DE19837973C1 - Vorrichtung zum partiellen elektrochemischen Behandeln von stabförmigem Behandlungsgut - Google Patents

Vorrichtung zum partiellen elektrochemischen Behandeln von stabförmigem Behandlungsgut

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Abschirmvorrichtung zur elektrochemischen partiellen Behandlung von stabförmigem Behandlungsgut in Tauchbadanlagen. DOLLAR A Stäbe 10 mit unterschiedlichen Längen und Durchmessern werden in Einzelzellen galvanisiert oder geätzt. Im Behandlungsbad befinden sich stationäre rohrförmige Elektroden 30, in welche die Stäbe 10 zentrisch hineinfahren. Die axiale Begrenzung der zu behandelnden Oberfläche erfolgt durch je einen verstellbaren Membranträger 23, 26, in welchen elastische Abschirmmembranen 8, 9 zur Begrenzung der Feldlinien eingebaut sind. Die Erfindung schlägt vor, Membranhalter 4, 5 radial beweglich in einem Käfig einzubauen und zugleich selbstzentrierend zu gestalten, so daß einerseits sich die Wirkungsweise und Genauigkeit der Abschirmung verbessert. Gleichzeitig wird der Verschleiß bzw. die Zerstörung der Abschirmmembranen verhindert.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum partiellen Galvanisieren oder elektrochemischen Ätzen von stabförmigem Behandlungsgut in Galvanisieranla­ gen und Ätzanlagen. Vorzugsweise dient die Vorrichtung zum Ätzen und Galvanisieren von langgestreckten Zylindern, insbesondere von runden Stäben. Die Stäbe können ein- oder beidseitig an den Enden im Durchmesser verjüngt und/oder mit Gewinde versehen sein. Ein Beispiel hierfür sind Zylinder für Fahrzeugstoßdämpfer. Die Erfindung beschränkt sich jedoch nicht auf die Behandlung von runden Stäben. Sie eignet sich auch für andere Querschnitte. In der nachfolgenden Beschreibung wird das Behandlungsgut kurz mit Stab be­ zeichnet.
Die elektrochemische Behandlung der Stäbe dient zum Beispiel bei Stoßdämp­ ferzylindern zur Verbesserung der Verschleiß- und Korrosionseigenschaften. Hierzu werden die Stäbe nur an den betriebsmäßig beanspruchten Oberflächen elektrolytisch mit Hartchrom beschichtet. Die anderen Stellen der Stäbe sollen unbeschichtet bleiben oder partiell mit einer dünnen Flash-Chromschicht als temorären Oberflächenschutz versehen werden. Zur Verbesserung der Haftfe­ stigkeit der Chromschicht wird die Oberfläche zuvor elektrochemisch geätzt. Für beide Verfahrensschritte werden vorzugsweise unlösliche Elektroden verwendet. Die Behandlung erfolgt in Galvanisieranlagen mit entsprechenden Spülschritten. Eine Transporteinrichtung sorgt für den Transport der Stäbe von Behandlungs­ station zu Behandlungsstation.
Zur partiellen Behandlung der Stäbe im Stabmittenbereich müssen die Enden maskiert, d. h. so abgeschirmt werden, daß auf diesen maßlich genau vorbe­ stimmten Bereichen kein Metall oder als temporärer Schutz Flashchrom abge­ schieden wird. Die Grenzen zwischen dem Abscheidungsbereich und den nicht zu beschichtenden Bereichen sind in der Regel eng toleriert. Innerhalb von ±1 Millimetern muß der Übergang zum Beispiel bei bestimmten Stoßdämpferzylin­ dern erfolgen. Die abzuscheidende Schicht muß bis an diese Grenzen gleichmä­ ßig dick sein. Randeffekte, d. h. Schichtdickenzunahme oder Schichtdickenab­ nahme an den Schichtgrenzen müssen vermieden werden. Ziel der präzisen Beschichtung ist es, ein nachträgliches Überschleifen derselben vermeiden zu können.
