DE19706291B4 - Konturenmeßgerät mit einem Fühlstift - Google Patents

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/20Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures

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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

Konturenmessgerät, enthaltend einen Arm (1), an dem ein Fühlstift zum Abfühlen der Oberfläche eines Werkstücks angeordnet ist;
ein Armtragteil (2) zum Tragen des Arms (1) mit einer Achse derart, dass der Arm (1) um die Achse schwenken kann;
einen Antriebsmechanismus (3) zum horizontalen Antrieb des Armtragteils (2); und
eine Schwenkungsdetektionsvorrichtung (10) zum Detektieren der Schwenkung des Arms (1),
wobei die Schwenkungsdetektionsvorrichtung (10) enthält:
ein lineares Führungsteil (4), das an dem Armtragteil (2) angebracht ist;
ein Skalen-Tragteil (5), das an dem linearen Führungsteil (4) so angebracht ist, dass es linear beweglich ist;
einen Gelenkmechanismus (7) zum gelenkigen Verbinden von Arm (1) und Skalen-Tragteil (5), um kreisbogenförmige Bewegung, die durch Schwenken des Arms (1) verursacht wird, in lineare Bewegung des Skalen-Tragteils (5) umzuformen, der durch das lineare Führungsteil (4) geführt wird, wobei der Gelenkmechanismus (7) einen zwischen Arm (1) und Skalen-Tragteil (5) an einer vorbestimmten...

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Konturenmessgerät zum Messen der Konturen einer Oberfläche durch Bewegung eines Fühlstiftes auf der Oberfläche eines Werkstückes zur Messung von Unebenheiten der Oberfläche, und insbesondere auf eine Verbesserung einer Schwenkungs-Detektiervorrichtung zum Detektieren des Schwenkens eines Armes, auf dem der Fühlstift angebracht ist.
  • Herkömmlich ist ein Messgerät gemäß 11 bekannt als Konturenmessgerät zum Messen der Kontur der Oberflächen von Waren. Auf einer Basis 101 ist eine Säule 102 angebracht, ein Antriebsteil 103 und ein damit verbundener Detektionsteil 104 sind an der Säule 102 montiert, und es ist möglich, die Höhenpositionen des Antriebsteils 103 und des Detektionsteils 104 durch einen Motor 105 zu justieren, der am oberen Ende der Säule 102 vorgesehen ist. Der Antriebsteil 103 enthält einen Zufuhrmechanismus zum horizontalen Antrieb des Detektionsteils 104. Das Detektionsteil 104 enthält einen Detektor, der einen Arm 107 (107a, 107b) trägt, um für das Anbringen eines Fühlstiftes 106 schwenkbar zu sein, und detektiert Schwenkungen des Arms 107.
  • 12 zeigt den konkreten Aufbau des Detektionsteils 104 und eines Zufuhrmechanismus 81 zu seinem Antrieb. Die Kraft eines Motors 82, der an dem Antriebsteil 103 befestigt ist, wird über ein Untersetzungsgetriebe 83 an eine Antriebswelle 84 übertragen. Ein Drehcodierer 89 ist am Endteil der Antriebswelle 84 befestigt. Eine Mutter 85 steht in Eingriff mit der Antriebswelle 84, und eine Armtrageplatte 86, die mit der Mutter 85 verbunden ist, wird durch die Antriebswelle 84 horizontal angetrieben. Der Arm 107b ist drehbar durch eine Tragsäule 87 gehalten, die mit der Armtragplatte 86 durch ein Zapfenlager 88 verbunden ist.
  • Ein Gewicht 90 zum Gewichtsausgleich ist vorgesehen, um die Positionen an dem Endteil gegenüber dem Fühlstift 106 des Arms 107b justieren zu können.
  • Durch den Zufuhrmechanismus 81 wird der Arm 107 horizontal angetrieben, so dass der Fühlstift 106 an seinem Ende die Oberfläche des Werkstücks 108 auf der Basis 101 abfühlt, und er wird um das Zapfenlager 88 durch die Auf- und Niederbewegung des Fühlstifts 106 rotiert (geschwenkt).
