DE19738358A1 - Beschleunigungssensor - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Beschleuni­ gungssensor zur Verwendung bei der Beschleunigungserfassung, beispielsweise bei einem Airbag für ein Fahrzeug, und insbe­ sondere auf einen Beschleunigungssensor mit einer verbesser­ ten Befestigungsstruktur für eine Beschleunigungserfassungs­ vorrichtung.

Bei einem herkömmlichen Fahrzeugairbag wird ein Beschleuni­ gungssensor verwendet, um den Airbag im Falle einer Kolli­ sion zu aktivieren. In anderen Worten heißt das, daß die Be­ schleunigung, die bei der Kollision wirkt, durch den Be­ schleunigungssensor erfaßt wird, und daß der Airbag als Re­ aktion auf Ausgangssignale von dem Beschleunigungssensor ak­ tiviert wird.

Als Beschleunigungssensor wird weitverbreitet ein piezoelek­ trischer Sensor verwendet, der einen exzellenten mechani­ schen Stoßwiderstand aufweist und der in der Lage ist, die Beschleunigung ohne weiteres als elektrische Signale aus zu­ geben. Fig. 6 ist eine Draufsicht eines Beispiels des her­ kömmlichen Beschleunigungssenors, während Fig. 7 eine Schnittansicht entlang der Linie B-B von Fig. 6 ist.

Ein Beschleunigungssensor 1 ist aus einem Gehäuse, das aus einem Gehäusesubstrat 2 und einer Abdeckung 3 mit einer Öff­ nung in der Unterseite derselben besteht, gebildet, d. h., die Abdeckung 3 ist auf das Gehäusesubstrat 2 aufgebracht und an demselben befestigt. Eine Beschleunigungserfassungs­ vorrichtung 4 ist in einem Raum plaziert, der durch die Ab­ deckung 3 eingeschlossen ist. Die Beschleunigungserfassungs­ vorrichtung 4 weist ein Trägerbauglied 4a, das auf der ober­ en Oberfläche des Gehäusesubstrats 2 befestigt ist, und ei­ nen piezoelektrischen Beschleunigungserfassungsabschnitt 4b auf, der auf eine einseitig eingespannte Art und Weise an einem Ende des Trägerbauglieds 4a befestigt ist.

Auf der Seite der Beschleunigungserfassungsvorrichtung 4 ist eine Signalschaltung auf einem Schaltungssubstrat 5 angeord­ net, um Ausgangssignale, die von der Beschleunigungserfas­ sungsvorrichtung 4 entnommen werden, elektrisch zu verarbei­ ten.

Der Beschleunigungssensor 1 ist ferner mit Leitungsanschlüs­ sen 6a bis 6e versehen, die aus dem Gehäusesubstrat 2 nach unten geführt sind, und durch das Einbringen der Leitungsan­ schlüsse 6a bis 6e in ein Befestigungssubstrat in einem Schaltungsabschnitt des Airbags für die Verwendung befe­ stigt.

Bei dem Beschleunigungssenor 1, der in den Fig. 6 und 7 ge­ zeigt ist, ist das Schaltungssubstrat 5 jedoch auf der Seite der Beschleunigungserfassungsvorrichtung 4 angeordnet, wobei die Beschleunigungserfassungsvorrichtung 4 und das Schal­ tungssubstrat 5 in der horizontalen Richtung auf dem Gehäu­ sesubstrat 2 verteilt sind. Folglich ist ein großer Raumbe­ darf erforderlich, um den Beschleunigungssensor 1 auf dem Befestigungssubstrat zu befestigen.

Bei Produkten, in denen der Beschleunigungssensor verwendet ist, beispielsweise einem Fahrzeugairbag, besteht ein großer Bedarf danach, den Befestigungsraum des Beschleunigungssen­ sors zu reduzieren.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Beschleunigungssensor mit einem verringerten Befestigungs­ raumbedarf zu schaffen, der in der Lage ist, eine Beschleu­ nigung mit einer hohen Präzision zu erfassen.

Diese Aufgabe wird durch einen Beschleunigungssensor gemäß Anspruch 1 sowie einen Beschleunigungssensor gemäß Anspruch 5 gelöst.