In den bekannten Anlagen erfolgt die elektrochemische Behandlung der Stäbe an Gestellen, die an transportablen Warenträgern befestigt sind. Die Gestelle sind mit individuellen Masken so versehen, daß beide Stabenden im vorgesehenen Bereich nicht beschichtet werden. Für alle vorkommenden Stablängen, Stab­ durchmesser und Beschichtungsbereiche müssen Masken und Gestelle in ausrei­ chender Anzahl an einer Galvanoanlage vorhanden sein. Weil Gestelle auch zur Zuführung des Badstromes an die Stäbe dienen, müssen sie metallisch sein. Das Metall muß durch Kunststoffbeschichtungen vor dem Galvanisieren geschützt werden.
Die Druckschrift DE-AS 11 03 103 beschreibt eine Vorrichtung zum partiellen Galvanisieren von langgestreckten zylindrischen Körpern. Diese Körper werden zentrisch in rohrförmigen Anoden angeordnet und an der Oberseite in einem abgestuften Metallkern befestigt. Über den Metallkern erfolgt der kathodische Stromanschluß. Der Metallkern ist durch einen Isolierkörper von der elektrolyti­ schen Zelle getrennt. Metallkern und Isolierkörper begrenzen die Galvanisier­ schicht am oberen Ende des Behandlungsgutes. Das untere Ende wird mittels eines Schutzlackes vor unerwünschter Galvanisierung geschützt.
Nachteilig bei dieser Ausführung sind das individuelle Befestigen jedes einzel­ nen zu galvanisierenden Körpers sowie das maßgenaue Aufbringen des Schutz­ lackes an einem Ende des Körpers. Ferner auch das Ablösen des Schutzlackes nach dem Galvanisieren.
In der Druckschrift DE 197 22 983 C2 werden Verfahren und eine Vorrichtung angegeben, die die partielle elektrochemische Behandlung, insbesondere die elektrochemische Behandlung von Stäben unterschiedlichster Abmessungen in Tauchbadanlagen erlauben.
Es werden je Stab definiert verstellbare Masken mit Dichtmitteln in Form von Abschlußmanschetten an beiden Stabenden zur Begrenzung der zu behandelnden Flächen eingesetzt. In der Beschickungsstation ergreifen mehrere am Warenträ­ ger befestigte, elektrisch leitfähige Greifer zugleich einseitig je einen Stab. Beim Einsenken in die elektrolytische Behandlungsstation gelangt jeder Stab in eine Einzelzelle, die aus dem Stab und je einer stationären rohrförmigen Elektrode gebildet wird. Das obere und untere elektrolytisch wirksame Elektrodenende wird von je einer rohrförmigen axial verstellbaren Maske bestimmt. Die Maske­ nenden sind mit je einer Manschette abgeschlossen. Beim Einsenken des Waren­ trägers fährt der Stab zuerst durch die obere Manschette, dann in die Elektrode und die untere Manschette ein. Durch voneinander unabhängiges Verstellen der oberen und unteren Masken in axialer Richtung der Stäbe werden die beiden Beschichtungsgrenzen bzw. die zu beschichtende Fläche am Stab einheitlich für jeden Warenträger oder jede Stabreihe am Warenträger eingestellt. Das Verfah­ ren vermeidet zwar die Nachteile der bekannten Gestelltechnik mit je einer speziellen Maske für jede Stabdimension in Form von Kappen oder Haltern. In der Praxis kommt es jedoch oft vor, daß das Behandlungsgut bedingt durch Metallabscheidungen an den Zangen-Haltern oder durch Beschädigung der Halter schräg hängt. Beim Einfahren des nicht mehr zentrisch hängenden Be­ handlungsgutes in die Masken werden die Membranen seitlich aufklaffen und durch scharfe Kanten beschädigt. Ein genau dimensioniertes Galvanisieren mit beschädigten Membranen ist nicht mehr möglich. Erschwerend kommt hinzu, daß die Beschädigung der Membranen erst nach Ausfahren des Galvanisiergutes aus der Anlage erkennbar ist, weil die im Elektrolyt eingetauchten Membranen an der Oberfläche des Bades nicht sichtbar sind. Das damit produzierte Behand­ lungsgut ist unbrauchbar.
Aufgabe der Erfindung ist es die genannten Nachteile der Abblendtechnik beim Galvanisieren von Stäben zu vermeiden, und den erforderlichen Arbeitsaufwand klein zu halten.
Gelöst wird die Aufgabe durch eine selbstzentrierende Vorrichtung gemäß Patentanspruch 1. Weitere bevorzugte Ausführungsformen sind in den Unteran­ sprüchen angegeben.