  • Das Detektierteil 104 enthält einen Verschiebungsdetektor 91 zum Detektieren der Schwenkung des Arms 107. Der Verschiebungsdetektor 91 enthält ein Skalen-Tragteil 92, das von dem Arm 107 gehalten wird, eine davon getragene Skala 93 und einen optischen Codierer mit einer Lichtquelle 94 und einem lichtempfangenden Element 95, die an beiden Seiten der Skala 93 angeordnet sind. Das Skalen-Tragteil 92 ist mit einem Tragkörper 96, der auf der Armtragplatte 86 montiert ist, durch eine Parallelkopplung 97 verbunden, und eine kreisbogenförmige Bewegung, für die das Zapfenlager 88 des Arms 107 das Zentrum ist, wird in eine quasi-lineare Bewegung umgewandelt. Das lichtempfangende Element 95 ist in dem Tragkörper 98 eingesetzt, der an der Armtragplatte 86 angebracht ist, und gegenüber der Skala 93 angeordnet. Daher wird die Schwenkung des Arms 107 in eine Linearbewegung umgewandelt, die auf das Skalen-Tragteil 92 und die Skala 93 übertragen wird, und ein Verschiebungs-Ausgangssignal entsprechend der Schwenkung des Arms 107 wird von dem lichtempfangenden Element 95 erhalten.
  • Der Messvorgang des Kontermessgerätes wird wie folgt beschrieben. Die Basis 101 enthält zahlreiche Steuerknöpfe, die elektrisch mit dem Stromkreis des Antriebskreises 103 verbunden sind; drückt man davon einen Startvorbereitungsknopf, wird der Arm 107 nach links in der Figur durch den Antriebsmechanismus 81 horizontal angetrieben, und der Fühlstift 106 wird in die Messbeginnposition am oberen Teil des Werkstücks 108 gebracht. Außerdem werden das Antriebsteil 103 und das Detektionsteil 104 nach unten angetrieben, bis das Ende des Fühlstifts 106 in Kontakt mit dem Werkstück 108 tritt, wobei der Arm 107 fast horizontal ist. Drückt man nun den Messbeginnknopf, wird der Motor 82 des Antriebsmechanismus 81 entgegengesetzt rotiert, die Armtragplatte 86 wird nach rechts horizontal angetrieben, und daher wird der Fühlstift 106 entlang der Oberfläche des Werkstücks 108 auf- und niederbewegt.
  • Wenn der Fühlstift 106 auf- und niederbewegt wird, wird der Arm 107 geschwenkt, da der Lagerzapfen 88 ein Drehpunkt ist, und dies wird in lineare Bewegung umgeformt und durch den Verschiebungsdetektor 91 detektiert. Das detektierte Verschiebungssignal wird einem elektronischen Schaltungsabschnitt 100 zugeführt, um mit dem Signal des Drehcodierers 89 kombiniert zu werden, und korrigiert auf die tatsächliche Dimension entsprechend der Kontur der Oberfläche des Werkstücks 108, das durch den Fühlstift 106 abgefühlt wird. Die korrekten Daten werden in einem Speicher gespeichert. Die Daten werden einem Computer 109 zugeführt, auf einem Schirm angezeigt und richtig verarbeitet, wobei der Gradient korrigiert und die Vergrößerung geändert wird, und eine statistische Operation wird durchgeführt.
  • Stand der Technik
  • EP 0 246 778 A1 offenbart ein Gewindemessgerät zum automatischen und schnellen Messen eines Gewindes nach seiner Herstellung. Eine Stiftunterstützung ist auf einem Revolverkopf befestigt, um den Stift in eine Position zu bringen, in der er der Kontur des Gewindes folgen kann. Der Stift ist mit einem Wandler verknüpft, der mit einem Computer verbunden ist.
  • US 5 309 755 A offenbart eine Profilometer-Anordnung mit einem Ausgleichsstift mit einem Bewegungswandler, der eine Schaufel verwendet, die sich zwischen zwei parallelen, beabstandeten konduktiven Platten bewegt, um durch Druckluft die Bewegung der Schaufel zu dämpfen.
  • GB 2 098 331 A offenbart einen Wegaufnehmer zum Aufnehmen einer Position oder einer Versetzung. Ein Bewegungsarm ist starr mit einer Welle verbunden, welche durch eine Führung unterstützt wird.
  • Verschiedene Detektionsverfahren unter Verwendung eines Differentialtransformators und einer linearen Skala sind konventionell als ein solches Armverschiebungs-Detektionsverfahren des Konturmessgerätes vorgeschlagen worden. Jedoch ist kürzlich ein extrem genauer linearer Codierer unter Verwendung einer sehr kleinen Skala in der Größenordnung von Mikrometern und eine Holographieskala verwendet worden. Wenn eine Parallelkopplung angewandt wird, um kreisbogenförmige Bewegung des Arms in lineare Bewegung umzuformen, wie in dem obigen Beispiel, verursacht im Fall der Verwendung solcher präziser linearer Codierer ein Umwandlungsfehler ein Problem.
