DE1958458U

DE1958458U - Vorrichtung mit gatterartig angeordneten schneideblaettern zum trennen von fertigen halbleiterscheiben.

Info

Publication number: DE1958458U
Application number: DE1966L0043487
Authority: DE
Original assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Current assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Priority date: 1966-11-22
Filing date: 1966-11-22
Publication date: 1967-04-06

Description

27122 22.11.

W1G5 GH

t sieii auf aia©

mater ¥erw@ad.tuag.

Se&laifmii

B©r Sw©ek .d@r 1©β©ϊ?ϊιώ§ fe©§teht ia daria.

voa wiasigea

ait Q

mit ©lass» Hetallsehielif ii

,g iroa gat-

blatt wird

in d@r ¥©is©

iroa 30

daß das S

ak©! mittels

Palates voa Biamast8ag©lblatt<§OT wird β Saek diesem ¥©r£ata©n tergeatellt© SiIi-

bei
,_e k©ia© ausgesgsisageaea-

Is koaiiea- damit wnigsfcsas di© Sachteil© ¥©rmi©d@n wea?

foaft@&.o Xasbesoadere bat Ültaas©hallse3arägsehnltt©& werden die Siiielsnasölteibea leicht beschädigt«

Will mas ©ο

das Sclarägs größte Sail d©r Hamptflaeü

anauw^ndea, b@£ dem ₉ da mit e aiaf der

und die Bs

ve

das aag©©pda©töa

inindiaiif@aden

mit ?orffieatuag@a gaarbtitet^ wIt& «ad die gattarartig aioht als Ia?eis@ea©ibsa' m.t bildet si ad, s@ad©ra bei

mit plaasa Seha@id©kaat©a hergestellt uad aach §att@2»s la

beim Seaa©id©a d©s

la

der Seaa wird»

aat©a des? Blat

imd

. ■ ■ ■- 5 - 4V105 QM

Is i©t 4©<3.©eli nicht möglieh„mit einer derartigen, forrieh-Bilieiiuablitteheia iron s©to geringer lantenllnge mit der gewüssehtea Prägsieioa anasatis©to©id©a«, Sham ©laen ist &i©s nicht möglieh,, weil die Seha©idekaat©a der Blatt-©!¹¹ nißht exakt genug la <sln©r Eb©a© versohobea wenden kennen vmä sim aad@r©n deshalb ai©2rö_s ·¥©!! dl© Seimeideblätt©!¹, obifoM sie aus Hartmesaiag ge~ fdrtr&gt SiSd₀ gleis. §©&©& beim liaspaaaaa la die Haltevorrichtung ¥@rMltiiismäßig leicht verbiegen w.ü. ¥@ni@rfen ^md damit die Schnitt® versehleehtern,) iasbesanaere unregelmäßig verbreitern»

Im übriges- m&B b@im Arbeiten mit dieser ¥orriehttsag das-

gefüllt ti©3?d©a_s damit @s dl© S©ha©idfeaat©a wlteeaa d@s Sch-aeidens

festgestellt₉ daß eia gleiehmäßiges B©- über d©s> FläeM© d@r SelmeidlESatea infolge iaQ.geEüg©ad@a ¥@3?t©il@2s© d©e Schleifmittels ai©ht inner g©si©feej?t ist*· Feraer ist da® S©to®id©'a Mt Hilf® dieser ¥orri©htung ©äa verhältaaismäßig laagseltiges¹ iz'beitsvörgaago

Bi© !©uemxag eraSglieht es_} wie ©isgaags seSioa erwähnt _ft ©iae ?orricktimg fo@i der gatterartig angeordnete streifeaförmi"· g@ Schneideblätter "verwendet werden, so aufgubauea^ daß daait daa Ätasseha@id.@n. von winsigea quadratischen Halbleitertilättehea aus fertigen Hai"bl@it;©rs©li©ife@s. gratfrei «ad aiit h.®h.©& Sehaittpräsieioa ffiSglieh WiTd₀ und auch die v©raagehend erwähnten Haag©! feeseitigt, werden»

ist₉ die

di© S©ftn©id©bläfct©;r aus

r aa swei ia Abstand par lieg@ad©a längliches, Iiag@rfelielbis©a befestigt angepaßt©® Gleitmittel lings sw@i@r par■mit ©iaem dariiberlieggsdesa ¥or^atsgafäß für das Sleitanitt©! fest iisdj daß d©2? Sa&aeidgwttsäger ©fotnfall© aa awei !La-"befestigt ist_§ die läags sweier weiterer parallel

