DE1956217B2

DE1956217B2 - Verfahren zur herstellung eines magnetkopfes

Info

Publication number: DE1956217B2
Application number: DE19691956217
Authority: DE
Inventors: Yo Kumtachi Tamura Teizo Katsuta Hashimoto Nonkazu Hachioji Sakurai, (Japan)
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1968-11-08
Filing date: 1969-11-07
Publication date: 1973-04-26
Also published as: US3656229A; NL148171B; DE1956217C3; DE1956217A1; NL6916827A

Description

ten Klebers verbindet.

Typische Beispiele von herkömmlich angewendeten Verfahren zum Herstellen von Kopfspaltteilen Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur 50 sind folgende:

Herstellung eines Magnetkopfes unter Verwendung _χ _{Eme Foüe aus einem} nichtmagnetischen Stoff,

einer Kopfspitze mit einem Kopfspalt, dessen Breite · _{w{e z ß Titan>} ße-Cu-Legierung oder Glimmer,

mittels eines aus einem nichtmagnetischen Oxydfilm _dje ^ _{def gewunsc}hten Spaltbreite entspre-

bestehenden Abstandsstückes eingestellt wird, bei chende Dicke hat wird zwischen zwei dünnen

dem ein Ferritstreifen gewünschter Form auf der 55 streifen aus magnetischen Stoffen eingefügt, und Oberfläche ausreichend glatt poliert wird und man , erhaltene Verbund wird mittels Glas zu-

aus der Gasphase den nichtmagnetischen Oxydfilm sammengeschmolzen.

auf dem Ferritstreifen niederschlagt, worauf der den . ° , _e„,:_5r._„i,*-„ c^ait

Oxydfilm tragende Ferritstreifen unter Verwendung 2. Eine Glasfolie nut einer der gewünschtenι Spalteines Glasklebers mit einem anderen Ferritstreifen 60 breite entsprechenden Dicke wird zwischen zwe, verbunden wird, wobei der nichtmagnetische Oxyd- dünnen Streifen aus "^^f" Stoffen em-

film zwischen diesen liegt. Ein solcher Magnetkopf gefügt, und der erhaltene ^Verbu^wd furch

wird in Magnetspeicherleräten, einschließlich Spei- Erhitzen auf *\*™^^m&™^^™J™

chergeräten für elektronische Rechenmaschinen Glases unter mechanischem Druck zusammen-

u. dgl. verwendet, und bei der Erfindung geht es ins- 6₅ geschmolzen.

besondere um die Verbesserung des Aufbaues des 3. Ein Metallhalogenid od. dgl. eines nichtmagne-

Kopfspaltteils eines solchen Magnetkopfes. tischen Stoffes wird auf die Oberfläche eines

Im Zuge der Entwicklung von Magnetspeicher- dünnen Streifens aus magnetischem Stoff aufge-

bracht; der Überzug wird durch Erhitzen oxydiert, um den Überzug in ein nichtmagnetisches Oxyd umzuwandeln, und anschließend wird ein anderer dünner Streifen aus magnetischem Stoff auf dem so behandelten Überzug angebracht

4. Eine nichtmagnetische üxydscbicht wird auf einer spaltbildenden Oberfläche einer Kemhälfte nach einem üblichen Aufdampfverfahren, wie Vakuumaufdampfung oder Aufstäubung erzeugt

5. Nach »IBM Technical Disclosure Bulletin« VoL 8, Nr. 3, August 1965, S. 342/343, stäubt man Platin in einer Vakuumkammer unter Verwendung von Argon als Trägergas auf.

Als das genannte Klebemittel wird manchmal ein synthetischer Harzkleber an Stelle des Glases verwendet.

All diese erwähnten herkömmlichen Verfahren sind indessen zur Herstellung des genannten engen ao Kopfspaltes von 0,8 bis 1,2 μ äußerst ungünstig.

Zum Beispiel ist bei dem herkömmlichen Verfahren 1 die Verwendung einer Folie mit einer Dicke von weniger als 1 μ erforderlich, um einen Kopfspalt von weniger als 1 μ zu erzeugen. Es ist jedoch äußerst schwierig, eine so dünn hergestellte Folie zu erhalten. Weiter ist die Arbeit des Einfügens einer solchen dünnen Folie zwischen zwei magnetischen Streifen von erheblich niedrigem Wirkungsgrad. Daher ist das bekannte Verfahren 1 zur Massenproduktion ungeeignet.