  • Dieses Problem wird unter Bezugnahme auf die 13A und 13B beschrieben. Im Fall der Verwendung der Parallelkopplung, wie in 13B gezeigt, entsteht eine Positionsabweichung x der Skala 93 in horizontaler Richtung, wenn die Skala 93 auf und ab bewegt wird, wobei die Abweichung der Spaltdistanz zwischen der Skala 93 und dem lichtempfangenden Teil auftritt. Es ist unmöglich, in einem präzisen linearen Codierer so eine Abweichung zu vernachlässigen.
  • Außerdem enthält die Parallelkopplung, wie in den 13A und 13B gezeigt viele Teile wie acht Kugellager und viele Gelenke. Es ist daher nötig, die Genauigkeit der Verarbeitung des Zusammenbaus streng zu kontrollieren. Wenn es nicht möglich ist, diese Präzision ausreichend zu kontrollieren, ist es unmöglich, ausreichende Messpräzision zu gewährleisten. Wenn die tatsächlich verlangte Messpräzision derart ist, dass ein zulässiger Fehler im Bereich von 2 m ist und der Fehler einer Festpunkt-Wiederholungsmessung geringer als 2 [sigma] = 0,5 m im Messbereich von 20 mm ist, ist es schwierig, diese Anforderung unter Verwendung der Parallelkopplung zu erfüllen.
  • Aufgabenstellung
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Konturmessgerät zu schaffen, das einen so verbesserten Schwenkungs-Detektionsmechanismus hat, dass es leicht zu betreiben und zusammenzubauen ist und präzise Messungen ermöglicht.
  • Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch ein Konturmessgerät gemäß Anspruch 1 erfüllt. Bevorzugte Ausführungsformen sind in den abhängigen Ansprüchen definiert.
  • Ein Konturmessgerät gemäß der vorliegenden Erfindung enthält einen Arm, an den ein Fühlstift zum Abfühlen der Oberfläche eines Werkstücks angeordnet ist, einen Armtragteil zum Tragen des Arms mit einer Achse derart, dass der Arm um die Achse schwenken kann, einen Antriebsmechanismus zum horizontalen Antrieb des Armtragteils, und Schwenkungs-Detektionsvorrichtungen zum Detektieren der Schwenkung des Arms, wobei die Schwenkungs-Detektionsvorrichtung enthält: ein lineares Führungsteil, das an dem Armtragteil angebracht ist; ein Skalen-Tragteil, das an dem linearen Führungsteil so angebracht ist, dass es linear beweglich ist; einen Verbindungsmechanismus zur Verbindung von Arm und Skalen-Tragteil, um kreisbogenförmige Bewegung, die durch das Schwenken des Arms verursacht wird, in lineare Bewegung des Skalen-Tragteils umzuformen, das durch das lineare Führungsteil geführt ist, wobei der Gelenkmechanismus einen zwischen Arm und Skalen-Tragteil an einer vorbestimmten Position entfernt von der Achse eingesetzten Gelenkstift aufweist und beide Enden des Gelenkstifts so mit dem Arm bzw. dem Skalen-Tragteil in Eingriff stehen, dass er neigbar ist; und eine Verschiebungs-Detektiervorrichtung zum Detektieren der linearen Bewegung des Skalen-Tragteils, wobei die Verschiebungs-Detektiervorrichtung so aufgebaut ist, dass sie eine Skala auf dem Skalen-Tragteil aufweist.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Gelenk des Universaltyps als Gelenkmechanismus verwendet, um die kreisbogenförmige Bewegung des Arms in die Linearbewegung des Skalen-Tragteils umzuwandeln. Durch Verbindung des Gelenkmechanismus und des linearen Führungsmechanismus, das das Skalen-Tragteil mit dem Armtragteil so verbindet, dass es vertikal oder horizontal beweglich ist, wird die kreisbogenförmige Bewegung genau in die lineare Bewegung umgeformt, die der Skala erteilt wird. Es ist daher möglich, im Fall der Verwendung der präzisen Skala genau die Verschiebung zu messen und ein Konturmessgerät zu erhalten, das die Kontur außergewöhnlich genau messen kann. Außerdem ist der Aufbau einfach, er ist für ungeübte Personen leicht mit höchster Genauigkeit zusammenzubauen und er ermöglicht es, ein verlässliches Konturmessgerät zu erhalten.
