DE19633549A1 - Integrierte Schaltung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine integrierte Schaltung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, d. h. eine inte­ grierte Schaltung mit einer Betriebsartwahl-Leitung, unter Mitwirkung welcher die integrierte Schaltung in eine Test­ und/oder Initialisierungs-Betriebsart versetzbar ist.

Integrierte Schaltungen sind hinsichtlich ihres prinzipiellen Aufbaus und ihrer Funktion allgemein bekannt und bedürfen diesbezüglich keiner näheren Erläuterung.

Das Vorsehen einer Test- und/oder Initialisierungs-Betriebs­ art bei integrierten Schaltungen dient vor allem dazu, die integrierten Schaltungen unmittelbar nach deren Herstellung, vorzugsweise noch vor deren endgültiger Fertigstellung mög­ lichst schnell und einfach testen und/oder darin enthaltene nichtflüchtige Speicher initialisieren zu können.

Die Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart darf dabei jedoch häufig nur auf eine Art und Weise aktivierbar sein, die deren Aktivierung während des "normalen" Betriebes beim späteren Benutzer zuverlässig unterbindet. Andernfalls könn­ ten spätere Benutzer der integrierten Schaltung beispiels­ weise geheime Daten auslesen, den Inhalt der nicht flüchtigen Speicher verändern oder sonstigen Mißbrauch betreiben.

Es ist bekannt, die Aktivierung der Test- und/oder Initiali­ sierungs-Betriebsart jeweils über eine Betriebsartwahl-Lei­ tung der integrierten Schaltung durchzuführen, die vor der Auslieferung an die späteren Benutzer unbrauchbar gemacht (durchtrennt) wird.

Eine mögliche praktische Realisierung einer derartigen Betriebsartwahl-Leitung zur Aktivierung der Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart besteht im Vorsehen eines so­ genannten Sägebügels.

Ein derartiger Sägebügel wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 4 und 5 näher erläutert, von denen die Fig. 4 ausschnittsweise schematisch eine Draufsicht auf eine inte­ grierte Schaltungen enthaltende Halbleiterscheibe (Wafer), und die Fig. 5 eine stark vergrößerte Detailansicht hieraus zeigen.

Auf der Halbleiterscheibe ist, wie insbesondere aus der Fig. 4 ersichtlich ist, eine Vielzahl von integrierten Schaltungen 1 vorgesehen, die im betrachteten Beispiel durch Zersägen der Halbleiterscheibe zu vereinzeln und in Gehäusen, auf Leiter­ platten oder dergleichen unterzubringen sind; die jeweiligen Sägekanäle, längs welcher die Halbleiterscheibe zur Vereinze­ lung der integrierten Schaltungen 1 zu zersägen ist, sind in den Figuren mit dem Bezugszeichen 2 bezeichnet.

Die durch Sägen längs der besagten Sägekanäle 2 vereinzelten integrierten Schaltungen 1 bestehen aus einem Schaltungs­ bereich 11 und einem diesen umgebenden Randbereich 12.

Der Schaltungsbereich 11 wird im betrachteten Beispiel durch einen (auch weglaßbaren) Rahmen 13 begrenzt, der hier in einer sogenannten Metall-Schicht der integrierten Schaltung 1 ausgebildet sein möge. In der besagten Metall-Schicht verlau­ fen normalerweise metallische Leiterbahnen, über welche die Versorgungsspannungen und/oder die Ein- und/oder Ausgangs­ signale der in der integrierten Schaltung enthaltenen Bau­ elemente geführt werden und welche über Durchkontaktierungen mit entsprechenden Anschlußstellen der Bauelemente verbunden sind.

Jede der integrierten Schaltungen 1 weist an ihrer gemäß der Darstellung in den Fig. 4 und 5 rechten Seite einen vor­ stehend bereits erwähnten Sägebügel 3 auf. Die jeweiligen Sägebügel sind schleifenförmig ausgebildete Strukturen, die im betrachteten Beispiel unter dem Rahmen 13 hindurch aus dem Schaltungsbereich 11 kommend den Randbereich 12 durchqueren und sich bis deutlich jenseits des jeweils zugeordneten Säge­ kanals 2 erstrecken.