Nach dem herkömmlichen Verfahren 2 tendieren die dünnen magnetischen Streifen zur Verzerrung, wenn auf den Verbund mechanischer Druck ausgeübt wird. Weiter führt die Erweichung der Glasfolie zu einer Ungleichmäßigkeit der Dicke des Abstandsstücks. Darüber hinaus hat das Verfahren Nachteile, indem meistens Luftblasen im Glasabstandsstück auftreten, die die Verbindungsfestigkeit zwischen dem Glas und den magnetischen Stoffen erniedrigen und zu einer Zerstörung des Spalts und damit zu einer Verkürzung der Lebensdauer des Magnetkopfes führen.

Das bekannte Verfahren 3 führt notwendigerweise zu solchen Nachteilen, daß die Einstellung der Dicke des AbstanJsstückes schwierig ist und daß auf Grund der Wärmebehandlung und Oxydationsreaktion bei der Umwandlung des Halogenids zum Oxyd auch die dünnen Streifen aus magnetischen Stoffen einer chemischen Veränderung oder Wärmebeanspruchung unter Bildung von Rissen unterworfeu werden.

Nach dem bekannten Verfahren 4, wovon die vorliegende Erfindung ausgeht, ist es äußerst schwierig, die Dicke der auf der spaltbildenden Oberfläche erzeugten nichtmagnetischen Oxydschicht genau zu steuern und eine feste Haftverbindung zwischen der Kernhälfte und der Oxydschicht zu erhalten.

Zur Überwindung dieser Nachteile des Standes der Technik wurden verschiedene Versuche unternommen, um ein Verfahren zur Herstellung eines neuen Magnetkopfes zu finden, das im wesentlichen auf eine Verbesserung der Herstellung des Kopfspaltteiles des Magnetkopfes gerichtet ist.

Der Erfindung liegt also die Aufgabe zugrunde, das Verfahren der eingangs genannten Art so weiterzuentwickeln, daß die Dicke der nichtmagnetischen Oxydschicht ohne weiteres genau steuerbar ist und die Oxydschicht fest an der Ferritunterlage haftet, so daß der Magnetkopf auch eine lange Lebensdauer aufweist

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Ferritstreifen nach dem Polieren in einer inerten oder neutralen Atmosphäre auf eine thermische Zersetzungstemperatur eines zur Erzeugung des Oxydfilms für den Spalt verwendeten Metallalkoxydes erhitzt wird, wenigstens ein flüchtiges Metallalkoxyd verdampft wird, das zur Erzeugung des nichtmagnetischen Metalloxyds durch thermische Zersetzung geeignet ist, der Dampf des verdampften Alkoxyds mit dem erhitzten Ferritstreifen in Berührung gebracht wird, wobei ein inertes oder neutrales Gas als Trägergas verwendet wird, und das Alkoxyd auf der polierten Oberfläche des Ferritstreifens zui Bildung des nichtmagnetischen Oxydfflms mit einer gewünschten Dicke thermisch zersetzt wird.

Eine grundsätzliche Verbesserung beim Verfahren gemäß der Erfindung beruht auf der Tatsache, daß das Abstandsstück, das die Breite des Kopfspaltes des Magnetkopfes steuert, aus einem nichtmagnetischen Öxydfihn besteht, der dadurch erzeugt wird, daß man einen Dampf eines Met llalkoxyds auf die Oberfläche des Ferritstreifens leitet und das Metallalkoxyd thermisch zersetzt.

Beispiele für die Metallalkoxyde, die man erfindungsgemäß verwenden kann und die nichtmagnetische Metalloxyde durch thermische Zersetzung liefern, sind Alkoxyde von solchen Metallen, wie Aluminium, Titan, Silizium, Zirkon und Hafnium. Diese können entweder einzeln oder in gegenseitiger Mischung von zwei oder mehr verwendet werden.

Das Verfahren gemäß der Erfindung wird an Han^ der in der Zeichnung veranschaulichten Ausführungsbeispiele näher erläutert; darin zeigt

F i g. 1 eine schematische Darstellung eines Magnetkopfes für ein Fernsehbandspeichergerät,

F i g. 2 eine schematische Perspektivdarstellung des Kopfspivzenteils des Magnetkopfes,

F i g. 3 eine schematische Darstellung eines in einem Scheibenspeicher für elektronische Rechenmaschinen verwendeten Magnetkopfes,

F i g. 4 eine Arbeitskarte zur Erläuterung der Verfahrensschritte zur Herstellung des Magnetkopfes gemäß der Erfindung,