_ fcvf? · sm d©a IFuiisiaXigssaial^a für

νάν^Λ» C»3t^»JLfütj^feif yiv.M ₁ >r* &3?<Ü3^» si ti ^ä> V x£p J* *■? V^ *Λ A w «JfiytöMt ^l eöaA&VV 4iS*tAW> νί*ί!ΛΑϊ! cb fe»»4» αΛ«^*ϊ

all© 3FütamgS3äi£l@& ir@a siaem Gestell getragen werdea»

wird di® leienmg siisamm©a mit iteer pralcti™ tnag auTQh, ©ia lmsfüteuQgsl3©ispi©l ©a Haad der

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g©2? B.U& Chsj3©i3©a₉ der -©is© geeignet©

ist eine härtbare und wieder 15s"bare, ο Si© wird als dünn® Schicht auf

©ine? Metallplatte 12 etwa durch ©in Klebe«

ist«, Bi © Stetallplatt© 12 ist in ©in©ai irä-

₅ ia

di® ©iagespauat© Metallplatte 12 am©g©spanat mad sofür das 8elia@id©n is d@3? anderen Eichtissg vm 90° gedreht 13 wieder ©iagespas&t

frag©!? 13 ist mit swei parallel sTOinasdar ten Xtage^fcuchsea 16 fest verbunden;, -die längs »i©ier paralleler

3Q ia geaau ssakiiecli^er Siehtuag sar Hiektmag d©r 3 für des S^äg©i? 22 der SehaeideblEtter 2 glei- ' t©ad ir©3?s©M,©'b'bas^> siscU Baa SehB©id©gut 1 auf d©m üräges 1J wiied duffch aw@i Gewichte 1?_? di© übtr ©ia Seil-18'und ©iae ümle^kr&l·- Ie 19 s® den-. LagerMehsen 16' seitlich angr©ifea und dies® nach ö"b©a ¥©ffschi©b©a₉ mit feeastaatsm Bs=IiQk ©täadig gegen die Eaat@'a 21 usad dis Söiaaeidebliitites? 2 gehalten»

Di® "beiden eswälaatea 33? dl® mit des Gestell 32 dar

5^ milsea la einer Ken- ?02?riektuag verbunden ist«

■- 6

Die.Bohrung-der Lagerbüchsen 16 uBd 25 wsd das Profil der ITührangssäules 54 nad 3 sind vorzugsweise kreiszylindrlseh aus τ geführt_o Sie-, können als massige Zyliaderstengexi aus Stahl gefertigt s©ia_e

Das Gleitmittel aw&schen der Bohrungswand d©x> Lagerbüchsen, und der · Hant?©lf läehe der Führaagseäuien ist als sogenannte Kugölführung-ausgeMIdato Biese Eagelfiakruas ■besteht ans eiser Anaahl voa teeiaföraigea Eugelkäfigea 15 imd 25₅ die gleichmäßig- ubQT di© Läng© der. Bohrungen der Lagerbüchsen 16 und 23 ir@rtei.lt und aa.desi Stirnflächen 24 dieser Büeli§©a ireran&e.vfe sind«

Bi© rom dea Lagerbüchsen nicht bad©efet»©n fSanfcelfläeheateile d@r Säniea 3_t die die Ifersehiebungsbewogsäng der Schneid©«=· blätter 2 fülar©a_? %ir@2?a©a v©a irier h©rm©tiseh abdichtenden

· Bi©s© AMi-@htimg;@n v©rhiadern₀ daß di© , di© &vl@ eia©® Tors^atsgefäS 4- voa ©*b©a d©a Sehl© gut 1 sug© führt wird j ai^f die führungseäuleB 3 wsd damit la die isen 23 gel?