Nach dem Durchführen von Untersuchungen, um den Raum zu re­ duzieren, in dem ein Beschleunigungssensor befestigt ist, gelangte der Erfinder zu dem Schluß, daß der Raum reduziert werden kann, indem ein Schaltungssubstrat, auf dem eine Be­ schleunigungserfassungsvorrichtung befestigt ist, senkrecht an einem Befestigungssubstrat befestigt wird, wie in Fig. 8 gezeigt ist. Bei einem Beschleunigungssensor 11, der in Fig. 8 gezeigt ist, ist ein Schaltungssubstrat 13 auf einem Befe­ stigungssubstrat 12 angeordnet, um sich in die vertikale Richtung zu erstrecken. Eine Beschleunigungserfassungsvor­ richtung 14 ist auf dem Schaltungssubstrat 13 befestigt, wo­ bei ferner Kondensatoren 15a und 15b, ein Transistor 15c, eine Widerstand 15d und dergleichen auf demselben befestigt sind, um eine Signalverarbeitungsschaltung zum Verarbeiten von Signalen, die von der Beschleunigungserfassungsvorrich­ tung 14 erhalten werden, zu bilden. Geeignete elektronische Bauteile sind auf der anderen, nicht dargestellten Haupt­ oberfläche des Schaltungssubstrats 13 befestigt, wobei ver­ schiedene Arten von elektronischen Bauteilen, die auf den beiden Hauptoberflächen gebildet sind, mittels einer leitfä­ higen Struktur 16 elektrisch verbunden sind, wodurch die Si­ gnalverarbeitungsschaltung gebildet ist. Anschlußleitungen 17a bis 17f sind in Durchgangslöcher, die durch das Befesti­ gungssubstrat 12 gebildet sind, eingebracht und mittels ei­ nes Lotmittels 18 befestigt.

Bei dem Beschleunigungssensor 11 ist das Schaltungssubstrat 13 mit der darauf befestigten Beschleunigungserfassungsvor­ richtung 14 auf dem Befestigungssubstrat 12 angebracht, um sich in die vertikale Richtung zu erstrecken, was den Befe­ stigungsraum für den Beschleunigungssensor 11 reduziert.

Die Beschleunigungserfassungsrichtung der Beschleunigungser­ fassungsvorrichtung 14 ist senkrecht zu der Hauptoberfläche des Schaltungssubstrats 13, d. h. zu der Ebene von Fig. 8.

Andererseits ist das Schaltungssubstrat 13 wie eine beinahe flache Platte geformt und durch die Leitungsanschlüsse 17a bis 17f auf dem Befestigungssubstrat 12 befestigt. Wenn die Beschleunigung in der Dickenrichtung des Schaltungssubstrats 13 wirkt, schwenkt der obere Teil des Schaltungssubstrats 13 in der Dickenrichtung desselben (was hierin nachfolgend als ein "Gieren" bezeichnet wird) um die Kontaktabschnitte zwi­ schen den Anschlußleitungen 17a bis 17d und dem Schaltungs­ substrat 12, was es schwierig macht, die wirkende Beschleu­ nigung exakt zu erfassen.

Als ein Ergebnis verschiedener Untersuchungen des obigen Problems wurde von dem Erfinder herausgefunden, daß der Be­ festigungsraum für einen Beschleunigungssensor reduziert werden kann, indem ein Schaltungssubstrat derart befestigt wird, daß die Oberfläche desselben senkrecht zu einem Befe­ stigungssubstrat ist, und daß die wirkende Beschleunigung exakt erfaßt wird, indem die Beschleunigungserfassungsrich­ tung einer Beschleunigungserfassungsvorrichtung parallel zu sowohl der Schaltungssubstratoberfläche als auch der Befe­ stigungssubstratoberfläche eingestellt wird, wodurch die vorliegende Erfindung entstand.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung umfaßt ein Be­ schleunigungssensor eine Beschleunigungserfassungsvorrich­ tung, ein Schaltungssubstrat, auf dem die Beschleunigungser­ fassungsvorrichtung befestigt ist, und eine Signalverarbei­ tungsschaltung, die elektrisch mit der Beschleunigungserfas­ sungsvorrichtung verbunden ist, um ein Ausgangssignal der Beschleunigungserfassungsvorrichtung einer Signalverarbei­ tung zu unterwerfen, und ferner ein Befestigungssubstrat, auf dem das Schaltungssubstrat befestigt ist, wobei das Schaltungssubstrat derart befestigt ist, daß die Oberfläche desselben senkrecht zu der Oberfläche des Befestigungssub­ strats ist, und daß die Beschleungigungserfassungsvorrichtung der Beschleunigungserfassungsvorrichtung sowohl zu der Schaltungssubstratoberfläche als auch der Befestigungssub­ stratoberfläche parallel ist.