F i g. 5 ein Blockdiagramm zur Erläuterung eines Beispiels der thermischen Zersetzungsvorrichtung zum Niederschlagen eines nichtmagnetischen Oxyds auf einem dünnen Ferritstreifen,

F i g. 6 ein Diagramm zur Erläuterung der Abhängigkeit zwischen der Erhitzungstemperatur von Aluminiumisopropoxyd und der Wachsgeschwindigkeit von Aluminiumoxyd auf einem dünnen Ferritstreifen,

F i g. 7 ein Diagramm zur Erläuterung der Abhängigkeit zwischen der Wachsgeschwindigkeit eines Aluminium-Silizium-Mischoxydfilms, der durch thermische Zersetzung eines Mischdampfes aus Siliziumteliuäthoxyd und Aluminiumtriäthoxyd auf einem dünnen Ferritstreifen erhalten wurde, und der Erhitzungstemperatur des Aluminiumtriäthoxyds, und

F i g. 8 ein Diagramm zur Erläuterung der Abhängigkeit zwischen dem Wärmeausdehnungskoeffizienten und der Zusammensetzung eines auf einer Mischung von Aluminiumoxyd und Siliziumoxyd bestehenden Films.

Gewöhnlich ist der Aufbau eines Magnetkopfes

für ein Fernsehbandspeichergerät so, wie F i g. 1 zeigt. Der Magnetkopf dieser Art besteht also aus einer Kopfspitze 11, einer um die Spitze gewickelten Spule 12, einer mit Zuführanschlüssen 13,13' für die Spule versehenen Basisplatte 14 und einer Kopfbasis zur Anbringung der Spitze U und der Basisplatte 14 am (nicht dargestellten) Hauptkörper des Speichergeräts. Die Bezugsziffer 16 bezeichnet ein Magnetband. Der Aufbau der vorerwähnten Kopfspitze 11 ist im einzelnen in F i g. 2 dargestellt. Und zwar umfaßt die Kopfspitze zwei plattenähnliche Halbkernkörper 21 und 22, und ein Abstandsstück 25 ist zwischen den beiden Halbkernkörpern unter Bildung eines Kopfspalts mit einer Spaltbreite 26 eingefügt. Der Halbkernkörper 21 ist auf der Innen- und Außenseite mit zwei V-förmigen Kerben 23 und 24 versehen, um die eine Spule 27 gewickelt ist. Weiter sind die Halbkernkörper 21 und 22 am Ende ihrer einander zugewandten Grenzzonen in Form eines Bogens ausgeschnitten, um die Spurbreite klein zu halten.

F i g. 3 zeigt einen Kopf eines Scheibenspeichers. Dieser Kopf besteht aus einem Kern 31, zwei Spulen 32 und 33, die um den Kern gewickelt sind, und einem Gleitstück 34 zum Halten des Kerns. Auch im Fall dieses Kopfes ist der Aufbau des Kopfspaltteils des Kerns genauso wie bei dem vorgenannten Kopf für ein Fernsehbandspeichergerät.

Erfindungsgemäß wird ein solcher vorstehend beschriebener Magnetkopf z. B. nach den Verfahrensschritten erzeugt, wie sie in F i g. 4 dargestellt sind.

Als Material 41 des Kopfkerns wird hauptsächlich ein Einkristall oder ein warmgepreßter Sinterkörper aus einem Ferrit des Mn-Zn- oder Ni-Zn-Systems verwendet. Falls das Material 41 ein Einkristallferrit ist, wird eine bestimmte Kristallorientierung gewählt, und das Material wird zu einer Waffel 42 in Form einer parallelen flachen Platte geschnitten. Weiter wird die Waffel in einer bestimmten axialen Richtung zu einem Ferritstreifen 43 in Form eines rechteckigen Parallelepipeds verarbeitet. Danach wird der Streifen 43 auf der Oberfläche 44 geläppt, die mit einem Abstandsstück versehen werden soll, das in einen Kopfspaitteil einzufügen ist, und die Oberfläche wird auf einen Ebenheitsgrad von etwa 0,1 μ/5 mm und eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als etwa 0,1 poliert.