Die Vorrichtung besteht aus axial entsprechend den Maßen des Behandlungsgu­ tes einstellbaren elektrisch nichtleitenden Abschirmvorrichtungen. An der der Behandlungsgutmitte zugewandten Seite der Abschirmvorrichtung ist ein Käfig ausgebildet der es den Membranhaltern ermöglicht sich in radialer Richtung zu bewegen. An den Außenflächen des Maskenträgers sind stabförmige Zentrierfe­ dern angebracht, die den Maskenträger im Käfig zentrieren, wenn durch das Behandlungsgut kein radialer Druck ausgeübt wird. Die Federkraft der äußeren Zentrierfedern ist an die Festigkeit der elastischen Membranen angepaßt. Sie muß so gewählt werden, daß die Membranen durch den seitlichen Druck des Behandlungsgutes nicht aufklaffen oder im Extremfall reißen und somit die Abschirmwirkung an dieser Stelle verlieren. An der Innenseite des Membran­ halters unterhalb der Abschirmmembrane sind entweder mehrere sich zum Zentrum hin verjüngend geformte und federnd am Maskenhalter gelagerter Zentrierflügel, oder mindestens 3 federnde zentrisch angeordnete und eine Führung bildende Federstäbe die auf die einfahrenden Stäbe zentrierend wirken, angebracht. Auch 2 Federstäbe mit entsprechend verdrehsicher befestigten zentrierend wirkenden Führungen können dafür verwendet werden. Die Feder­ kraft der inneren Führung muß größer als die der äußeren Zentrierfedern sein. Sie muß aber kleiner gewählt werden als die Federkraft der Haltezangen um die sichere Befestigung und elektrische Kontaktierung der Stäbe nicht zu gefährden. Ist der seitliche Druck der Stäbe den die inneren Federn des Membranhalters aufnehmen zu groß, d. h. die Zentrierwirkung reicht nicht mehr aus um die Stäbe zu zentrieren, werden die Membranen beim Einfahren der Stäbe in die Ab­ schirmvorrichtung (in eine nicht mehr zentrische Lage) verschoben um so ein Beschädigen der Membranen zu verhindert und die maßgenaue Abblendung der Feldlinien trotzdem zu ermöglichen. Bei starr an der Abschirmvorrichtung befestigten Abschirmmembranen entsprechend dem Stand der Technik klaffen die aus elastischem Material gefertigten Membranen durch den seitlichen Druck der Stäbe auf und verhindern die Abblendwirkung an dieser Stelle.
Beim Ausfahren der Stäbe aus der erfindungsgemäßen Abblendvorrichtung sorgen die äußeren Federn an den Membranhaltern dafür, daß sich die Membra­ nen für die mit der nächsten Charge einfahrenden Stäbe wieder zentrieren, d. h. in die Ausgangslage zurückfedern.
Anhand der Beispiele der Fig. 1 bis 4 wird die Vorrichtung noch näher beschrieben.
Fig. 1a und 1b Zeigt eine Behandlungsstation schematisch in der Seitenan­ sicht und teilweise im Schnitt sowie ausschnittweise die starren Masken entsprechen dem Stand der Technik.
Fig. 2 Zeigt beispielhaft die obere erfindungsgemäße Abschirm­ vorrichtung in einer Seitenansicht (senkrecht geschnitten).
Fig. 3 Zeigt ein Beispiel für die untere erfindungsgemäße Ab­ schirmvorrichtung in einer Seitenansicht (senkrecht ge­ schnitten).