Da bei dem Beschleunigungssensor der vorliegenden Erfindung die Beschleunigungserfassungsrichtung der Beschleunigungser­ fassungsvorrichtung folglich parallel zu sowohl der Schal­ tungssubstratoberfläche als auch der Befestigungssubstrat­ oberfläche ist, ist verhindert, daß die Meßgenauigkeit durch das vorher genannte Gieren des Schaltungssubstrats auf eine wirkende Beschleunigung hin gesenkt wird, wie durch die fol­ gende Beschreibung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung offensichtlich wird.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Draufsicht eines Beschleunigungssensors gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin­ dung;

Fig. 2 eine Schnittansicht des Beschleunigungssensors, der in Fig. 1 gezeigt ist;

Fig. 3A und 3B eine schematische perspektivische Ansicht bzw. eine Seitenansicht zur Erläuterung des Grunds, warum bei dem Beschleunigungssensor das Ausführungs­ beispiel der vorliegenden Erfindung die Erfassungs­ genauigkeit schwerlich gesenkt wird, selbst wenn ein Gieren stattfindet;

Fig. 4 ein Blockdiagramm einer Signalverarbeitungsschaltung in dem Beschleunigungssensor des Ausführungsbei­ spiels der vorliegenden Erfindung;

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht einer Beschleunigungs­ erfassungsvorrichtung, die bei dem Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung zu verwenden ist;

Fig. 6 eine Draufsicht eines herkömmlichen Beschleunigungs­ sensors;

Fig. 7 eine Schnittansicht entlang der Linie B-B, die in Fig. 6 gezeigt ist, zur Erläuterung des herkömmli­ chen Beschleunigungssensors; und

Fig. 8 eine Vorderansicht eines bisher unbekannten Be­ schleunigungssensors, der durch den Erfinder entwor­ fen wurde.

Die Fig. 1 und 2 sind eine Vorder- und eine Seitenschnitt- Ansicht eines Beschleunigungssensors gemäß einem Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Bei einem Beschleunigungssensor 21 ist ein Schaltungssub­ strat 23 auf einem Befestigungssubstrat 22 befestigt, das aus einem isolierenden Material besteht, beispielsweise ei­ nem synthetischen Harz oder einer isolierenden Keramik, wie z. B. Aluminiumoxid, so daß die Oberfläche desselben senk­ recht zu der oberen Oberfläche des Befestigungssubstrats 22 ist.

Das Schaltungssubstrat 23 besteht ebenfalls aus einem geeig­ neten isolierenden Material, beispielsweise einer isolieren­ den Keramik wie Aluminiumoxid oder einem synthetischen Harz, wobei eine Beschleunigungserfassungsvorrichtung 24 auf einer Hauptoberfläche desselben befestigt ist.

Ferner sind Kondensatoren 25a und 25b, ein Transistor 25c, ein Widerstand 25d und dergleichen auf dem Schaltungssub­ strat 24 befestigt. Diese verschiedenen elektronischen Bau­ teile sind durch eine leitfähige Struktur 26, die auf dem Schaltungssubstrat 23 gebildet ist, elektrisch miteinander verbunden, um eine Signalverarbeitungsschaltung zum Verar­ beiten von Ausgangssignalen der Beschleunigungserfassungs­ vorrichtung 24 zu bilden. Durchgangslochelektroden 26a und 26b sind elektrisch mit einer leitfähigen Struktur auf der anderen Seite des Schaltungssubstrats 23, die nicht gezeigt ist, verbunden.

