen, dadurch gekennzeichnet, daß
    Röntgenlinien der Auflage erscheinen, welche gegen- nach Filterung durch einen die von der Auflage
    über dem gleichmäßigen Grund eine verhältnismäßig rückgestreuten Betastrahlen absorbierenden Schirm
    starke Aktivität haben. 65 eine für den die Auflage bildenden Werkstoff
    Man wählt dann eine dieser Linien und gabelt sie charakteristische Röntgenlinie festgestellt wird,
    mit dem Band (oder Kanal) des Wählers 14 ein. worauf die dieser Röntgenlinie und den in einem
    Hierauf mißt man die Aktivität dieses Bandes, welche schmalen Band um diese Linie herum liegenden
    in Fig. 2 durch die schraffierte Zone der Kurve B Strahlungen entsprechenden Energien (oder Fre-
    dargastellt ist. 70 quenzen) ausgewählt werden und die Dicke der
    Auflage aus der Stärke dieser Röntgenlinie bestimmt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Betastrahlenquelle ein radioaktives Isotop benutzt wird, welches in einem Zylinder (5) aus einem leichten Werkstoff, z. B. Aluminium oder einem die Strahlung aushaltenden plastischen Werkstoff, enthalten ist, welcher seinerseits in einem Behälter (6), z. B. aus Wismut, untergebracht ist.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Zurückhaltung der Betastörstrahlung oder der von der Auflage rückgestreuten Betastrahlung auf dem Weg der von der Auflage (2) ausgesandten Röntgenstrahlung (8) ein Schirm (11) aus einem leichten Werkstoff (plastischer Werkstoff, Aluminium, Beryllium) angeordnet wird.
  4. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die von der Auflage ausgesandte Röntgenstrahlung mittels eines Photomultiplikators (9) festgestellt wird, welcher insbesondere durch eine stabilisierte Hochspannungs-
    quelle (12) gespeist wird und z. B. mit einem Kristall (10) versehen ist, welcher vorzugsweise durch durch Thallium aktiviertes Natriumiodid gebildet wird.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß am Ausgang des auf die Röntgenstrahlen ansprechenden Geräts ein Verstärker (13), ein Einkanalwähler (14) für die Energie (oder die Frequenz) und Zählmittel (15) zur Zählung der bestimmten Energien oder Energiebänder der Röntgenstrahlen entsprechenden Aktivitäten angeordnet werden.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Zählung durch einen Integrator erfolgt.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Zählung durch ein Gerät mit unmittelbarer Ablesung erfolgt, z. B. ein elektronisches Registrierpotentiometer.
    In Betracht gezogene Druckschriften:
    Zeitschrift »Stahl und Eisen«, 72, 1952, Nr. 16, . 945 und 946.
    Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
    © 609 867/188 3.
DEF20003A 1955-04-12 1956-04-10 Verfahren zur Messung der Dicke von Auflagen aus Metall oder anderen Werkstoffen mittels einer Betastrahlenquelle Pending DE1005743B (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1124631T 1955-04-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1005743B true DE1005743B (de) 1957-04-04

Family

ID=27243510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEF20003A Pending DE1005743B (de) 1955-04-12 1956-04-10 Verfahren zur Messung der Dicke von Auflagen aus Metall oder anderen Werkstoffen mittels einer Betastrahlenquelle

Country Status (6)

Country Link
US (2) US2967934A (de)
CH (2) CH331564A (de)
DE (1) DE1005743B (de)
FR (4) FR1124631A (de)
GB (2) GB816062A (de)
NL (1) NL238481A (de)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3087061A (en) * 1960-04-14 1963-04-23 Industrial Nucleonics Corp Composition insensitive beta ray gauging system
US3130303A (en) * 1960-11-02 1964-04-21 American Can Co Apparatus for measuring coating amounts
NL131712C (de) * 1961-11-20
BE628322A (de) * 1962-02-12
US3115577A (en) * 1962-05-03 1963-12-24 Twin City Testing Corp Measuring table for use in coating thickness measuring
FR1389417A (fr) * 1963-04-01 1965-02-19 Commissariat Energie Atomique Procédé de dosage et dispositifs en faisant application
US3243589A (en) * 1963-07-09 1966-03-29 Kenneth F Sinclair Backscatter flaw detection system
US3424902A (en) * 1964-03-23 1969-01-28 Linus K Hahn Method and apparatus for measuring
US3333100A (en) * 1964-07-06 1967-07-25 United States Steel Corp Coating thickness measuring apparatus wherein a scanning electron beam produces characteristic x-rays detected by plural detectors
US3412249A (en) * 1964-08-04 1968-11-19 Industrial Nucleonics Corp Backscatter thickness measuring gauge utilizing different energy levels of bremsstrahlung and two ionization chambers
US3471694A (en) * 1965-03-01 1969-10-07 Philips Electronics & Pharm In Charge particle barrier consisting of magnetic means for removing electrons from an x-ray beam
US3399303A (en) * 1965-03-04 1968-08-27 Army Usa Radioactive metal corrosion evaluater and methods therefor
US3419718A (en) * 1965-12-15 1968-12-31 Gulf General Atomic Inc Apparatus for measuring the flow of electrically neutral particles
US3472997A (en) * 1966-08-26 1969-10-14 Us Navy Secondary electron collection system
FI40587B (de) * 1967-04-01 1968-11-30 Valmet Oy
US3497691A (en) * 1967-06-30 1970-02-24 Ohmart Corp Dual mode fluorescence and backscatter coating thickness measuring gauge
US3614424A (en) * 1969-12-19 1971-10-19 Ass Elect Ind Collimator for an x-ray analyzer
US4172225A (en) * 1978-01-09 1979-10-23 Kevex Corporation Alpha particle x-ray energy analysis system
FR2674960B1 (fr) * 1991-04-05 1993-07-30 Lorraine Laminage Procede de mesure de la repartition du taux d'etain libre sur un substrat.
WO2010077407A2 (en) * 2008-10-08 2010-07-08 Fusion Research Technologies, Llc Thin film measurement technique