Anschließend wird in den so erhaltenen Streifen 43 auf der Innen- und Außenseite je eine V-förmige Nut 45 bzw. 46 eingraviert, um Kerben (s. auch F i g. 2) zu boden, durch die eine Spule um einen Kern gewickelt wird. Danach wird der Streifen 43 in einem solchen Heizofen, wie er noch beschrieben wird, und zwar in einer neutralen Atmosphäre, z. B. in Stickstoff oder Argon auf ein: Temperatur erhitzt, die mehr oder weniger oberhalb der thermischen Zersetzungstemperatur des verwendeten Metallalkoxyds liegt, und seine polierte Oberfläche wird mit dem Dampf des Metallalkoxyds zwecks Bildung eines Metalloxydfilms 47 auf der Oberfläche in Berührung gebracht.

Auf dem den Streifen 43 bedeckenden Metalloxydfilm 47 w ird weiter ein anderer Streifen 43' angebracht, der auf seiner Oberfläche poliert wurde, und die beiden Streifen werden mittels eines geeigneten Klebers miteinander verbunden, wobei sich der Oxydfilm zwischen beiden befindet, um ein zusammengesetztes Gcb'Je zu schaffen. Der so erhaltene Verbund wird in der zur Längsrichtung senkrechten Richtung dünn geschnitten, um eine Kopfspitze 48 zu schaffen.

Alternativ wird auch der erwähnte Streifen 43' mit einem Metalloxydfilm 47' versehen und dann mit dem Streifen 43 verbunden, um einen Verbund zu schaifen, der dann in der gleichen Weise, wie vorstehend erwähnt, dünn geschnitten wird, um eine Kopf spitze 49 zu schaffen.
Die so hergestellte Kopfspitze 48 oder 49 wird

ίο geschliffen oder geschnitten, um die Spurbreite kleiner zu machen, mit einer Spule bewickelt und dann zu einem Magnetkopf zusammengestellt, wie er in F i g. 1 oder 3 gezeigt ist.

F i g. 5 ist eine schematische Skizze einer zur Erzeugung eines nichtmagnetischen Oxydfilms auf dem genannten Streifen durch thermische Zersetzung von Metallalkoxyd verwendeten Vorrichtung. Diese Vorrichtung umfaßt einen Behälter 51 für ein Trägergas für Alkoxyddampf, eine Deoxydationsfalle 52 für das Trägergas, eine Dehydrationsfalle 53, ein Gasfilter 54, ein Gasstromsteuerventil 55, ein Strömungsmeßgerät 56, einen Wärmezersetzungsofen 50, ein Hauptrohr 57 zur Verbindung der verschiedenen, zwischen dem Behälter 51 und dem Wärmezersetzungsofen 50 in Reihe angeordneten Mittel, wenigstens einen Abzweigströmungsweg 58, der vom Hauptrohr 57 in einem Bereich zwischen dem Gasfilter 54 und dem Wärmezersetzungsofen 50 abgezweigt und wieder mit dem Hauptrohr verbunden ist, und ein Gasstromsteuerventil 59. ein Strömungsmeßgerät 60 und eine Metallalkoxydfalle 61 mit einer Heizeinrichtung 62, die am Abzweigströmungsweg 58 angeordnet sind.

Der thermische Zersetzungsofen 50 besteht aus einem Ofenbehälter 63 in Form einer Glocke, einem Tragsockel 64 dafür, einem Probenhalter 65, der durch ein im Tragsockel 64 vorgesehenes Loch in das Innere des Ofenbehälters 63 eingeführt ist, einem Zylinder 66 zum Halten des Probenhalters 65, einem am unteren Teil des Probenhalters 65 angebrachten Heizgerät 67 und einer Gasauslaßöffnung 68 im Tragsockel 64.

Als die genannte Deoxydationsfalle wird DIOXO verwendet, d. h. ein Deoxydant-Produkt von Baker & Co., USA, und als Dehydrationsfalie wird eine Kühlfalle wie Trockeneis od. dgl. verwendet.

Unter Verwendung einer vorstehend beschriebenen Vorrichtung wird z. B. ein Aluminiurpoxydfilm auf einem Einkristallferritstreifen gemäß einem der anschließend erläuterten Verfahren erzeugt Auf dem Probenhalter 65 des thermischen Zersetzungsofens 50 wird ein Ferritstreifen, der, wie erwähnt, auf der Oberfläche zwecks Anbringung eines Oxydfilms poliert ist, horizontal mit der polierter Fläche nach oben angeordnet. Anschließend wire

die Luft in der Vorrichtung völlig durch Stickstof! ersetzt, der in die Vorrichtung vom Behälter 51 au; eingeführt wird. Nachher wird das Ventil 59 am Abzweigströmungsweg 58 geschlossen, und man laß nur durch das Hauptrohr 57 eine größere oder kiel· nere Menge Stickstoffgas strömen. Der Streifen in Ofen 50 wird mittels des Heizgeräts 67 erhitzt unc auf einer bestimmten Temperatur von 500⁰C ge halten.