Fig. 4 ist ein Blockdiagramm der Verarbeitungsschaltung, die durch die Kondensatoren 25a und 25b, den Transistor 25c, den Widerstand 25d und dergleichen gebildet ist. Es sei bemerkt, daß die Schaltung, die in Fig. 4 gezeigt ist, von dem gut bekannten Typ ist, wobei die Schaltung zum Verarbeiten der Ausgangssignale der Beschleunigungserfassungsvorrichtung 24 in dem Beschleunigungssensor der vorliegenden Erfindung nicht auf diese Schaltung begrenzt ist. Das Schaltungssub­ strat 23 ist durch Leitungsanschlüsse 27a bis 27f auf dem Befestigungssubstrat befestigt. In anderen Worten heißt das, daß die Leitungsanschlüsse 27a bis 27f jeweils an dem oberen Ende derselben gegabelt sind, um das Schaltungssubtrat 23 einzuklemmen, wobei die gegabelten Abschnitte derselben je­ weils durch Lotmittel (nicht gezeigt) oder dergleichen mit geeigneten Positionen auf der leitfähigen Struktur 26 ver­ bunden sind.

Dieses Ausführungsbeispiel ist dadurch gekennzeichnet, daß die Beschleunigungserfassungsrichtung G der Beschleunigungs­ erfassungsvorrichtung 24 parallel zu sowohl der Hauptober­ fläche des Befestigungssubstrats 22 als auch der Hauptober­ fläche des Schaltungssubstrats 23 ist, wodurch die Beschleu­ nigungserfassungsgenauigkeit verbessert ist. Diese Charak­ teristik wird nachfolgend bezugnehmend auf Fig. 3 beschrie­ ben.

Die Koordinaten bei dem Beschleunigungssensor 21 sind wie in Fig. 3A gezeigt definiert, d. h. die Richtung parallel zu der Hauptoberfläche des Schaltungssubstrats 23 und des Befesti­ gungssubstrats 22 ist durch die X-Achse dargestellt, die Richtung senkrecht zu dem Schaltungssubstrat 23 ist durch die Y-Achse dargestellt, und die Richtung senkrecht zu dem Befestigungssubstrat 22 ist durch die Z-Achse dargestellt. Daher ist die Erfassungsrichtung G der Beschleunigungserfas­ sungsvorrichtung 24 die Richtung der X-Achse.

Da das Schaltungssubstrat 23 wie oben beschrieben oben in dem Beschleunigungssensor 21 auf dem Befestigungssubstrat 22 befestigt ist, ist das Schaltungssubstrat 23 anfällig für ein Gieren in der Y-Richtung, wenn eine äußere Kraft ausge­ übt wird, während dasselbe nicht anfällig für ein Gieren in die X-Richtung ist.

Wenn das Schaltungssubstrat 23 in die y-Achsenrichtung giert, werden in der Mitte P desselben Komponenten Dx, Dy und Dz durch das Gieren erzeugt, wie in Fig. 3B gezeigt ist. Wenn der mittlere Winkel zwischen der Anfangsposition des Schaltungssubstrats 23 und der Position, in die das Schal­ tungssubstrat 23 maximal giert (der mittlere Winkel mit dem Mittelpunkt 0) als θ angenommen wird, und die Höhe von dem Substrat 22 zu der Mitte P als h angenommen wird, wie in Fig. 3B gezeigt ist, können die oben genannten Komponenten Dx, Dy und Dz wie folgt dargestellt werden:
Dx = 0
Dy = h × sinθ
Dz = h × (1 - cosθ).

Folglich existieren bei dem Beschleunigungssensor 21 des Ausführungsbeispiels zum Durchführen einer Erfassung in der X-Achsenrichtung nur die Y-Achsen- und Z-Achsen-Komponenten Dy und Dz, während die Komponente Dx in der X-Achsenrichtung nicht entsteht, selbst wenn ein Gieren stattfindet. Da keine Rauschkomponente in der X-Achsenrichtung existiert, kann die Beschleunigung, die in der X-Achsenrichtung wirkt, mit einer exakten Genauigkeit selbst bei einem Gieren erfaßt werden.