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2521772A (en) * 1947-10-24 1950-09-12 Johnes & Laughlin Steel Corp Method of determining the thickness of a metal coating on a metal base
US2711480A (en) * 1948-06-29 1955-06-21 Friedman Herbert Method of measuring thickness of thin layers
US2642537A (en) * 1949-12-22 1953-06-16 United States Steel Corp Apparatus for determining coating thickness
US2675478A (en) * 1951-07-27 1954-04-13 Isotope Products Ltd Liquid level gauge
US2675479A (en) * 1952-06-27 1954-04-13 Isotope Products Ltd Method and apparatus for radiography
US2723351A (en) * 1952-12-04 1955-11-08 Jack W Garrison Thickness measurement
US2903590A (en) * 1953-09-17 1959-09-08 Gen Motors Corp Nuclear radiation measuring instrument
US2933606A (en) * 1954-06-07 1960-04-19 Industrial Nucleonics Corp Electromagnetic radiation device
US2897371A (en) * 1956-08-01 1959-07-28 Applied Res Lab Inc Spectroscopy

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *

Also Published As

Publication number Publication date
FR76325E (fr) 1961-10-06
US3056027A (en) 1962-09-25
GB816062A (en) 1959-07-08
FR1124631A (fr) 1956-10-15
FR74057E (fr) 1960-11-07
CH352834A (fr) 1961-03-15
US2967934A (en) 1961-01-10
CH331564A (fr) 1958-07-31
GB859153A (en) 1961-01-18
FR78659E (fr) 1962-08-24
NL238481A (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1005743B (de) Verfahren zur Messung der Dicke von Auflagen aus Metall oder anderen Werkstoffen mittels einer Betastrahlenquelle
DE69013186T2 (de) Verfahren zur röntgenologischen Bildverarbeitung und photographisches Bildverarbeitungsgerät dafür.
DE69321244T3 (de) Verfahren mit einer teildurchsichtigen Abschirmung zum Ausgleich der Röntgenbilddarstellung von Streustrahlen in Röntgenbildern
DE102006023309B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von Materialen mittels Schnellneutronen und eines kontinuierlichen spektralen Röntgenstrahles
DE2648434A1 (de) Verfahren zum analysieren von kohle oder koks
DE68928315T2 (de) Methode zur messung der dicke eines überzugs auf einem substrat
DE2844704A1 (de) Verfahren und vorrichtung fuer eine roentgenanalyse von materialproben
DE2432305A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur untersuchung eines koerpers mittels durchdringender strahlung
DE1296829B (de) Verfahren und Vorrichtungen zur Bestimmung des Gehaltes einer Probe an schweren Elementen durch Messung ihrer optisch angeregten K alfa- oder K beta-Roentgenfluoreszenzlinien
DE1598121A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Standardisierung der Zaehlung in der Scintillationsspektrometrie
DE1227699B (de) Vorrichtung zur quantitativen Analyse und zur Dickenmessung mit Hilfe von Roentgenstrahlen
DE1598873A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der mittleren Groesse bestimmter Teilchen in einem Fluidum
DE69415287T2 (de) Verfahren zur isotopenanalyse mittels der optischen emissionsspektometrie eines durch laserenergie erzeugten plasma
DE3789813T2 (de) Pulverdiffraktionsverfahren und -vorrichtung.
DE1798241A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der mittleren Groesse von Feststoffteilchen in einem Fluidum
DE1773085C3 (de) Verfahren zum Messen des Füllstoffgehalts in Papier
DE3439845A1 (de) Verfahren zur bestimmung der aussetzung eines koerpers gegenueber neutronen
DE1598528B1 (de) Vorrichtung zur radiometrischen Analyse von Suspensionen
DE2910250C3 (de) Quelle für polychromatische Röntgenstrahlung
DE1673162A1 (de) Verfahren und Vorrichtung fuer die Roentgenstrahlanalyse
DE4310542C2 (de) Szintillatormaterial
DE1673263A1 (de) Einrichtung zur Roentgenoradiometrischen Bestimmung von Elementen in Proben
DE102013114497A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Auswerten von Röntgenspektren
DE102012023344A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Röntgenfluoreszenzanalyse von Kontrastmittelverteilungen
DE3730506A1 (de) Einrichtung und verfahren zum pruefen von gegenstaenden