Andererseits wird die Metallalkoxydfalle 61, dii am Abzweigströmungsweg 58 angebracht ist und vor her mit Aluminiumisopropoxyd beschickt wurde mittels der Heizeinrichtung 62 auf 130" C erhitzt Ii diesem Zustand wird das Ventil 59 des Abzweig

Strömungsweges 58 geöffnet, und die Gasströmungsgeschwindigkeit im Abzweigströmungsweg wird auf 1 l/min gehalten, während sie im Hauptrohr auf 4 l/min gehalten wird. Wenn die Vorrichtung in vorstehend beschriebener Weise arbeitet, leitet man Dampf des Aluminiumisopropoxyds in der Alkoxydfalle 61 in Berührung mit der Oberfläche des Ferritstreifens 69 im Wärmezersetzungsofen 50 zur Bildung eines dünnen Aluminiumoxydfilms auf der Oberfläche. Dabei ist die Dickenwachsgeschwindigkeit des Aluminiumoxydfilms etwa 50 A/min. Dementsprechend läßt sich die Dicke eines Aluminiumoxydfilms, der auf der Oberfläche des Ferritstreifens 69 erzeugt wird, genau auf einen gewünschten Wert einstellen, indem man die Zeit der Wärmezersetzungsreaktion kontrolliert.

F i g. 6 zeigt ein Diagramm mit einer Kurve zur Erläuterung der Abhängigkeit zwischen der erwähnten Erhitzungstemperatur des Aluminiumisopropoxyds und der Wachsgeschwindigkeit des auf dem Streifen erzeugten Aluminiumoxydfilms. Wie aus F i g. 6 hervorgeht, kann die Wachsgeschwindigkeit des Aluminiumoxydfilms durch Erhöhung des Dampfdrucks des Aluminiumisopropoxyds beschleunigt werden.

Im vorliegenden Verfahren kann die Wachsgeschwindigkeit des Oxydfilms allgemein gesteigert werden, wenn die Erhitzungstemperatur des Alkoxyds erhöht wird. Wenn jedoch die Wachsgeschwindigkeit übermäßig erhöht wird, hat der erhaltene Oxydfilm eine niedrigere Dichte, so daß es nicht mehr möglich ist, einen Oxydfilm mit einer ausreichend großen Härte zu erhalten. Bei der Ausführung des vorliegenden Verfahrens liegt daher die Erhitzungstemperatur des Alkoxyds zweckmäßig innerhalb eines Bereiches, bei dem der erhaltene Oxydfilm keine niedrigere Härte hat. Wenn im vorstehend beschriebenen Ausfuhrungsbeispiel die Erhitzungstemperatur des Aluminiumisopropoxyds 130" C ist, hat der erhaltene Aluminiumoxydfilm im wesentlichen die gleiche Härte wie ein Film aus rostfreiem Stahl.

Der Ferritstreifen, auf dem der Aluminiumoxydfilm in vorstehender Weise erzeugt wurde, wird entsprechend den Verfahrensschritten nach F i g. 4 zu einer Kopfspitze weiterverarbeitet.

Der Wärmeausdehnungskoeffizient des so erzeugten Aluminiumoxydfilms ist 7 bis 8-10-⁶'°C und somit nahe dem von Ferrit, nämlich 9-10-⁶⁰C. Dementsprechend treten kaum Abschälungen des Aluminiumoxydfilms und dergleichen Schaden auf Grund von Abrieb, Hitze usw., die auf den Kopf einwirken, auf.

Wie schon erwähnt, läßt sich die Erfindung unter Verwendung irgendwelcher MetaHalkoxyde verwirklichen, sofem sie flüchtig sind und nichtmagnetische Oxyde als Wännezersetzungsprodukte liefern. Zum Beispiel kann ein TitanoxydfHm auf einem Ferritstreifen in gleicher Weise wie im vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel durch Erhitzen von Titanisopropoxyd auf 60 bis 90" C unter Verwendung von Stickstoffgas als Trägergas erzeugt werden. Der Wärmeausdehnungskoeffizient des so erhaltenen Titanoxydfilms ist 8 bis 9-10~^e"C und somit dem von Ferrit sehr nah.

Die Tabelle 1 zeigt die Siedepunkte und bevorzugten Erhitzungstemperaturen verschiedener MetaHalkoxyde und die Erhitzungstemperaturen der Ferritkerne.