Die Sägebügel 3 sind im betrachteten Beispiel in einer so­ genannten Poly-Schicht der integrierten Schaltung ausgebil­ det. Die besagte Poly-Schicht weist bekanntermaßen lokal Strukturen aus (elektrisch leitendem) Polysilizium auf, die sonst insbesondere zur Ausbildung der Gateabschnitte der in der integrierten Schaltung enthaltenen Transistoren vorgese­ hen werden.

Nimmt man die jeweiligen integrierten Schaltungen 1 in dem in der Fig. 4 gezeigten, d. h. nicht vereinzelten Zustand zu Test- und/oder Initialisierungszwecken in Betrieb, so können sich die integrierten Schaltungen 1 über die jeweiligen Säge­ bügel 3 jeweils automatisch selbständig in die Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart versetzen. Dies ist dadurch be­ werkstelligbar, daß über den einen der Schenkel der jeweili­ gen Sägebügel eine zur Aktivierung der Test- und/oder Initia­ lisierungs-Betriebsart geeignete Spannung (oder ein dafür ge­ eigneter Spannungsverlauf) aus der integrierten Schaltung ausgegeben und über den anderen der Schenkel in einen ent­ sprechenden (Betriebsartwahl-) Eingang der integrierten Schal­ tung eingegeben wird. Alternativ kann vorgesehen werden, daß der Sägebügel die integrierte Schaltung nicht selbständig automatisch in die Test- und/oder Initialisierungs-Betriebs­ art versetzt, sondern dessen (unversehrtes) Vorhandensein "nur" eine notwendige Voraussetzung ist, um die integrierte Schaltung in die Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart versetzen zu können.

Da es die Ausbildung der Betriebsartwahl-Leitung als Säge­ bügel 3 ermöglicht, daß sich die integrierte Schaltung selbst in die Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart versetzt, wird der Sägebügel 3 nachfolgend teilweise auch verallgemei­ nert als Selbstaktivierungs-Leitung bezeichnet.

Zersägt man den Wafer, um die darauf vorgesehenen integrier­ ten Schaltungen 1 ihrer bestimmungsgemäßen Verwendung zuzu­ führen, so werden dadurch, wie aus den Fig. 4 und 5 deut­ lich ersichtlich ist, gleichzeitig auch die Sägebügel 3, ge­ nauer gesagt deren Schenkel aufgetrennt, was seinerseits wie­ derum erkennbar zur Folge hat, daß sich die integrierte Schaltung nicht mehr ohne weiteres in die Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart versetzen läßt.

Findet ein Benutzer jedoch eine Möglichkeit, die durch den Randbereich 12 der integrierten Schaltung verlaufenden Schen­ kelabschnitte des ehemaligen Sägebügels 3 miteinander zu ver­ binden, so erlangt er dadurch die Möglichkeit, die inte­ grierte Schaltung zu Mißbrauchszwecken in deren Test­ und/oder Initialisierungs-Betriebsart zu versetzen.

Zur Vermeidung dessen kann beispielsweise vorgesehen werden, in unmittelbarer Nähe des Sägebügels 3 weitere Leitungen oder Strukturen vorzusehen, die, weil sie beispielsweise wichtige Bestandteile der integrierten Schaltung darstellen, nicht zerstört werden dürfen.

Ein derartiges Vorgehen bringt jedoch den Nachteil mit sich, daß bis sehr nahe an die jeweiligen Sägekanäle Leitungen und/oder Strukturen vorgesehen werden müssen, die durch das Zersägen nicht zerstört werden dürfen.