  • Ausführungsbeispiel
  • Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nun anhand der Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen:
  • 1 eine Vorderansicht, die den Aufbau des Hauptteils des Antriebsabschnittes eines Konturmessgerätes gemäß einen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2 eine Draufsicht, die den Hauptaufbau des Antriebsabschnittes des Ausführungsbeispiels zeigt;
  • 3 eine Schrägansicht, die einen Teilaufbau des Hauptteils des Antriebsteils des Ausführungsbeispiels zeigt;
  • 4 eine Schrägansicht, die einen Teilaufbau des Hauptteils des Antriebsteils des Ausführungsbeispiels zeigt;
  • 5A und 5B im Querschnitt Vorderansicht und Rückansicht, die den konkreten Aufbau des Gelenkmechanismus des Ausführungsbeispiels zeigen;
  • 6 eine Schrägansicht, die die Maltestruktur der Skala des Ausführungsbeispiels zeigt;
  • 7 eine Ansicht, die ein Verfahren zum Justieren der Skalenposition des Ausführungsbeispiels beschreibt;
  • 8 eine Vorderansicht, die den Aufbau des Hauptteils des Antriebsteils eines Konturmessgerätes entsprechend einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 9 eine Vorderansicht, die den Aufbau des Hauptteils des Ausführungsbeispiels zeigt;
  • 10 eine Ansicht von rechts, die den Aufbau des Hauptteils des Ausführungsbeispiels zeigt;
  • 11 eine Zeichnungsskizze eines früheren Kontermessgerätes;
  • 12 eine Ansicht, die den Aufbau des Antriebsteils des Messgerätes nach 11 zeigt; und
  • 13A und 13B Ansichten, die den Parallelkoppelmechanismus des Messgerätes der 11 zeigen.
  • Es werden nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben.
  • 1 ist eine Vorderansicht, die den Aufbau des Armantriebsabschnittes zeigt, der ein Hauptteil eines Konturenmessgerätes gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist, 2 ist eine Vorderansicht und 3 bzw. 4 sind schräge Teilansichten.
  • Ein Armtragteil 2 umfasst eine Armtragplatte 21, eine Tragsäule 22, die auf der unteren Oberfläche einer Tragplatte 21 installiert ist usw. Ein Arm 1 (1a, 1b, 1c), an dem ein Fühlstift befestigt ist, wird durch ein Zapfenlager 11 auf der Tragsäule 22 rotierbar getragen. Eine Antriebswelle 3 ist so vorgesehen, dass sie den Arm 1 horizontal antreibt. Eine Mutter 24, die im Eingriff mit der Antriebswelle 3 stehe, ist mit der Armtragplatte 21 fest verbunden, und die Armtragplatte 21 wird durch Drehen der Antriebswelle 3 horizontal angetrieben, wodurch der Arm 1 horizontal angetrieben wird. Ähnlich zu 8 wird ein am Ende des Arms 1a befestigter Fühlstift über die Oberfläche des Werkstücks geführt und auf und ab bewegt. Die Fühlstiftbewegung verursacht eine solche Schwenkung (rotierende Bewegung) des Arms 1, dass das Zapfenlager 11 ein Drehpunkt ist, wie mit Pfeilen angezeigt.
  • Ein Schwenkungs-Detektionsvorrichtung 10 zum Detektieren der Schwenkung des Arms 1 enthält ein lineares Führungsteil 4, das auf einer vertikal auf der Armtragplatte 21 montierten Tragsäule 23 angebracht ist, ein Skalen-Tragteil 5, das vertikal und linear durch das Lager 41 des linearen Führungsteils 4 geschoben wird, eine Verschiebungs-Detektionsvorrichtung 6, die eine Skala 60 enthält, die durch ein Skalen-Tragteil 5 getragen wird, und einen Gelenkmechanismus 7, der so zwischen dem Arm 1 und das Skalen-Tragteil 5 eingesetzt ist, dass er kreisbogenförmige Bewegung, die durch die Schwenkung des Arms 1 verursacht wird, in lineare Bewegung umwandelt, die durch das lineare Führungsteil 4 geführt wird, und sie an das Skalen-Tragteil 5 weitergibt. Der Gelenkmechanismus 7 umfasst einen Gelenkstift 71, dessen beide Enden mit dem Arm 1 bzw. dem Skalen-Tragteil 5 in solcher Weise in Eingriff stehen, dass der Gelenkstift 71 neigbar ist.