Tabelle 1

Vorzugsweise MetaHalkoxyde

zur Verwendung nach «erliegender Erfindung

und vorzugsweise Erhitzungstemperaturen

	Siedepunkt	C	Erhitzungs	Erhitzungs
	O	Hg)	temperatur	temperatur
Alkoxyde	(mm	(50)	der Alkoxyd	des Ferrit
	145	(80)	falle °C	streifens ⁰C
Al(O-C₂O₅).,	175	(50)	120 bis 140	400 bis 500
1-Al(O-C₁H₇),	30	Π)	160 bis 180	400 bis 500
Si(OC,H,')₄	104	(18)	20 bis 30	700 bis 800
Ti(OC₂H₅).	189	(5)	90 bis 100	400 bis 500
i-Ti(OC,H.)₄	94	(5)	60 bis 90	400 bis 500
i-Ta(OC₄H₉)₄	89	(5)	80 bis 90	500 bis 600
1-Zr(OC₄HJ₄	88	70 bis 85	500 bis 600
i-Hf(OC₄H_q)₄	70 bis 85	500 bis 600

Falls nach vorliegender Erfindung ein Dampf einer Mischung von Metallalkoxyden in Berührung mit einem Ferritstreifen gebracht wird, ergibt sich ein aus der Mischung der Metalloxyde bestehender Oxydfilm. Dabei wird die genannte Vorrichtung zusätzlich noch mit einem Abzweigströmungsweg 58', einer Alkoxydfalle 61', einer dafür dienenden Heizeinrichtung 62', einem Strömungsmeßgerät 60' und einem Gasstromsteuerventil 59' versehen, wie die gestrichelten Linien in F i g. 5 zeigen. Unter Verwendung dieser Vorrichtung wird der Streifen im Wärmezersetzungsofen auf etwa 500° C gehalten, und man füllt z. B. Aluminiumtriäthoxyd in eine Alkoxydfalle 61 und erhitzt es auf etwa 160 bis 180^; C, während Siliziumtetraäthoxyd in die andere Alkoxydfalle 61' gefüllt und auf 25 bis 30^c C erhitzt wird. Anschließend läßt man Stickstoffgas durch sowohl das Hauptrohr als auch den Abzweigströmungsweg 58 und den Abzweigströmungsweg 58' mit Geschwindigkeiten von 5 1 min. 3 l'min bzw. 101 min strömen, die einzelnen Alkoxyde werden thermisch zersetzt, und es ergibi sich eine Berührung des aus den beiden Alkoxyder gemischten Dampfes mit dem Ferritstreifen, wodurch sich ein nichtmagnetischer Oxydfilm, bestehend au: Aluminiumoxyd und Siliziumoxyd, auf dem Ferritstreifen erzeugen läßt. Dabei ist die Wachsgeschwindigkeit der Dicke des Rims etwa 250 A/min.

F i g. 7 zeigt die Variation der Wachsgeschwindigkeit des Oxydfilms, wenn beim vorstehend erläuter ten Ausführungsbeispiel die Erhitzungstemperatui des Siliziumtetraäthoxyds 25^C C ist und die Er hitzungstemperatur des Aluminiumtriäthoxyds in Bereich von 160 bis 180° C variiert wird.

Der so erhaltene, aus der Mischung von Arami niumoxyd und Siliziumoxyd bestehende Film is härter und chemisch stabiler als ein Film aus reinen Aluminiumoxyd oder reinem Siliziumoxyd, der ii der gleichen Weise erhalten wird. Wenn dement sprechend ein Abstandsstück für einen Kopfspal durch einen solchen Mischoxydfilm gebildet wird kann der Kopfspaltteil einen besseren Abriebwider stand erhalten.

F i g. 8 ist ein Diagramm mit einer Kurve zur Er läuterung der Abhängigkeit zwischen dem Wärme

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„ff

ausdehnungskoeffizienten und der Zusammensetzung eines aus Aluminiumoxyd und Siliziumoxyd bestehenden Mischoxydfilms. Nach F i g. 8 ist der Wärmeausdehnungskoeffizient reinen Siliziumoxyds 6 bis 7 · 10~⁷/°C und unterscheidet sich erheblich von dem des Ferrits, der 90 · 10~⁷/^oC ist. Indessen ist der Wärmeausdehnungskoeffizient eines Mischoxydfilms, der aus Siliziumoxyd und einer äquimolaren Menge Aluminiumoxyd besteht, etwa 40 · 10~⁷/°C und so dem des Ferrits ziemlich nah.