Anstelle der Sägebügel, welche, wie vorstehend bereits er­ wähnt, einen Ausgangsanschluß der integrierten Schaltung mit einem Eingangsanschluß derselben verbinden, können auch Betriebsartwahl-Leitungen in Form von nachfolgend als Fremdaktivierungs-Leitungen bezeichneten Leitungen vorgesehen werden, welche, wie der Name schon andeutet, "nur" einen Ein­ gangsanschluß der integrierten Schaltung repräsentieren und von außen (beispielsweise durch die Prüf- und/oder Initiali­ sierungsvorrichtung) mit einer vorbestimmten Aktivierungs­ spannung oder einem vorbestimmten Aktivierungsspannungs­ verlauf beaufschlagt werden müssen, um das Umschalten der integrierten Schaltung in deren Test- und/oder Initialisie­ rungs-Betriebsart zu veranlassen oder zu ermöglichen. Diese Fremdaktivierungs-Leitungen, deren Aufbau abgesehen von dem erwähnten Unterschied in etwa dem zuvor beschriebenen Aufbau der Sägebügel entspricht, können bei Bedarf, also nach dem Testen und/oder Initialisieren der integrierten Schaltung ähnlich wie die zuvor beschriebenen Sägebügel ebenfalls unterbrochen werden, wobei das Unterbrechen hier jedoch nicht nur durch Zersägen, sondern alternativ oder zusätzlich auch durch ein Durchbrennen mit hohem Strom oder dergleichen be­ werkstelligt werden kann. Dies hat ähnlich wie das Auftrennen des Sägebügels zur Folge, daß sich die integrierte Schaltung nicht mehr ohne weiteres in die Test- und/oder Initialisie­ rungs-Betriebsart versetzen läßt.

Auch hier kann als zusätzliche Absicherung vorgesehen werden, in unmittelbarer Nähe der Fremdaktivierungs-Leitung weitere Leitungen oder Strukturen vorzusehen, die nicht zerstört wer­ den dürfen. Der zuvor bereits erwähnte Nachteil, daß bis sehr nahe an den Sägekanal Leitungen und/oder Strukturen vorgese­ hen werden müssen, die durch das Zersägen oder anderweitige Auftrennen der Leitung nicht zerstört werden dürfen, ist je­ doch auch hier nicht oder allenfalls mit einem sehr hohen Aufwand zu vermeiden.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die integrierte Schaltung gemäß dem Oberbegriff des Patent­ anspruchs 1 derart weiterzubilden, daß ein unbefugter, die integrierte Schaltung in die Test- und/oder Initialisierungs-Be­ triebsart versetzender Zugriff auf die Betriebsart­ wahl-Leitung auf einfache Weise zuverlässig verhinderbar ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnen­ den Teil des Patentanspruchs 1 beanspruchten Merkmale gelöst.

Demnach ist vorgesehen, daß oberhalb der Betriebsart­ wahl-Leitung eine diese zumindest teilweise bedeckende, elektrisch leitende Schutzschicht vorgesehen ist.

Versucht man nun, die Betriebsartwahl-Leitung von oben her zu kontaktieren, um Teile derselben miteinander zu verbinden oder mit einer bestimmten Spannung oder einem bestimmten Spannungsverlauf zu beaufschlagen, so kommt damit unaus­ weichlich eine elektrische Verbindung zwischen der zu kon­ taktierenden Betriebsartwahl-Leitung und der oberhalb der­ selben verlaufenden elektrisch leitenden Schutzschicht zu­ stande, wodurch die Betriebsartwahl-Leitung mit einer eine Aktivierung der Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart ausschließenden Spannung beaufschlagbar ist.

Das Vorsehen der elektrisch leitenden Schutzschicht oberhalb der Betriebsartwahl-Leitung ermöglicht es damit auf verblüf­ fend einfache Weise, daß ein unbefugter, die integrierte Schaltung in die Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart versetzender Zugriff auf die Betriebsartwahl-Leitung zuver­ lässig verhinderbar ist.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispie­ len unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Draufsicht auf einen eine Betriebsartwahl-Leitung enthaltenden Ab­ schnitt einer erfindungsgemäß ausgebildeten inte­ grierten Schaltung,

Fig. 2 eine Schnittansicht längs der Linie A-B in Fig. 1,

Fig. 3 eine Schnittansicht längs der Linie A-B in Fig. 1, wobei jedoch hier die Schenkel eines Kontaktbügels von oben her kontaktiert und miteinander verbunden sind.

Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Draufsicht auf eine herkömmliche integrierte Schaltungen enthaltende Halbleiterscheibe, und

Fig. 5 eine schematische Darstellung einer Draufsicht auf einen eine Betriebsartwahl-Leitung enthaltenden Ab­ schnitt einer herkömmlichen integrierten Schaltung.

Die nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3 be­ schriebene erfindungsgemäße integrierte Schaltung weist im Unterschied zu den herkömmlichen integrierten Schaltungen eine über die Betriebsartwahl-Leitung hinweg verlaufende elektrisch leitende Schutzschicht auf. Die Betriebsart­ wahl-Leitung kann dabei jedoch nach wie vor als Sägebügel (Selbstaktivierungs-Leitung) oder als Fremdaktivier­ ungs-Leitung, aber auch auf beliebige andere Weise ausgebildet sein.

Die Herstellung der erfindungsgemäßen integrierten Schaltung erfolgt - abgesehen von den zur Herstellung der besagten Schutzschicht zusätzlich erforderlichen Maßnahmen - auf die selbe Art und Weise wie es bei herkömmlichen integrierten Schaltungen der Fall ist.

Soweit in den Fig. 1 bis 3 die selben Bezugszeichen wie in den Fig. 4 und 5 verwendet werden, bezeichnen sie - sofern nicht ausdrücklich etwas Gegenteiliges erwähnt wird - gleiche oder zumindest einander entsprechende Elemente.

Es wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3 die erfindungsgemäße Ausbildung einer einen Sägebügel als Betriebsartwahl-Leitung aufweisenden integrierten Schaltung beschrieben. Es sei jedoch bereits an dieser Stelle darauf hingewiesen, daß die damit im Zusammenhang stehenden Ausfüh­ rungen auch für integrierte Schaltungen mit anderen Betriebs­ artwahl-Leitungen wie beispielsweise anders ausgebildeten Selbstaktivierungs-Leitungen oder Fremdaktivierungs-Leitungen jeder Art entsprechend Gültigkeit haben.

Die Fig. 1 ist eine schematische Darstellung des den Säge­ bügel enthaltenden Abschnittes einer erfindungsgemäß ausge­ bildeten integrierten Schaltung; die in der Fig. 1 gezeigte Darstellung entspricht hinsichtlich des gezeigten Ausschnit­ tes und der Darstellungsweise der in der Fig. 5 gezeigten Darstellung der eingangs beschriebenen herkömmlichen inte­ grierten Schaltung und erlaubt daher eine vergleichende Gegenüberstellung.

Die erfindungsgemäße integrierte Schaltung weist einen von einem (nicht unbedingt erforderlichen) Rahmen 13 begrenzten Schaltungsbereich 11, einen den Schaltungsbereich 11 umgeben­ den Randbereich 12, und einen sich von innerhalb des Schal­ tungsbereiches 11 über den Randbereich 12 bis deutlich jen­ seits eines Sägekanals 2 erstreckenden, als Leitungsschleife ausgebildeten Sägebügel 3 auf. Bezüglich des Aufbaus, der Funktion und der Wirkungsweise dieser Elemente besteht zwar nicht vollständig, aber doch relativ weitgehend Übereinstim­ mung mit den entsprechenden Elementen der eingangs beschrie­ benen herkömmlichen integrierten Schaltung, so daß hinsicht­ lich weiterer Einzelheiten zunächst auf die dortigen Ausfüh­ rungen verwiesen werden kann.

Die innerhalb des Randbereiches 12 verlaufenden Abschnitte und teilweise auch die durch den Sägekanal 2 verlaufenden Abschnitte des Sägebügels 3 sind wie in den Fig. 1 bis 3 gezeigt durch eine elektrisch leitende Schutzschicht 4 abge­ deckt.