Bis .Scha©id&ant©n 21. dar dünaea Seto©id@blltt@3? 2- aus le«? derstafel siad plan land r^ehtwiaklig gi» Selmeide'baB® g©aalt©a. Diese Schneidkanten sowie aneh der sinter® feil d©^ Seitenflächen 28 des» Schneideblätter 2 i4©i»a@s b©im Schleifen d©s @iat©a ' dmreh das Schleifmittel, das-aia© dem .¥orratsg@fäß ^'auerst auf das.Sate©idgut 1 gelangt, gl@i©liiaäßig b@&©tgt„ da das-Schleifmitt©l infolge der Hia- und'Herbeweguag d@©Torratsg©fäß©g 4

auefc

Sehaeidsblätter 2 vor-

56 Ia \

&%> '13 befestigt ißt imd die ab'deelEt, gegaamslt «ad -duseli'eiB.

fräger 22 während iodisöii hin·» und Getriebe 52 und eine Der Motor 5

an

die la

reg

ai

Lge

gfe_o Bs ist 2* md

imd daß' b@i dieser

iasbesonde Schleifen

mit

44/iO5 βΜ

di©

g n dea

und des- Glasplatt© venaisdea- wird«, Bi© Stärke düaaer f®derstalilstr©if©B. steeut -b@kaäatlieli ntas? inaeiiialb weniger 1/100 ii«, Beim Einsetsea dieser Streifen la &©m feiger

©ά©ι»

8 Seiten
12

Claims

RArB027122 22.11.

»© ₀ m _β b

1o) ¥offffiehtwng salt gattesartig aag@©^da©t@a Sehaeid@blät-

s@ieto@t_s daß g©keaa-2) aus düsaem Federstabi

(22) befestigt ist, di© über

eia ©ng aag©paS' aageordaeter Kite' darü

des ■ daß getragen xirer-

des»

daß das

SeSm@idkaa.tea di© nb®T ©ia

wätoesid de© Se

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f©S?«

d@a

ÖM

(16) d©s Seäaeldgutörägere (15) angreifen^ mit; &oa$taa~

tem Bs*ß@Fs geg@a di©se g©halt©n wird«.

Aaspraoh 1_B dactaeli ge&enaselehoet,

^ad 16) rad die IHS

daß d£® Boteiaag der ( 3 mad

daß da© "Gleitssittel als

₉ - dadtireh aiass©Tbild©t ist

a@t_s daß die Imgelitltaäng diarola Eugel&lfig© (15 vmä 25)» übe? der· Läag© eiaer Bo&i^ng gleichmäßig ¥@rt®ilt ang@ordn@1;

die Tü blätt©3? (2)

di©liteadea ©mamifeälgea (37) «mgöben

(3) für den Sräg@r (22) der Sehnsid'©- der Iiagerbüehaea (23)- "^©a hermetisch ab»

7o) Forriclituns naeä Aasp^^eh 1, dadisreh daß di© Fü&simgesäjxl®s3L (3' isad

8_e) ToETielitraag m&oä
daß die SciJa©idkaat©a (21) d©r ScteeideMätter (2) plan w&ä

9c)

das Sekaeidgmt (1) sxii eia@r ölasplatt© (.11) mad die Glasplatte

He^allplatte (12) ©la reversible© Helbaisittel befestigt ±s& w&ä die HstaXl-

platt© (12) in aia©m'fcäg©r (13) sas !©tall ein«· und auaspann-

daB die

(2) a längs d@s· S

des S©&l@ifsai§tels aus dem To?i»atsg©fäß (4)

iit au dea S©2msid©b2,ät-Spalte (41) ©rf©Igt _{ die eiteateanfeen (2(4) d©r Selmeideblätteir (2) bis

udä 1₉ dadnareli g, daß des? Motor (5)₅ d©r dl© Lag©2?büelisea (23) fü2? dea fräser (2< Sebaeideblätte^ (2) ia bekao&tes» I-feis© per-iodissk hia

12.

daB amf Seit© ©in© Έα>χια&£

(55) aa des· d@m ®