  • An einer solchen Position des Arms 1b, dass er horizontal von dem Zapfenlager 11 beabstandet ist, ist ein Vorsprung 70 integral mit dem Arm 1b ausgebildet, so dass er auf der Seite des Arms 1b herausragt. Der Vorsprung 70 wird so bewegt, dass er einen Kreisbogen in fast senkrechter Richtung entsprechend den Schwenkungen des Arms 1 ausführt. Der Gelenkmechanismus 7 ist zwischen dem oberen Ende des Vorsprungs 70 und dem Skalen-Tragteil 5 eingesetzt, das so gegenüber dem oberen Ende des Vorsprungs 70 angeordnet ist, dass es vertikal und linear durch das lineare Führungsteil 4 geführt wird. Die 5A und 5B zeigen eine vordere Querschnittansicht und den rückwärtigen Aufbau des Gelenkmechanismus 7. Wie in den 5A und 5B gezeigt, sind der Vorsprung 70 und das Skalen-Tragteil 5 so ausgebildet, dass sie einander gegenüberstehende vertikale durchgängige Bohrungen 52 und 51 aufweisen, und Stifte mit Schraubengewinde 72 und 74 mit Schraubteilen 73 und 75 sind in Eingriff mit diesen durchgängigen Bohrungen 52 und 51 und entsprechend versenkt. Konkave Teile sind an den Enden der Stifte mit Schraubgewinde 72 und 74 ausgebildet, und der Gelenkstift 71 hat ein kugelförmiges Ende, das in diese konkaven Teile der Stifte mit Schraubgewinde 72 und 74 eingesetzt ist, wodurch eine Gelenkvorrichtung vom Universalgelenktyp zusammengesetzt wird. In anderen Worten, beide Enden des Gelenkstifts 71 sind so mit den Enden der Stifte mit Schraubgewinde 72 und 74 in Eingriff, dass seine Neigung zugelassen wird.
  • Durch Verbinden des Gelenkmechanismus 7 mit der linearen Führung 4 wie oben erwähnt, wird die kreisbogenförmige Bewegung des Arms 1 auf das Skalen-Tragteil 5, das durch das lineare Führungsteil 4 geführt wird, durch den Gelenkstift 71 als lineare Bewegung übertragen. Damit die Aufeinanderfolge von Gelenkstift 71 und der Stifte mit Schraubgewinde 72 und 74 nicht aufgetrennt wird, werden, wie in 5B gezeigt, der Vorsprung 70 und das Skalen-Tragteil 5 durch Zugfedern 8 zusammengezogen, die hinten über sie gelegt sind.
  • Das Skalen-Tragteil 5 umfasst einen konkaven Teil 54 zum Tragen der Skala 60, wie in 6 gezeigt. Die Skala 60 ist beispielsweise eine Skala vom Übertragungstyp. Die Skala 60 wird durch eine Klammer 53 gehalten. Wie in den 2 bis 4 gezeigt, ist die Verschiebungs-Detektionsvorrichtung 6 ein solcher optischer Linearcodierer vom Übertragungstyp, der konstruiert ist durch Positionieren der Skala 60 knapp über dem Arm 1b und durch Anordnen der Skala 60 zwischen einer Lichtquelle 62 und einem lichtempfangenden Element 63 in einem Detektorblock 61, der von der Armtragplatte 21 getragen wird.
  • Im Gelenkmechanismus 7 sind die Stifte 72 und 74, die dem Vorsprung 70 angepasst sind, und das Skalen-Tragteil 5 mit Gewinde versehen, wodurch es möglich ist, die Position des Skalen-Tragteils 5 gegenüber dem Vorsprung 70 durch Justieren der Versenkposition durch justieren der Schraube einzustellen. Es ist bevorzugt, die zentrale Position des Hubs der Linearbewegung der Skala 60 entsprechend der kreisbogenförmigen Bewegung des Arms 1 in Übereinstimmung mit der zentralen Position der Skala 60 zu bringen. Mit anderen Worten, wenn der Hub der kreisbogenförmigen Bewegung des Arms 1 an der Position, wo die Skala 60 angeordnet ist, gleich A ist und der Hub der linearen Bewegung des Skalen Tragteils 5, das aus der kreisbogenförmigen Bewegung übertragen wird, gleich B ist, wie in 7 gezeigt, bringe man die zentrale Position dieses Hubs B mit der zentralen Position C der Skala 60 in Übereinstimmung. Das bedeutet, man justiert die Position der Skala 60 durch den Gelenkmechanismus 7, so dass die Skala 60 am Zentrum der Skala 60 positioniert ist, wenn der Arm 1 am Zentrum seines Hubs positioniert ist. Es ist daher möglich, Verschiebungen innerhalb eines großen Hubbereichs präzise zu messen.