Entgegen der Darstellung in den Figuren muß es sich bei der Schutzschicht 4 weder um eine einzige zusammenhängende Schutzschicht noch um eine den Sägebügel 3 lückenlos ab­ deckende Schutzschicht handeln. Wie aus der späteren Be­ schreibung der Funktion der Schutzschicht 4 noch besser ver­ standen werden wird, ist für die Gestaltung der Schutzschicht 4 vor allem von Bedeutung, daß die auf der integrierten Schaltung nach deren Vereinzeln verbleibenden Sägebügel­ abschnitte nicht ohne gleichzeitige Kontaktierung der (mit einer vorbestimmten Spannung beaufschlagten) Schutzschicht 4 kontaktierbar sind.

Die Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung des Schicht­ aufbaus der integrierten Schaltung im Bereich der Schutz­ schicht 4, genauer gesagt einen Querschnitt längs der Linie A-B in Fig. 1.

Wie aus der Fig. 2 ersichtlich ist, ist zuunterst ein die integrierte Schaltung tragendes Trägerelement in Form eines aus Halbleitermaterial bestehenden Substrats 15 vorgesehen. In und/oder auf dem Substrat 15 sind die in der integrierten Schaltung enthaltenen Bauelemente ausgebildet. Der in der Fig. 2 dargestellte Ausschnitt der integrierten Schaltung ist jedoch, da es sich um den außerhalb des Schaltungsbereiches 11 liegenden Randbereich 12 derselben handelt, frei von Bau­ elementen.

Das Substrat 15 ist von einer beispielsweise aus Siliziumoxid bestehenden Isolierschicht 16 bedeckt, in welche der Säge­ bügel 3 und die Schutzschicht 4 beispielsweise wie in der Fig. 2 gezeigt eingebettet sind.

Der Sägebügel 3 ist im betrachteten Beispiel wiederum als Polysiliziumstruktur in einer Poly-Schicht, genauer gesagt in einer substratnah liegenden Poly-1-Schicht realisiert. Hierauf besteht jedoch keine Einschränkung. Der Sägebügel 3 kann grundsätzlich auch in jeder beliebigen anderen elektrisch leitfähigen Schicht, beispielsweise in einer Metall-Schicht ausgebildet sein; vorteilhaft ist es jedoch, wenn der Säge­ bügel 3 möglichst substratnah (tiefliegend) angeordnet ist, denn dann gestaltet sich dessen nachträgliche Kontaktierung von außen als besonders schwierig.

Die oberhalb des Sägebügels 3 verlaufende Schutzschicht 4, ist im betrachteten Beispiel ebenfalls als Polysilizium­ struktur in einer Poly-Schicht, genauer gesagt in einer substratfern (weiter oben) liegenden Poly-2-Schicht reali­ siert. Auch hierauf besteht jedoch keine Einschränkung. Die Schutzschicht 4 kann grundsätzlich auch in jeder beliebigen anderen oberhalb des Sägebügels anordenbaren elektrisch leit­ fähigen Schicht, beispielsweise in einer Metall-Schicht aus­ gebildet sein; vorteilhaft ist es jedoch, wenn die Schutz­ schicht 4 relativ knapp oberhalb des Sägebügels 3 verläuft.

Zwischen den den Sägebügel 3 und den die Schutzschicht 4 bil­ denden Strukturen ist eine Schicht aus dem zuvor bereits erwähnten Isoliermaterial 16 vorgesehen.

Wenn und so lange die auf einer Halbleiterscheibe nebeneinan­ der und übereinander vorgesehenen integrierten Schaltungen noch nicht vereinzelt, genauer gesagt noch nicht zersägt sind, kann die integrierte Schaltung bestimmungsgemäß in die Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart versetzt werden.

Durch das Zersägen längs der Sägekanäle 2 wird der Sägebügel 3, wie aus der Fig. 1 deutlich erkennbar ist, aufgetrennt. Dies hat zur Folge, daß sich die integrierte Schaltung nicht mehr bestimmungsgemäß in die Test- und/oder Initialisierungs-Be­ triebsart versetzen läßt.

Die Aktivierung der Test- und/oder Initialisierungs-Betriebs­ art kann in diesem Zustand, wenn überhaupt, nur mehr dadurch erfolgen, daß die auf der integrierten Schaltung nach deren Vereinzeln verbliebenen Sägebügelabschnitte (Schenkel) von oben her kontaktiert und miteinander verbunden werden.