Fig. 4a, 4b Zeigt einen unteren Membranhalter mit speziellen Ausfüh­ rungsformen der inneren Zentrierfedern (ohne Membrane)
Die Fig. 1a zeigt einen senkrechten Schnitt durch eine elektrolytische Zelle zum Verchromen von Stäben bestehend aus mehreren elektrolytischen Einzelzellen in vertikalen Tauchbadanlagen entsprechen dem Stand der Technik. Die Fig. 1b stellt ausschnittweise und senkrecht geschnitten eine einzelne elektrolytische Zelle innerhalb des Badbehälters der Fig. 1a dar. Ein Badbehälter 14 ist bis in die Randzone 33 mit Elektrolyt gefüllt. Im Bad eingebaut sind rohrförmige Elektroden 30 die mit einer nicht dargestellten Gleichstromquelle elektrisch leitend verbunden sind. Ferner sind in und am Badbehälter 14 zwei unabhängig voneinander in vertikaler Richtung verstellbare Blendenträger 17 und 25 vorhan­ den. Am Warenträger 1 der im Bad durch die Auflage 2 lagerichtig gehalten wird, befinden sich Haltezangen 3 die die Stäbe 10 elektrisch kontaktieren und festhalten. Beim Einsenken des Warenträgers in die rohrförmigen Elektroden 30 durchstoßen die Stäbe 10 zunächst die starr am vertikal verstellbaren Blenden­ träger 13 befestigte Manschetten 27 (Fig. 1b). Durch das weitere Absenken des Warenträgers 1 durchstoßen die Stäbe 10 die Membranen 24 (Fig. 1b) des unteren Blendenträgers 17. Sowohl die unteren Blendenträger 17 mit den Mem­ branträger 23 und den Manschetten 24 (Fig. 1b) als auch der obere Membran­ träger 26 sind durch die Verstellvorrichtung 28 und 20 entsprechend den Erfor­ dernissen der Stäbe 10 höhenverstellbar. Zur weiteren Verringerung der Strom­ dichte im unteren Bereich der Stäbe können wie in Fig. 1b dargestellt, leitfähige Hilfskathoden 22 angebracht sein, die über Federn 21 gegen das eingefahrene Behandlungsgut gedrückt werden und damit die kathodische wirkende Fläche stark erhöhen bzw. die kathodische Stromdichte so vermindern, daß keine Abscheidung mehr stattfindet. Damit lassen sich Stäbe 10 mit unterschiedlichen Abmessungen und unterschiedlichen Anforderungen an die Lage der partiellen Beschichtung/Behandlung am Bad bearbeiten.
Die Fig. 2 zeigt den erfindungsgemäßen oberen Membranträger 26 als vertikale Schnittzeichnung einer Einzelgalvanisierzelle innerhalb des hier nicht darge­ stellten Badbehälters 14. Der rohrförmige Membranträger 26 ist am oberen Blendenträger 25 befestigt, der über eine hier nicht dargestellt Höhenverstellein­ richtung 28 auf die, für die zu produzierenden Stäbe richtige Lage eingestellt wird.
Die Verstellung des Blendenträgers 25 bewirkt gleichzeitig, daß sich das elek­ trisch nichtleitende Rohr des Membranträgers 26 in die ausschnittweise gezeigte unlösliche Elektrode 30 einschiebt und damit die nicht benötigte Länge der Elektrode abblendet. Beim Einfahren der Stäbe in den hier nicht dargestellten Badbehälter 14 kann sich der Blendenträger 25 vorteilhafterweise in der oberen Stellung befinden.
Der Blendenträger 25 und sämtliche in das Bad eintauchende Teile müssen aus chemisch beständigem Material angefertigt werden. An elektrisch nichtleitenden Werkstoffen stehen z. B. PVC, PVDF, PTFE zur Verfügung. Als elektrisch leitfähiger Werkstoff sind z. B. Titan oder Blei verwendbar.
Der Stab 10 fährt beim Absenken des hier nicht dargestellten Warenträger 1 zunächst in die inneren Zentrierfedern 7, die einen Druck auf den Stab 10 ausüben, wenn dieser in nicht zentrischer Lage nach unten hängt und richten diesen aus. Reicht der Federdruck nicht für das Ausrichten des Stabes 10 aus, verschiebt sich der mit den äußeren Zentrierfedern 19 gehaltene Membranhalter 5 in horizontaler Richtung und paßt sich der Stablage an, um Beschädigungen der empfindlichen Membrane oder ein Aufdehnen zu verhindern. Um die Funktion des Membranhalters 5 sicherzustellen sind am rohrförmigen Mem­ branträger 26 der Käfigdeckel 12, und der Käfigboden 16 so angebracht, daß sich der Membranhalter 5 in horizontaler Richtung frei bewegen kann, aber in vertikaler Richtung ausreichend gehalten wird. Nach dem Absenken des Stabes 10 in seine unterste Position kann der obere Blendenträger 25 nach unten in die durch die Stabkonstruktion vorgegebene Abschirmposition gefahren werden. In einer bevorzugten Ausführungsform wölbt sich dabei die Abschirmmembrane 9, die am Stab 10 eng anliegt innen konisch nach oben, was zu einer Verringerung des Knocheneffektes (dickere galvanisch abgeschiedene Schicht) an den Enden des Stabes 10 führt. Nach der Behandlung wird der Stab 10 vertikal nach oben aus der Galvanisierzelle ausgefahren. Sobald der Stab 10 aus der Membrane 9 herausgefahren ist zentrieren die äußeren Federn 19 den Membranhalter 5 wieder in der Mitte des Membranträgers 26.