  • Wie oben erwähnt, wird gemäß dem Ausführungsbeispiel die kreisbogenförmige Bewegung des Armes in die korrekte lineare Bewegung umgewandelt durch Kombinieren des Gelenkmechanismus vom Universalgelenktyp mit dem linearen Führungsmechanismus. Als Ergebnis tritt die Positionsabweichung der Skala in horizontaler Richtung gemäß dem Stand der Technik, wobei die Verschiebung des Arms durch Umwandlung der kreisbogenförmigen Bewegung in die quasi lineare Bewegung durch eine Parallelkopplung gemäß 10 vorgenommen wird, nicht auf. Somit ist es gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel möglich, präzise die Verschiebung selbst im Fall der Verwendung von sehr kleinen linearen Skalen zu messen und dadurch die Kontur genau zu messen.
  • Außerdem ist der Aufbau einfach im Vergleich mit dem Fall der Verwendung eines Parallelkoppelmechanismus, und es ist selbst für eine ungeübte Person möglich, das Konturmessgerät leicht zusammenzubauen und ein sehr verlässliches Konturmessgerät zu erhalten.
  • Da die kreisbogenförmige Bewegung des Armes in eine komplette lineare Bewegung in dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel umgewandelt wird, ist es möglich, die lineare Verschiebung genau zu detektieren. Jedoch wird der Neigungswinkel des Gelenkstifts 71 entsprechend der kreisbogenförmigen Bewegung geändert, wodurch ein Umwandlungsfehler auftritt. Dieser Umwandlungsfehler kann durch Software bei der Verarbeitung des Ausgabesignals korrigiert werden.
  • In dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel wird die fast vertikale kreisbogenförmige Bewegung, die durch den Arm verursacht wird, durch Umwandeln der kreisförmigen Bewegung in eine vertikale lineare Bewegung detektiert. Es ist jedoch auch möglich, das Schwenkungs-Detektionsvorrichtung 10 so zu konstruieren, dass es die fast horizontale kreisbogenförmige Bewegung entsprechend der Armbewegung in eine horizontale lineare Bewegung umwandelt. In diesem Fall wird der Vorsprung an einer vertikal von der Achse beabstandeten Position ausgebildet, um ein Seitenende zu haben, das die fast horizontale kreisbogenförmige Bewegung ausführt. Entsprechend 1 ist die Vorderansicht eines solchen Ausführungsbeispiels in 8 dargestellt. 9 und 10 zeigen jeweils die Draufsicht und die rechte Seitenansicht des Ausführungsbeispiels. Eine detaillierte Beschreibung der Teile, die dem vorherigen Ausführungsbeispiel entsprechen, wird vermieden durch Anwenden der gleichen Bezugszeichen.
  • In diesem Ausführungsbeispiel ist der Vorsprung 70 an dem Achsentragabschnitt des Arms 1 so befestigt, dass er ein vertikales Seitenende an einer vorbestimmten Position vertikal beabstandet von der Achse hat. Der Vorsprung 70 bewegt sich zur Abfühlung fast horizontal und kreisbogenförmig entsprechend der Schwenkung des Arms 1. Das lineare Führungsteil 4 ist der horizontale lineare Führungsmechanismus, und das Skalen-Tragteil 5 gegenüber dem Seitenende des Vorsprungs 70 ist horizontal und gleitfähig installiert. Der gleiche Gelenkmechanismus 7 wie im früheren Ausführungsbeispiel ist zwischen dem Vorsprung 70 und dem Skalentragteil 5 gegenüber dessen Seitenende eingesetzt, um die fast horizontale kreisförmige Bewegung des Vorsprungs in die horizontale lineare Bewegung des Skalen-Tragteils 5 umzuformen.
  • Gemäß diesem Ausführungsbeispiel ist es möglich, die gleiche Wirkung wie im früheren Ausführungsbeispiel zu erhalten. Zusätzlich kommt es, da die lineare Führung in horizontaler Richtung angeordnet ist, nur schwer zu einer Positionsabweichung eines Kugelhalters, und Staub kann schwerlich eindringen.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt. Zum Beispiel ist es, obwohl der optische lineare Codierer als Verschiebungsdetektor in den Ausführungsbeispielen verwendet wird, auch möglich, Verschiebungsdetektoren anderen Typs zu verwenden, wie einen Verschiebungsdetektor vom Differentialtransformatortyp. Außerdem ist es, obwohl die Schraubenfeder den Vorsprung 70 mit dem Skalen-Tragteil 5 verbindet, auch möglich, sie durch andere elastische Elemente elastisch miteinander zu verbinden.