Wenn die Koordinaten bei dem vorhergenannten Beschleuni­ gungssensor 11, der in Fig. 8 gezeigt ist, auf die gleiche obige Art und Weise definiert werden, entsteht selbstver­ ständlich, wenn ein Gieren in die Y-Achsenrichtung stattfin­ det, die Rauschkomponente Dy, die durch h × sinθ gegeben ist, und überlagert sich der Empfindlichkeit, die in die Y- Achsenrichtung wirkt, wodurch die Erfassungsgenauigkeit ver­ ringert ist.

Da die Erfassungsrichtung der Beschleunigungserfassungsvor­ richtung 24 bei dem Beschleunigungssensor 21 dieses Ausführ­ ungsbeispiels die X-Achsenrichtung ist, kann, wie oben er­ läutert wurde, die wirkende Beschleunigung mit einer hohen Genauigkeit erfaßt werden, selbst wenn der Befestigungsraum dadurch, daß das Schaltungssubstrat 23 senkrecht zu dem Be­ festigungssubstrat 22 befestigt ist, reduziert ist.

Die spezifische Struktur der Beschleunigungserfassungsvor­ richtung 24 kann die gleiche sein wie die einer gut bekann­ ten, geeigneten Beschleunigungserfassungsvorrichtung, so­ lange die Beschleunigungserfassungsrichtung parallel zu der Hauptoberfläche des Schaltungssubstrats 23 eingestellt ist, wenn die Beschleunigungserfassungsvorrichtung 24 auf dem Schaltungssubstrat 23 befestigt ist.

Fig. 5 zeigt eine typische Struktur der Beschleunigungser­ fassungsvorrichtung 24. Bei der Beschleunigungserfassungs­ vorrichtung 24, die in Fig. 5 gezeigt ist, sind eine erste und eine zweite piezoelektrische Keramikplatte 31 und 32, die in die Richtung, die durch die gestrichelten Pfeile ge­ zeigt ist, polarisiert sind, über eine Zwischenelektrode 33a laminiert. Elektroden 33b und 33c sind auf den äußeren Ober­ flächen der ersten und der zweiten piezoelektrischen Kera­ mikplatte 31 bzw. 32 gebildet.

Die erste und die zweite piezoelektrische Keramikplatte 31 und 32 werden durch Trägerbauglieder 34 und 35, die jeweils Ausschnitte 34a und 35a aufweisen, gehalten. Die Trägerbau­ glieder 34 und 35, die solche Ausschnitte 34a und 35a auf­ weisen, unterstützen die erste und die zweite piezoelektri­ sche Keramikplatte 34 und 35, die laminiert sind, in der Nä­ he beider Enden derselben. Überdies sind ein Gehäusesubstrat 36, das eine Ausnehmung 36a in demselben aufweist, und ein Gehäusesubstrat 37 (das schematisch durch eine zweipunktier­ te Linie gezeigt ist) jeweils auf und unter die erste und die zweite piezoelektrische Keramikplatte 31 und 32 und die Trägerbauglieder 34 und 35 laminiert.

Bei der obigen Beschleunigungserfassungsvorrichtung 24 kann das Gehäusesubstrat 37 beispielsweise auf dem Schaltungs­ substrat 23 befestigt sein, wie in Fig. 1 gezeigt ist, wobei dasselbe in die Richtung zeigt, die in Fig. 5 gezeigt ist. Die Beschleunigungserfassungsrichtung entspricht in diesem Fall der Richtung der Dicke der ersten und der zweiten pie­ zoelektrischen Keramikplatte 31 und 32, d. h. der Richtung, die durch den Pfeil X in Fig. 5 gezeigt ist.

Obwohl der Erfassungsabschnitt zum Erfassen der wirkenden Beschleunigung an beiden Enden in der Beschleunigungserfas­ sungsvorrichtung 24, die in Fig. 5 gezeigt ist, unterstützt ist, kann derselbe auf die gleiche einseitig eingespannte Art und Weise unterstützt sein, wie bei der Beschleunigungs­ erfassungsvorrichtung 4, die in Fig. 7 gezeigt ist.

Ferner können andere piezoelektrische Materialien als eine piezoelektrische Keramik, beispielsweise Flüssigkristall, bei der Beschleunigungserfassungsvorrichtung 24 verwendet sein.