Die Fig. 3 zeigt den erfindungsgemäßen unteren Membranträger 23 mit einem kleinen Ausschnitt des Blendenträgers 17 als vertikale Schnittzeichnung einer Einzelgalvanisierzelle innerhalb des hier nicht dargestellten Badbehälters 14. Der rohrförmige Membranträger 23 ist am unteren Blendenträger 17 befestigt, der über die hier nicht dargestellt Höhenverstelleinrichtung 20 auf die, für die produzierten Stäbe richtige untere Einstellung gebracht wird. Die Einstellung erfolgt hier vorzugsweise vor dem Einsenken des nicht dargestellten Warenträ­ gers 1. Der grundsätzliche Aufbau entspricht dem oberen Blendenträger 25. Es sind auch hier der Membranträger 4 mit den äußeren Zentrierfedern 18, der Käfigdeckel 11 und Käfigboden 15, sowie die inneren Zentrierfedern 6 vorhan­ den. Nur die Anordnung der inneren Zentrierfeder 6 ist unterhalb der Membrane 8 um einen störenden Einfluß auf die Feldlinienkonzentration im Galvanisierbe­ reich des Stabes 10 zu vermeiden. Hier ist es wichtig, daß der Anstand der Zentrierfeder 6 von der Membrane 8 nicht zu groß gewählt wird um Beschädi­ gungen der Membrane durch den noch nicht zentrierten Stab 10 bzw. die richtige Lage der Membrane zu verhindern. Nachdem der Stab 10 beim Einsenken in die Zelle durch die obere Abschirmvorrichtung eingefahren ist, trifft er beim weiteren Absenken zunächst auf die Membrane 8, fährt durch diese hindurch gegen die innere Zentrierfeder 6 und wird bei Bedarf (wenn die Zentrierwirkung der oberen Abschirmvorrichtung nicht ausreichend war) zentriert. Ist der Druck auf die Feder zu groß, wird auch hier der Membranhalter mit der Membrane gegen die Federkraft der äußeren Zentrierfedern horizontal verschoben um ein Aufklaffen der Membrane an der vom Stab nicht gedrückten Seite oder eine Beschädigen zu verhindern und somit die randgenaue Abschirmung der Blende zu gewährleisten. Ebenso wie bei der oberen Abblendvorrichtung sorgen die äußeren Zentrierfedern 18 nach dem Ausfahren der Stäbe 10 aus der unteren Abblendvorrichtung dafür, daß der Membranhalter sich wieder in seine Aus­ gangslage zurückbewegt, d. h. sich erneut zentriert.
Je nach den Erfordernissen der Stäbe 10 kann nur eine obere, nur eine untere oder beide Abblendvorrichtungen (oben und unten) verwendet werden. Desglei­ chen ist eine Kombination der Masken oben/unten entsprechend dem Erfin­ dungsvorschlag und dem Stand der Technik möglich.
Die Fig. 4a zeigt eine bevorzugte Ausführungsform eines unteren Membran­ halters 23. Am Äußeren Umfang des zylindrischen Membranhalters 23 sind die äußeren stabförmigen Zentrierfedern 18 tangential angebracht. Die inneren Zentrierfedern 29 sind flügelförmig und zum Zentrum des Membranhalters hin verschränkt oder schräg angeordnet, so daß innen 3 konisch verlaufende Flächen entstehen, gegen die der (nicht zentrische hängende) Stab 10 beim Einfahren in die Vorrichtung drückt. Beim weiteren Absenken des Stabes 10 federn die flügelförmigen Zentrierfedern 29 nach unten und außen. Diese spezielle Ausfüh­ rungsform hat den Vorteil, daß wegen der geringeren Ansprüche an die Federei­ genschaften auch abriebfeste Kunststoffe als Werkstoffe mit idealen Abschir­ meigenschaften verwendbar sind.