Zusätzlich können auch verschiedene Kombinationen von Metalloxyden verwendet werden, soweit die Oxydfilme liefern können, die nichtmagnetisch, von großer Härte und hoher mechanischer Festigkeit sind und einen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen, der dem des Ferrits naheliegt. Zum Beispiel

hat ein Film aus einer Mischung, die im wesentlichen gleiche Mengen von Zirkonoxyd und Siliziumoxyd enthält, der entsprechend dem gleichen Verfahren wie im vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel unter Verwendung von Zirkontetraäthoxyd und Siliziumtetraäthoxyd erzeugt wurde, einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von etwa 8 bis 9 · 10~⁶/°C und ist in anderen mechanischen und chemischen Eigenschaften dem genannten Film aus einer Mischung von Aluminiumoxyd und Siliziumoxyd im wesentlichen gleich.

Nach vorliegender Erfindung besonders bevorzugte Kombinationen und Erhitzungstemperaturen von Alkoxyden und bevorzugte Erhitzungstemperatüren des Ferritstreifens sind in der Tabelle 2 zusammengefaßt.

Tabelle

Kombinationen bevorzugter Alkoxyde

zur Verwendung nach vorliegender Erfindung

und bevorzugter Erhitzungstemperaturen

Kombination und ErhiUungstemperatur (° C) der Alkoxyde Erhitzungslemperatur
des Ferritstreifens
⁰C

A1(OC₂H₅)₃ (160); Si(OC₂H₅), (Raumtemperatur)

Zr(OC₂H,)₄ (SC); Si(OC₂H₅)₄ (Raumtemperatur)

1-Ti(OC₃H₇), (80); Si(OC₂H₃),,

(Raumtemperatur)

1-Al(OCH-);, (160); 1-Ti(OC₅H₇)

Ma(OC₄H₉), (80); Si(OC₂H₅), (Raumtemperatur)

400 bis 500
500 bis 600
400 bis 500
400 bis 500
500 bis 600

F.in Ferritstreifen, der einen Film trägt, der aus wenigstens einer Art von nichtmagnetischen Oxyden besteht, die in vorstehend beschriebener Weise hergestellt sind, wird entsprechend den Schritten nach F i g. 4 zu einer Kopfspitze weiterverarbeitet.

Zum Verbinden der Streifen verwendet man Kleber wie z.B. Glas, synthetische Harze usw. Indessen quellen synthetische Harze unerwünscht auf Grund von organischen Stoffen, und daher ist die Verwendung von Glas vorzuziehen.

Um zwei Ferritstreifen 43 und 43' mittels Glas zu verbinden, werden die miteinander in Berührung gebracht, wobei zwischen diesen der nichtmagnetische Film 47 liegt, wie F i g. 4 zeigt, und dann läßt man geschmolzenes Glas in den Spalt zwischen den beiden Ferritstreifen einfließen.

Der unter Anwendung der Erfindung erhaltene Magnetkopf trägt den nichtmagnetischen Oxydfilm direkt auf der sorgfältig polierten Oberfläche des Ferrits. Weiter kann man als einen solchen Film einen Oxydulm mit einem Wärrncausdehnungskoeffizienten auswählen, der dem des Ferrits nahe ist. Dementsprechend ist es möglich, ein Abstandsstück für einen Kopfspalt zu schaffen, das fest mit dem Kernkörper verbunden wird und sich nur schwel davon ablöst.

Weiter ist es erfindungsgemäß auch möglich, die Dicke des das vorerwähnte Abstandsstück darstellenden Oxydfilms gleichmäßig und genau zu steuern Zum Beispiel beträgt bei einem durch Berührung de genannten Aluminiumisopropoxyddampfes mit einen Ferritstreifen erzeugten Oxydfilm die Schwankunj der Dicke des Films nur etwa +0*02 μ. Außerden ist, wenn Glas als Kleber verwendet wird, dii Schwankung der Spaltbreite des ganzen Spalte ~ 0.1.1 je 5 mm. Gemäß der Erfindung ist es dahe sehr leicht, einen Kopfkern mit einer Spaltbreit von weniger als 1 μ herzustellen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

geräten, wie z.B. Fernsehbandspeiciergeräten,für Patentansprüche: Farbfernsehen, Speicherjeraten ^dddromsche Rechenmaschinen usw. ist es erwünscht, daß die