  • Weiter ist es möglich, obwohl der Gelenkmechanismus 7 zum Umwandeln der kreisbogenförmigen Bewegung in die Linearbewegung die Stifte mit Schraubgewinde enthält, die in den Öffnungen versenkt sind, die durch die Innenseite des Vorsprungs 70 und des Skalen-Tragteils 5 hindurchtreten, sowie den Gelenkstift zu deren Verbindung, auch möglich, die gleichen Gelenkvorrichtungen außerhalb des Vorsprungs 70 und des Skalen-Tragteils 5 zu konstruieren.
  • Außerdem ist es möglich, obwohl das lineare Führungsteil 4 mit einem Lager in dem Ausführungsbeispielen verwendet wird, ein anderes lineares Führungselement wie etwa eine Schwalbenschwanznutführung zu verwenden.
  • Außerdem ist es, obwohl der vorgesehene Ort zum Detektieren der Schwenkung des Arms 1 an dem vorbestimmten Abstand gegenüber der Anbringung des Fühlstifts ist, im Gegensatz entsprechend dem Ausführungsbeispiel nach 1 möglich, an der Seite des Fühlstifts zu positionieren.
  • Wie oben erwähnt, ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, die Verschiebung im Fall der Verwendung genauer Skalen genau zu messen durch Umwandlung der kreisbogenförmigen Bewegung des Arms in die korrekte lineare Bewegung durch Kombinieren eines Gelenkmechanismus vom Universalgelenktyp mit dem linearen Führungsmechanismus, wodurch ein Konturmessgerät geschaffen wird, das es möglich macht, extrem genau die Kontur zumessen. Außerdem ist der Aufbau einfach, selbst ungeübte Personen sind leicht in der Lage, genau zusammenzubauen, und es ist möglich, ein störungsfreies und verlässliches Konturmessgerät zu erhalten.

Claims (11)

  1. Konturenmessgerät, enthaltend einen Arm (1), an dem ein Fühlstift zum Abfühlen der Oberfläche eines Werkstücks angeordnet ist; ein Armtragteil (2) zum Tragen des Arms (1) mit einer Achse derart, dass der Arm (1) um die Achse schwenken kann; einen Antriebsmechanismus (3) zum horizontalen Antrieb des Armtragteils (2); und eine Schwenkungsdetektionsvorrichtung (10) zum Detektieren der Schwenkung des Arms (1), wobei die Schwenkungsdetektionsvorrichtung (10) enthält: ein lineares Führungsteil (4), das an dem Armtragteil (2) angebracht ist; ein Skalen-Tragteil (5), das an dem linearen Führungsteil (4) so angebracht ist, dass es linear beweglich ist; einen Gelenkmechanismus (7) zum gelenkigen Verbinden von Arm (1) und Skalen-Tragteil (5), um kreisbogenförmige Bewegung, die durch Schwenken des Arms (1) verursacht wird, in lineare Bewegung des Skalen-Tragteils (5) umzuformen, der durch das lineare Führungsteil (4) geführt wird, wobei der Gelenkmechanismus (7) einen zwischen Arm (1) und Skalen-Tragteil (5) an einer vorbestimmten Position entfernt von der Achse eingesetzten Gelenkstift (71) aufweist, der Gelenkstift (71) sphärische Enden aufweist und beide Enden des Gelenkstiftes (71) so mit konkaven Teilen, die in dem Arm (1) bzw. dem Skalen-Tragteil (5) vorgesehen sind, in Eingriff stehen, dass der Stift (71) neigbar ist, und der Arm (1) und das Skalen-Tragteil (5) zueinander gezogen werden durch ein elastisches Teil (8), das über ihnen liegt; und eine Verschiebungs-Detektionsvorrichtung (6) zum Detektieren der linearen Bewegung des Skalen-Tragteils (5), wobei die Verschiebungs-Detektionsvorrichtung (6) so aufgebaut ist, dass sie eine Skala (60) auf dem Skalen-Tragteil (5) aufweist.
  2. Konturenmessgerät nach Anspruch 1, wobei das lineare Führungsteil (4) so an dem Armtragteil (2) angebracht ist, dass es das Skalen-Tragteil (5) vertikal führt, und der Gelenkmechanismus (7) zwischen einem mit dem Arm (1) integral ausgeformten Vorsprung (70) an einer Position horizontal gegebener Distanz von der Achse des Arms (1) angebracht ist, wobei ein Abschnitt des Skalen-Tragteils (5) dem oberen Ende des Vorsprungs (70) gegenübersteht.