Dieser Zustand ist in Fig. 3 veranschaulicht. Dort ist eine der Fig. 2 entsprechende Querschnittsansicht der integrier­ ten Schaltung gezeigt, wobei hier jedoch die Schenkel des Sägebügels (durch Unbefugte) von oben her kontaktiert und miteinander verbunden sind.

Die Kontaktierung der Schenkel des Sägebügels 3 von oben muß ähnlich wie die Herstellung der sogenannten Durchkontaktie­ rungen erfolgen. Demnach ist es hierzu erforderlich, die die Schenkel bedeckenden Schichten lokal zu entfernen und die da­ durch gebildeten, vorzugsweise trichterförmigen Öffnungen mit metallischem Material, beispielsweise Wolfram aufzufüllen. Derartige, auf die beschriebene oder sonstige Weise gebildete Kontaktelemente, die in der Fig. 3 mit dem Bezugszeichen 21 bezeichnet sind, können durch ein beispielsweise entlang der Oberfläche der integrierten Schaltung verlaufendes Verbin­ dungselement 22 verbunden werden, wodurch im Ergebnis auch die durch die Kontaktelemente 21 kontaktierten Schenkel des ehemaligen Sägebügels 3 elektrisch miteinander verbunden werden.

Wäre nicht die Schutzschicht 4 vorgesehen, deren Funktion und Wirkungsweise nachfolgend noch genauer beschrieben wird, so könnte die derart oder ähnlich manipulierte integrierte Schaltung unter Umständen unbefugt in die Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart versetzt werden.

Dies ist jedoch, wie aus den folgenden Erläuterungen hervor­ geht, durch die Schutzschicht 4 zuverlässig verhinderbar.

Die Anordnung der Schutzschicht 4 über den Schenkeln des ehe­ maligen Sägebügels 3 bringt es nämlich mit sich, daß die Kon­ taktelemente 21 bei der Kontaktierung der besagten Schenkel nicht nur mit diesen, sondern automatisch auch mit der Schutzschicht 4 in Kontakt kommen. D.h., die Schenkel werden durch eine wie in der Fig. 3 gezeigte Überbrückung nicht nur miteinander, sondern gleichzeitig auch mit der Schutzschicht 4 verbunden.

Die Schutzschicht 4 ist, wie vorstehend bereits erwähnt, aus elektrisch leitendem Material gebildet. Beaufschlagt man die Schutzschicht daher mit einer zur Aktivierung der Test­ und/oder Initialisierungs-Betriebsart ungeeigneten Spannung, so werden auch die Schenkel des ehemaligen Sägebügels 3 damit beaufschlagt bzw. auf dieses Potential gezogen. Dies wiederum hat zur Folge, daß der eine der Schenkel des ehemaligen Säge­ bügels nicht über den anderen der Schenkel mit einer zur Aktivierung der Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart geeigneten Spannung versorgt werden kann.

Die Spannung, mit welcher die Schutzschicht 4 zur Erfüllung der ihr zugedachten Aufgabe zu beaufschlagen ist, hängt von der Spannung ab, mit welcher der Sägebügel 3 zur Aktivierung der Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart beaufschlagt sein muß. Die Spannung, mit welcher die Schutzschicht 4 zu beaufschlagen ist, ist vorzugsweise eine der Aktivierung der Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart entgegenwirkende Spannung, also beispielsweise 0 V für den Fall, daß die Test­ und/oder Initialisierungs-Betriebsart bei bzw. durch +5 V aktivierbar ist oder +5 V für den Fall, daß die Test­ und/oder Initialisierungs-Betriebsart bei bzw. durch 0 V aktivierbar ist.