1. Verfahren zur Herstellung eines Magnet- Speichergeräte eine Sestdgerte ^cher^azrtat kopfes unter Verwendung einer Kopfspitzs mit 5 haben oder eine höhere ^SP^e^^^te=^^eiS einem Kopfspalt, dessen Breite mittels eines aus um die Geräte kompakt "^ ™*™£ ™_ einem nichtmagnetischen Osydfilm bestehenden Grund dieser Forderung ^^™f2ri Ma-AbstandsstudceT eingestellt wird, bei dem ein besserungen bezüghch der Magn^der and Ma Ferritstreifen gewünschter Form auf der Ober- gnetscheiben vorgenommen, die ab Jpeigermedien fläche ausreichend glatt poliert wird und man aus io verwendet werden. Von &^*™%%£Γ hT_p X der Gasphase den nichtmagnetischen Oxydfilm gegen eine Verbesserung ^d^ M^e&opfe <fce %t auf dem Ferritstreifen niederschlägt, worauf der wichtigsten Bauteile darstellen, ™™"Ρ J* den Oxydfilm tragende Ferritstreifen unter Ver- Speichergeräte zur Aufnahme .^J^^^f wendung eines Glasklebers mit einem anderen zum Speichern und Ablesen einsetzt, und₎ dabei ms-Ferritstreifen verbunden wird, wobei der nicht- 15 besondere eine Verbesserung der sparaeue von .■magnetische Oxydfilm zwischen diesen liegt, Magnetkopf^. .^. . .. dadurch gekennzeichnet, daß der Die Dicke des Kerns des Magnete^ undI die Ferritstreifen nach dem Polieren in einer inerten Breite des Kopfspaltes sind nambch knüsclw tak- oder neutralen Atmosphäre auf eine thermische toren bei der Erhöhung der Speicherdichte Em bei Zersetzungstemperatur eines zur Erzeugung des ao einem Fernsehbandspeichergerat verwendeter Ma-Oxydfilms für den Spalt verwendeten Metall- gnetkopf ist von dem bei einem Scheibenspeicher fur alkoxydes erhitzt wird, wenigstens ein flüchtiges Rechenmaschinen od. dgl. verwendeten verschieden. Metallalkoxvd verdampft wird, das zur Erzeu- Indessen sind beide im geometrischen Aufbau am gung des nichtmagnetischen Metalloxyds durch Kopfkernteil und am Kopfspalttei im wesenüichen therniische Zersetzung geeignet ist, der Dampf a₅ gleich, und es wurde m neuerer Zei erforderlich den des verdampften Alkoxyds mit dem erhitzten Kopfspaltteil genau auf eine Spaltbreite von etwa Ferritstreifen in Berührung gebracht wird, wobei 0,8 bis 1,2 μ einzustellen. p_mui«_m ein inertes oder neutrales Gas als Trägergas ver- Weiter ist es im Zusammenhang mit dem Problem wendet wird, und das Alkoxyd auf der polierten der Erhöhung der Speicherdichte und_ der God»n-Oberfläche des Ferritstreifens zur Bildung des 30 digkeit der Aufnahme und Wiedergabe erforderlich, nichtmagnetischen Oxydfilms mit einer gewünsch- daß der Kopf mit einem solchen Speichermedium * ic ten Dicke thermisch zersetzt wird. Magnetband oder Magnetscheibe gleichmäßig in Be-

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- rührung kommt, daß der Kopf fester mit einen Abkennzeichnet, daß als Metallalkoxyd mindestens Standsstück verbunden wird, das in den Kopfspaltteil ein Glied aus der Gruppe der Alkoxyde der Me- 35 des Kopfkerns zur Regulierung der Breite des Kopttalle Aluminium, Silizium, Titan, Zirkon und Spaltes eingefügt wird, so daß der Kopfkern ein. Hafnium gewählt wird. bessere Abriebbeständigkeit erhalt und seme Zer-

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 störung verhindert wird, und daß der Unterschied m und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall- der Härte oder im Wärmeausdehnungskoeffizient alkoxyd Aluminiumalkoxyd ist. 40 zwischen den beiden soweit wie möglich verringern

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 wird.

und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall- Der Kopfspaltteil des erwähnten Kopfkerns wird

alkoxyd eine Mischung von Aluminiumalkoxyd hergestellt, indem man zwischen zwei dünnen Streifen und Siliziumalkoxyd ist aus magnetischen Stoffen em nichtmagnetisches Ab-

45 standsstück einfügt, das eine der Spaltbreite entsprechende Dicke aufweist, und sie mittels eines geeigne-