  3. Konturenmessgerät nach Anspruch 2, wobei die Verschiebungs-Detektiervorrichtung ein linearer Codierer ist, der die Skala (60) enthält, die von dem Skalen-Tragteil (5) so getragen ist, dass sie eine Position knapp über dem Arm (1) einnimmt, und der Gelenkmechanismus (7) eine Positions-Einstellvorrichtung zum Einstellen der Position der Skala (60) derart hat, dass die Skala (60) auf das Zentrum eingestellt ist, wenn der Arm (1) auf das Zentrum des Hubs positioniert ist.
  4. Konturenmessgerät nach Anspruch 3, wobei der lineare Codierer ein optischer Codierer ist, mit einer Lichtquelle und einem lichtempfindlichen Element für das Ablesen der von dem Skalen-Tragteil (5) getragenen Skala (60).
  5. Konturenmessgerät nach Anspruch 2, wobei die Verschiebungs-Detektiervorrichtung ein linearer Codierer ist, der die Skala (60) enthält, die von dem Skalen-Tragteil (5) so getragen ist, dass sie eine Position knapp über dem Arm (1) einnimmt, und der Gelenkmechanismus (7) zwei Stifte mit Schraubengewinde aufweist, die in durchgehende Bohrungen eingeschraubt sind, die durch den Vorsprung (70) bzw. das Skalen-Tragteil (5) ausgebildet sind, wobei die Endabschnitte der zwei Stifte einander gegenüberstehen und beide Enden des Gelenkstiftes (71) jeweils mit den Endabschnitten der zwei Stifte mit Schraubgewinde in Eingriff stehen derart, dass er neigbar ist.
  6. Konturenmessgerät nach Anspruch 5, wobei Einsetzpositionen der zwei Stifte mit Schraubgewinde so justiert sind, dass die Position der Skala (60) auf das Zentrum der Skala (60) eingestellt ist, wenn der Arm (1) am Zentrum des Hubs ist.
  7. Konturenmessgerät nach Anspruch 1, wobei das lineare Führungsglied so an dem Armtragteil (2) angebracht ist, dass es das Skalen-Tragteil (5) horizontal führt, und der Gelenkmechanismus (7) zwischen einem mit dem Arm (1) integral ausgeformten Vorsprung (70) an einer Position einer vertikal gegebenen Distanz von der Achse des Arms (1) angebracht ist, wobei ein Abschnitt des Skalen-Tragteils (5) dem oberen Ende des Vorsprungs (70) gegenübersteht.
  8. Konturenmessgerät nach Anspruch 7, wobei die Verschiebungs-Detektiervorrichtung ein linearer Codierer ist, der die Skala (60) enthält, die von dem Skalen-Tragteil (5) so getragen ist, dass sie eine Position knapp über dem Arm (1) einnimmt, und der Gelenkmechanismus (7) eine Positions-Einstellvorrichtung zum Einstellen der Position der Skala (60) derart hat, dass die Skala (60) auf das Zentrum eingestellt ist, wenn der Arm (1) auf das Zentrum des Hubs positioniert ist.
  9. Konturenmessgerät nach Anspruch 8, wobei der lineare Codierer ein optischer Codierer ist, mit einer Lichtquelle und einem lichtempfangenden Element für das Ablesen der vom Skalen-Tragteil (5) getragenen Skala (60).
  10. Konturenmessgerät nach Anspruch 7, wobei die Verschiebungs-Detektiervorrichtung ein linearer Codierer ist, der die Skala (60) enthält, die von dem Skalen-Tragteil (5) so getragen ist, dass sie eine Position knapp über dem Arm (1) einnimmt, und der Gelenkmechanismus (7) zwei Stifte mit Schraubgewinde aufweist, die in durchgehende Bohrungen eingeschraubt sind, die durch den Vorsprung (70) bzw. das Skalen-Tragteil (5) ausgebildet sind, wobei die Endabschnitte der zwei Stifte einander gegenüberstehen und beide Enden des Gelenkstiftes (71) jeweils mit den Endabschnitten der zwei Stifte mit Schraubgewinde in Eingriff stehen derart, dass er neigbar ist.
  11. Konturenmessgerät nach Anspruch 10, wobei Einsetzpositionen der zwei Stifte mit Schraubgewinde so justiert sind, dass die Position der Skala (60) auf das Zentrum der Skala (60) eingestellt ist, wenn der Arm (1) am Zentrum des Hubs ist.
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