Zur Beaufschlagung der Schutzschicht 4 mit einer zur Aktivie­ rung der Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart ungeeig­ neten Spannung weist diese einen in der Fig. 1 gezeigten Fortsatz 5 auf, der sich in den Schaltungsbereich 11 der integrierten Schaltung hinein erstreckt und dort zu einer Anschlußstelle verläuft, über welche er mit einer die besagte Spannung bereitstellenden Spannungsquelle verbunden ist. Der Innenwiderstand der Spannungsquelle und der Widerstand der Schutzschicht sind so niederohmig, daß die Schenkel des ehe­ maligen Sägebügels weitgehend unabhängig von der an diese angelegten Spannung auf das Potential der Schutzschicht gezo­ gen werden.

Die Schutzschicht 4 erstreckt sich, wie aus der Fig. 1 er­ sichtlich ist, nur in einem sehr geringen Umfang in den Säge­ kanal 2 hinein. Dadurch ist es relativ einfach möglich, den Sägebügel 2 vor dem Zersägen entlang des Sägekanals mittels eines Laserstrahls oder dergleichen aufzutrennen. Eine derar­ tige Vorab-Auftrennung des Sägebügels kann insbesondere dann von Interesse sein, wenn die integrierten Schaltungen unzer­ sägt, also auf der Halbleiterscheibe an den Auftraggeber zur dortigen Weiterverarbeitung ausgeliefert werden.

Selbstverständlich ist es auch möglich, daß die Schutzschicht den Sägekanal in dessen voller Breite überquert.

Entscheidend ist jedoch, daß die auf der integrierten Schal­ tung nach deren Vereinzeln verbleibenden Sägebügelabschnitte bzw. - allgemein ausgedrückt - Betriebsartwahl-Leitungs­ abschnitte durch die Schutzschicht 4 so umfassend bedeckt sind, daß eine Kontaktierung der Betriebsartwahl-Leitungs­ abschnitte ohne gleichzeitige Kontaktierung der Schutzschicht ausgeschlossen ist.

Claims (8)

1. Integrierte Schaltung (1) mit einer Betriebsart­ wahl-Leitung (3), unter Mitwirkung welcher die integrierte Schal­ tung in eine Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart versetzbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß oberhalb der Betriebsartwahl-Leitung eine diese zumindest teilweise bedeckende, elektrisch leitende Schutzschicht (4) vorgesehen ist.

2. Integrierte Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Betriebsartwahl-Leitung (3) als eine nahe einem Substrat (15) liegende Polysiliziumstruktur ausgebildet ist.

3. Integrierte Schaltung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (4) als eine oberhalb der Betriebsart­ wahl-Leitung (3) verlaufende Polysiliziumstruktur ausgebildet ist.

4. Integrierte Schaltung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Betriebsartwahl-Leitung (3) und die Schutzschicht (4) durch mindestens eine Isolierschicht (16) voneinander ge­ trennt sind.

5. Integrierte Schaltung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (4) im noch nicht vereinzelten Zustand der auf einer Halbleiterscheibe zusammen mit einer Vielzahl weiterer integrierter Schaltungen vorgesehenen integrierten Schaltung (1) sich zumindest teilweise über einen Sägekanal (2) hinweg erstreckt, längs welchem die Halbleiterscheibe zum Zwecke der Vereinzelung der integrierten Schaltungen zersägt wird.

6. Integrierte Schaltung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (4) derart oberhalb der Betriebsart­ wahl-Leitung (3) angeordnet und/oder strukturiert ist, daß die Betriebsartwahl-Leitung im vereinzelten Zustand der inte­ grierten Schaltung (1) nicht ohne gleichzeitige Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen der Betriebsart­ wahl-Leitung und der Schutzschicht von außen her kontaktierbar ist.

7. Integrierte Schaltung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (4) mit einer Spannungsquelle verbunden ist, durch welche die Schutzschicht mit einer Spannung beauf­ schlagt wird, die für eine Aktivierung der Test- und/oder Initialisierungs-Betriebsart ungeeignet ist.

8. Integrierte Schaltung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannungsquelle und die Schutzschicht (4) derart aus­ gebildet sind, daß die Betriebsartwahl-Leitung (3) im Falle einer elektrischen Verbindung mit der Schutzschicht zumindest näherungsweise auf das elektrische Potential der Schutz­ schicht gezogen wird.