In der Fig. 4b zeigt den Membranhalter der Fig. 4a. Es ist jedoch eine andere Form der inneren Zentrierfedern vorgesehen. Die Zentrierfedern besteht dabei aus je einem Federstab 32, der außenseitig am Membranhalter 23 drehsicher befestigt ist. An der Innenseite des Federstabes 32 ist eine prismenförmige Führung 31, ebenfalls gegen Verdrehung gesichert, angebracht. Die Einbaurich­ tung des Federstabes zeigt vom Membranhalter weg schräg nach unten. Beide Federn bewirken in Verbindung mit den Prismen eine gute Zentrierung der Stäbe. Die inneren Zentrierfedern der Fig. 4a und 4b sind auch zur Verwen­ dung in den oberen Membranhaltern 5 geeignet. Nur die Zentrierfedern müssen wie in Fig. 2 gezeigt, oberhalb des Membranhalters angeordnet werden.
Bezugszeichenliste
1
Warenträger
2
Auflagen
3
Haltezangen
4
Membranhalter unten
5
Membranhalter oben
6
innere Zentrierfeder unten
7
innere Zentrierfeder oben
8
Abschirmmembrane unten
9
Abschirmmembrane oben
10
Stab (Behandlungsgut)
11
Käfigdeckel für untere Abschirmvorrichtung
12
Käfigdeckel für obere Abschirmvorrichtung
13
Kunststoffplatte
14
Badbehälter
15
Käfigboden für untere Abschirmvorrichtung
16
Käfigboden für obere Abschirmvorrichtung
17
unterer Blendenträger
18
äußere Zentrierfeder für Abschirmmembrane unten
19
äußere Zentrierfeder für Abschirmmembrane oben
20
Höhenverstelleinrichtung zu Abschirmvorrichtung unten
21
Druckfeder
22
Halteelement
23
rohrförmiger Membranträger unten
24
Manschette unten
25
oberer Blendenträger
26
rohrförmiger Membranträger oben
27
Manschette oben
28
Höhenverstelleinrichtung zu Abschirmvorrichtung oben
29
Zentrierfeder flügelförmig
30
Elektrode
31
Prismenförmige Führung
32
Federstab
33
Randzone

Claims (6)

1. Vorrichtung zur partiellen elektrochemischen Behandlung von stabförmigem Behandlungsgut in Tauchbadanlagen mit Badbehälter (14) mit rohrförmigen Elektroden (30) in die das Behandlungsgut einfährt sowie rohrförmigen Mem­ branträgern (23, 26) und Höhenverstelleinrichtungen (20, 28), gekennzeichnet durch Membranhalter (4, 5), die zwischen den Käfigdeckeln (11, 12) und den Käfigböden (15, 16) axial beweglich gelagert sind, mit je einer inneren Zen­ trierfeder (6, 7) für die Führung der Stäbe (10) und einer äußeren Zentrierfe­ der (18, 19) für die Zentrierung der Membrane.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 gekennzeichnet durch mindestens 2 innere Federstäbe (32), die an der einen Seite am Membranhalter verdrehsicher be­ festigt sind und schräg nach unten zum Zentrum des Membranhalter hin zei­ gen und am anderen Ende der Feder prismenförmige Führungen (31) aufwei­ sen, die im Wesentlichen in gleicher Richtung als die Federstäbe (32) verlau­ fen und verdrehsicher befestigt sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 gekennzeichnet durch innere Zentrierfedern (29) die eine flügelförmige Form aufweisen, und aus nichtleitendem Werk­ stoff bestehen.
4. Vorrichtung nach den Anspruch 1 gekennzeichnet durch mindestens 3 innere Zentrierfedern (6, 7) die außen am Maskenhalter befestigt sind und zum Zen­ trum des Membranhalters hin schräg nach unten verlaufen und zusammen die zentrierend wirkende Führung für das Behandlungsgut bilden.
5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4 gekennzeichnet durch rohrförmige Membranträger (23, 26), bestehend aus chemisch beständigem zumindest an der Oberfläche elektrisch nichtleitendem Material.
6. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 5, gekennzeichnet durch Membranen (7, 8), die aus chemisch beständigem, dehnbarem elektrisch nichtleitendem Material bestehen.
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