Wie oben beschrieben wurde, ist bei dem Beschleunigungssen­ sor gemäß der vorliegenden Erfindung ein Schaltungssubstrat, auf dem eine Beschleunigungserfassungsvorrichtung befestigt ist, senkrecht zu einem Befestigungssubstrat auf demselben befestigt, wobei die Erfassungsrichtung der Beschleunigungs­ erfassungsvorrichtung parallel zu sowohl dem Befestigungs­ substrat als auch dem Schaltungssubstrat ist. Da das Schal­ tungssubstrat in der Richtung senkrecht zu dem Befestigungs­ substrat befestigt ist, kann der Raum für den Beschleuni­ gungssensor wirksam reduziert sein. Obwohl das Schaltungs­ substrat auf Grund seiner Befestigungsstruktur anfällig für ein Gieren in der Dickenrichtung desselben ist, ist überdies verhindert, daß die Erfassungsgenauigkeit durch das Gieren reduziert ist, da die Beschleunigungserfassungsrichtung pa­ rallel zu den Hauptoberflächen des Schaltungssubstrats und des Befestigungssubstrats ist.

Folglich liefert der Beschleunigungssensor der vorliegenden Erfindung eine Verkleinerung des Beschleunigungserfassungs­ abschnitts ohne eine Verringerung der Erfassungsgenauigkeit.

Claims (6)

1. Beschleunigungssensor (21) zum Erfassen einer Beschleuni­ gung in einer vorbestimmten Beschleunigungserfassungs­ richtung G mit folgenden Merkmalen:
einem ersten Substrat (23) mit einer Oberfläche parallel zu der Beschleunigungserfassungsrichtung (G);
einer Beschleunigungserfassungsvorrichtung (24), die auf der Oberfläche des ersten Substrats (23) befestigt ist; und
einem zweiten Substrat (22), wobei das erste Substrat (23) auf einer Oberfläche des zweiten Substrats (22) der­ art befestigt ist, daß die erste Oberfläche des Substrats (23) senkrecht zu der Oberfläche des zweiten Substrats (22) und parallel zu der Beschleunigungserfassungsrich­ tung (G) ist.

2. Beschleunigungssensor (21) gemäß Anspruch 1, bei dem das erste Substrat (23) ein Schaltungssubstrat und das zweite Substrat (22) ein Befestigungssubstrat ist.

3. Beschleunigungssensor (21) gemäß Anspruch 1, bei dem die Beschleunigungserfassungsvorrichtung (24) piezoelektri­ sche Elemente (31, 32) aufweist, die in der Beschleuni­ gungserfassungsrichtung (G) polarisiert sind.

4. Beschleunigungssensor (21) mit folgenden Merkmalen:
einer Beschleunigungserfassungsvorrichtung (24);
einem Schaltungssubstrat (23), auf dem die Beschleuni­ gungserfassungsvorrichtung (24) befestigt ist, und das eine Signalverarbeitungsschaltung aufweist, die mit der Beschleunigungserfassungsvorrichtung (24) elektrisch ver­ bunden ist, um ein Ausgangssignal der Beschleunigungser­ fassungsvorrichtung (24) einer Signalverarbeitung zu un­ terwerfen; und
einem Befestigungssubstrat (22), auf dem das Schaltungs­ substrat (23) befestigt ist,
wobei das Schaltungssubstrat (23) derart befestigt ist, daß eine Oberfläche desselben senkrecht zu einer Ober­ fläche des Befestigungssubstrats (22) ist, und daß die Beschleunigungserfassungsrichtung (G) der Beschleuni­ gungserfassungsvorrichtung parallel zu sowohl der Ober­ fläche des Schaltungssubstrats (23) als auch der Ober­ fläche des Befestigungssubstrats (22) ist.

5. Beschleunigungssensor gemäß Anspruch 5, bei dem die Be­ schleunigungserfassungsvorrichtung (24) eine piezoelek­ trische Beschleunigungserfassungsvorrichtung ist.

6. Beschleunigungserfassungsvorrichtung gemäß Anspruch 6, bei der die piezoelektrische Beschleunigungserfassungs­ vorrichtung (24) piezoelektrische Elemente (31, 32), die in der Beschleunigungserfassungsrichtung (G) polarisiert sind, aufweist.